JPH0525611A - 合成樹脂製反射鏡の作成方法 - Google Patents
合成樹脂製反射鏡の作成方法Info
- Publication number
- JPH0525611A JPH0525611A JP19888291A JP19888291A JPH0525611A JP H0525611 A JPH0525611 A JP H0525611A JP 19888291 A JP19888291 A JP 19888291A JP 19888291 A JP19888291 A JP 19888291A JP H0525611 A JPH0525611 A JP H0525611A
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- Japan
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- synthetic resin
- film
- base plate
- reflection mirror
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ 誘電体層のアンダーコートなしに基本的な光
学特性（分光反射率特性）を満足させるとともに、反射
膜に発生するマイクロクラックを防止する。 ［構成］ 紫外線およびその紫外線で空気中の酸素から
発生させたオゾンにさらす前処理をした基板１上にＡｌ
の膜２を６０ｎｍ成膜する。
学特性（分光反射率特性）を満足させるとともに、反射
膜に発生するマイクロクラックを防止する。 ［構成］ 紫外線およびその紫外線で空気中の酸素から
発生させたオゾンにさらす前処理をした基板１上にＡｌ
の膜２を６０ｎｍ成膜する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、合成樹脂製基板上に金
属膜のコーティングを施した反射鏡の作成方法に関す
る。
属膜のコーティングを施した反射鏡の作成方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、レンズ等の光学部品に合成樹脂製
部品を用いる頻度が高くなっており、特にカメラ用、Ａ
Ｖ用として今後さらに要求が高くなると思われる合成樹
脂製部品の一つに表面反射鏡・裏面反射鏡などの反射鏡
がある。合成樹脂製部品には、ガラス製光学部品に比較
して複雑形状化，低コスト化および軽量化を図る事がで
き、プリズム形成などではガラス製のものよりも加工し
易いという利点も有している。
部品を用いる頻度が高くなっており、特にカメラ用、Ａ
Ｖ用として今後さらに要求が高くなると思われる合成樹
脂製部品の一つに表面反射鏡・裏面反射鏡などの反射鏡
がある。合成樹脂製部品には、ガラス製光学部品に比較
して複雑形状化，低コスト化および軽量化を図る事がで
き、プリズム形成などではガラス製のものよりも加工し
易いという利点も有している。
【０００３】ところで、合成樹脂製部品を反射鏡として
用いるためには、射出成形や切削等で合成樹脂を加工し
た後、任意の表面に表面鏡あるいは裏面鏡としてのコー
ティングが要求される。従来このコーティングにはガラ
スに用いるものと同様な真空蒸着法が用いられてきた。
用いるためには、射出成形や切削等で合成樹脂を加工し
た後、任意の表面に表面鏡あるいは裏面鏡としてのコー
ティングが要求される。従来このコーティングにはガラ
スに用いるものと同様な真空蒸着法が用いられてきた。
【０００４】しかしながら、合成樹脂製光学部品の場
合、ガラスに用いるものと同様の蒸着材料，膜構成およ
び成膜方法でコーティングを行うと、成膜後にマイクロ
クラックが発生したり、基板に対する膜の密着強度が不
十分であったり、あるいは蒸着後には異常がなくとも対
環境試験後にマイクロクラックを発生してしまった。
合、ガラスに用いるものと同様の蒸着材料，膜構成およ
び成膜方法でコーティングを行うと、成膜後にマイクロ
クラックが発生したり、基板に対する膜の密着強度が不
十分であったり、あるいは蒸着後には異常がなくとも対
環境試験後にマイクロクラックを発生してしまった。
【０００５】因って、上記欠点を解決する方法として以
下の様な発明が提案されている。例えば、特開平２−６
６１５７号公報記載の発明においては、基板側から第１
層目に物理的膜厚ｄ＝１００ｎｍのＣｅＦ3 のような誘
電体層，第２層にｄ＝１００ｎｍのＡｌのような金属膜
層，第３層にｄ＝１００ｎｍのＣｅＦ3 のような誘電体
層というような膜構成をとる事によって実用レベルの膜
強度を得る方法が開示されている。
下の様な発明が提案されている。例えば、特開平２−６
６１５７号公報記載の発明においては、基板側から第１
層目に物理的膜厚ｄ＝１００ｎｍのＣｅＦ3 のような誘
電体層，第２層にｄ＝１００ｎｍのＡｌのような金属膜
層，第３層にｄ＝１００ｎｍのＣｅＦ3 のような誘電体
層というような膜構成をとる事によって実用レベルの膜
強度を得る方法が開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記特開平
２−６６１５７号公報記載の発明にように、基板と金属
反射膜との間に誘電体層を挟んで密着強度を上げようと
する場合、誘電体層を成膜することは材料費の増大およ
びタクトタイムの増加を招き、結果としてコストが増大
してしまう。従って、合成樹脂製基板を用いた場合の大
きな特徴であるコスト面でのメリットを充分に活かせな
いという結果になる。また、特に裏面反射鏡として用い
る場合は反射率の低下をも引き起こす。
２−６６１５７号公報記載の発明にように、基板と金属
反射膜との間に誘電体層を挟んで密着強度を上げようと
する場合、誘電体層を成膜することは材料費の増大およ
びタクトタイムの増加を招き、結果としてコストが増大
してしまう。従って、合成樹脂製基板を用いた場合の大
きな特徴であるコスト面でのメリットを充分に活かせな
いという結果になる。また、特に裏面反射鏡として用い
る場合は反射率の低下をも引き起こす。
【０００７】因って、本発明は前記従来技術における欠
点に鑑みて開発されたもので、誘電体層のアンダーコー
トなしに基本的な光学特性（分光反射率特性）を再現性
を含めて充分に満足するのみならず、密着性あるいは耐
久性試験後においても優れた性能を有する合成樹脂製反
射鏡の作成方法の提供を目的とする。
点に鑑みて開発されたもので、誘電体層のアンダーコー
トなしに基本的な光学特性（分光反射率特性）を再現性
を含めて充分に満足するのみならず、密着性あるいは耐
久性試験後においても優れた性能を有する合成樹脂製反
射鏡の作成方法の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、合成樹脂製基
板上に金属膜のコーティングを施す反射鏡の作成方法に
おいて、反射膜成膜の前に基板を紫外線およびオゾンガ
スにさらす方法である。
板上に金属膜のコーティングを施す反射鏡の作成方法に
おいて、反射膜成膜の前に基板を紫外線およびオゾンガ
スにさらす方法である。
【０００９】
【作用】本発明では、合成樹脂製基板に紫外線を照射す
ることにより基板を構成する有機物のボンドが切られ
る。同時に、オゾンガスにさらされることにより低級分
子の酸化が起こり、基板表面に存在していた有機系不純
物が取り除かれる。また、紫外線によってボンドが切ら
れることにより、基板表面に活性基が形成され、金属と
の結合を起こし易くなる。このふたつの効果によって金
属反射膜と、合成樹脂製基板との密着強度を実用レベル
にまで向上させることができる。
ることにより基板を構成する有機物のボンドが切られ
る。同時に、オゾンガスにさらされることにより低級分
子の酸化が起こり、基板表面に存在していた有機系不純
物が取り除かれる。また、紫外線によってボンドが切ら
れることにより、基板表面に活性基が形成され、金属と
の結合を起こし易くなる。このふたつの効果によって金
属反射膜と、合成樹脂製基板との密着強度を実用レベル
にまで向上させることができる。
【００１０】
【実施例１】本実施例では、入射角度４５°の光に対す
る裏面反射鏡を形成した。
る裏面反射鏡を形成した。
【００１１】屈折率ｎ＝１．５８のポリカーボネート樹
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板の表面を波長１８５
ｎｍの紫外線光源から２０ｍｍの位置に配し、空気中で
それぞれ３０秒，６０秒，９０秒，１２０秒間紫外線を
照射することによって、紫外線およびその紫外線で空気
中の酸素から発生させたオゾンにさらす前処理を施した
のちに真空槽内にいれ、真空度５×１０-6Ｔｏｒｒに達
した後に、Ａｒガスを３×１０-3Ｔｏｒｒ導入し、投入
電力２００ＷのＤＣマグネトロンスパッタリング法によ
ってＡｌを６０ｎｍ成膜した。すなわち、図１に示すよ
うに、基板１上へ上記前処理を施したのちに第１層の膜
２を６０ｎｍ成膜した。
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板の表面を波長１８５
ｎｍの紫外線光源から２０ｍｍの位置に配し、空気中で
それぞれ３０秒，６０秒，９０秒，１２０秒間紫外線を
照射することによって、紫外線およびその紫外線で空気
中の酸素から発生させたオゾンにさらす前処理を施した
のちに真空槽内にいれ、真空度５×１０-6Ｔｏｒｒに達
した後に、Ａｒガスを３×１０-3Ｔｏｒｒ導入し、投入
電力２００ＷのＤＣマグネトロンスパッタリング法によ
ってＡｌを６０ｎｍ成膜した。すなわち、図１に示すよ
うに、基板１上へ上記前処理を施したのちに第１層の膜
２を６０ｎｍ成膜した。
【００１２】
【表１】
【００１３】以上の様にして得られた本実施例の裏面反
射鏡について、入射角４５°に対する分光反射率を測定
したところ、図２のようになった。図２は縦軸に分光反
射率を、横軸に波長をそれぞれとったもので、図２から
わかるように本実施例の裏面反射鏡は初期性能としての
基本的な光学特性（可視光域４００〜７００ｎｍで８０
％以上の分光反射率）を有していた。
射鏡について、入射角４５°に対する分光反射率を測定
したところ、図２のようになった。図２は縦軸に分光反
射率を、横軸に波長をそれぞれとったもので、図２から
わかるように本実施例の裏面反射鏡は初期性能としての
基本的な光学特性（可視光域４００〜７００ｎｍで８０
％以上の分光反射率）を有していた。
【００１４】また、本実施例の裏面反射鏡の膜表面にセ
ロハンテープ（幅１８ｍｍ）を接着させた後、接着面と
約４５°の角度でセロハンテープを取り除く密着性試験
をサンプル２０個につき行った。
ロハンテープ（幅１８ｍｍ）を接着させた後、接着面と
約４５°の角度でセロハンテープを取り除く密着性試験
をサンプル２０個につき行った。
【００１５】さらに、本実施例の裏面反射鏡について、
対環境試験として、−２０℃→常温（２０〜２５℃）→
＋６０℃を各温度で２時間保持し、５回繰り返す熱衝撃
試験を行った。
対環境試験として、−２０℃→常温（２０〜２５℃）→
＋６０℃を各温度で２時間保持し、５回繰り返す熱衝撃
試験を行った。
【００１６】表３には本実施例（実施例１）およびその
比較例として本実施例と同様の成膜法であるが紫外線オ
ゾン処理をしていない基板について、初期の密着性試験
および対環境試験後の密着性試験の結果を示す。
比較例として本実施例と同様の成膜法であるが紫外線オ
ゾン処理をしていない基板について、初期の密着性試験
および対環境試験後の密着性試験の結果を示す。
【００１７】
【表３】
【００１８】表３からもわかるように、紫外線オゾン処
理を行ったものでは、成膜初期および対環境試験後の膜
剥離や異常はみられなかった。
理を行ったものでは、成膜初期および対環境試験後の膜
剥離や異常はみられなかった。
【００１９】
【実施例２】本実施例では、入射角４５°の光に対する
表面反射鏡を形成した。
表面反射鏡を形成した。
【００２０】屈折率ｎ＝１．５３のアモルファスポリオ
レフィン樹脂（ＡＰＯ）からなる合成樹脂製基板の表面
を波長１８５ｎｍの紫外線光源から２０ｍｍの位置に配
し、空気中でそれぞれ３０秒，６０秒，９０秒，１２０
秒間紫外線を照射することによって、紫外線およびその
紫外線で空気中の酸素から発生させたオゾンにさらす前
処理を施したのちに真空槽内にいれ、真空度５×１０-6
Ｔｏｒｒに達した後に、抵抗加熱を用いた真空蒸着法に
よってＡｌを６０ｎｍ成膜し、引き続き電子ビーム蒸着
法によりＳｉＯ2 を２００ｎｍ成膜した。すなわち、図
３に示すように、基板３上へ上記前処理を施したのちに
第１層の膜４を６０ｎｍ成膜し、さらに膜４の上に第２
層の膜５を２００ｎｍ成膜した。
レフィン樹脂（ＡＰＯ）からなる合成樹脂製基板の表面
を波長１８５ｎｍの紫外線光源から２０ｍｍの位置に配
し、空気中でそれぞれ３０秒，６０秒，９０秒，１２０
秒間紫外線を照射することによって、紫外線およびその
紫外線で空気中の酸素から発生させたオゾンにさらす前
処理を施したのちに真空槽内にいれ、真空度５×１０-6
Ｔｏｒｒに達した後に、抵抗加熱を用いた真空蒸着法に
よってＡｌを６０ｎｍ成膜し、引き続き電子ビーム蒸着
法によりＳｉＯ2 を２００ｎｍ成膜した。すなわち、図
３に示すように、基板３上へ上記前処理を施したのちに
第１層の膜４を６０ｎｍ成膜し、さらに膜４の上に第２
層の膜５を２００ｎｍ成膜した。
【００２１】
【表２】
【００２２】以上の様にして得られた本実施例の表面反
射鏡について、入射角４５°に対する分光反射率を測定
したところ、図４のようになった。図４は縦軸に分光反
射率を、横軸に波長をそれぞれとったもので、図４から
わかるように本実施例の表面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（可視光域４００〜７００ｎｍで８
０％以上の分光反射率）を有していた。
射鏡について、入射角４５°に対する分光反射率を測定
したところ、図４のようになった。図４は縦軸に分光反
射率を、横軸に波長をそれぞれとったもので、図４から
わかるように本実施例の表面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（可視光域４００〜７００ｎｍで８
０％以上の分光反射率）を有していた。
【００２３】また、本実施例の表面反射鏡の膜表面にセ
ロハンテープ（幅１８ｍｍ）を接着させた後、接着面と
約４５°の角度でセロハンテープを取り除く密着性試験
をサンプル２０個につき行った。
ロハンテープ（幅１８ｍｍ）を接着させた後、接着面と
約４５°の角度でセロハンテープを取り除く密着性試験
をサンプル２０個につき行った。
【００２４】さらに、本実施例の表面反射鏡について、
対環境試験として、−２０℃→常温（２０〜２５℃）→
＋６０℃を角温度で２時間保持し、５回繰り返す熱衝撃
試験を行った。
対環境試験として、−２０℃→常温（２０〜２５℃）→
＋６０℃を角温度で２時間保持し、５回繰り返す熱衝撃
試験を行った。
【００２５】表３には本実施例（実施例２）およびその
比較例として本実施例と同様の成膜法であるが紫外線オ
ゾン処理をしていない基板について、初期の密着性試験
および対環境試験後の密着性試験の結果を示す。
比較例として本実施例と同様の成膜法であるが紫外線オ
ゾン処理をしていない基板について、初期の密着性試験
および対環境試験後の密着性試験の結果を示す。
【００２６】
【表３】
【００２７】表３からもわかるように，紫外線オゾン処
理を行ったものでは、成膜初期および対環境試験後の膜
剥離や異常は見られなかった。
理を行ったものでは、成膜初期および対環境試験後の膜
剥離や異常は見られなかった。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る合成
樹脂製反射鏡の作成方法によれば、誘電体層のアンダー
コートなしに基本的な光学特性（分光反射率特性）を満
足できるとともに、反射膜にマイクロクラックの発生が
ない。また、合成樹脂製基板の変形や劣化がなく、外観
特性が良好である。さらに、耐久性能試験後において
も、膜剥離やマイクロクラックの発生がなく、合成樹脂
製基板の変形や劣化もない。
樹脂製反射鏡の作成方法によれば、誘電体層のアンダー
コートなしに基本的な光学特性（分光反射率特性）を満
足できるとともに、反射膜にマイクロクラックの発生が
ない。また、合成樹脂製基板の変形や劣化がなく、外観
特性が良好である。さらに、耐久性能試験後において
も、膜剥離やマイクロクラックの発生がなく、合成樹脂
製基板の変形や劣化もない。
【図１】実施例１を示す部分断面図である。
【図２】実施例１の光学特性を示すグラフである。
【図３】実施例２を示す部分断面図である。
【図４】実施例２の光学特性を示すグラフである。
１，３ 基板 ２，４ 第１層の膜 ５ 第２層の膜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 合成樹脂製基板上に金属膜のコーティン
グを施す反射鏡の作成方法において、反射膜成膜の前に
基板を紫外線およびオゾンガスにさらすことを特徴とす
る合成樹脂製反射鏡の作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19888291A JPH0525611A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 合成樹脂製反射鏡の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19888291A JPH0525611A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 合成樹脂製反射鏡の作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525611A true JPH0525611A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16398499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19888291A Withdrawn JPH0525611A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 合成樹脂製反射鏡の作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0525611A (ja) |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP19888291A patent/JPH0525611A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |