JPH0522292B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0522292B2 JPH0522292B2 JP24987486A JP24987486A JPH0522292B2 JP H0522292 B2 JPH0522292 B2 JP H0522292B2 JP 24987486 A JP24987486 A JP 24987486A JP 24987486 A JP24987486 A JP 24987486A JP H0522292 B2 JPH0522292 B2 JP H0522292B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- vapor
- vapor deposition
- magnetic
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、さら
に詳しくは耐候特性、保存安定性に優れた金属薄
膜型磁気記録媒体の製造方法に関する。 〔従来の技術〕 磁気記録媒体としては従来、非磁性基体上に粉
末磁性材料を有機バインダー等と共に塗布乾燥せ
しめたいわゆる『塗布型』磁気記録媒体が広く使
用されてきた。しかるに近年の高密度磁気記録へ
の要求に対しては大きな飽和磁束を有するいわゆ
る『金属薄膜型』磁気記録媒体による対応がなさ
れており、Co、Fe、Ni等を材料とする斜め蒸着
法を利用した蒸着テープ、Co−Cr合金のスパツ
タリングあるいは蒸着法を利用した垂直磁化型テ
ープ、デイスク等の研究開発が行なわれている。 しかしながら、一般にこういつた磁性金属薄膜
は耐候性において劣る。例えば、高温高湿条件下
に放置すると総磁束量が10％以上も減少してしま
う、といつた現象がある。また、結露―乾燥のプ
ロセスのくり返しにより目視で判るほどの錆が発
生するといつた問題もある。これらの磁束量の減
少、錆の発生をまとめて耐候性と称している。こ
の金属薄膜型磁気記録媒体の耐候性を改良する手
段は種々提案されているが、その多くは効果が充
分とは云えない。あるいは大規模な装置を要し生
産性に乏しい等の問題を有しており、より簡便で
効果の大きい耐候性の改良が望まれていた。 〔発明の目的〕 本発明は以上の事情に鑑みなされたもので、耐
候特性、保存安定性の改良された金属薄膜型磁気
記録媒体の製造方法を提供するものである。 〔発明の構成〕 本発明は、可とう性基体上に巻取蒸着法により
磁性金属、合金薄膜を設けた巻取蒸着品を、その
巻かれた間の空隙に酸化性ガスを含む気流を生ぜ
しめた条件で保存することを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法、に関する。 本発明の可とう性基体は、主としてポリエチレ
ンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポ
リ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカボネー
ト、ポリエチレンナフタレート等のプラスチツク
製基体である。 巻取蒸着装置の一例を第１図に示す。これは２
室構成の蒸着装置であり可とう性基体７は送り出
しロール６より送り出され冷却ドラム９に沿つて
移動し巻き取りロール１５に巻き取られる。下室
３が蒸着室であつて、ルツボ１０よりの蒸気流が
基体上に堆積し、磁性薄膜を形成する。第１図に
示したのはいわゆる斜め蒸着により磁性膜を形成
する手法であり、マスク１３により入射蒸気流の
一部を規制している。また、ガス導入口１１，１
２等から酸化性ガス等を導入して磁気特性をコン
トロールする等の手法を用いることも可能であ
る。第１図に示したのは、半連続式の巻取蒸着装
置であつて、送り出しロール６より供給される基
体上への薄膜形成が終了すればその基体長に応じ
て巻取ロール１５に蒸着品が得られることとな
る。 本発明の巻取蒸着品の巻かれた間の空隙に気流
を生ぜしめる一手段を第２図に基づいて説明す
る。まず第２図Ａに示したのは巻取蒸着品であつ
て、典型的には中空巻芯１６の回りに薄膜を形成
された基体１７が巻かれた状態になつている。第
２図Ｂでは巻かれた間の空隙２１に気流を生ぜし
めるための一手段を模式的に示しているが、気密
シール１８で巻取蒸着品をシールした状態で真空
ポンプ２０により真空に引くことにより空隙２１
に気流を生ぜしめている。一般に特にプラスチツ
ク基体上に金属薄膜を設けた場合、また特に基体
が薄い場合には巻取り蒸着品での巻かれた間の空
隙２１はきわめてせまく、第２図のように何らか
作為的に気流を起こさせる必要がある。ここで第
２図Ｂで雰囲気を空気とすることも良く、また、
より本発明の効果を上げるべくより酸素濃度を高
めたガスとすることも良く、更にはオゾン等のよ
り反応性の高いガスを使用することもできる。更
にまた、薄膜材料と気流成分ガスの組合せにより
特性をコントロールすることは可能であり、
NH3ガス、NO2ガス、H2Ｓガス等々も使用でき
る。すなわち、本発明は、巻取蒸着完了直后の末
だ活性な金属薄膜を反応せしめ、より安定な薄膜
とするため簡便なる手段といえる。上記気流にさ
らす時間はフイルム巾等により異なるが12時間以
上が好ましい。 以下実施例に基づき更に説明する。 〔実施例、比較例〕 第１図に示した蒸着装置を使用し、9.5μm厚の
ポリエチレンテレフタレート基体上に斜め蒸着法
によりCo80Ni20（atom％）蒸着磁性薄膜を形成し
た。フイルム幅は300mmであり、銀5000mの基体
を使用した。搬送スピードは60m／分、入射角〓
min＝35°、薄厚2000Åとし、かつ１１，１２よ
りO2ガスを蒸着空３内真空度が3.0×10-4Torrと
なる様等量導入しつつ蒸着を行なつた。この同じ
条件で２本の巻取蒸着品を得た。このうちの１本
は常温常湿下に１週間放置したままとした（これ
をサンプル甲とする。）。もう１本は第２図Ｂに示
した装置にセツトし、ロータリーポンプ２０でや
はり１週間真空引きをしつづけ気流にさらす状態
とした（これをサンプル乙とする。）。 しかる後に、この２サンプルから各々1000m間
