JPH0524849B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0524849B2 JPH0524849B2 JP61104562A JP10456286A JPH0524849B2 JP H0524849 B2 JPH0524849 B2 JP H0524849B2 JP 61104562 A JP61104562 A JP 61104562A JP 10456286 A JP10456286 A JP 10456286A JP H0524849 B2 JPH0524849 B2 JP H0524849B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- boron
- boron nitride
- compound
- alkaline earth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 74
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 35
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910021538 borax Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 28
- 239000004328 sodium tetraborate Substances 0.000 claims description 28
- 235000010339 sodium tetraborate Nutrition 0.000 claims description 28
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 24
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 22
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 22
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 claims description 21
- 150000001341 alkaline earth metal compounds Chemical class 0.000 claims description 20
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 20
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N disodium;3,7-dioxido-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3,5,7-tetraborabicyclo[3.3.1]nonane Chemical compound [Na+].[Na+].O1B([O-])OB2OB([O-])OB1O2 UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 17
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 16
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 14
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 12
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 39
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 23
- 239000000047 product Substances 0.000 description 18
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 15
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 15
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 9
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 8
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 8
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 8
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 8
- NVIFVTYDZMXWGX-UHFFFAOYSA-N sodium metaborate Chemical compound [Na+].[O-]B=O NVIFVTYDZMXWGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N sodium oxide Chemical compound [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910001948 sodium oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- -1 alkaline earth metal borate Chemical class 0.000 description 5
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 4
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 3
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 3
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 3
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- WYXIGTJNYDDFFH-UHFFFAOYSA-Q triazanium;borate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]B([O-])[O-] WYXIGTJNYDDFFH-UHFFFAOYSA-Q 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001506 calcium phosphate Substances 0.000 description 2
- 229910000389 calcium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011010 calcium phosphates Nutrition 0.000 description 2
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000000967 suction filtration Methods 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H tricalcium bis(phosphate) Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 2
- XUKUURHRXDUEBC-SXOMAYOGSA-N (3s,5r)-7-[2-(4-fluorophenyl)-3-phenyl-4-(phenylcarbamoyl)-5-propan-2-ylpyrrol-1-yl]-3,5-dihydroxyheptanoic acid Chemical compound C=1C=CC=CC=1C1=C(C=2C=CC(F)=CC=2)N(CC[C@@H](O)C[C@H](O)CC(O)=O)C(C(C)C)=C1C(=O)NC1=CC=CC=C1 XUKUURHRXDUEBC-SXOMAYOGSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010053759 Growth retardation Diseases 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012772 electrical insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000004597 plastic additive Substances 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は焼結特性の優れた六方晶窒化硼素粉末
(以下h−BNと記載する)およびその製造法に
関し、窒化硼素焼結体製造用の原料粉末およびそ
の製造方法に関するものである。 〔従来の技術〕 h−BNは白色の粉体で黒鉛と同様に六方晶の
層状構造であり、多種の特性を有している。特に
熱伝導性、電気絶縁性、耐食性、潤滑性、耐熱
性、機械加工性などが優れており、これらの性質
を生かして多岐の用途に供されている。粉体とし
ての用途にはプラスチツク添加剤、潤滑剤などが
あり、成形体及び複合材としては治具、電気絶縁
材、型材などの用途がある。 このように用途の広いh−BNを合成する方法
は種々開発されているが、現在工業的に採用され
ている方法は、 (1) 硼砂と尿素の混合物をアンモニア雰囲気中で
800℃以上に加熱合成する方法(特公昭38−
1610) (2) 硼酸または酸化硼素と燐酸カルシウムとを混
合し、アンモニア雰囲気中で加熱する方法(特
公昭42−24669) (3) 硼酸と含窒素化合物(尿素、メラミン、ジシ
アンジアミド等)を1600℃以上に加熱する方法
(特公昭48−14559) などが主なものである。 (4) その他に三塩化硼素とアンモニアによる気相
合成法もあるが、原料コストが高いので特殊な
用途の製品を製造する場合に限られる。(特公
昭38−22852) (5) また上記(3)の方法では結晶が成長しないので
この欠点を改良する目的でアルカリ土類金属の
化合物を添加して結晶を成長させる方法(特公
昭41−18570)が提案されている。 (6) さらにh−BNの高純度化方法として硼酸を
原料として粗製h−BNにアルカリ金属を添加
して1000℃以上に加熱する方法(特公昭47−
26600)がある。 上記(1)の方法は原料中の硼砂にナトリウムを多
量に含んでいるために1000℃以上にすると酸化ナ
トリウムの蒸発が始まり、冷却部で凝縮して酸化
ナトリウムの潮解性のため反応炉に使用されてい
る材料を傷つけるので、1000℃以下で一度水洗し
てナトリウム成分を除去する必要がある。このた
め洗浄工程が必要になり工程が複雑になる。 上記(2)の方法も同様に添加した燐酸カルシウム
を酸洗して除去する必要がある。 また上記(3)の方法については1600℃以上の高温
にしないと高純度品が製造できない。 (5)のアルカリ土類金属を添加して結晶を成長さ
せる方法も上記(3)と同様に添加物除去のため酸洗
処理が必要である。 (6)のアルカリ金属化合物を添加して高純度化す
る方法は、粗製h−BNを800℃以上の温度で合
成し、粉砕してアルカリ金属化合物を添加しさら
に成形工程などを経て1000℃以上で加熱するため
に、工程が非常に複雑になる。この方法では粗製
h−BNは純度が80%程度であり高純度とはいえ
ず、高純度化処理によつても残部のB2O3が窒化
されて高純度化するのではなく蒸発除去されるだ
けである。このため原料の硼素の利用率は非常に
低く根本的な解決とは言い難い。 さらに本発明の類似方法として窒化硼素粉末に
アルカリ土類金属の硼酸塩を混合して焼結体製造
用粉末を合成し、この粉末をホツトプレスして焼
結体を製造する方法(特公昭49−40124)がある。
このような窒化硼素粉末に焼結助剤を添加してホ
ツトプレスする方法では、原料となる窒化硼素粉
末の特性が従来品と異なることなく、高純度窒化
硼素では結晶が成長し焼結体製造時異方性が生
じ、低結晶性の窒化硼素では純度が低く焼結助剤
と不純物が多くなり高温特性において劣るという
結果になり何ら根本的解決にはなり得なかつた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 以上のように従来技術で高純度h−BNを得よ
うとすれば高温加熱処理するか、酸洗等の複雑な
工程が必要であつた。また、単に高純度化すれば
結晶も同時に成長し、これらの結晶の大きい窒化
硼素粉末を原料として焼結体を製造すると、高温
での焼結体強度の乏しい、焼結特性の劣る焼結体
しか得られない。 本発明者らは、従来技術の欠点を補うべく鋭意
工夫を重ねた結果、焼結体用原料として、従来の
方法では得られなかつた、優れたh−BN粉末を
製造するに至つた。 本発明の目的は焼結体特性の優れたh−BN粉
末およびその製造方法を提供することにある。 本発明によれば高純度でかつ結晶があまり成長
しておらず、準黒鉛構造をもち、安定化剤として
微細なアルカリ土類金属化合物を均一に含有した
h−BNを得ることができる。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、アルカリ土類金属を硼素1モルに対
し0.0001〜0.1モル含有し、結晶子の大きさが8
〜50nmであり、窒化硼素の純度が95重量%以上
である焼結特性の優れた六方晶窒化硼素粉末であ
る。 このようなh−BNは次の手段によつて製造す
ることができる。 原料として酸素含有硼素化合物と窒素化合物の
混合物を用い、この混合物に炭素質粉末および/
または硼砂類を添加して非酸化性雰囲気中で加熱
する。これにより従来の方法では得られなかつ
た、高純度で、結晶の発達していないh−BN粉
末を製造する。さらに不純物として存在している
酸化硼素あるいはh−BNの結晶の中に取り込ま
れた酸素の安定化剤としてアルカリ土類金属化合
物を上記h−BN粉末中に均一に分散させる。こ
のアルカリ土類金属の均一分散は上記非酸化性雰
囲気中での加熱の前でも後でもよく、この分散に
より焼結特性の優れたh−BN粉末を得ることが
できる。 本発明の製造方法の第1の発明は、酸素含有硼
素化合物と窒素化合物とを混合し、該混合物中の
硼素1モルに対してアルカリ土類金属として
0.0001〜0.1モルのアルカリ土類金属化合物を添
加し、さらに該混合物中の硼素1モルに対して炭
素として0.005〜0.1モルの炭素質粉末および/ま
たは原料の酸素含有硼素化合物に対して無水硼砂
として2.5〜30重量%の硼砂類を添加し、以上の
混合物を常圧下または減圧下の非酸化性雰囲気中
で加熱することを特徴とする。 第2の本発明方法は、酸素含有硼素化合物と窒
素化合物とを混合し、該混合物中の硼素1モルに
対して炭素として0.005〜0.1モルの炭素質粉末を
添加し、以上の混合物を常圧下または減圧下の非
酸化性雰囲気中で加熱して六方晶窒化硼素粉末を
得、該六方晶窒化硼素粉末に該粉末中の硼素1モ
ルに対してアルカリ土類金属として0.0001〜0.1
モルのアルカリ土類金属化合物を混合することを
特徴とする。 第3の発明方法は、酸素含有硼素化合物と窒素
化合物とを混合し、該混合物中の硼素1モルに対
して炭素として0.005〜0.1モルの炭素質粉末、お
よび原料の酸素含有硼素化合物に対して無水硼砂
として2.5〜30重量%の硼砂類を添加し、以上の
混合物を常圧下または減圧下の非酸化性雰囲気中
で加熱して六方晶窒化硼素粉末を得、該六方晶窒
化硼素粉末に該粉末中の硼素1モルに対してアル
カリ土類金属として0.0001〜0.1モルのアルカリ
土類金属化合物を混合することを特徴とする。 第4の発明方法は、酸素含有硼素化合物と窒素
化合物とを混合し、該混合物中の硼素1モルに対
してアルカリ土類金属として0.0001〜0.1モルの
アルカリ土類金属化合物、および前記酸素含有硼
素化合物に対して無水硼砂として2.5〜30重量%
の硼砂類を添加し、以上の混合物を常圧下または
減圧下の非酸化性雰囲気中にて低温加熱して粗製
六方晶窒化硼素粉末を得た後、該粗製六方晶窒化
硼素粉末を洗浄・乾燥することを特徴とする。 そして、第5の発明方法は酸素含有硼素化合物
と窒素化合物とを混合し、該酸素含有硼素化合物
に対して無水硼砂として2.5〜30重量%の硼砂類
を添加し、以上の混合物を常圧下または減圧下の
非酸化性雰囲気中で低温加熱して粗製六方晶窒化
硼素粉末を得た後、該粗製六方晶窒化硼素粉末を
洗浄乾燥し、該乾燥粉末中の硼素1モルに対して
アルカリ土類金属として0.0001〜0.1モルのアル
カリ土類金属化合物を混合することを特徴とする
ものである。 〔作用〕 以下焼結体用原料として最適なh−BN粉末の
製造方法について具体的に作用と共に詳細に説明
する。 硼素源である酸素含有硼素化合物としては種々
のものが存在するが不純物の混入などを考慮すれ
ば硼酸、硼酸の脱水物、硼酸アンモニウムなどの
使用が適切であり、窒素源である窒素化合物とし
て尿素、メラミン、ジシアンジアミド、シアヌル
酸、塩化アンモニウムなどの高温で分解除去でき
るものが好ましい。 これらの原料の混合比は、硼素と窒素のモル比
(N/B)が1以上になるように混合する必要が
ある。 混合物の窒化をさらに進める目的で、例えば硼
酸とメラミンを(N/B)=2になるように混合
してアンモニア雰囲気中で加熱したところ、1300
