JPH0525683Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0525683Y2 JPH0525683Y2 JP600888U JP600888U JPH0525683Y2 JP H0525683 Y2 JPH0525683 Y2 JP H0525683Y2 JP 600888 U JP600888 U JP 600888U JP 600888 U JP600888 U JP 600888U JP H0525683 Y2 JPH0525683 Y2 JP H0525683Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- air blowing
- filter plate
- filter
- blowing unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
この考案は半導体製造装置など、局所的に超高
清浄度を必要とする空間に清浄空気を吹出す吹出
ユニツトに関する。
清浄度を必要とする空間に清浄空気を吹出す吹出
ユニツトに関する。
従来の技術
従来の半導体製品生産工場では、部屋の天井全
面に高性能フイルタを設置する全面天井ダウンフ
ロータイプかあるいは生産機器を一列に並べその
上部にフアン・フイルタユニツトを設けるトンネ
ルタイプのクリーンルームが採用されている。す
なわちこれらのクリーンルームでは、生産機器や
作業者をクリーンルームに収容する形式が採られ
ている。このためクリーンルーム部は大スペース
となり、設備費や運転費は非常に大きかつた。
面に高性能フイルタを設置する全面天井ダウンフ
ロータイプかあるいは生産機器を一列に並べその
上部にフアン・フイルタユニツトを設けるトンネ
ルタイプのクリーンルームが採用されている。す
なわちこれらのクリーンルームでは、生産機器や
作業者をクリーンルームに収容する形式が採られ
ている。このためクリーンルーム部は大スペース
となり、設備費や運転費は非常に大きかつた。
これらのクリーンルームのエアフイルタには
0.1μm程度の細いガラス繊維を任意の方向に充填
した充填層タイプが使用され、繊維の隙間を空気
流に載つて流れる間に補集される。補集される微
粒子の直径は繊維速、通過風速、充填率などに依
存し、0.1μm程度の粒子も効率よく補集されるが
洩れることもあり得る。
0.1μm程度の細いガラス繊維を任意の方向に充填
した充填層タイプが使用され、繊維の隙間を空気
流に載つて流れる間に補集される。補集される微
粒子の直径は繊維速、通過風速、充填率などに依
存し、0.1μm程度の粒子も効率よく補集されるが
洩れることもあり得る。
また、LSI製造工場では集積度が３年で４倍に
増加する傾向が続いており、コントロールすべき
微粒子径もますます小さくなり、0.05μm程度の
微粒子もコントロールすべき段階が近い将来やつ
てくる。この傾向に並行的に作業のロボツト化が
進められている。クリーンルーム内の作業者は最
大の発塵源とされており、無人化が無塵化につな
がると言われているからである。
増加する傾向が続いており、コントロールすべき
微粒子径もますます小さくなり、0.05μm程度の
微粒子もコントロールすべき段階が近い将来やつ
てくる。この傾向に並行的に作業のロボツト化が
進められている。クリーンルーム内の作業者は最
大の発塵源とされており、無人化が無塵化につな
がると言われているからである。
将来の半導体製造工場では生産機器は比較的塵
埃粒径コントロール範囲のゆるやかなクリーンル
ームの中に局所クリーン装置を設けた形で設置さ
れると考えられる。
埃粒径コントロール範囲のゆるやかなクリーンル
ームの中に局所クリーン装置を設けた形で設置さ
れると考えられる。
問題点を解決するための手段
この考案は直径0.1μm程度の径の揃つた多孔質
セラミツク板をフイルタとして使用し、圧縮空気
を供給して濾過し、局所的に超清浄空間を得るも
のである。多孔質セラミツクフイルタはその孔径
以上の微粒子は完全に除去できるし、それ以下の
粒径粒子も効率よくできる。
セラミツク板をフイルタとして使用し、圧縮空気
を供給して濾過し、局所的に超清浄空間を得るも
のである。多孔質セラミツクフイルタはその孔径
以上の微粒子は完全に除去できるし、それ以下の
粒径粒子も効率よくできる。
実施例
第１図はこの考案の清浄空気吹出ユニツトの構
成を示す説明図、第２図はスプリングスペーサを
示す図である。清浄空気吹出チヤンバ１は底のな
い箱状をなしていて、内側に多孔質セラミツク板
からなるフイルタ板３をシール性よく受けるシー
ト面５を有し、蓋部には圧縮空気接続口２を有し
ている。この清浄空気吹出しチヤンバ１にスプリ
ングスペーサ６を介挿し、その脚部分６１がフイ
ルタ板３に当るようになつている。フイルタ板を
挿しこむ時は、チヤンバ１の下方から斜に差し込
み全体が入りこんだらシート面にのせる。ついで
フイルタ板３を少し持ち上げてスプリングスペー
サ６を少し歪ませておいて、フイルタ板３とシー
ト面５の間に接着剤またはシール材４を取りつけ
る。このようにすることにより洩れのない清浄空
気吹出ユニツトが形成される。
成を示す説明図、第２図はスプリングスペーサを
示す図である。清浄空気吹出チヤンバ１は底のな
い箱状をなしていて、内側に多孔質セラミツク板
からなるフイルタ板３をシール性よく受けるシー
ト面５を有し、蓋部には圧縮空気接続口２を有し
ている。この清浄空気吹出しチヤンバ１にスプリ
ングスペーサ６を介挿し、その脚部分６１がフイ
ルタ板３に当るようになつている。フイルタ板を
挿しこむ時は、チヤンバ１の下方から斜に差し込
み全体が入りこんだらシート面にのせる。ついで
フイルタ板３を少し持ち上げてスプリングスペー
サ６を少し歪ませておいて、フイルタ板３とシー
ト面５の間に接着剤またはシール材４を取りつけ
る。このようにすることにより洩れのない清浄空
気吹出ユニツトが形成される。
効 果
この考案の清浄空気吹出ユニツトを超清浄空間
を必要とする生産機器に組み込むことにより、製
品の歩留りを非常に高くすることができる。これ
により高価なクリーンルーム設備をする必要がな
くなり、また半導体工場では圧縮空気は容易に利
用できるので極めて便利である。
を必要とする生産機器に組み込むことにより、製
品の歩留りを非常に高くすることができる。これ
により高価なクリーンルーム設備をする必要がな
くなり、また半導体工場では圧縮空気は容易に利
用できるので極めて便利である。
第１図はこの考案の清浄空気吹出ユニツトの構
成を示す説明図、第２図はスプリングスペーサを
示す。 符号の説明、１……清浄空気吹出チヤンバ、２
……圧縮空気接続口、３……フイルター板、４…
…接着剤またはシール材、５……フイルタ受シー
ト面、６……スプリングスペーサ、６１……脚部
分。
成を示す説明図、第２図はスプリングスペーサを
示す。 符号の説明、１……清浄空気吹出チヤンバ、２
……圧縮空気接続口、３……フイルター板、４…
…接着剤またはシール材、５……フイルタ受シー
ト面、６……スプリングスペーサ、６１……脚部
分。
Claims (1)
- セラミツクフイルタ板をセラミツク板を受ける
内側下部にフランジ部をもち、かつ圧縮空気導部
を上部にもつ箱状体に弾性をもつスペーサを介し
て取り付けたことを特徴とする清浄空気吹出ユニ
ツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP600888U JPH0525683Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP600888U JPH0525683Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110817U JPH01110817U (ja) | 1989-07-26 |
| JPH0525683Y2 true JPH0525683Y2 (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=31209876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP600888U Expired - Lifetime JPH0525683Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0525683Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6253236B2 (ja) * | 2013-02-15 | 2017-12-27 | 三菱電機株式会社 | 除塵装置及び空気調和装置 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP600888U patent/JPH0525683Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01110817U (ja) | 1989-07-26 |
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