隔で６本のサンプルを10m／ｍ×75m／ｍの大き
さで切りだした（甲１〜甲６、乙１〜乙６と呼
ぶ。番号の小のほど巻きの中側から切り出したサ
ンプルを意味する。）。以上12本のサンプルを60℃
90％RHの雰囲気下に１週間放置し、その前後で
の総磁束量φm（Mx／cm）の変化率△φm／φmを測定 した。下表にその結果を示す。
に詳しくは耐候特性、保存安定性に優れた金属薄
膜型磁気記録媒体の製造方法に関する。 〔従来の技術〕 磁気記録媒体としては従来、非磁性基体上に粉
末磁性材料を有機バインダー等と共に塗布乾燥せ
しめたいわゆる『塗布型』磁気記録媒体が広く使
用されてきた。しかるに近年の高密度磁気記録へ
の要求に対しては大きな飽和磁束を有するいわゆ
る『金属薄膜型』磁気記録媒体による対応がなさ
れており、Co、Fe、Ni等を材料とする斜め蒸着
法を利用した蒸着テープ、Co−Cr合金のスパツ
タリングあるいは蒸着法を利用した垂直磁化型テ
ープ、デイスク等の研究開発が行なわれている。 しかしながら、一般にこういつた磁性金属薄膜
は耐候性において劣る。例えば、高温高湿条件下
に放置すると総磁束量が10％以上も減少してしま
う、といつた現象がある。また、結露―乾燥のプ
ロセスのくり返しにより目視で判るほどの錆が発
生するといつた問題もある。これらの磁束量の減
少、錆の発生をまとめて耐候性と称している。こ
の金属薄膜型磁気記録媒体の耐候性を改良する手
段は種々提案されているが、その多くは効果が充
分とは云えない。あるいは大規模な装置を要し生
産性に乏しい等の問題を有しており、より簡便で
効果の大きい耐候性の改良が望まれていた。 〔発明の目的〕 本発明は以上の事情に鑑みなされたもので、耐
候特性、保存安定性の改良された金属薄膜型磁気
記録媒体の製造方法を提供するものである。 〔発明の構成〕 本発明は、可とう性基体上に巻取蒸着法により
磁性金属、合金薄膜を設けた巻取蒸着品を、その
巻かれた間の空隙に酸化性ガスを含む気流を生ぜ
しめた条件で保存することを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法、に関する。 本発明の可とう性基体は、主としてポリエチレ
ンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポ
リ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカボネー
ト、ポリエチレンナフタレート等のプラスチツク
製基体である。 巻取蒸着装置の一例を第１図に示す。これは２
室構成の蒸着装置であり可とう性基体７は送り出
しロール６より送り出され冷却ドラム９に沿つて
移動し巻き取りロール１５に巻き取られる。下室
３が蒸着室であつて、ルツボ１０よりの蒸気流が
基体上に堆積し、磁性薄膜を形成する。第１図に
示したのはいわゆる斜め蒸着により磁性膜を形成
する手法であり、マスク１３により入射蒸気流の
一部を規制している。また、ガス導入口１１，１
２等から酸化性ガス等を導入して磁気特性をコン
トロールする等の手法を用いることも可能であ
る。第１図に示したのは、半連続式の巻取蒸着装
置であつて、送り出しロール６より供給される基
体上への薄膜形成が終了すればその基体長に応じ
て巻取ロール１５に蒸着品が得られることとな
る。 本発明の巻取蒸着品の巻かれた間の空隙に気流
を生ぜしめる一手段を第２図に基づいて説明す
る。まず第２図Ａに示したのは巻取蒸着品であつ
て、典型的には中空巻芯１６の回りに薄膜を形成
された基体１７が巻かれた状態になつている。第
２図Ｂでは巻かれた間の空隙２１に気流を生ぜし
めるための一手段を模式的に示しているが、気密
シール１８で巻取蒸着品をシールした状態で真空
ポンプ２０により真空に引くことにより空隙２１
に気流を生ぜしめている。一般に特にプラスチツ
ク基体上に金属薄膜を設けた場合、また特に基体
が薄い場合には巻取り蒸着品での巻かれた間の空
隙２１はきわめてせまく、第２図のように何らか
作為的に気流を起こさせる必要がある。ここで第
２図Ｂで雰囲気を空気とすることも良く、また、
より本発明の効果を上げるべくより酸素濃度を高
めたガスとすることも良く、更にはオゾン等のよ
り反応性の高いガスを使用することもできる。更
にまた、薄膜材料と気流成分ガスの組合せにより
特性をコントロールすることは可能であり、
NH3ガス、NO2ガス、H2Ｓガス等々も使用でき
る。すなわち、本発明は、巻取蒸着完了直后の末
だ活性な金属薄膜を反応せしめ、より安定な薄膜
とするため簡便なる手段といえる。上記気流にさ
らす時間はフイルム巾等により異なるが12時間以
上が好ましい。 以下実施例に基づき更に説明する。 〔実施例、比較例〕 第１図に示した蒸着装置を使用し、9.5μm厚の
ポリエチレンテレフタレート基体上に斜め蒸着法
によりCo80Ni20（atom％）蒸着磁性薄膜を形成し
た。フイルム幅は300mmであり、銀5000mの基体
を使用した。搬送スピードは60m／分、入射角〓
min＝35°、薄厚2000Åとし、かつ１１，１２よ
りO2ガスを蒸着空３内真空度が3.0×10-4Torrと
なる様等量導入しつつ蒸着を行なつた。この同じ
条件で２本の巻取蒸着品を得た。このうちの１本
は常温常湿下に１週間放置したままとした（これ
をサンプル甲とする。）。もう１本は第２図Ｂに示
した装置にセツトし、ロータリーポンプ２０でや
はり１週間真空引きをしつづけ気流にさらす状態
とした（これをサンプル乙とする。）。 しかる後に、この２サンプルから各々1000m間
隔で６本のサンプルを10m／ｍ×75m／ｍの大き
さで切りだした（甲１〜甲６、乙１〜乙６と呼
ぶ。番号の小のほど巻きの中側から切り出したサ
ンプルを意味する。）。以上12本のサンプルを60℃
90％RHの雰囲気下に１週間放置し、その前後で
の総磁束量φm（Mx／cm）の変化率△φm／φmを測定 した。下表にその結果を示す。
以上のように本発明の手法によれば耐候性の改
良された金属薄膜型磁気記録媒体を簡便に、しか
も均一なそれを製造できるものである。
良された金属薄膜型磁気記録媒体を簡便に、しか
も均一なそれを製造できるものである。
第１図は巻取蒸着装置を示す。第２図Ａは巻取
