JPH05223301A - クリーンルーム用空気清浄設備及びそのバイパスファンユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】空調機の能力を有効に利用すると共に、クリー
ンルーム内の空気圧を一定に維持しつつ温度等の変化に
対応して高精度の清浄制御を可能にし、クリーンルーム
内における空調変化を排除した施工が容易で且つ省スペ
ース化を実現する空気清浄設備及び同清浄設備に最適な
バイパスファンユニットを提供する。 【構成】クリーンルーム１と空調機ＡＣとの間にダクト
を介して設置され、前記空調機ＡＣの送風部と吸気部に
それぞれ接続される吸気口３ｇと排気口３ｆを有するバ
イパスファンユニットＢＵを備え、前記バイパスファン
ユニットＢＵは、クリーンルーム１から排出される空気
を前記空調機ＡＣと前記バイパスファンユニットＢＵ内
に縦置きで設置された送風機５とに分配する第１空気通
路４ａと、前記空調機ＡＣの送風部と前記送風機５とを
連絡する第２空気通路７ａと、前記第１空気通路４ａ内
に少なくとも一つの風量調整ダンパー８ａ，８ｂを有
し、大風量を必要とするクリーンルーム１においても、
空調機ＡＣに過度な負荷がかからず、その能力を最大限
利用できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームに適用さ
れる空気清浄設備と、同空気清浄設備の構成要素となる
バイパスファンユニットに関し、更に詳しくは施工が簡
単で且つ同一容量の空調機を使い、クリーンルームの多
様な容量等に対応した清浄空気を送り出すことを可能に
した空気清浄設備と同空気清浄設備用のバイパスファン
ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種クリーンルーム用の空気清
浄設備としては、空調機、フィルターボックス、送風フ
ァン、風量調節部などが独立して製作され、それぞれが
風道（ダクト）を介して連結されるのが一般的である。
この場合、その施工に長時間を要するばかりでなく、設
置のためには大きな施工スペースが必要となり、製作費
や施工費が嵩むうえに、仕上げが煩雑となるため、その
ための独立した機械室を設ける場合が多い。このように
機械室が独立して設けられる場合にも、施工時間、施工
スペース、施工費等は相変わらず低減されることはな
く、機械室の設置のために却って不利を招くことが多く
なる。

【０００３】かかる不具合をなくすための一つの提案と
して、例えば特公平２−５３６９４号公報に開示されて
いる空気清浄設備のユニット化がある。この公報によれ
ば、清浄設備ケーシング内に空調機、送風機及びフィル
ターを設置してユニット化し、該空気清浄ユニットをク
リーンルームの外壁に取り付けるものである。しかし
て、該空気清浄ユニットは、前面の上部に空気吹出口が
形成され、同下部に空気吸込み口が形成された、およそ
外壁の高さに等しい高さをもつ清浄設備ケーシングの下
部から上方にかけて、空調機、送風機及びフィルターを
順に配設し、クリーンルームの下部から前記空気吸込み
口を通して吸い込まれるクリーンルーム内の空気を前記
空調機により空調したあと、送風機により上方に送り、
フィルターを通して清浄空気にしたのち、この空調され
て清浄になった空気を前記空気吹出口からクリーンルー
ムの上部に吹き出すようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ームに適用される空調機の機能は、温湿度の制御及び発
塵の除去の二つである。前記温湿度の制御能力は空調機
内に配される熱交換器の容量により決まり、前記発塵の
除去は同じく空調機内に配されるフィルター能力により
決まる。

【０００５】しかして、上記公報に開示された一体型の
空気清浄ユニットにおいては、空気清浄能力はユニット
内に設置される熱交換器の容量とフィルター能力により
一義的に決まり、独立して発生する温湿度の変動と発塵
の変動に対応して適正な温湿度の制御及び発塵の除去と
いう異なる要因を同時に満足させることは極めて困難で
あり、前記空気清浄ユニットの敷設時においては前記要
因の何れに重点をおくかにより内部に設置する熱交換器
の容量とフィルター能力が左右され、施工の都度その能
力に応じた機種を選定してユニット内に組み込む必要が
あり、汎用性に乏しいものである。特に、高清浄度を必
要とするクリーンルームや、広い空間を有するクリーン
ルームを清浄する場合にあっては、エアの交換が大風量
にて行われる必要があり、上記ユニットでは異なる上記
要因を同時に満足させることは更に困難なものとなる。

【０００６】本発明は上記課題に鑑み開発されたもので
あり、その目的は熱交換器に過度な負荷をかけることな
く空調機の重要な機能である温湿度の制御及び発塵の除
去という異なる要因に適切に対応できる空気清浄設備を
提供すると共に、同設備に適用され構造が簡単で最小限
のスペースに設置でき、施工が容易に行える汎用性の高
いバイパスファンユニットを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明はクリーンルーム室内の空気を、室外に設置
される空調機を介して室内外に循環させ、高精度フィル
ターを通して室内に清浄な空気を導入するクリーンルー
ム用空気清浄設備において、前記クリーンルームと前記
空調機との間にダクトを介して設置され、前記空調機の
送風部と吸気部にそれぞれ接続される吸気口と排気口を
有するバイパスファンユニットを備え、前記バイパスフ
ァンユニットは、クリーンルームから排出される空気を
前記空調機と前記バイパスファンユニット内に設置され
た送風機とに分配する第１空気通路と、前記空調機の送
風部と前記送風機とを連絡する第２空気通路とを有して
なることを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明のバイパスファンユニット
は、クリーンルームと空調機との間に設置され、室内の
空気を前記空調機を介して室内外に循環させ、室内を清
浄に維持するクリーンルーム用空気清浄設備に適用さ
れ、前記クリーンルームの排気口及び吸気口にそれぞれ
接続される第１吸気口及び第１排気口を有すると共に、
前記空調機の吸気部及び送気部にそれぞれ接続される第
２排気口及び第２吸気口を有するケーシングと、該ケー
シング内に設置される送風機と、前記第１排気口の内側
に装着されるフィルターとを備え、前記第１吸気口に通
じる第１空気通路は前記第２排気口と前記送風機とに分
岐され、前記第２吸気口に通じる第２空気通路は前記送
風機と連絡してなり、前記第１及び第２空気通路はそれ
ぞれ独立してなることを特徴とするものである。

【０００９】好適には、前記送風機に通じる空気分岐路
内に風量調整手段が装備される。そして、上記構成を具
体的に述べると、前記送風機が縦置きに設置され、前記
送風機の設置部が防振構造とされており、ケーシング内
部は消音構造であり、前記ケーシングの内部が３室に区
画され、その第１室は第１空気通路を構成し、第２室は
前記送風機が設置されると共に前記第２空気通路を構成
し、第３室は前記フィルターが設置された前記送風機か
らの送風路を構成する。

【００１０】

【作用】バイパスファンユニット、空調機及び外気処理
ユニットが作動すると、クリーンルーム内の空気が第１
室に吸入され、その吸入された空気の一部が送風機に送
り込まれ、また前記吸入された空気の一部は空調機に吸
引される。なお、送風機に通じる空気分岐路内に第１の
風量調整手段を装備し、また空調機に通じる空気分岐路
内に第２の風量調整手段を装備する場合は、前記第１の
風量調整手段によって適正な風量が送風機に送り込まれ
ると共に、空調機にも第２の風量調整手段により適正な
風量とされる。例えば、クリーンルームから排出される
風量が空調機の能力を上回る風量である場合には、上記
各風量調節手段が作動して前記風量を適正に分配し、空
調機に過度な負荷がかからないようにする。勿論、クリ
ーンルームから排出される風量が空調機の能力を下回る
風量である場合には、送風機に送られる風量を最小と
し、同時に前記風量のほとんどを空調機に送り込むよう
にする。

【００１１】前記空調機に送られた空気は、外気処理ユ
ニットから補充される空気と共に空調機により空調され
て、その送気部からケーシングの第２室に送り込まれ
る。この空調された空気は第２空気通路を通り、第１室
から開口を介して直接送風機に送り込まれる空気と同送
風機で合流し、その送風口から第３室へと送り出され
る。送風機により第３室に送り込まれた空気はフィルタ
ーを通り、除塵されてクリーンルーム１に吹き出され
る。

【００１２】上述のごとく本発明の空気清浄設備は、空
調機と送風機とをそれぞれ独立させると共に、クリーン
ルームから排出される空気を、一旦は送風機と空調機と
に風量調節手段を介して適正に分配し、その後で空調機
を通して空調された空気を送風機に戻し、第１室から送
風機に直接送り込まれる空気と混合した状態でフィルタ
ーに送り、同フィルターを通して清浄な空気をクリーン
ルームに吹き出させるようにしているため、クリーンル
ームの清浄度条件に適応させて空調機に通す適正な風量
が決定され、しかも空調機に送られて空調された空気は
送風機に戻されて、直接送風機に送り込まれた空気と合
流されてクリーンルームに送るため、クリーンルームに
送られる空気の総量は従来と何ら変わるところがない。
従って、空調機には過負荷がかからない適正な風量とな
るようにきめ細かな制御が可能となるため、クリーンル
ームの室内温度などを変化させることをなくすことが可
能となる。

【００１３】また、上記実施例のごとく送風機を縦置き
に設置すると、横置きに比べて設置スペースが少なくな
り、しかも送風機の側方に仕切板を介してフィルターが
設置できるため、フィルターに直接空気を当てずに済
み、各フィルターの通気にバラツキを生じさせず均質な
送風ができるし、壁面に消音材を取り付ける場合は送風
機５からの送風が一度消音材に当たってからなされるた
めに消音効果も大きい。

【００１４】

【実施例】以下、本発明のクリーンルームにおける空気
清浄設備と同清浄設備に適用されるバイパスファンユニ
ットの好適な実施例を添付図面を参照しながら具体的に
説明する。

【００１５】図１は本発明の空気清浄設備が設置された
クリーンルームの全容をバイパスファンユニットを中心
に示す概略図である。同図において、符号１はクリーン
ルームであり、該クリーンルーム１の側壁部には室外側
に本発明の空気清浄設備ＣＥがダクト２ａ，２ｂを介し
て設置されている。

【００１６】図示実施例では前記空気清浄設備ＣＥは、
前記バイパスファンユニットＢＵ、空調機ＡＣ及び外気
処理ユニットＯＤを備えている。前記バイパスファンユ
ニットＢＵはクリーンルーム１と前記空調機ＡＣとの間
に配設され、前記外気処理ユニットＯＤは前記空調機Ａ
Ｃと連結される。ここで、前記空調機ＡＣ及び外気処理
ユニットＯＤは従来公知の装置と実質的に同一の装置で
あり、本発明により格別に変更される部分はないので、
その構成に関する詳しい説明は省略する。また、前記バ
イパスファンユニットＢＵの具体的な構成は後に図２に
基づいて詳しく説明するが、ここではその概略構成と空
気の流れとを中心に説明する。

【００１７】前記バイパスファンユニットＢＵは、下面
にキャスター９とストッパー10を備えた全体がボックス
状のケーシング３と、該ケーシング３の内部に設置され
る送風機５及びフィルター６と、ケーシング３の内部空
気通路に配される風量調整ダンパー８とからなり、前記
ケーシング３の内部は水平な仕切壁３ａにより上下に区
画して下部の第１室４ａが形成され、その上部を更に天
板３ｂ−１をもつ仕切壁３ｂにより２室に区画して第２
室４ｂ及び第３室４ｃが形成されており、前記第１室４
ａが本発明の第１空気通路を構成しており、該第１室４
ａと前記第２室４ｂとは前記仕切壁３ａに形成された開
口８により互いに連通しており、前記仕切壁３ｂの天板
３ｂ−１とケーシング３の上壁３ｄとの間には所定の間
隔Ｌが設けられ且つ前記天板３ｂ−１の略中央部には開
口３ｂ’が形成され、前記第２室４ｂ及び第３室４ｃを
前記開口３b'を介して互いに上部で連通させている。ま
た、前記仕切壁３ａに形成された開口８には第１風量調
整ダンパー８ａが装着されており、該第１風量調整ダン
パー８ａは図示せぬ制御盤からの信号を受けて第１室４
ａから第２室４ｂに送られる風量が制御されるようにな
っている。

【００１８】そして、前記ケーシング３の前面（図１の
左側）には、前記第３室４ｃの清浄な空気をクリーンル
ーム１に送り出すための第１排気口３ｅが形成され、ま
た前記第１室４ａにクリーンルーム１内の空気を取り入
れるための第１吸気口３ｆが形成されている。更に、該
ケーシング３の背面（図１の右側）には、空調機ＡＣを
通され空調された空気を上記第２室４ｂに送り込むため
の第２吸気口３ｇが形成されると共に、前記第１室４ａ
の空気の一部を空調機ＡＣに送り込むための第２排気口
３ｈが形成されている。

【００１９】ケーシング３の前面に形成された前記第１
排気口３ｅ及び第１吸気口３ｆは、それぞれダクト２
ａ，２ｂを介してクリーンルーム１の室内と連結され、
ケーシング３の背面に形成された前記第２吸気口３ｇ及
び第２排気口３ｈは、それぞれダクト２ｃ，２ｄを介し
て空調機ＡＣの送気部と吸気部に連結される。

【００２０】ケーシング３の前記第２室４ｂには、縦型
の送風機５が設置されている。該送風機５の設置位置
は、前記仕切壁３ａに形成された開口８の上部で且つ同
第２室４ｂ内で前記第２吸気口３ｇと連通する位置であ
り、該第２吸気口３ｇとの連通路（第２空気通路）７ａ
を通して前記第２吸気口３ｇからの風量の全てが該送風
機５に送り込まれることになる。しかも、送風機５の送
風口が上記天板３ｂ−１の開口３b'の周縁に密着させて
設置される。

【００２１】また、ケーシング３の前面に形成された前
記第１排気口３ｅの内側には、高精度なフィルター６が
取り付けられている。更に、前記第１空気通路をなす開
口７には上述のごとく第１風量調整ダンパー８ａが取り
付けられ、クリーンルーム１から取り入れられた空気の
うち前記送風機５に直接送り込む風量を調節するように
している。更にまた、ケーシング３の前記第２排気口３
ｈと空調機ＡＣの吸気部とを連結するダクト２ｄの内部
には、クリーンルーム１から取り入れられた空気のうち
空調機ＡＣに送る風量を調節するための第２風量調整ダ
ンパー８ｂが取り付けられている。該第２風量調整ダン
パー８ｂは前記第１風量調整ダンパー８ａと同様に、ク
リーンルーム１から取り入れられた空気のうち空調機Ａ
Ｃに直接送り込む風量を自動的に制御できるようになっ
ている。

【００２２】空調機ＡＣには外気処理ユニットＯＤが連
結されており、取り入れる外気に図示せぬプレフィルタ
ー等を用い予備的な清浄化処理を行ってから空調機ＡＣ
に導入するものであり、クリーンルーム１の室内空気圧
の不足分を外気により補うようにしている。

【００２３】なお、図示は省略しているが上記設備には
公知の各種検出器や制御盤が付設されており、同制御盤
からの指令信号に基づいて上記バイパスファンユニット
ＢＵの送風機５及び各風量調整ダンパー８ａ，８ｂは勿
論のこと、空調機ＡＣ、外気処理ユニットＯＤ等の各作
動機器が連動して制御される。また、前記各風量調整ダ
ンパー８ａ，８ｂの開度調整をマニュアルに従い手動操
作により行うようにすることもできる。

【００２４】以上の構成からなる本発明の空気清浄設備
ＣＥをクリーンルーム１に設置するときは、予めバイパ
スファンユニットＢＵ、空調機ＡＣ及び外気処理ユニッ
トＯＤ等を組み込んだ状態で現場に運び込むことも可能
であり、また前記３機を別個に運び込み現場で組み立て
ることも可能である。いずれにしても、公知の手法によ
りそれぞれがユニット化されているバイパスファンユニ
ットＢＵ、空調機ＡＣ及び外気処理ユニットＯＤをダク
トで連結して、更にバイパスファンユニットＢＵをクリ
ーンルーム１にダクトを介して連結するだけで施工が完
了する。

【００２５】次に、本発明に係る上記空気清浄設備ＣＥ
の作用について説明する。クリーンルーム１の清浄度に
関する室内条件が設定条件から外れると、図示せぬ各種
検出器がその現象を検出し、その検出信号が図示せぬ制
御盤に送られ、同制御盤からは予め記憶されたデータに
基づき上記各作動機器に適正な作動指令が発せられて、
必要な作動機器が連動して作動する。

【００２６】バイパスファンユニットＢＵ、空調機ＡＣ
及び外気処理ユニットＯＤが作動すると、ケーシング３
の前面下部に形成された第１吸気口３ｆからクリーンル
ーム１の室内の空気が第１室４ａに吸入され、その吸入
された空気の一部が第１風量調整ダンパー８ａによって
適正な風量とされて、開口７を通して送風機５に直接送
り込まれ、また前記吸入された空気の一部は第２風量調
整ダンパー８ｂによって適正な風量とされ、ダクト２ｄ
を介して空調機ＡＣに吸引される。

【００２７】即ち、クリーンルーム１から排出される空
気はバイパスファンユニットＢＵのケーシング内部で送
風機５に送る分と空調機ＡＣに送る分とに風量を適正に
分配する。例えば、クリーンルーム１から排出される風
量が空調機ＡＣの能力を上回る風量である場合には、上
記各風量調整ダンパー８ａ，８ｂが作動して前記風量を
適正に分配し、空調機ＡＣに過度な負荷がかからないよ
うにする。勿論、クリーンルーム１から排出される風量
が空調機ＡＣの能力に対して、小風量である場合には、
第１風量調整ダンパー８ａの作動により第１室４ａ内か
ら送風機５に送られる風量を最小とし、同時に第２風量
調節ダンパー８ｂを全開にしてそのほとんどを空調機Ａ
Ｃに送り込むようにする。

【００２８】前記空調機ＡＣに送られた空気は、外気処
理ユニットＯＤから補充される空気と共に空調機ＡＣの
内部で空調されて、その送気部からダクト２ｃを通って
ケーシング３の第２室４ｂに送り込まれる。この空調さ
れた空気は上記第２空気通路７ａを通り、第１室４ａか
ら開口７を介して直接送風機５に送り込まれる空気と同
送風機５により混合されて、天板３ｂ−１の開口３ｂ’
から第３室４ｃへと送り出される。送風機５により第３
室４ｃに送り込まれる空気はフィルター６を通り、除塵
されて第１排気口３ｅからダクト２ａを介してクリーン
ルーム１に吹き出される。また、送風機５より送り出さ
れる空気の流れを、ケーシング３の上壁３ｄに対して直
角にあたるように設計すると、送風機５から送り出され
る空気は上壁３ｄにあたり、その反射流との間でより混
合攪拌された空気をクリーンルーム１内に送り込むこと
ができると共に、フィルター６を通してクリーンルーム
１内に送り込まれる空気の流量、風速を安定化させるこ
とが可能となる。

【００２９】上述のごとく本発明の空気清浄設備ＣＥ
は、空調機ＡＣと送風機５とをそれぞれ独立させると共
に、クリーンルーム１から排出される空気を、一旦は送
風機５と空調機ＡＣとに風量調整ダンパー８ａ，８ｂを
介して適正に分配し、その後で空調機ＡＣを通して空調
された空気を送風機５に戻し、第１室４ａから送風機５
に直接送り込まれる空気と混合した状態でフィルター６
に送り、同フィルター６を通して清浄な空気をクリーン
ルーム１に吹き出させるようにしているため、クリーン
ルーム１の清浄度条件に適応させて空調機ＡＣに通す適
正な風量が決定され、しかも空調機ＡＣに送られて空調
された空気は送風機５に戻されて、直接送風機５に送り
込まれた空気と合流されてクリーンルーム１に送るた
め、クリーンルーム１に送られる空気の総量は従来と何
ら変わるところがない。従って、空調機ＡＣには過負荷
がかからない適正な風量となるようにきめ細かな制御が
可能となるため、クリーンルーム１の室内温度などを急
激且つ断続的に変化させることがなくすことが可能とな
る。

【００３０】また、上記実施例のごとく送風機５を縦置
きに設置すると、横置きに比べて設置スペースが少なく
なり、しかも送風機５の側方に仕切板を介してフィルタ
ー６が設置できるため、フィルター６に直接空気を当て
ずに済み、各フィルター６の通気にバラツキを生じさせ
ず均質な送風ができるし、壁面に消音材を取り付ける場
合は送風機５からの送風が一度消音材に当たってからな
されるために消音効果も大きい。

【００３１】更に、図１に仮想線で示すごとく第１室４
ａ内にもフィルター６を設けることにより、送風機５及
び第３室４ｃに設けられたフィルター６に付着する塵を
軽減することができ、この第１室４ａ内のフィルター６
の設置位置は限定されないが、開口部７よりも第１吸気
口３ｆ側に垂直に設置することがより好ましい。

【００３２】図２は上記空気清浄設備ＣＥに適用される
に好適な構成をもつ本発明に係るバイパスファンユニッ
トＢＵにおける送風機５の取付け構造例を示しており、
同図において図１に付した符号と同一符号が付されてい
る部分は同一部分、すなわち３はケーシング、３ａ，３
ｂは仕切板、３ｂ−１は天板、３ｂ’は開口、３ｆは第
１吸気口、３ｈは第２吸気口、４ａは第１室、４ｂは第
２室、４ｃは第３室、５は送風機、７は開口（第１空気
通路）、７ａは第２空気通路、８ａは第１ダンパーであ
る。

【００３３】図２に示される送風機５の取付構造例によ
ると、第２室４ｂを形成するケーシング３の内壁面と仕
切板３ｂの内壁面には、縦型の送風機５の側面を上下で
支持するために先端部に図示せぬ縦長の長孔をもつ支持
ブラケット１１が複数個（図示例では、２×４個）突設
されており、また第１室４ａと第２室４ｂを区画する仕
切板３ａの開口７の周縁上面にもＺ字状の複数個（図示
例では、４個）の支持ブラケット１２が立設されてい
る。該各支持ブラケット１２の上端に形成されたボルト
挿入孔には、ドーナッツ状の中間板材１３の下面に頭部
を固着した調節ボルト１２ａの下端がナットを介して挿
入されており、更に前記中間板材１３の上面にコ字状断
面のリング状枠体15をゴム等からなるサイコロ状の緩衝
材１４を介して、両者の間隔を変更可能となるようにボ
ルト１７により連結している。前記緩衝材１４は防振機
能を有しているが、必ずしも設置する必要はない。前記
コ字状断面のリング状枠体15の上面にはドーナッツ状の
支持板材１５を固着されており、該ドーナッツ状の支持
板材１５は送風機５の吸気部を除く下面外周部に嵌着で
きるように構成されている。また、上記第２室４ｂの天
板３ｂ−１に形成された開口３ｂ’の内側周縁には、同
開口３ｂ’を包囲してリング状のゴム材等からなるパッ
キング材１８が固着されている。一方、前記送風機５の
側面には前記支持ブラケット１１に対応する部分にボル
ト挿入孔が形成された係着部材１９が突設されている。

【００３４】なお、図中の符号２０は消音材であり、ケ
ーシング３の内壁面及び仕切板に貼着されており、また
図示しないが前記支持ブラケット１１と係着部材１９の
合せ面のいずれかに防振ゴムが必要に応じて取り付けら
れる。更に、送風機５とフィルター６とを連絡する空気
通路の途中にパンチングメタル等の邪魔板を介在させる
と、直接フィルター６に当たるのを防止でき、フィルタ
ー６の全面から空気を吹き出させることが可能となると
共に、消音効果も期待できる。

【００３５】かかる構成において送風機５を第２室４ｂ
に設置するときは、まず上記調節ボルト１２ａを操作し
て中間板材１３を下方に下げておき、送風機５の上面を
上記シール部材１８に当接させながら、上記ドーナッツ
状の支持板材１５の中央開口部に送風機５の下面吸気部
を嵌着すると共に、送風機５の各係着部材１９のボルト
挿入孔を対応する支持ブラケット１１の長孔に合わせて
から両孔にボルトを挿入してナットにより仮止めする。

【００３６】次いで、上記調節ボルト１２ａを操作して
中間板材１３を上方に移動させると、中間板材１３とコ
字状断面のリング状枠体15との間に介在する緩衝材１４
が圧縮されると同時に支持板材１５が上方に押し上げら
れ、送風機５の上面がシール部材１８を圧縮し、送風機
５の送風部と第２室４ｂとの間を完全に遮断する。この
とき、上記支持ブラケット１１と係着部材１９は仮止め
の状態にあるため、支持ブラケット１１に対して係着部
材１９が容易に移動する。前記パッキング材１８により
送風機５の送風部と第２室４ｂとの間が完全に遮断され
た時点で、仮止めしているナットを締付けて前記支持ブ
ラケット１１と係着部材１９を強固に固定し、送風機５
の設置が終了する。なお、図示例では前記支持ブラケッ
ト１１と係着部材１９とを縦長の長孔を介して両者の垂
直方向の相対的な位置調節を可能にしているが、水平方
向の位置調節も、例えば前記長孔の横幅を多少広めに設
定すれば同様に行うことが可能である。

【００３７】図３は、クリーンルーム１に上記構成から
なる複数のバイパスファンユニットＢＵを多連に設置し
た例を示しており、この例では並設された複数のバイパ
スファンユニットＢＵが単機の空調機ＡＣを共用するよ
うにしており、クリーンルーム１の容量が大きく単機の
バイパスファンユニットＢＵでは送風能力に限界が有る
ような場合に有効である。この場合の施工にあたって
は、各バイパスファンユニットＢＵには上述のごとく下
面にキャスター９が付設してあるため移動が容易であ
り、更にはストッパー１０が設けられているため位置固
定も容易にできる利点がある。

【００３８】

【発明の効果】以上詳しく説明した如く本発明の空気清
浄設備は、送風機とフィルターを一ユニットにして空調
機から独立させ、同時にクリーンルームから排出される
空気を風量調節手段を介して、空調機には能力に応じた
適量を給気すると共に、余剰の空気を直接送風機に送り
込み、更に空調機にて空調された空気を前記送風機に戻
すようにしているため、次のような広範かつ有用な効果
が得られる。

【００３９】（１）施工が容易である。 （２）クリーンルームとして、機械室に限らず事務所等
にも設置が可能である。 （３）大風量を必要とするクリーンルームにおいても、
空調機に過度な負荷がかからず、その能力が最大限利用
できる。 （４）クリーンルーム内の清浄度（塵芥、温湿度等）に
変化をもたらさない。 （５）省スペース化が図れる。

【００４０】（６）ユニットの規格化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の空気清浄設備を備えたクリーンルーム
の概略構成図である。

【図２】同設備の一ユニットであるバイパスファンユニ
ットに設置される送風機の設置部を示す断面図である。

【図３】本発明のバイパスファンユニットを多連に設置
したシステム図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ２ａ〜２ｅ ダクト ３ ケーシング ３ａ，３ｂ 仕切壁 ３ｄ 上壁 ３ｅ 第１排気口 ３ｆ 第１吸気口 ３ｇ 第２吸気口 ３ｈ 第２排気口 ４ａ 第１室（第１空気通路） ４ｂ 第２室（送風機設置室、第２空気通
路） ４ｃ 第３室 ５ 送風機 ６ フィルター ７ 開口 ７ａ 第２空気通路 ８ａ 第１送風量調整ダンパー ８ｂ 第２送風量調整ダンパー ９ キャスター １０ ストッパー １１，１２ 支持ブラケット １２ａ 調節ボルト １３ 中間板材 １４ 緩衝材 １５ 支持板材 １７ ボルト １８ パッキング材 １９ 係着部材 ２０ 消音材

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 室内の空気を、室外に設置される空調機
   （ＡＣ）を介して室内外に循環させ、高精度フィルター
   （６）を通して室内に清浄な空気を導入するクリーンル
   ーム用空気清浄設備において、 前記クリーンルーム（１）と前記空調機（ＡＣ）との間
   にダクトを介して設置され、前記空調機（ＡＣ）の送風
   部と吸気部にそれぞれ接続される吸気口（３ｇ）と排気
   口（３ｈ）を有するバイパスファンユニット（ＢＵ）を
   備え、 前記バイパスファンユニット（ＢＵ）は、クリーンルー
   ム（１）から排出される空気を前記空調機（ＡＣ）と前
   記バイパスファンユニット（ＢＵ）内に設置された送風
   機（５）とに分配する第１空気通路（４ａ）と、前記空
   調機（ＡＣ）の送風部と前記送風機とを連絡する第２空
   気通路（７ａ）とを有してなることを特徴とするクリー
   ンルーム用空気清浄設備。
2. 【請求項２】 前記送風機が縦置きに設置されてなる請
   求項１記載の空気清浄設備。
3. 【請求項３】 少なくとも前記送風器への分配路に空気
   量調整手段が配設されてなる請求項１記載の空気清浄設
   備。
4. 【請求項４】 クリーンルーム（１）と空調機（ＡＣ）
   との間に設置され、室内の空気を前記空調機（ＡＣ）を
   介して室内外に循環させ、室内を清浄に維持するクリー
   ンルーム用空気清浄設備に適用されるバイパスファンユ
   ニット（ＢＵ）であって、 前記クリーンルーム（１）の排気口及び吸気口にそれぞ
   れ接続される第１吸気口（４ｅ）及び第１排気口を有す
   ると共に、前記空調機の吸気部及び送気部にそれぞれ接
   続される第２排気口及び第２吸気口を有するケーシング
   と、該ケーシング内に設置される送風機と、前記第１排
   気口の内側に装着されるフィルターとを備え、 前記第１吸気口に通じる第１空気通路は前記第２排気口
   と前記送風機とに分岐され、前記第２吸気口に通じる第
   ２空気通路は前記送風機と連絡してなり、前記第１及び
   第２空気通路がそれぞれ独立してなることを特徴とする
   クリーンルームの空気清浄設備用バイパスファンユニッ
   ト。
5. 【請求項５】 前記送風機が縦置きに設置されてなる請
   求項４記載の空気清浄設備用バイパスファンユニット。
6. 【請求項６】 少なくとも前記送風機への分岐路内に風
   量調整手段を有してなる請求項４記載の空気清浄設備用
   バイパスファンユニット。
7. 【請求項７】 前記送風機の設置部が防振構造とされて
   なり、ケーシング内部が消音構造とされてなる請求項４
   記載の空気清浄設備用バイパスファンユニット。
8. 【請求項８】 前記ケーシングの内部が３室に区画さ
   れ、その第１室は第１空気通路を構成し、第２室は前記
   送風機が設置されると共に前記第２空気通路を構成し、
   第３室は前記フィルターが設置された前記送風機からの
   送風路を構成してなる請求項４記載の空気清浄設備用バ
   イパスファンユニット。
9. 【請求項９】 前記第１室の吸気口内側にフィルターを
   設けてなる請求項８記載の空気清浄設備用バイパスファ
   ンユニット。