℃で窒化硼素の含有量は85重量%、1500℃でも92
重量%であつた。またこのときの結晶子の大きさ
はLcで45nmであつた。 ここで使用するh−BN粉末の純度は窒化硼素
中のN含有量の56.5%を理論値として合成した窒
化硼素中のNをアルカリ溶融法により分析し、分
析値のN(%)を理論値で除した値を100倍してパ
ーセントで表示した値である。 窒化硼素は合成条件により結晶構造が異なつて
おり、たとえば硼酸と尿素を原料として窒素雰囲
気中で窒化硼素を合成した場合を例にとると、
600℃から窒化硼素が生成するが、この場合は完
全に六方晶構造にまでなりきつておらず、結晶学
上乱層構造と呼ばれるような、隣接する層が互い
にランダムに位置する構造になつている。通常の
結晶質の窒化硼素は黒鉛と同様に六方晶の層状構
造をとり、各層は完全に平行になつており、この
点が乱層構造の窒化硼素と異なる点である。さら
に温度を上げていくと乱層構造から六方晶構造に
徐々に変化していき、それと同時に粒成長と不純
物の酸化硼素、硼酸アンモニウム、結晶中の酸
素、炭素などが除去されて純度も向上していく。
1600℃以上になると、一次粒子径も1μm以上に
なり、さらに加熱を続けていくと完全に六方晶構
造の2μm〜6μmの1次粒子径を有する純度(N
の分析値から計算した値)が99重量%以上の窒化
硼素になる。 これらの結晶構造を定量化する方法として結晶
子の大きさを測定する方法(日本学術振興会117
委員会法)がある。結晶子の大きさはc軸方向の
平均厚さ(Lc)とa軸方向の平均直径(La)で
表わされるが(002)のピークが最も強いのでLc
で表示するのが精度も良い。 Lcで上記結晶構造を評価すると、ほぼ10nm以
下では乱層構造であり、ほぼ10〜40nmでは準黒
鉛構造をとり、ほぼ40nm以上では完全に六方晶
構造であつた。従つて本発明でいう準黒鉛構造を
Lcで述べれば略10〜40nmの窒化硼素ということ
になる。 ただこの境界は明確なものではなく焼結体用粉
末原料としてはLcが8〜50nmが最も特性の発現
がある。このため原料粉末のLcとしては8〜
50nmが望ましい。 できるだけ低い温度で結晶子がLcで20nm以下
の結晶の成長していない高純度のh−BN製造方
法について検討した結果、h−BNの純度が低い
のは、完全に窒化されていないB2O3が存在する
こと、および結晶子が成長するのはB2O3の融点
が450℃と低いため液相を形成し、液相を介した
h−BNの結晶成長が1600℃から顕著に生ずるた
めであることが明らかとなつた。このように窒化
硼素を高純度化するためにはB2O3を蒸発除去す
るため1600℃以上の高温にすることが必要で、こ
の場合必然的に結晶の成長が生ずる。これらの結
果から、目的とする高純度で結晶の成長していな
いh−BNを製造するためには不純物(B2O3な
ど)を蒸発除去すること、および結晶子の成長が
顕著になる温度に達する前に液相成分(B2O3な
ど)の除去を図ることが必要である。 これらの条件を満足する処理方法について検討
した。その結果B2O3などの除去方法として硼砂
類または炭素質粉末の添加が効果的であることを
見出した。 まず、硼砂類の効果について説明すると、硼砂
類とは無水硼砂または硼砂である。無水硼砂ある
いは硼砂の添加によつてB2O3の沸点は低いメタ
硼酸ナトリウムを生成し、1500℃以下の温度で蒸
発除去され、h−BNが高純度化される。このと
き蒸発したメタ硼酸ナトリウムは、酸化ナトリウ
ムと異なり潮解性などはないため、冷却部でトラ
ツプ除去され、かつ反応容器の損傷もほとんど見
られなかつた。回収したメタ硼酸ナトリウムは再
度硼素源として利用できる。無水硼砂は融点
(740℃)が硼酸、酸化硼素に比べて高いため窒化
反応における硼素原料と窒化ガスとの接触面積を
増大させる担体としての役割を果たし、反応界面
を広くでき窒化が進む。 硼砂類の添加量は、原料の酸素含有硼素化合物
に対して、無水硼砂として2.5〜30重量%が適し
ている。30重量%を越えるとメタ硼酸ナトリウム
以外に酸化ナトリウムも生成するので好ましくな
い。また2.5重量%未満ではフイラーの役割を果
たさないため、1300℃以下での窒化率が減少す
る。炭酸ナトリウムなどアルカリ金属化合物の添
加によつても、B2O3との反応によりメタ硼酸ナ
トリウムを形成し高純度化は可能であるが、酸化
ナトリウムを生成させないようにするため添加量
を多くすることができず、少量では担体としての
役割を果たさないので、1300℃以下で処理しても
h−BNの純度も向上しない。 B2O3の蒸発を促進するもう一つの添加物とし
て炭素質粉末について説明する。つまり炭素質粉
末によつてB2O3を還元することによりB2O2とし
て除去する方法である。炭素質粉末としては、非
晶質の炭素粉末から黒鉛化の進んだ粉末に至るい
ずれのものも使用できるが非晶質の炭素質粉末が
より好ましい。このときの添加量は、過剰に添加
するとカーボンが残留するため、試料中のB2O3
と等モル量添加しなくてはならない。このため添
加量は残留B2O3によつて変動する。h−BNの純
度が従来技術により製造される70重量%の場合を
下限とすると、炭素質粉末の添加量は硼素化合物
中の硼素に対して炭素としては0.1モル以下にな
る。また添加量が0.005モル未満では還元効果が
現れない。従つて硼素1モルに対して炭素0.005
〜0.1モルの添加が適している。 炭素質粉末と硼砂類とは同様に窒化反応促進と
不純物の除去に効果があるが、結晶粒成長の点で
は両者は大きな差異がある。硼砂類を添加剤とし
て使用する場合には低温で液相を形成し生成物で
あるメタ硼酸が蒸発する前に液相を介したh−
BN成長が生じるので結晶子は大きくなる。従つ
て硼砂類を用いるときは極力低温加熱して結晶の
成長を抑制することが必要である。 本発明において低温加熱とは硼砂あるいは副生
するるメタ硼酸ナトリウム、酸化ナトリウムの蒸
発が顕著に起こらない温度でかつ窒化硼素が粗成
長を起こさずに高純化される温度で加熱すること
を言い、その温度は900〜1300℃である。因みに
硼砂、メタ硼酸ナトリウム、酸化ナトリウムのそ
れぞれの蒸発温度は1575℃,1430℃,1275℃であ
る。 また硼砂類は水洗洗浄乾燥工程を経ることによ
つて純度向上を図ることが必要である。 一方炭素質粉末添加では液相を形成せず、逆に
微粒子として液相中に分散して存在することによ
り粘度を低下させ、液相の活性度を下げ粒成長を
抑制するという明らかに硼砂類と異なる働きをす
る。従つて、より低結晶性のh−BNを製造する
ためには炭素質粉末を添加することが好ましい。 さらに炭素質粉末を添加したものは炭素質粉末
が固体状で粒子間に存在するために分散の点から
言えばできるだけ微細なものが好ましい。この点
から炭素質粉末と硼砂類のような液相形成物を併
用すれば、低温の窒化反応を促進する点で硼砂類
は大きな効果を持ち、さらに粒成長抑制剤として
の炭素質粉末とh−BNとの接触を良くする相互
作用をなす。このように高純度で低結晶質のh−
BNを製造するには炭素質粉末単独あるいは炭素
質粉末と硼砂類の併用によつてより容易に達成す
ることができる。 これらの粒成長抑制および高純度化のための添
加物の添加時期については、炭素質粉末は不純物
のB2O3を一部B2O2の形で還元除去する目的であ
るから、この反応が効果を持つ1300℃より低い温
度であればよい。つまり硼酸あるいはその脱水物
または硼酸アンモニウムを原料としてh−BN粉
末を合成する場合に1300℃以下の温度であれば一
定温度まで焼結したものを一度取り出して炭素質
粉末を添加することも可能である。もちろん原料
粉末として添加すれば操作は最も簡単である。硼
砂類の添加時期は一部窒化反応に寄与することか
ら原料段階での添加効果は大きい。 単なる高純化あるいは炭素質粉末により低結晶
性のh−BN製造を目標にするなら、1300℃以下
の温度であれば添加時期はいつでもよい。 次に、アルカリ土類金属化合物の添加について
説明する。 h−BN中の不純物であるB2O3の除去方法とし
て硼砂類や炭素質粉末の添加が効果的であること
は前述した通りであるが、この場合にも完全に除
去された訳ではなく、微量のB2O3が残存してい
る。 この残存B2O3は大気中の湿分と反応して体積
膨張を生ずる。またB2O3の融点は450℃と低いた
め、h−BN粉より焼結体を製造した際にB2O3の
含有量が多いほど、高温、例えば1000℃における
強度が低くなつてしまう。 そこで、残存B2O3を焼結体中で安定化、高融
点化させる方法を検討した結果、アルカリ土類金
属化合物の添加が有効であることを見出した。特
にアルカリ土類金属の炭酸化合物が適している。
例えば炭酸カルシウム(CaCO3)を添加して熱
処理することにより、酸化カルシウム(CaO)と
B2O3が反応し、融点の高い化合物である下記の CaO・B2O3(融点1125℃) 2CaO・B2O3(同1280℃) 3CaO・B2O3(同1454℃) などになり、高温においても安定化した化合物に
変換される。 アルカリ土類金属化合物の添加量は、生成窒化
硼素中のB2O3の残存量に見合う量であるが、高
純度窒化硼素粉末として窒化硼素の純度が95重量
%以上であり、この場合不純物が5重量%未満で
あるので、添加量としては原料中の酸素含有硼素
化合物の硼素に対してアルカリ土類金属として
0.1モル以下であればよい。 また、本発明の一つの目的である高温加熱せず
に高純度h−BNを得る方法においては、生成窒
化硼素の純度上限が99.95重量%程度であるが、
この場合の不純物に対するアルカリ土類金属化合
物の添加量としては0.0001モル以上であればよ
い。 以上に述べた方法により、結晶を発達させずに
高純度で高温焼結特性の優れたh−BNを製造す
ることができる。 アルカリ土類金属の添加時期については、原料
の混合時微細な炭酸塩、酸化物、水酸化物などと
して添加するのが製造工程上も簡単である。また
低結晶で高純度のh−BN粉末にアルカリ土類金
属化合物を添加することも可能である。この場合
添加物のアルカリ土類金属化合物は均一に粒径の
細かいh−BNと混合する必要があり、可溶性の
アルカリ土類金属化合物(硝酸塩など)を溶媒中
に溶かしh−BNと均一に混合すると効果的であ
る。 次に本発明のh−BNの製造条件として、まず
雰囲気についてはh−BNの酸化を防止するため
に、不活性ガスあるいはアンモニアガスなどの非
酸化性雰囲気とする必要がある。加熱処理温度と
しては、不純物の蒸発が活発になる1300℃以上で
結晶の成長が顕著にならない1600℃以下がよい
が、硼砂中のナトリウムがNa2Oとして窒化硼素
の不純物になつて残存するのを防ぐため、1500〜
1600℃の温度で処理するのが好ましい。 さらに加熱時に雰囲気を減圧下で行えば、硼砂
添加時に生成する不純物のメタ硼酸ナトリウム、
B2O3あるいは炭材添加によつて生成する不純物
B2O2とB2O3の蒸発除去を容易にすることができ
る。このため不純物の蒸発が活発になる1300℃以
上の温度で減圧にすれば、さらに効果的に高純度
化を進めることができ、高純度化処理時間が短時
間で済むことになり、エネルギー的に非常に有利
である。 また最終製品は塊状合成物を粉砕して焼結させ
るが、通常は粉砕の後、充填性の向上を目的とし
て造粒を行う。この場合、粉末はスラリー状態で
スプレードライ法を使用する。このときスラリー
を1ないし数回、脱水、洗浄すると製品が均一
で、かつ不純物として残留しているナトリウム成
分あるいは酸化硼素などを除去できるので効果的
である。もちろんh−BNは疎水性であるので溶
媒として水を使用するには界面活性剤を必要とす
る。あるいはアルコール類の有機溶媒を分散剤と
しても効果は大きい。 〔実施例〕 実施例 1〜8 本発明方法により製造した実施例1〜8および
比較例を第1表に示す。 実施例3を例にとり製造工程を説明する。 硼酸1.8Kgとメラミン2Kgに、200メツシユ以下
の無水硼砂150g、カーボンブラツク20g、およ
び200メツシユ以下の炭酸カルシウム10gを添加
し、Vブレンダーで混合した後、内径200mmφ、
高さ300mmHの黒鉛るつぼにこれを入れ、上蓋を
した後、高周波炉によりN2雰囲気中1550℃で1
時間加熱処理した。生成した処理物をジエツトミ
ルで粉砕分級し、 窒化硼素の純度:97.2重量% CaOの含有量:0.7重量% 結晶子Lc:10.2nm の結晶の成長していない微粉が得られた。この生
成物を圧力200Kg/cm2、1900℃で2時間のホツト
プレス処理により成形体を製造したところ、 密度:2.12g/cm3 1000℃における曲げ強度:8.9Kg/mm2 と従来品よりも優れた焼結体が得られた。 実施例1と6は炭素質粉末を添加した例、実施
例2と7は無水硼砂を添加した例、実施例3,
4,5,8は両者を添加した例である。 また、実施例6〜8は、実施例1〜3と同様の
原料、添加剤を用い、高周波炉により、900℃ま
でN2雰囲気中で加熱し、その後は10-1Torrに減
圧し、1550℃で1時間加熱処理を行つた。 得られたh−BN粉末は結晶の発達していない
高純度品であり、ホツトプレス処理によつて得た
焼結体はいずれもその高温における強度は優れて
いた。 比較例はカーボンブラツクが原料中の硼素に対
して炭素として1.03モルに相当し、無水硼砂が硼
酸の50重量%に相当している例であるが、純度が
68重量%と低く不純物として、 CaO:6.4重量% カーボン(C):8.6重量% Na2O:5.9重量% と多量存在し、窒化硼素本来の白色粉末ではな
く、黒色を呈しており、ホツトプレス処理による
焼結体もその特性は低くなつた。 〔参考例〕 市販の純度97重量%の窒化硼素粉末にCaCO3
を1.5重量%添加してボールミルで混合した微粉
を前述の実施例と同一のホツトプレス処理条件で
焼結し、焼結体を製造したところ、 密度:1.94g/cm3 1000℃における曲げ強度: 3.1Kg/mm2 であつた。
(以下h−BNと記載する)およびその製造法に
関し、窒化硼素焼結体製造用の原料粉末およびそ
の製造方法に関するものである。 〔従来の技術〕 h−BNは白色の粉体で黒鉛と同様に六方晶の
層状構造であり、多種の特性を有している。特に
熱伝導性、電気絶縁性、耐食性、潤滑性、耐熱
性、機械加工性などが優れており、これらの性質
を生かして多岐の用途に供されている。粉体とし
ての用途にはプラスチツク添加剤、潤滑剤などが
あり、成形体及び複合材としては治具、電気絶縁
材、型材などの用途がある。 このように用途の広いh−BNを合成する方法
は種々開発されているが、現在工業的に採用され
ている方法は、 (1) 硼砂と尿素の混合物をアンモニア雰囲気中で
800℃以上に加熱合成する方法(特公昭38−
1610) (2) 硼酸または酸化硼素と燐酸カルシウムとを混
合し、アンモニア雰囲気中で加熱する方法(特
公昭42−24669) (3) 硼酸と含窒素化合物(尿素、メラミン、ジシ
アンジアミド等)を1600℃以上に加熱する方法
(特公昭48−14559) などが主なものである。 (4) その他に三塩化硼素とアンモニアによる気相
合成法もあるが、原料コストが高いので特殊な
用途の製品を製造する場合に限られる。(特公
昭38−22852) (5) また上記(3)の方法では結晶が成長しないので
この欠点を改良する目的でアルカリ土類金属の
化合物を添加して結晶を成長させる方法(特公
昭41−18570)が提案されている。 (6) さらにh−BNの高純度化方法として硼酸を
原料として粗製h−BNにアルカリ金属を添加
して1000℃以上に加熱する方法(特公昭47−
26600)がある。 上記(1)の方法は原料中の硼砂にナトリウムを多
量に含んでいるために1000℃以上にすると酸化ナ
トリウムの蒸発が始まり、冷却部で凝縮して酸化
ナトリウムの潮解性のため反応炉に使用されてい
る材料を傷つけるので、1000℃以下で一度水洗し
てナトリウム成分を除去する必要がある。このた
め洗浄工程が必要になり工程が複雑になる。 上記(2)の方法も同様に添加した燐酸カルシウム
を酸洗して除去する必要がある。 また上記(3)の方法については1600℃以上の高温
にしないと高純度品が製造できない。 (5)のアルカリ土類金属を添加して結晶を成長さ
せる方法も上記(3)と同様に添加物除去のため酸洗
処理が必要である。 (6)のアルカリ金属化合物を添加して高純度化す
る方法は、粗製h−BNを800℃以上の温度で合
成し、粉砕してアルカリ金属化合物を添加しさら
に成形工程などを経て1000℃以上で加熱するため
に、工程が非常に複雑になる。この方法では粗製
h−BNは純度が80%程度であり高純度とはいえ
ず、高純度化処理によつても残部のB2O3が窒化
されて高純度化するのではなく蒸発除去されるだ
けである。このため原料の硼素の利用率は非常に
低く根本的な解決とは言い難い。 さらに本発明の類似方法として窒化硼素粉末に
アルカリ土類金属の硼酸塩を混合して焼結体製造
用粉末を合成し、この粉末をホツトプレスして焼
結体を製造する方法(特公昭49−40124)がある。
このような窒化硼素粉末に焼結助剤を添加してホ
ツトプレスする方法では、原料となる窒化硼素粉
末の特性が従来品と異なることなく、高純度窒化
硼素では結晶が成長し焼結体製造時異方性が生
じ、低結晶性の窒化硼素では純度が低く焼結助剤
と不純物が多くなり高温特性において劣るという
結果になり何ら根本的解決にはなり得なかつた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 以上のように従来技術で高純度h−BNを得よ
うとすれば高温加熱処理するか、酸洗等の複雑な
工程が必要であつた。また、単に高純度化すれば
結晶も同時に成長し、これらの結晶の大きい窒化
硼素粉末を原料として焼結体を製造すると、高温
での焼結体強度の乏しい、焼結特性の劣る焼結体
しか得られない。 本発明者らは、従来技術の欠点を補うべく鋭意
工夫を重ねた結果、焼結体用原料として、従来の
方法では得られなかつた、優れたh−BN粉末を
製造するに至つた。 本発明の目的は焼結体特性の優れたh−BN粉
末およびその製造方法を提供することにある。 本発明によれば高純度でかつ結晶があまり成長
しておらず、準黒鉛構造をもち、安定化剤として
微細なアルカリ土類金属化合物を均一に含有した
h−BNを得ることができる。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、アルカリ土類金属を硼素1モルに対
し0.0001〜0.1モル含有し、結晶子の大きさが8
〜50nmであり、窒化硼素の純度が95重量%以上
である焼結特性の優れた六方晶窒化硼素粉末であ
る。 このようなh−BNは次の手段によつて製造す
ることができる。 原料として酸素含有硼素化合物と窒素化合物の
混合物を用い、この混合物に炭素質粉末および/
または硼砂類を添加して非酸化性雰囲気中で加熱
する。これにより従来の方法では得られなかつ
た、高純度で、結晶の発達していないh−BN粉
末を製造する。さらに不純物として存在している
酸化硼素あるいはh−BNの結晶の中に取り込ま
れた酸素の安定化剤としてアルカリ土類金属化合
物を上記h−BN粉末中に均一に分散させる。こ
のアルカリ土類金属の均一分散は上記非酸化性雰
囲気中での加熱の前でも後でもよく、この分散に
より焼結特性の優れたh−BN粉末を得ることが
できる。 本発明の製造方法の第1の発明は、酸素含有硼
素化合物と窒素化合物とを混合し、該混合物中の
硼素1モルに対してアルカリ土類金属として
0.0001〜0.1モルのアルカリ土類金属化合物を添
加し、さらに該混合物中の硼素1モルに対して炭
素として0.005〜0.1モルの炭素質粉末および/ま
たは原料の酸素含有硼素化合物に対して無水硼砂
として2.5〜30重量%の硼砂類を添加し、以上の
混合物を常圧下または減圧下の非酸化性雰囲気中
で加熱することを特徴とする。 第2の本発明方法は、酸素含有硼素化合物と窒
素化合物とを混合し、該混合物中の硼素1モルに
対して炭素として0.005〜0.1モルの炭素質粉末を
添加し、以上の混合物を常圧下または減圧下の非
酸化性雰囲気中で加熱して六方晶窒化硼素粉末を
得、該六方晶窒化硼素粉末に該粉末中の硼素1モ
ルに対してアルカリ土類金属として0.0001〜0.1
モルのアルカリ土類金属化合物を混合することを
特徴とする。 第3の発明方法は、酸素含有硼素化合物と窒素
化合物とを混合し、該混合物中の硼素1モルに対
して炭素として0.005〜0.1モルの炭素質粉末、お
よび原料の酸素含有硼素化合物に対して無水硼砂
として2.5〜30重量%の硼砂類を添加し、以上の
混合物を常圧下または減圧下の非酸化性雰囲気中
で加熱して六方晶窒化硼素粉末を得、該六方晶窒
化硼素粉末に該粉末中の硼素1モルに対してアル
カリ土類金属として0.0001〜0.1モルのアルカリ
土類金属化合物を混合することを特徴とする。 第4の発明方法は、酸素含有硼素化合物と窒素
化合物とを混合し、該混合物中の硼素1モルに対
してアルカリ土類金属として0.0001〜0.1モルの
アルカリ土類金属化合物、および前記酸素含有硼
素化合物に対して無水硼砂として2.5〜30重量%
の硼砂類を添加し、以上の混合物を常圧下または
減圧下の非酸化性雰囲気中にて低温加熱して粗製
六方晶窒化硼素粉末を得た後、該粗製六方晶窒化
硼素粉末を洗浄・乾燥することを特徴とする。 そして、第5の発明方法は酸素含有硼素化合物
と窒素化合物とを混合し、該酸素含有硼素化合物
に対して無水硼砂として2.5〜30重量%の硼砂類
を添加し、以上の混合物を常圧下または減圧下の
非酸化性雰囲気中で低温加熱して粗製六方晶窒化
硼素粉末を得た後、該粗製六方晶窒化硼素粉末を
洗浄乾燥し、該乾燥粉末中の硼素1モルに対して
アルカリ土類金属として0.0001〜0.1モルのアル
カリ土類金属化合物を混合することを特徴とする
ものである。 〔作用〕 以下焼結体用原料として最適なh−BN粉末の
製造方法について具体的に作用と共に詳細に説明
する。 硼素源である酸素含有硼素化合物としては種々
のものが存在するが不純物の混入などを考慮すれ
ば硼酸、硼酸の脱水物、硼酸アンモニウムなどの
使用が適切であり、窒素源である窒素化合物とし
て尿素、メラミン、ジシアンジアミド、シアヌル
酸、塩化アンモニウムなどの高温で分解除去でき
るものが好ましい。 これらの原料の混合比は、硼素と窒素のモル比
(N/B)が1以上になるように混合する必要が
ある。 混合物の窒化をさらに進める目的で、例えば硼
酸とメラミンを(N/B)=2になるように混合
してアンモニア雰囲気中で加熱したところ、1300
℃で窒化硼素の含有量は85重量%、1500℃でも92
重量%であつた。またこのときの結晶子の大きさ
はLcで45nmであつた。 ここで使用するh−BN粉末の純度は窒化硼素
中のN含有量の56.5%を理論値として合成した窒
化硼素中のNをアルカリ溶融法により分析し、分
析値のN(%)を理論値で除した値を100倍してパ
ーセントで表示した値である。 窒化硼素は合成条件により結晶構造が異なつて
おり、たとえば硼酸と尿素を原料として窒素雰囲
気中で窒化硼素を合成した場合を例にとると、
600℃から窒化硼素が生成するが、この場合は完
全に六方晶構造にまでなりきつておらず、結晶学
上乱層構造と呼ばれるような、隣接する層が互い
にランダムに位置する構造になつている。通常の
結晶質の窒化硼素は黒鉛と同様に六方晶の層状構
造をとり、各層は完全に平行になつており、この
点が乱層構造の窒化硼素と異なる点である。さら
に温度を上げていくと乱層構造から六方晶構造に
徐々に変化していき、それと同時に粒成長と不純
物の酸化硼素、硼酸アンモニウム、結晶中の酸
素、炭素などが除去されて純度も向上していく。
1600℃以上になると、一次粒子径も1μm以上に
なり、さらに加熱を続けていくと完全に六方晶構
造の2μm〜6μmの1次粒子径を有する純度(N
の分析値から計算した値)が99重量%以上の窒化
硼素になる。 これらの結晶構造を定量化する方法として結晶
子の大きさを測定する方法(日本学術振興会117
委員会法)がある。結晶子の大きさはc軸方向の
平均厚さ(Lc)とa軸方向の平均直径(La)で
表わされるが(002)のピークが最も強いのでLc
で表示するのが精度も良い。 Lcで上記結晶構造を評価すると、ほぼ10nm以
下では乱層構造であり、ほぼ10〜40nmでは準黒
鉛構造をとり、ほぼ40nm以上では完全に六方晶
構造であつた。従つて本発明でいう準黒鉛構造を
Lcで述べれば略10〜40nmの窒化硼素ということ
になる。 ただこの境界は明確なものではなく焼結体用粉
末原料としてはLcが8〜50nmが最も特性の発現
がある。このため原料粉末のLcとしては8〜
50nmが望ましい。 できるだけ低い温度で結晶子がLcで20nm以下
の結晶の成長していない高純度のh−BN製造方
法について検討した結果、h−BNの純度が低い
のは、完全に窒化されていないB2O3が存在する
こと、および結晶子が成長するのはB2O3の融点
が450℃と低いため液相を形成し、液相を介した
h−BNの結晶成長が1600℃から顕著に生ずるた
めであることが明らかとなつた。このように窒化
硼素を高純度化するためにはB2O3を蒸発除去す
るため1600℃以上の高温にすることが必要で、こ
の場合必然的に結晶の成長が生ずる。これらの結
果から、目的とする高純度で結晶の成長していな
いh−BNを製造するためには不純物(B2O3な
ど)を蒸発除去すること、および結晶子の成長が
顕著になる温度に達する前に液相成分(B2O3な
ど)の除去を図ることが必要である。 これらの条件を満足する処理方法について検討
した。その結果B2O3などの除去方法として硼砂
類または炭素質粉末の添加が効果的であることを
見出した。 まず、硼砂類の効果について説明すると、硼砂
類とは無水硼砂または硼砂である。無水硼砂ある
いは硼砂の添加によつてB2O3の沸点は低いメタ
硼酸ナトリウムを生成し、1500℃以下の温度で蒸
発除去され、h−BNが高純度化される。このと
き蒸発したメタ硼酸ナトリウムは、酸化ナトリウ
ムと異なり潮解性などはないため、冷却部でトラ
ツプ除去され、かつ反応容器の損傷もほとんど見
られなかつた。回収したメタ硼酸ナトリウムは再
度硼素源として利用できる。無水硼砂は融点
(740℃)が硼酸、酸化硼素に比べて高いため窒化
反応における硼素原料と窒化ガスとの接触面積を
増大させる担体としての役割を果たし、反応界面
を広くでき窒化が進む。 硼砂類の添加量は、原料の酸素含有硼素化合物
に対して、無水硼砂として2.5〜30重量%が適し
ている。30重量%を越えるとメタ硼酸ナトリウム
以外に酸化ナトリウムも生成するので好ましくな
い。また2.5重量%未満ではフイラーの役割を果
たさないため、1300℃以下での窒化率が減少す
る。炭酸ナトリウムなどアルカリ金属化合物の添
加によつても、B2O3との反応によりメタ硼酸ナ
トリウムを形成し高純度化は可能であるが、酸化
ナトリウムを生成させないようにするため添加量
を多くすることができず、少量では担体としての
役割を果たさないので、1300℃以下で処理しても
h−BNの純度も向上しない。 B2O3の蒸発を促進するもう一つの添加物とし
て炭素質粉末について説明する。つまり炭素質粉
末によつてB2O3を還元することによりB2O2とし
て除去する方法である。炭素質粉末としては、非
晶質の炭素粉末から黒鉛化の進んだ粉末に至るい
ずれのものも使用できるが非晶質の炭素質粉末が
より好ましい。このときの添加量は、過剰に添加
するとカーボンが残留するため、試料中のB2O3
と等モル量添加しなくてはならない。このため添
加量は残留B2O3によつて変動する。h−BNの純
度が従来技術により製造される70重量%の場合を
下限とすると、炭素質粉末の添加量は硼素化合物
中の硼素に対して炭素としては0.1モル以下にな
る。また添加量が0.005モル未満では還元効果が
現れない。従つて硼素1モルに対して炭素0.005
〜0.1モルの添加が適している。 炭素質粉末と硼砂類とは同様に窒化反応促進と
不純物の除去に効果があるが、結晶粒成長の点で
は両者は大きな差異がある。硼砂類を添加剤とし
て使用する場合には低温で液相を形成し生成物で
あるメタ硼酸が蒸発する前に液相を介したh−
BN成長が生じるので結晶子は大きくなる。従つ
て硼砂類を用いるときは極力低温加熱して結晶の
成長を抑制することが必要である。 本発明において低温加熱とは硼砂あるいは副生
するるメタ硼酸ナトリウム、酸化ナトリウムの蒸
発が顕著に起こらない温度でかつ窒化硼素が粗成
長を起こさずに高純化される温度で加熱すること
を言い、その温度は900〜1300℃である。因みに
硼砂、メタ硼酸ナトリウム、酸化ナトリウムのそ
れぞれの蒸発温度は1575℃,1430℃,1275℃であ
る。 また硼砂類は水洗洗浄乾燥工程を経ることによ
つて純度向上を図ることが必要である。 一方炭素質粉末添加では液相を形成せず、逆に
微粒子として液相中に分散して存在することによ
り粘度を低下させ、液相の活性度を下げ粒成長を
抑制するという明らかに硼砂類と異なる働きをす
る。従つて、より低結晶性のh−BNを製造する
ためには炭素質粉末を添加することが好ましい。 さらに炭素質粉末を添加したものは炭素質粉末
が固体状で粒子間に存在するために分散の点から
言えばできるだけ微細なものが好ましい。この点
から炭素質粉末と硼砂類のような液相形成物を併
用すれば、低温の窒化反応を促進する点で硼砂類
は大きな効果を持ち、さらに粒成長抑制剤として
の炭素質粉末とh−BNとの接触を良くする相互
作用をなす。このように高純度で低結晶質のh−
BNを製造するには炭素質粉末単独あるいは炭素
質粉末と硼砂類の併用によつてより容易に達成す
ることができる。 これらの粒成長抑制および高純度化のための添
加物の添加時期については、炭素質粉末は不純物
のB2O3を一部B2O2の形で還元除去する目的であ
るから、この反応が効果を持つ1300℃より低い温
度であればよい。つまり硼酸あるいはその脱水物
または硼酸アンモニウムを原料としてh−BN粉
末を合成する場合に1300℃以下の温度であれば一
定温度まで焼結したものを一度取り出して炭素質
粉末を添加することも可能である。もちろん原料
粉末として添加すれば操作は最も簡単である。硼
砂類の添加時期は一部窒化反応に寄与することか
ら原料段階での添加効果は大きい。 単なる高純化あるいは炭素質粉末により低結晶
性のh−BN製造を目標にするなら、1300℃以下
の温度であれば添加時期はいつでもよい。 次に、アルカリ土類金属化合物の添加について
説明する。 h−BN中の不純物であるB2O3の除去方法とし
て硼砂類や炭素質粉末の添加が効果的であること
は前述した通りであるが、この場合にも完全に除
去された訳ではなく、微量のB2O3が残存してい
る。 この残存B2O3は大気中の湿分と反応して体積
膨張を生ずる。またB2O3の融点は450℃と低いた
め、h−BN粉より焼結体を製造した際にB2O3の
含有量が多いほど、高温、例えば1000℃における
強度が低くなつてしまう。 そこで、残存B2O3を焼結体中で安定化、高融
点化させる方法を検討した結果、アルカリ土類金
属化合物の添加が有効であることを見出した。特
にアルカリ土類金属の炭酸化合物が適している。
例えば炭酸カルシウム(CaCO3)を添加して熱
処理することにより、酸化カルシウム(CaO)と
B2O3が反応し、融点の高い化合物である下記の CaO・B2O3(融点1125℃) 2CaO・B2O3(同1280℃) 3CaO・B2O3(同1454℃) などになり、高温においても安定化した化合物に
変換される。 アルカリ土類金属化合物の添加量は、生成窒化
硼素中のB2O3の残存量に見合う量であるが、高
純度窒化硼素粉末として窒化硼素の純度が95重量
%以上であり、この場合不純物が5重量%未満で
あるので、添加量としては原料中の酸素含有硼素
化合物の硼素に対してアルカリ土類金属として
0.1モル以下であればよい。 また、本発明の一つの目的である高温加熱せず
に高純度h−BNを得る方法においては、生成窒
化硼素の純度上限が99.95重量%程度であるが、
この場合の不純物に対するアルカリ土類金属化合
物の添加量としては0.0001モル以上であればよ
い。 以上に述べた方法により、結晶を発達させずに
高純度で高温焼結特性の優れたh−BNを製造す
ることができる。 アルカリ土類金属の添加時期については、原料
の混合時微細な炭酸塩、酸化物、水酸化物などと
して添加するのが製造工程上も簡単である。また
低結晶で高純度のh−BN粉末にアルカリ土類金
属化合物を添加することも可能である。この場合
添加物のアルカリ土類金属化合物は均一に粒径の
細かいh−BNと混合する必要があり、可溶性の
アルカリ土類金属化合物(硝酸塩など)を溶媒中
に溶かしh−BNと均一に混合すると効果的であ
る。 次に本発明のh−BNの製造条件として、まず
雰囲気についてはh−BNの酸化を防止するため
に、不活性ガスあるいはアンモニアガスなどの非
酸化性雰囲気とする必要がある。加熱処理温度と
しては、不純物の蒸発が活発になる1300℃以上で
結晶の成長が顕著にならない1600℃以下がよい
が、硼砂中のナトリウムがNa2Oとして窒化硼素
の不純物になつて残存するのを防ぐため、1500〜
1600℃の温度で処理するのが好ましい。 さらに加熱時に雰囲気を減圧下で行えば、硼砂
添加時に生成する不純物のメタ硼酸ナトリウム、
B2O3あるいは炭材添加によつて生成する不純物
B2O2とB2O3の蒸発除去を容易にすることができ
る。このため不純物の蒸発が活発になる1300℃以
上の温度で減圧にすれば、さらに効果的に高純度
化を進めることができ、高純度化処理時間が短時
間で済むことになり、エネルギー的に非常に有利
である。 また最終製品は塊状合成物を粉砕して焼結させ
るが、通常は粉砕の後、充填性の向上を目的とし
て造粒を行う。この場合、粉末はスラリー状態で
スプレードライ法を使用する。このときスラリー
を1ないし数回、脱水、洗浄すると製品が均一
で、かつ不純物として残留しているナトリウム成
分あるいは酸化硼素などを除去できるので効果的
である。もちろんh−BNは疎水性であるので溶
媒として水を使用するには界面活性剤を必要とす
る。あるいはアルコール類の有機溶媒を分散剤と
しても効果は大きい。 〔実施例〕 実施例 1〜8 本発明方法により製造した実施例1〜8および
比較例を第1表に示す。 実施例3を例にとり製造工程を説明する。 硼酸1.8Kgとメラミン2Kgに、200メツシユ以下
の無水硼砂150g、カーボンブラツク20g、およ
び200メツシユ以下の炭酸カルシウム10gを添加
し、Vブレンダーで混合した後、内径200mmφ、
高さ300mmHの黒鉛るつぼにこれを入れ、上蓋を
した後、高周波炉によりN2雰囲気中1550℃で1
時間加熱処理した。生成した処理物をジエツトミ
ルで粉砕分級し、 窒化硼素の純度:97.2重量% CaOの含有量:0.7重量% 結晶子Lc:10.2nm の結晶の成長していない微粉が得られた。この生
成物を圧力200Kg/cm2、1900℃で2時間のホツト
プレス処理により成形体を製造したところ、 密度:2.12g/cm3 1000℃における曲げ強度:8.9Kg/mm2 と従来品よりも優れた焼結体が得られた。 実施例1と6は炭素質粉末を添加した例、実施
例2と7は無水硼砂を添加した例、実施例3,
4,5,8は両者を添加した例である。 また、実施例6〜8は、実施例1〜3と同様の
原料、添加剤を用い、高周波炉により、900℃ま
でN2雰囲気中で加熱し、その後は10-1Torrに減
圧し、1550℃で1時間加熱処理を行つた。 得られたh−BN粉末は結晶の発達していない
高純度品であり、ホツトプレス処理によつて得た
焼結体はいずれもその高温における強度は優れて
いた。 比較例はカーボンブラツクが原料中の硼素に対
して炭素として1.03モルに相当し、無水硼砂が硼
酸の50重量%に相当している例であるが、純度が
68重量%と低く不純物として、 CaO:6.4重量% カーボン(C):8.6重量% Na2O:5.9重量% と多量存在し、窒化硼素本来の白色粉末ではな
く、黒色を呈しており、ホツトプレス処理による
焼結体もその特性は低くなつた。 〔参考例〕 市販の純度97重量%の窒化硼素粉末にCaCO3
を1.5重量%添加してボールミルで混合した微粉
を前述の実施例と同一のホツトプレス処理条件で
焼結し、焼結体を製造したところ、 密度:1.94g/cm3 1000℃における曲げ強度: 3.1Kg/mm2 であつた。
実施例 9〜10
実施例9〜10を第2表に示す。実施例9は、硼
酸1.8Kgとメラミン2Kgに、カーボンブラツク20
gを添加し、Vブレンダーで混合した後、内径
200mmφで高さ300mmHの黒鉛るつぼにこれを入
れ、上蓋をした後、高周波炉によりN2雰囲気中
1550℃で1時間加熱処理した。生成した塊状物を
解砕した後、Ca(NO3)2を窒化硼素100gに対し
1.2g添加してボールミルで30時間粉砕混合して
微粉末を得た。 この処理物の特性は次に示す。 窒化硼素の純度:97.7重量% 結晶子の大きさ(Lc):15.8nm CaO:0.4重量% このh−BN粉末を圧力200Kg/cm2,1900℃で
2時間ホツトプレス処理したところ、 密度:2.01g/cm3 1000℃における曲げ強度: 4.8Kg/mm2 の成形体を得た。 次に実施例10では硼酸1.8Kgとジシアンジアミ
ド2Kgにカーボンブラツク25gと無水硼砂200g
とを添加し、以後実施例9と同様に処理し微粉末
を得た。 得られたh−BN粉末の特性は、 窒化硼素の純度:98.2重量% 結晶子(Lc):22.4nm CaO:0.4重量% このh−BN微粉末を圧力200Kg/cm2、1900℃
で2時間のホツトプレス処理により成形体を製造
したところ、 密度:1.97g/cm3 1000℃における曲げ強度: 6.1Kg/mm2 の成形体を得た。
酸1.8Kgとメラミン2Kgに、カーボンブラツク20
gを添加し、Vブレンダーで混合した後、内径
200mmφで高さ300mmHの黒鉛るつぼにこれを入
れ、上蓋をした後、高周波炉によりN2雰囲気中
1550℃で1時間加熱処理した。生成した塊状物を
解砕した後、Ca(NO3)2を窒化硼素100gに対し
1.2g添加してボールミルで30時間粉砕混合して
微粉末を得た。 この処理物の特性は次に示す。 窒化硼素の純度:97.7重量% 結晶子の大きさ(Lc):15.8nm CaO:0.4重量% このh−BN粉末を圧力200Kg/cm2,1900℃で
2時間ホツトプレス処理したところ、 密度:2.01g/cm3 1000℃における曲げ強度: 4.8Kg/mm2 の成形体を得た。 次に実施例10では硼酸1.8Kgとジシアンジアミ
ド2Kgにカーボンブラツク25gと無水硼砂200g
とを添加し、以後実施例9と同様に処理し微粉末
を得た。 得られたh−BN粉末の特性は、 窒化硼素の純度:98.2重量% 結晶子(Lc):22.4nm CaO:0.4重量% このh−BN微粉末を圧力200Kg/cm2、1900℃
で2時間のホツトプレス処理により成形体を製造
したところ、 密度:1.97g/cm3 1000℃における曲げ強度: 6.1Kg/mm2 の成形体を得た。
【表】
【表】
実施例 11〜12
実施例11〜12を第3表に示した。実施例11で
は、硼酸1.8Kgとメラミン2Kgに、CaCO310gお
よび無水硼砂150gを添加し、Vブレンダーで混
合した後、内径200mmφの高さ30mmHの黒鉛るつ
ぼにこれを入れ、上蓋をした後、高周波炉により
N2雰囲気中1100℃で2時間加熱処理した。生成
した処理物は、 窒化硼素の純度:94.3重量% 結晶子の大きさ(Lc):14.2nm CaO:0.7重量% Na2O:1.2重量% の塊状生成物が得られた。この生成物を解砕し、
アニオン系のHLB値14の界面活性剤、例えばポ
リオキシエチレンアルキルエーテル系のアニオン
界面活性剤2%含有する水溶液中に分散し撹拌洗
浄した後、吸引濾過方法により脱水し乾燥したと
ころ、 窒化硼素の純度:97.7重量% CaO:0.9重量% Na2O:0.007重量% に高純化していた。 このh−BN微粉末を圧力200Kg/cm2、1900℃
で2時間のホツトプレス処理したところ、 密度:1.96g/cm3 1000℃における曲げ強度: 5.3Kg/mm2 の成形体を得た。 次に実施例12は、硼酸1.8Kgとメラミン2Kgに
無水硼砂200gを添加し、Vブレンダーで混合し
た後、内径200mmφで高さ300mmHの黒鉛るつぼに
これを入れ、上蓋をした後、高周波炉によりN2
雰囲気中1200℃で2時間加熱処理した。 生成した処理物は、 窒化硼素の純度:95.2重量% 結晶子の大きさ(Lc):22.5nm Na2O:1.6重量% の塊状生成物が得られた。この生成物を解砕し、
アニオン系のHLB値14の界面活性剤2%含有す
る水溶液中に分離し撹拌洗浄した後、吸引濾過方
法により脱水し乾燥した後、このh−BN粉末に
Ca(NO3)2をBN100gに対し1.2g添加してボー
ルミルで30時間粉砕混合して微粉末を得た。 この微粉末の特性は、 窒化硼素の純度:98.2重量% 結晶子の大きさ(Lc):22.5nm CaO:0.4重量% Na2O:0.01重量% に高純化していた。 このh−BN微粉末を圧力200Kg/cm2、1900℃
で2時間のホツトプレス処理したところ、 密度:1.98g/cm3 1000℃における曲げ強度: 4.5Kg/mm2 の成形体を得た。
は、硼酸1.8Kgとメラミン2Kgに、CaCO310gお
よび無水硼砂150gを添加し、Vブレンダーで混
合した後、内径200mmφの高さ30mmHの黒鉛るつ
ぼにこれを入れ、上蓋をした後、高周波炉により
N2雰囲気中1100℃で2時間加熱処理した。生成
した処理物は、 窒化硼素の純度:94.3重量% 結晶子の大きさ(Lc):14.2nm CaO:0.7重量% Na2O:1.2重量% の塊状生成物が得られた。この生成物を解砕し、
アニオン系のHLB値14の界面活性剤、例えばポ
リオキシエチレンアルキルエーテル系のアニオン
界面活性剤2%含有する水溶液中に分散し撹拌洗
浄した後、吸引濾過方法により脱水し乾燥したと
ころ、 窒化硼素の純度:97.7重量% CaO:0.9重量% Na2O:0.007重量% に高純化していた。 このh−BN微粉末を圧力200Kg/cm2、1900℃
で2時間のホツトプレス処理したところ、 密度:1.96g/cm3 1000℃における曲げ強度: 5.3Kg/mm2 の成形体を得た。 次に実施例12は、硼酸1.8Kgとメラミン2Kgに
無水硼砂200gを添加し、Vブレンダーで混合し
た後、内径200mmφで高さ300mmHの黒鉛るつぼに
これを入れ、上蓋をした後、高周波炉によりN2
雰囲気中1200℃で2時間加熱処理した。 生成した処理物は、 窒化硼素の純度:95.2重量% 結晶子の大きさ(Lc):22.5nm Na2O:1.6重量% の塊状生成物が得られた。この生成物を解砕し、
アニオン系のHLB値14の界面活性剤2%含有す
る水溶液中に分離し撹拌洗浄した後、吸引濾過方
法により脱水し乾燥した後、このh−BN粉末に
Ca(NO3)2をBN100gに対し1.2g添加してボー
ルミルで30時間粉砕混合して微粉末を得た。 この微粉末の特性は、 窒化硼素の純度:98.2重量% 結晶子の大きさ(Lc):22.5nm CaO:0.4重量% Na2O:0.01重量% に高純化していた。 このh−BN微粉末を圧力200Kg/cm2、1900℃
で2時間のホツトプレス処理したところ、 密度:1.98g/cm3 1000℃における曲げ強度: 4.5Kg/mm2 の成形体を得た。
【表】
本発明の六方晶窒化硼素粉末は高純度で結晶粒
が小さく、焼結体を製造したときに焼結体特性が
優れ、高温における焼結体強度が大きい焼結体と
なる。このような六方晶窒化硼素粉末は、本発明
方法により簡単な製造工程により安価容易に製造
することができる。
が小さく、焼結体を製造したときに焼結体特性が
優れ、高温における焼結体強度が大きい焼結体と
なる。このような六方晶窒化硼素粉末は、本発明
方法により簡単な製造工程により安価容易に製造
することができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 アルカリ土類金属を硼素1モルに対し0.0001
〜0.1モル含有し、結晶子の大きさが8〜50nmで
あり、窒化硼素の純度が95重量%以上である焼結
特性の優れた六方晶窒化硼素粉末。 2 酸素含有硼素化合物と窒素化合物とを混合
し、該混合物中の硼素1モルに対してアルカリ土
類金属として0.0001〜0.1モルのアルカリ土類金
属化合物を添加し、さらに該混合物中の硼素1モ
ルに対して炭素として0.005〜0.1モルの炭素質粉
末および/または原料の酸素含有硼素化合物に対
して無水硼砂として2.5〜30重量%の硼砂類を添
加し、以上の混合物を常圧下または減圧下の非酸
化性雰囲気中で加熱することを特徴とする焼結特
性の優れた六方晶窒化硼素粉末の製造方法。 3 酸素含有硼素化合物と窒素化合物とを混合
し、該混合物中の硼素1モルに対して炭素として
0.005〜0.1モルの炭素質粉末を添加し、以上の混
合物を常圧下または減圧下の非酸化性雰囲気中で
加熱して六方晶窒化硼素粉末を得、該六方晶窒化
硼素粉末に該粉末中の硼素1モルに対してアルカ
リ土類金属として0.0001〜0.1モルのアルカリ土
類金属化合物を混合することを特徴とする焼結特
性の優れた六方晶窒化硼素粉末の製造方法。 4 酸素含有硼素化合物と窒素化合物とを混合
し、該混合物中の硼素1モルに対して炭素として
0.005〜0.1モルの炭素質粉末、および原料の酸素
含有硼素化合物に対して無水硼砂として2.5〜30
重量%の硼砂類を添加し、以上の混合物を常圧下
または減圧下の非酸化性雰囲気中で加熱して六方
晶窒化硼素粉末を得、該六方晶窒化硼素粉末に該
粉末中の硼素1モルに対してアルカリ土類金属と
して0.0001〜0.1モルのアルカリ土類金属化合物
を混合することを特徴とする焼結特性の優れた六
方晶窒化硼素粉末の製造方法。 5 酸素含有硼素化合物と窒素化合物とを混合
し、該混合物中の硼素1モルに対してアルカリ土
類金属として0.0001〜0.1モルのアルカリ土類金
属化合物、および前記酸素含有硼素化合物に対し
て無水硼砂として2.5〜30重量%の硼砂類を添加
し、以上の混合物を常圧下または減圧下の非酸化
性雰囲気中にて低温加熱して粗製六方晶窒化硼素
粉末を得た後、該粗製六方晶窒化硼素粉末を洗
浄・乾燥することを特徴とする焼結特性の優れた
六方晶窒化硼素粉末の製造方法。 6 酸素含有硼素化合物と窒素化合物とを混合
し、該酸素含有硼素化合物に対して無水硼砂とし
て2.5〜30重量%の硼砂類を添加し、以上の混合
物を常圧下または減圧下の非酸化性雰囲気中で低
温加熱して粗製六方晶窒化硼素粉末を得た後、該
粗製六方晶窒化硼素粉末を洗浄乾燥し、該乾燥粉
末中の硼素1モルに対してアルカリ土類金属とし
て0.0001〜0.1モルのアルカリ土類金属化合物を
混合することを特徴とする焼結特性の優れた六方
晶窒化硼素粉末の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9811485 | 1985-05-10 | ||
| JP60-98114 | 1985-05-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6256308A JPS6256308A (ja) | 1987-03-12 |
| JPH0524849B2 true JPH0524849B2 (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=14211287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61104562A Granted JPS6256308A (ja) | 1985-05-10 | 1986-05-07 | 焼結特性の優れた六方晶窒化硼素粉末およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6256308A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3644713B2 (ja) * | 1995-02-10 | 2005-05-11 | 電気化学工業株式会社 | 六方晶窒化ほう素粉末の製造方法 |
| JP4803422B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2011-10-26 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 窒化ホウ素系多孔体およびその製造方法 |
| JP5053968B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2012-10-24 | 三井化学株式会社 | 金属箔付きシートおよび回路基板用積層体 |
| JP5969314B2 (ja) * | 2012-08-22 | 2016-08-17 | デンカ株式会社 | 窒化ホウ素粉末及びその用途 |
| JP6296568B2 (ja) * | 2013-03-07 | 2018-03-20 | デンカ株式会社 | 窒化ホウ素粉末及びこれを含有する樹脂組成物 |
| JP2017036190A (ja) * | 2015-08-12 | 2017-02-16 | 三菱化学株式会社 | 窒化ホウ素凝集粒子組成物、bn凝集粒子含有樹脂組成物及びそれらの成形体、並びに窒化ホウ素凝集粒子の製造方法、 |
| JP6676479B2 (ja) * | 2016-06-13 | 2020-04-08 | 株式会社トクヤマ | 六方晶窒化ホウ素粉末及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-05-07 JP JP61104562A patent/JPS6256308A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6256308A (ja) | 1987-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4784978A (en) | Hexagonal boron nitride powder having excellent sinterability and a method for the preparation thereof | |
| JP7337804B2 (ja) | 六方晶窒化ホウ素粉末、及び六方晶窒化ホウ素粉末の製造方法 | |
| JPS6112844B2 (ja) | ||
| US4619905A (en) | Process for the synthesis of silicon nitride | |
| JPH10203807A5 (ja) | ||
| JPS6256308A (ja) | 焼結特性の優れた六方晶窒化硼素粉末およびその製造方法 | |
| JPS6111886B2 (ja) | ||
| JPH08217424A (ja) | 六方晶窒化ほう素粉末及びその製造方法 | |
| JP3521178B2 (ja) | 六方晶窒化ほう素粉末及び用途 | |
| US20240199421A1 (en) | Method for preparing aluminum nitride powder based on aluminum metal | |
| JPS6291409A (ja) | 易焼結性窒化硼素粉末の製造方法 | |
| JPH0535084B2 (ja) | ||
| JPS63274603A (ja) | 六方晶窒化硼素の高純度化方法 | |
| JPH09263402A (ja) | 六方晶窒化ホウ素粉末の製造方法 | |
| JP3385059B2 (ja) | 高純度窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JP7675321B1 (ja) | 窒化アルミニウム粉体の製造方法 | |
| JPH08290905A (ja) | 六方晶窒化ほう素粉末及びその製造方法 | |
| JPH01203205A (ja) | 窒化硼素粉末の製造法 | |
| JPH0214282B2 (ja) | ||
| JPS6172606A (ja) | 焼結特性の優れた六方晶窒化硼素の製造方法 | |
| JPS62100403A (ja) | 高純度六方晶窒化硼素微粉末の製造方法 | |
| JP2511337B2 (ja) | 窒化ほう素常圧焼結体の製造方法 | |
| JPS61168509A (ja) | 六方晶窒化硼素の製造方法 | |
| JP3521173B2 (ja) | 六方晶窒化ほう素粉末の製造方法 | |
| RU2266865C1 (ru) | Способ получения нитрида бора графитоподобной гексагональной структуры |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19930928 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |