JPH05243783A - 電磁波遮蔽パネル - Google Patents
電磁波遮蔽パネルInfo
- Publication number
- JPH05243783A JPH05243783A JP4041279A JP4127992A JPH05243783A JP H05243783 A JPH05243783 A JP H05243783A JP 4041279 A JP4041279 A JP 4041279A JP 4127992 A JP4127992 A JP 4127992A JP H05243783 A JPH05243783 A JP H05243783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic wave
- wave shielding
- panel
- film
- shielding panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Building Environments (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面抵抗が一定で、かつ、特性が安定した電
磁波遮蔽パネルを提供すること。 【構成】 パネル基材１の上に、透明保護膜２、金属膜
３、透明保護膜２からなる電磁波遮蔽膜４を形成した電
磁波遮蔽パネルである。 【効果】 金属膜が空気に露出されていないので、酸化
され難く、電磁波遮蔽パネルとして安定した特性を維持
する。
磁波遮蔽パネルを提供すること。 【構成】 パネル基材１の上に、透明保護膜２、金属膜
３、透明保護膜２からなる電磁波遮蔽膜４を形成した電
磁波遮蔽パネルである。 【効果】 金属膜が空気に露出されていないので、酸化
され難く、電磁波遮蔽パネルとして安定した特性を維持
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子計算機や電子部品使
用機器を用いる分野において、それらの機器から発生す
る電波信号が室内から漏れるのを防いだり、それらの機
器にとって有害な電波の、外部からの侵入を防ぐ必要の
ある場合に用いられる、建築用窓ガラス等の電磁波遮蔽
パネルに関する。
用機器を用いる分野において、それらの機器から発生す
る電波信号が室内から漏れるのを防いだり、それらの機
器にとって有害な電波の、外部からの侵入を防ぐ必要の
ある場合に用いられる、建築用窓ガラス等の電磁波遮蔽
パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密電子測定器等を設置するため
の電磁波遮蔽室は、部屋全体を金属板や金属箔で覆う方
法がとられてきた。また、コンピュータルーム等の窓に
は、金属をコーティングしたネットをはさんだ合わせガ
ラスや、導電性酸化物をコーティングしたガラスを用い
た複層ガラスなどが使われている。
の電磁波遮蔽室は、部屋全体を金属板や金属箔で覆う方
法がとられてきた。また、コンピュータルーム等の窓に
は、金属をコーティングしたネットをはさんだ合わせガ
ラスや、導電性酸化物をコーティングしたガラスを用い
た複層ガラスなどが使われている。
【０００３】電磁波を遮蔽するためには、導電性の材料
で対象物を覆う必要がある。その材料として、金属箔な
どを用いると、シールド性能は良いものの、部屋の外の
光を取り入れることができず、また、室外から部屋内も
見る事ができない。
で対象物を覆う必要がある。その材料として、金属箔な
どを用いると、シールド性能は良いものの、部屋の外の
光を取り入れることができず、また、室外から部屋内も
見る事ができない。
【０００４】この点について解決しようとしたのが、上
記のガラスであるが、金属をコーティングしたネットを
はさんだ合わせガラスは、ネットが邪魔をして、ガラス
のむこう側の像が、はっきり見えない。また、導電性酸
化物をコーティングした場合には、像ははっきり見える
が、必要な性能を得るためには、コーティングを厚くす
る必要があり、光の透過率が悪くなるなどの問題があ
る。
記のガラスであるが、金属をコーティングしたネットを
はさんだ合わせガラスは、ネットが邪魔をして、ガラス
のむこう側の像が、はっきり見えない。また、導電性酸
化物をコーティングした場合には、像ははっきり見える
が、必要な性能を得るためには、コーティングを厚くす
る必要があり、光の透過率が悪くなるなどの問題があ
る。
【０００５】更に、従来この種の電磁波遮蔽パネルとし
ては、透明基材の片面に、インジウム−錫酸化物からな
る金属酸化層を介して形成された導電性金属層であるも
のが知られている。（特開昭６３−１０２９２８号公報
参照）しかしながら、上記従来の電磁波遮蔽パネルとし
ては、最表面に形成された導電性金属層の表面が酸化さ
れ易いといった問題を有しており、公報中に記載の好ま
しい表面抵抗値１〜１０Ω／□程度に維持するのは困難
である。また酸化の度合は、時間の変化にともない変わ
るため、一定のパネル製品等を得るのが困難であるとい
う問題を有している。
ては、透明基材の片面に、インジウム−錫酸化物からな
る金属酸化層を介して形成された導電性金属層であるも
のが知られている。（特開昭６３−１０２９２８号公報
参照）しかしながら、上記従来の電磁波遮蔽パネルとし
ては、最表面に形成された導電性金属層の表面が酸化さ
れ易いといった問題を有しており、公報中に記載の好ま
しい表面抵抗値１〜１０Ω／□程度に維持するのは困難
である。また酸化の度合は、時間の変化にともない変わ
るため、一定のパネル製品等を得るのが困難であるとい
う問題を有している。
【０００６】次に、従来の方法では、コーティングと他
の部材との電気的接触は、カーボンを含有するシーリン
グ材を用いたり、上述の金属コーティングしたネットを
わざとはみ出させたりしていた。これらの方法も、施工
時の作業者の個人差によるバラツキが出やすく、安定し
た性能を確保するのに問題があった。
の部材との電気的接触は、カーボンを含有するシーリン
グ材を用いたり、上述の金属コーティングしたネットを
わざとはみ出させたりしていた。これらの方法も、施工
時の作業者の個人差によるバラツキが出やすく、安定し
た性能を確保するのに問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑み
表面抵抗が一定で、かつ品質が安定した電磁波遮蔽パネ
ルを提供すること及び、電磁波遮蔽特性、光の透過率特
性等に優れた電磁波遮蔽パネルを提供することを目的と
するものである。
表面抵抗が一定で、かつ品質が安定した電磁波遮蔽パネ
ルを提供すること及び、電磁波遮蔽特性、光の透過率特
性等に優れた電磁波遮蔽パネルを提供することを目的と
するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は特許請求の範囲に記載のとおりの電磁
波遮蔽パネルである。
の本発明の構成は特許請求の範囲に記載のとおりの電磁
波遮蔽パネルである。
【０００９】具体的に説明すると本発明は、透明保護膜
として少なくとも１２０Å以上の金属膜と、金属膜と他
の部材との間の電気的導体として、金属単体、もしくは
金属をコーティングした材料を用いた積層ガラスであ
る。
として少なくとも１２０Å以上の金属膜と、金属膜と他
の部材との間の電気的導体として、金属単体、もしくは
金属をコーティングした材料を用いた積層ガラスであ
る。
【００１０】図面を参照して具体的に説明すると、図１
に示すようにパネル基材１の上に、透明保護膜２、金属
膜３、透明保護膜２からなる電磁波遮蔽膜４を形成した
電磁波遮蔽パネルである。
に示すようにパネル基材１の上に、透明保護膜２、金属
膜３、透明保護膜２からなる電磁波遮蔽膜４を形成した
電磁波遮蔽パネルである。
【００１１】本発明の透明導電膜としては、ＩＴＯ、Ｉ
ｎＯX、ＳｎＯXまたはＢｉＯXが挙げられ、金属膜とし
ては、銀、金、銅等の薄膜が挙げられ、それらは、金属
膜のみ、もしくは他の酸化物との積層膜としてガラス上
にコーティングされる。また、金属膜と他の部材との間
の電気的導体としては、銅箔、インジウム、金属メッキ
したプラスチック粒を含有するシーリング材があり、そ
れらの材料単独もしくは複数の組合せによって目的を達
成することができる。
ｎＯX、ＳｎＯXまたはＢｉＯXが挙げられ、金属膜とし
ては、銀、金、銅等の薄膜が挙げられ、それらは、金属
膜のみ、もしくは他の酸化物との積層膜としてガラス上
にコーティングされる。また、金属膜と他の部材との間
の電気的導体としては、銅箔、インジウム、金属メッキ
したプラスチック粒を含有するシーリング材があり、そ
れらの材料単独もしくは複数の組合せによって目的を達
成することができる。
【００１２】本発明の透明保護膜または金属膜は、スパ
ッタリング法、真空蒸着法等の物理的気相蒸着法により
製造することができる。
ッタリング法、真空蒸着法等の物理的気相蒸着法により
製造することができる。
【００１３】一方、電気的導電体の取りつけ方法として
は、銅箔の場合、一面に導電性の粘着剤を有する場合に
は、そのまま透明保護膜にはり付けることができる。ま
た、粘着剤のない銅箔については、インジウムによって
接着することができ、この時、インジウムの酸化膜によ
る接着不良を防止するために、超音波による振動を与え
ることのできるはんだごてを用いたり、不活性雰囲気の
なかで接着する方法がある。
は、銅箔の場合、一面に導電性の粘着剤を有する場合に
は、そのまま透明保護膜にはり付けることができる。ま
た、粘着剤のない銅箔については、インジウムによって
接着することができ、この時、インジウムの酸化膜によ
る接着不良を防止するために、超音波による振動を与え
ることのできるはんだごてを用いたり、不活性雰囲気の
なかで接着する方法がある。
【００１４】以下、実施例によって本発明を具体的に説
明する。
明する。
【００１５】
【実施例】洗浄したガラスをスパッタリング装置内のＩ
ＴＯ、及び銀の複数のターゲットに対向させて配置し
た。スパッタ用電源より取り出される電圧のうち、ター
ゲットには負の電圧が印加されるように配線され、コー
ティング時には、負の電極となるように、一方、正の電
圧はアースされている。また、他方の電極としては、ス
パッタ装置容器を用いており、容器はスパッタ電源の正
の電圧と同じくアースされている。
ＴＯ、及び銀の複数のターゲットに対向させて配置し
た。スパッタ用電源より取り出される電圧のうち、ター
ゲットには負の電圧が印加されるように配線され、コー
ティング時には、負の電極となるように、一方、正の電
圧はアースされている。また、他方の電極としては、ス
パッタ装置容器を用いており、容器はスパッタ電源の正
の電圧と同じくアースされている。
【００１６】前記スパッタ装置内を真空ポンプにて排気
したのち、同装置内にアルゴンガスを供給し、装置内の
ガス圧を０．１ｍｍｂａｒとした。その状態でＩＴＯに
３０００ｖｏｌｔの電圧を印加し、スパッタ蒸着を２０
分間行なった。次に、銀に２７００ｖｏｌｔ印加し、ス
パッタ蒸着を５分間行なった。次に、再度、ＩＴＯに３
０００ｖｏｌｔの電圧を印加し、スパッタ蒸着を３０分
間行なった。
したのち、同装置内にアルゴンガスを供給し、装置内の
ガス圧を０．１ｍｍｂａｒとした。その状態でＩＴＯに
３０００ｖｏｌｔの電圧を印加し、スパッタ蒸着を２０
分間行なった。次に、銀に２７００ｖｏｌｔ印加し、ス
パッタ蒸着を５分間行なった。次に、再度、ＩＴＯに３
０００ｖｏｌｔの電圧を印加し、スパッタ蒸着を３０分
間行なった。
【００１７】こうして作製された電磁波遮蔽パネルを図
２に示すように、電磁波遮蔽膜４が形成された表面を対
向させ、これらの間に端部近傍に合せ材５を配し、パネ
ルの端部は、導電性箔９により被覆させ、供試合せパネ
ルを得た。なお、図２中６は充填剤であり、８は接合
材、７は連結材である。
２に示すように、電磁波遮蔽膜４が形成された表面を対
向させ、これらの間に端部近傍に合せ材５を配し、パネ
ルの端部は、導電性箔９により被覆させ、供試合せパネ
ルを得た。なお、図２中６は充填剤であり、８は接合
材、７は連結材である。
【００１８】また比較のため、１枚のパネルの表面にの
み電磁波遮蔽膜を形成したものについても調べた。
み電磁波遮蔽膜を形成したものについても調べた。
【００１９】ここで両供試合せパネルとも、電磁波遮蔽
膜４の厚さは同じである。電磁波シールド性能の評価
は、ＫＥＣ（関西電子工業振興センター）法によって測
定した。
膜４の厚さは同じである。電磁波シールド性能の評価
は、ＫＥＣ（関西電子工業振興センター）法によって測
定した。
【００２０】得られた電磁波シールド性能は図３の通り
である。図中、実線は両対向面に電磁波遮蔽膜を形成し
た供試合せパネルで、一点鎖線は一方のパネルの表面に
のみ電磁波遮蔽膜を形成した供試合せパネルである。
である。図中、実線は両対向面に電磁波遮蔽膜を形成し
た供試合せパネルで、一点鎖線は一方のパネルの表面に
のみ電磁波遮蔽膜を形成した供試合せパネルである。
【００２１】図３より本願電磁波遮蔽パネルは、優れた
電磁波シールド性能を示すことが分かる。
電磁波シールド性能を示すことが分かる。
【００２２】また、上記本願発明の供試パネルについ
て、ＪＩＳ Ｒ３１０６（板ガラスの透過率、反射率、
日射熱取得率試験方法）により、可視透過率を測定し
た。可視透過率は５４％と、光の透過率の特性に優れた
ものであることが分かる。
て、ＪＩＳ Ｒ３１０６（板ガラスの透過率、反射率、
日射熱取得率試験方法）により、可視透過率を測定し
た。可視透過率は５４％と、光の透過率の特性に優れた
ものであることが分かる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電磁波遮
蔽パネルは表面抵抗が一定で、かつ、電磁波遮蔽特性お
よび光の透過率特性が優れているのでこれを利用して安
定した優れた電磁波遮蔽を実施することができる。
蔽パネルは表面抵抗が一定で、かつ、電磁波遮蔽特性お
よび光の透過率特性が優れているのでこれを利用して安
定した優れた電磁波遮蔽を実施することができる。
【図１】本発明の電磁波遮蔽パネルの構成の一例を示す
断面の模式図。
断面の模式図。
【図２】本発明の電磁波遮蔽パネルを用いた合せパネル
の構成を示す断面の模式図、
の構成を示す断面の模式図、
【図３】上記合せパネルの効果を電界強度と周波数の関
係で示すグラフである。
係で示すグラフである。
１ パネル基材 ２ 透明保護膜 ３ 金属膜 ４ 電磁波遮蔽膜 ５ 合せ材 ６ 充填剤 ７ 連結材 ８ 接合材 ９ 導電性箔
Claims (3)
- 【請求項１】 パネル基材の表面に、透明保護膜、金属
膜、透明保護膜が順次積層されていることを特徴とする
電磁波遮蔽パネル。 - 【請求項２】 透明保護膜がインジウム−錫酸化物、イ
ンジウム酸化物、錫酸化物またはビスマス酸化物の何れ
かであり、金属膜が金、銀または銅の何れかであること
を特徴とする請求項１記載の電磁波遮蔽パネル。 - 【請求項３】 透明保護膜の厚さが２５０〜３５０Å
で、金属膜の厚さが１２０〜１７０Åであることを特徴
とする請求項１または請求項２記載の電磁波遮蔽パネ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4041279A JPH05243783A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 電磁波遮蔽パネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4041279A JPH05243783A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 電磁波遮蔽パネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05243783A true JPH05243783A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12604012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4041279A Pending JPH05243783A (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | 電磁波遮蔽パネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05243783A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100636816B1 (ko) * | 2001-12-19 | 2006-10-20 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 전자파 차폐용 시트 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63265499A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-11-01 | ピルキントン・ピーエルシー | 電磁遮蔽パネル |
| JPH0249198B2 (ja) * | 1985-10-15 | 1990-10-29 | Ito Kensetsu Kk |
-
1992
- 1992-02-27 JP JP4041279A patent/JPH05243783A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249198B2 (ja) * | 1985-10-15 | 1990-10-29 | Ito Kensetsu Kk | |
| JPS63265499A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-11-01 | ピルキントン・ピーエルシー | 電磁遮蔽パネル |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100636816B1 (ko) * | 2001-12-19 | 2006-10-20 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 전자파 차폐용 시트 |
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