蒸着品の外観、および第２図Ｂは気流発生のため
の装置である。 １……真空槽、６……送り出しローラ、９……
冷却ドラム、１１，１２……ガス等入口、１５…
…巻取ローラ、１６……中空巻芯、１８……気密
シール、２０……真空ポンプ。
蒸着品の外観、および第２図Ｂは気流発生のため
の装置である。 １……真空槽、６……送り出しローラ、９……
冷却ドラム、１１，１２……ガス等入口、１５…
…巻取ローラ、１６……中空巻芯、１８……気密
シール、２０……真空ポンプ。
Claims (1)
- １可とう性基体上に巻取蒸着法により磁性金
属、合金薄膜を設けた巻取蒸着品を、蒸着品が巻
かれている間の空隙に酸化性ガスを含む気流を生
ぜしめる条件下で保存することを特徴とする磁気
記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24987486A JPS63104220A (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US07/110,820 US4885189A (en) | 1986-10-21 | 1987-10-21 | Method of producing magnetic recording media |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24987486A JPS63104220A (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63104220A JPS63104220A (ja) | 1988-05-09 |
| JPH0522292B2 true JPH0522292B2 (ja) | 1993-03-29 |
Family
ID=17199476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24987486A Granted JPS63104220A (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63104220A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH046627A (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高機能性薄膜とその製造方法 |
-
1986
- 1986-10-21 JP JP24987486A patent/JPS63104220A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63104220A (ja) | 1988-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62121929A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6194242A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6148128A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0133924B2 (ja) | ||
| US4885189A (en) | Method of producing magnetic recording media | |
| JPS63104220A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2554277B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61236025A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2894253B2 (ja) | 高機能性薄膜の製造方法 | |
| JPH01264632A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 | |
| JPS63106926A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH083902B2 (ja) | 薄膜型磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2794662B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS63113928A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5960738A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS63106927A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5963031A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5814329A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH03260908A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS619823A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0121534B2 (ja) | ||
| JPS61227222A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0772934B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0370290B2 (ja) | ||
| JPH01303623A (ja) | 磁気記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |