JPH0525699Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0525699Y2 JPH0525699Y2 JP7039987U JP7039987U JPH0525699Y2 JP H0525699 Y2 JPH0525699 Y2 JP H0525699Y2 JP 7039987 U JP7039987 U JP 7039987U JP 7039987 U JP7039987 U JP 7039987U JP H0525699 Y2 JPH0525699 Y2 JP H0525699Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrafine powder
- filter
- valve
- connecting pipe
- collection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は例えば金属又はセラミツクス等の超微
粉を製造する装置に用いられる超微粉捕集装置に
関する。
粉を製造する装置に用いられる超微粉捕集装置に
関する。
（従来の技術）
従来、気相法により発生せしめた超微粉はアル
ゴンガス及び水素ガスよりなるキヤリアガス気流
に乗せ、捕集装置へ搬送されフイルタに捕集され
る。捕集装置に捕集された超微粉を回収する際、
大気との接触による酸化、吸湿等が好ましくない
超微粉の場合、捕集装置を製造装置本体より切離
してグローブボツクス内で除酸化処理する必要が
あつた。捕集装置を製造装置本体から切離す際、
捕集装置の入口と出口側に設けたバルブは気密性
が要求される。
ゴンガス及び水素ガスよりなるキヤリアガス気流
に乗せ、捕集装置へ搬送されフイルタに捕集され
る。捕集装置に捕集された超微粉を回収する際、
大気との接触による酸化、吸湿等が好ましくない
超微粉の場合、捕集装置を製造装置本体より切離
してグローブボツクス内で除酸化処理する必要が
あつた。捕集装置を製造装置本体から切離す際、
捕集装置の入口と出口側に設けたバルブは気密性
が要求される。
（考案が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来の方法では超微粉を含むキ
ヤリアガス搬送管の途中にバルブを設けていたた
めにバルブシート部に超微粉が付着し気密性が保
てない問題点があつた。即ち、超微粉は例えば
0.1〜0.01μと小さいため、表面積が大きく、ガス
中に浮遊しているため、バルブに付着しやすく、
バルブの気密性に障害となる。
ヤリアガス搬送管の途中にバルブを設けていたた
めにバルブシート部に超微粉が付着し気密性が保
てない問題点があつた。即ち、超微粉は例えば
0.1〜0.01μと小さいため、表面積が大きく、ガス
中に浮遊しているため、バルブに付着しやすく、
バルブの気密性に障害となる。
本考案は上記の問題点に鑑みてなされたもの
で、バルブに超微粉が付着するのを防止すること
により、気密性を向上し得る超微粉捕集装置を提
供することを目的とする。
で、バルブに超微粉が付着するのを防止すること
により、気密性を向上し得る超微粉捕集装置を提
供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段と作用）
本考案は上記の目的を達成するために、超微粉
が搬送される搬送管と、この搬送管の開口部近傍
外周に軸方向に移動自在に設けられたバルブを有
する連結管と、この連結管に連結され内部に超微
粉を捕集するフイルタが内蔵されたフイルタハウ
ジング とを具備することを特徴とするもので、バルブ構
成部を二重構造とすることにより、バルブに超微
粉が付着し、捕集装置、並びに製造装置全体の気
密性が損われる現象を防止するものである。
が搬送される搬送管と、この搬送管の開口部近傍
外周に軸方向に移動自在に設けられたバルブを有
する連結管と、この連結管に連結され内部に超微
粉を捕集するフイルタが内蔵されたフイルタハウ
ジング とを具備することを特徴とするもので、バルブ構
成部を二重構造とすることにより、バルブに超微
粉が付着し、捕集装置、並びに製造装置全体の気
密性が損われる現象を防止するものである。
（実施例）
以下図面を参照して本考案の一実施例を詳細に
説明する。
説明する。
即ち、第２図ａ，ｂ及び第３図は本考案に係る
超微粉製造装置の一例を示し、製造装置本体１の
上部にはガラス窓２を有するチヤンバー３が設け
られ、このチヤンバー３の内部には放電電極４が
設けられると共に例えば金属又はセラミツク等の
材料５が設置される。前記チヤンバー３には搬送
管６が連結され、この搬送管６の開口部近傍外周
にはバルブ７，８を有する連結管１７が軸方向に
移動可能にして取付けられ、この連結管１７には
フイルタハウジング９が連結される。このフイル
タハウジング９の内部にはフイルタ１０が設けら
れ、このフイルタ１０の排出口部にはバルブ１１
が設けられる。このバルブ１１には管部材１２の
一端が連結され、この管部材１２の他端は循環ポ
ンプ１３および熱交換器１４を介して前記チヤン
バ３に連結される。前記管部材１２の一部は前記
放電電極４に連結される。又、前記放電電極４及
びチヤンバー３には電源１５が接続される。尚、
第３図の点線１６で囲んだ部分は超微粉捕集装置
を構成する。
超微粉製造装置の一例を示し、製造装置本体１の
上部にはガラス窓２を有するチヤンバー３が設け
られ、このチヤンバー３の内部には放電電極４が
設けられると共に例えば金属又はセラミツク等の
材料５が設置される。前記チヤンバー３には搬送
管６が連結され、この搬送管６の開口部近傍外周
にはバルブ７，８を有する連結管１７が軸方向に
移動可能にして取付けられ、この連結管１７には
フイルタハウジング９が連結される。このフイル
タハウジング９の内部にはフイルタ１０が設けら
れ、このフイルタ１０の排出口部にはバルブ１１
が設けられる。このバルブ１１には管部材１２の
一端が連結され、この管部材１２の他端は循環ポ
ンプ１３および熱交換器１４を介して前記チヤン
バ３に連結される。前記管部材１２の一部は前記
放電電極４に連結される。又、前記放電電極４及
びチヤンバー３には電源１５が接続される。尚、
第３図の点線１６で囲んだ部分は超微粉捕集装置
を構成する。
第１図ａ，ｂは超微粉捕集装置の一例を示し、
チヤンバー３に連結された超微粉が搬送される搬
送管６の開口部近傍外周には連結管６が気密を保
持するためシール材１８を介在し、かつ軸方向に
移動自在にして取付けられ、この連結管１７には
バルブ７，８が設けられる。前記連結管１７には
フイルタハウジング９が連結され、このフイルタ
ハウジング９の内部には超微粉を捕集するフイル
タ１０が設けられる。このフイルタ１０の排出側
開口部にはバルブ１１が設けられる。
チヤンバー３に連結された超微粉が搬送される搬
送管６の開口部近傍外周には連結管６が気密を保
持するためシール材１８を介在し、かつ軸方向に
移動自在にして取付けられ、この連結管１７には
バルブ７，８が設けられる。前記連結管１７には
フイルタハウジング９が連結され、このフイルタ
ハウジング９の内部には超微粉を捕集するフイル
タ１０が設けられる。このフイルタ１０の排出側
開口部にはバルブ１１が設けられる。
即ち、先ず第１図ａに示すように連結管１７の
内部に搬送管６を挿入した状態において、チヤン
バー３内を水素ガス及びアルゴンガス等の雰囲気
にし、放電電極４に例えば20V，150A等の電力
を印加してアーク放電させ、例えば金属又はセラ
ミツク等の材料を気化して超微粉を発生する。チ
ヤンバー３内に発生した超微粉は、循環ポンプ１
３によりチヤンバー３、搬送管６、連結管１７、
フイルタハウジング９、管部材１２、及びチヤン
バー３内に循環されるキヤリアガス気流に乗り搬
送され、フイルタ１０に捕集される。
内部に搬送管６を挿入した状態において、チヤン
バー３内を水素ガス及びアルゴンガス等の雰囲気
にし、放電電極４に例えば20V，150A等の電力
を印加してアーク放電させ、例えば金属又はセラ
ミツク等の材料を気化して超微粉を発生する。チ
ヤンバー３内に発生した超微粉は、循環ポンプ１
３によりチヤンバー３、搬送管６、連結管１７、
フイルタハウジング９、管部材１２、及びチヤン
バー３内に循環されるキヤリアガス気流に乗り搬
送され、フイルタ１０に捕集される。
このような超微粉捕
集中の状態では、連結管１７のバルブ７及び８は
搬送管６の外側にあり搬送される超微粉の影響を
受けない。
搬送管６の外側にあり搬送される超微粉の影響を
受けない。
その後、キヤリアガスをフイルタ１０内に逆流
させ、フイルタ１０で捕集した超微粉を払い落と
す。その後、第１図ｂに示すように連結管１７及
びフイルタハウジング９を搬送管６が抜出するよ
うに軸方向へ移動した状態にし、バルブ７，８、
及び１１を締めて後、フイルタハウジング９を取
り外してフイルタハウジング９内の超微粉を収集
する。このようにすれば、バルブ７，８は清浄な
状態のまま開閉されるので気密性が保持される。
させ、フイルタ１０で捕集した超微粉を払い落と
す。その後、第１図ｂに示すように連結管１７及
びフイルタハウジング９を搬送管６が抜出するよ
うに軸方向へ移動した状態にし、バルブ７，８、
及び１１を締めて後、フイルタハウジング９を取
り外してフイルタハウジング９内の超微粉を収集
する。このようにすれば、バルブ７，８は清浄な
状態のまま開閉されるので気密性が保持される。
以上のように、超微粉の捕集中は搬送管６の外
側に、バルブ７及び８を有する連結管１７を配置
した二重構造とすることにより、超微粉が搬送管
６内を通過中にもバルブ７及び８はその影響を受
けず、バルブシート面に超微粉が付着するのを防
止でき、気密性を保持することができる。
側に、バルブ７及び８を有する連結管１７を配置
した二重構造とすることにより、超微粉が搬送管
６内を通過中にもバルブ７及び８はその影響を受
けず、バルブシート面に超微粉が付着するのを防
止でき、気密性を保持することができる。
尚、上記各バルブは手動弁又は電磁弁のいずれ
でもよく、又連結管及びフイルタハウジングの移
動方法は手動、電動、油圧、または空圧のいずれ
でもよい。
でもよく、又連結管及びフイルタハウジングの移
動方法は手動、電動、油圧、または空圧のいずれ
でもよい。
（考案の効果）
以上述べたように本考案によれば、バルブに超
微粉が付着するのを防止することにより、気密性
を向上できる超微粉捕集装置を提供することがで
きる。
微粉が付着するのを防止することにより、気密性
を向上できる超微粉捕集装置を提供することがで
きる。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は本考案に係る超微粉製造装置の一例を示す構
成図、第３図は本考案に係る超微粉製造装置の一
例を示す系統図である。 ３……チヤンバー、６……搬送管、７，８，１
１……バルブ、９……フイルタハウジング、１０
……フイルタ、１７……連結管。
図は本考案に係る超微粉製造装置の一例を示す構
成図、第３図は本考案に係る超微粉製造装置の一
例を示す系統図である。 ３……チヤンバー、６……搬送管、７，８，１
１……バルブ、９……フイルタハウジング、１０
……フイルタ、１７……連結管。
Claims (1)
- 超微粉が搬送される搬送管と、この搬送管の開
口部近傍外周に軸方向に移動自在に設けられたバ
ルブを有する連結管と、この連結管に連結され内
部に超微粉を捕集するフイルタが内蔵されたフイ
ルタハウジングとを具備することを特徴とする超
微粉捕集装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7039987U JPH0525699Y2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7039987U JPH0525699Y2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63181443U JPS63181443U (ja) | 1988-11-22 |
| JPH0525699Y2 true JPH0525699Y2 (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=30911998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7039987U Expired - Lifetime JPH0525699Y2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0525699Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-05-12 JP JP7039987U patent/JPH0525699Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63181443U (ja) | 1988-11-22 |
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