JPH0523814B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0523814B2 JPH0523814B2 JP1338271A JP33827189A JPH0523814B2 JP H0523814 B2 JPH0523814 B2 JP H0523814B2 JP 1338271 A JP1338271 A JP 1338271A JP 33827189 A JP33827189 A JP 33827189A JP H0523814 B2 JPH0523814 B2 JP H0523814B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- treatment
- fluorides
- gas
- nitrogen oxides
- temperature
- Prior art date
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- Treating Waste Gases (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、NF3の除害方法に係り、特にHF、
SiF4、F2等の弗化物及び／又は窒素酸化物が共
存しているガス中から、NF3を効率よく分解除去
することのできるNF3の除害方法に関する。 〔従来の技術〕 NF3はロケツト燃料のほか、最近では超LSIの
エツチングガスやCVDのクリーニングガスとし
て使用されている。しかしながらこのガスは常温
できわめて安定であると同時に水に対する浴解度
も低く、かつまたTLV値が10ppmとされており、
除害すべきではあるが処理困難な物質の１つであ
る。 NF3の除害方法としては、(1)炭素塊と300〜600
℃で反応させる方法（特開昭62−237929号公報）、
(2)金属チタンと200℃以上の温度で接触させる方
法（特開昭61−287424号公報）、(3)金属シリコン
と100℃以上で反応させる方法（特開昭63−12322
号公報）、(4)金属タングステンないし金属モリブ
デンと250℃以上の温度で接触させる方法（特開
昭62−225228号公報）がある。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来技術はいずれも単体とNF3を高温で反応さ
せる方法を採用しているが、一般的にNF3を含む
排ガスは弗化物等を含む場合が多く、そのような
場合には弗化物等により処理剤が消耗しNF3処理
容量が低下する。 処理剤としてSi、Ｗ、Ti、SiO2等を使用した
場合にはその弗化物が、また、活性炭等を使用し
た場合にはHFや窒素酸化物が生成し、いずれの
場合も、さらに、これらの反応生成物を処理する
ためのガス処理工程が必要となる。 そこで、本発明は、上記のような問題点のな
い、弗化物とか窒素酸化物が共存していてもNF3
処理容量の低下がなく、また副生ガスの心配のな
いNF3の除害方法を提供することを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明では、
HF、SiF4、F2等の弗化物及び／又は窒素酸化物
とNF3とを含むガスを、収着剤により処理した
後、残留するNF3を250℃以上の温度で、繊維状
の金属鉄又は金属銅と反応させることを特徴とす
るNF3の除害方法としたものである。 すなわち、本発明は、弗化物及び／又は窒素酸
化物とNF3を含むガスを処理するにあたつてまず
初めに、活性炭、アルミナ、シリカゲル、モレキ
ユラシーブ、CuO、MnO2、ホプカライト、Ca
（OH）2、CaO、MgO、Mg（OH）2等からなる収着
剤により、弗化物、窒素酸化物を処理し、しかる
後に、残留するNF3を処理することにより、弗化
物等による処理剤の消耗をなくした。 NF3処理剤として、当該金属の弗化物の融点が
NF3との反応温度以上である金属鉄又は金属銅を
用いて、NF3を反応させ分解除去することによ
り、処理後のガス中には反応生成物が存在せず、
それ以上の除害工程を必要としない。 NF3処理剤である金属鉄又は金属銅を繊維状に
成形することにより、処理剤とNF3との接触面積
を増やし処理効率を上げることができる。 〔作 用〕 フツ化物及び／又は窒素酸化物とNF3を含むガ
スを、活性炭、アルミナ、シリカゲル、モレキユ
ラシーブ、CuO、MnO2、ホプカライト、Ca
（OH）2、CaO、MgO、Mg（OH）2等の収着剤によ
り、フツ化物、窒素酸化物を処理し、しかる後
に、残留するNF3を処理することにより、フツ化
物等によるNF3処理剤の消耗をなくし、安定した
NF3処理性能を実現した。 NF3処理剤として、当該金属のフツ化物の融点
がNF3との反応温度以上である金属鉄又は金属銅
を用いて、250℃以上当該金属の融点以下で、
NF3を処理することにより、反応により生成した
金属フツ化物は気化することなく、処理装置内に
捕捉される。したがつて、NF3処理後のガスは無
害化されており、さらに処理工程を設ける必要が
ない。 なお、鉄及び銅のフツ化物の融点は、フツ化第
一鉄（FeF2）、フツ化第二鉄（FeF3）がともに融
点1000℃以上、フツ化銅（）（CuF）が融点908
℃、昇華点1100℃、フツ化銅（）（CuF2）が融
点950℃である。したがつて、反応温度はこれら
の融点以下、例えば800℃以下に設定するのがよ
い。 NF3処理剤の形状を、繊維状にすることによ
り、処理剤とNF3との接触面積を増やし、処理効
率を上げた。また、繊維状であるので空気抵抗が
低く、圧力損失が少ない。 繊維の形状としては、１mmφ以下、好ましくは
100μmφ以下とし、長さは適宜調節できる。 〔実施例〕 以下、実施例により本発明を具体的に説明する
が、本発明は、これらの実施例に限定されるもの
ではない。 実施例 １ 40mmφのSuS製容器（高さ120mm）に層高100mm
になるよう繊維状（40〜100μmφ）に成形した鉄
を充填し、処理剤層の中心温度が350℃±50℃に
なるよう外部からヒータで加熱し、三弗化窒素
2vol％、窒素98vol％の組成を有する混合ガスを
0.5／minの流量にて導入し、８時間連続して
処理を行つた。 連続処理時間中排ガスのNF3濃度は10ppm以
下、窒素酸化物は1ppm以下、フツ素分は3ppmppm
以下であつた。 比較例 １ 処理剤として、繊維状の鉄に代えて、粒状鉄
（８〜16メツシユ）を用いた以外は、実施例１と
同様に処理した。 その結果を実施例１と共に表１に示す。表１で
は処理後のガス中のNF3濃度（ppm）と処理時間
の関係を示している。
SiF4、F2等の弗化物及び／又は窒素酸化物が共
存しているガス中から、NF3を効率よく分解除去
することのできるNF3の除害方法に関する。 〔従来の技術〕 NF3はロケツト燃料のほか、最近では超LSIの
エツチングガスやCVDのクリーニングガスとし
て使用されている。しかしながらこのガスは常温
できわめて安定であると同時に水に対する浴解度
も低く、かつまたTLV値が10ppmとされており、
除害すべきではあるが処理困難な物質の１つであ
る。 NF3の除害方法としては、(1)炭素塊と300〜600
℃で反応させる方法（特開昭62−237929号公報）、
(2)金属チタンと200℃以上の温度で接触させる方
法（特開昭61−287424号公報）、(3)金属シリコン
と100℃以上で反応させる方法（特開昭63−12322
号公報）、(4)金属タングステンないし金属モリブ
デンと250℃以上の温度で接触させる方法（特開
昭62−225228号公報）がある。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来技術はいずれも単体とNF3を高温で反応さ
せる方法を採用しているが、一般的にNF3を含む
排ガスは弗化物等を含む場合が多く、そのような
場合には弗化物等により処理剤が消耗しNF3処理
容量が低下する。 処理剤としてSi、Ｗ、Ti、SiO2等を使用した
場合にはその弗化物が、また、活性炭等を使用し
た場合にはHFや窒素酸化物が生成し、いずれの
場合も、さらに、これらの反応生成物を処理する
ためのガス処理工程が必要となる。 そこで、本発明は、上記のような問題点のな
い、弗化物とか窒素酸化物が共存していてもNF3
処理容量の低下がなく、また副生ガスの心配のな
いNF3の除害方法を提供することを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明では、
HF、SiF4、F2等の弗化物及び／又は窒素酸化物
とNF3とを含むガスを、収着剤により処理した
後、残留するNF3を250℃以上の温度で、繊維状
の金属鉄又は金属銅と反応させることを特徴とす
るNF3の除害方法としたものである。 すなわち、本発明は、弗化物及び／又は窒素酸
化物とNF3を含むガスを処理するにあたつてまず
初めに、活性炭、アルミナ、シリカゲル、モレキ
ユラシーブ、CuO、MnO2、ホプカライト、Ca
（OH）2、CaO、MgO、Mg（OH）2等からなる収着
剤により、弗化物、窒素酸化物を処理し、しかる
後に、残留するNF3を処理することにより、弗化
物等による処理剤の消耗をなくした。 NF3処理剤として、当該金属の弗化物の融点が
NF3との反応温度以上である金属鉄又は金属銅を
用いて、NF3を反応させ分解除去することによ
り、処理後のガス中には反応生成物が存在せず、
それ以上の除害工程を必要としない。 NF3処理剤である金属鉄又は金属銅を繊維状に
成形することにより、処理剤とNF3との接触面積
を増やし処理効率を上げることができる。 〔作 用〕 フツ化物及び／又は窒素酸化物とNF3を含むガ
スを、活性炭、アルミナ、シリカゲル、モレキユ
ラシーブ、CuO、MnO2、ホプカライト、Ca
（OH）2、CaO、MgO、Mg（OH）2等の収着剤によ
り、フツ化物、窒素酸化物を処理し、しかる後
に、残留するNF3を処理することにより、フツ化
物等によるNF3処理剤の消耗をなくし、安定した
NF3処理性能を実現した。 NF3処理剤として、当該金属のフツ化物の融点
がNF3との反応温度以上である金属鉄又は金属銅
を用いて、250℃以上当該金属の融点以下で、
NF3を処理することにより、反応により生成した
金属フツ化物は気化することなく、処理装置内に
捕捉される。したがつて、NF3処理後のガスは無
害化されており、さらに処理工程を設ける必要が
ない。 なお、鉄及び銅のフツ化物の融点は、フツ化第
一鉄（FeF2）、フツ化第二鉄（FeF3）がともに融
点1000℃以上、フツ化銅（）（CuF）が融点908
℃、昇華点1100℃、フツ化銅（）（CuF2）が融
点950℃である。したがつて、反応温度はこれら
の融点以下、例えば800℃以下に設定するのがよ
い。 NF3処理剤の形状を、繊維状にすることによ
り、処理剤とNF3との接触面積を増やし、処理効
率を上げた。また、繊維状であるので空気抵抗が
低く、圧力損失が少ない。 繊維の形状としては、１mmφ以下、好ましくは
100μmφ以下とし、長さは適宜調節できる。 〔実施例〕 以下、実施例により本発明を具体的に説明する
が、本発明は、これらの実施例に限定されるもの
ではない。 実施例 １ 40mmφのSuS製容器（高さ120mm）に層高100mm
になるよう繊維状（40〜100μmφ）に成形した鉄
を充填し、処理剤層の中心温度が350℃±50℃に
なるよう外部からヒータで加熱し、三弗化窒素
2vol％、窒素98vol％の組成を有する混合ガスを
0.5／minの流量にて導入し、８時間連続して
処理を行つた。 連続処理時間中排ガスのNF3濃度は10ppm以
下、窒素酸化物は1ppm以下、フツ素分は3ppmppm
以下であつた。 比較例 １ 処理剤として、繊維状の鉄に代えて、粒状鉄
（８〜16メツシユ）を用いた以外は、実施例１と
同様に処理した。 その結果を実施例１と共に表１に示す。表１で
は処理後のガス中のNF3濃度（ppm）と処理時間
の関係を示している。
本発明によれば、NF3の除害処理において
SiF4、F2等のフツ化物収着剤及び／又は窒素酸
化物等が共存してもこれらの妨害をうけることな
くNF3を効率よく除去することができる。
SiF4、F2等のフツ化物収着剤及び／又は窒素酸
化物等が共存してもこれらの妨害をうけることな
くNF3を効率よく除去することができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ HF，SiF4，F2等の弗化物及び／又は窒素酸
化物とNF3とを含むガスを、収着剤により処理し
た後、残留するNF3を、250℃以上の温度で、繊
維状の金属鉄又は金属銅と反応させることを特徴
とするNF3の除害方法。 ２ 収着剤が、活性炭、アルミナ、シリカゲル、
モレキユラシーブ、CuO、MnO2、ホプカライ
ト、Ca（OH）2、CaO、MgO、Mg（OH）2から選
ばれた１種以上からなる請求項１記載のNF3の除
害方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1338271A JPH03202128A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Ｎｆ↓３の除害方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1338271A JPH03202128A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Ｎｆ↓３の除害方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03202128A JPH03202128A (ja) | 1991-09-03 |
| JPH0523814B2 true JPH0523814B2 (ja) | 1993-04-05 |
Family
ID=18316556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1338271A Granted JPH03202128A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Ｎｆ↓３の除害方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03202128A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09267027A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化剤 |
| JP4675148B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-04-20 | 昭和電工株式会社 | フッ素化合物含有ガスの処理方法及び処理装置 |
| JP2010194416A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-09 | Central Glass Co Ltd | Ｎｆ３の分解方法およびその方法を用いる装置 |
| KR20120035755A (ko) * | 2010-10-06 | 2012-04-16 | 삼성전기주식회사 | 적응형 지연 조절 기능이 구비된 데이터 인터페이스 장치 |
| JP2013086088A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-13 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ハロゲン化物粒子を含むガスの除害方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161619A (ja) * | 1984-09-04 | 1986-03-29 | Asahi Glass Co Ltd | 排ガスの処理方法 |
| JPS61204025A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Central Glass Co Ltd | Ｎｆ↓３の除害方法 |
| JPS61287424A (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-17 | Showa Denko Kk | 窒素弗化物の処理方法 |
| JPS62289222A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-16 | Ube Ind Ltd | 気体吸着捕捉装置 |
| JPS6312322A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-19 | Showa Denko Kk | 排ガス処理方法 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1338271A patent/JPH03202128A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03202128A (ja) | 1991-09-03 |
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