JPH0525775B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔技術分野〕 本発明は、オートハンドラに関し、特に選別装
置に利用して有効な技術に関するものである。 〔背景技術〕 ハンドラは、たとえば、第１図に示すようなも
のがある。（電子材料1981年別冊p226〜p230）同
図においてローダは、マガジン内に収納された被
測定物を蓄積し、かつ被測定物を自重落下方式に
より環境槽２へ供給するものである。環境槽２は
供給された被測定物を、その測定目的に応じて、
低温または高温処理を施しながら、あるいは常温
に保ち、自重落下方式により測定部３へ搬送する
ものである。測定部３は、搬送された被測定物
を、コンタクトあるいはソケツト方式にて測定す
るものであり、接続線９によつて装置外にあるテ
スタ８と接続されている。選別部４は、測定結果
に従つて、自重落下方式および選別機構により選
別するものである。アンローダ５は、選別された
被測定物を自重落下方式により分類ごとにマガジ
ンに回収後、マガジンごと蓄積するものである。
制御部６は、上記各動作を制御するものである。
操作部７は、上記各動作を操作するものである。 上記構成のハンドラは、下記に示すような問題
点があることが、本発明者によつて明らかにされ
た。すなわち、装置寸法が大きいために、ローダ
１、アンローダ５でのマガジンの蓄積量は、マガ
ジンに収納された被測定物をローダ１に装填する
際等の操作性の面から、あるいは装置の構造上の
面から限定されてしまう。また、被測定物の搬送
中に被測定物のつまり（ジヤム）が生じたり、特
にデユアルインライン形ガラス封止、デユアルイ
ンライン形積層セラミツクパツケージの被測定物
については、被測定物と被測定物あるいは被測定
物とストツパ等が衝突することにより被測定物の
ワレ、カケ等の破損が生じる等の問題があつた。
しかし、スペース効率を向上させるために装置を
小さくする場合、例えば縦方向を小さくするに
は、ローダ、アンローダズのマガジンの蓄積量
（縦方向の搭載量）を減らすか、各部での搬送機
構を装置設置面に対して水平に近くなるように設
けることが考えられる。一方、横方向を小さくす
るには、環境槽、選別部、アンローダを短くする
か、あるいは、マガジンの長さを短くし、被測定
物の収納量を減らすことによりローダ、アンロー
ダを小さくすることが考えられる。ところが、無
人稼動効率から見たローダ、アンローダの蓄積
量、生産効率、及びジヤムの発生率を考慮すると
上記の方法は用いることができない。また、ロー
ダ、アンローダの容量を増やすのに、単にロー
ダ、アンローダを大きくすれば、さらに装置寸法
が大きくなつてしまう。そしてジヤムに関して
は、被測定物を機械的に搬送するわけではないの
で、その防止も困難である。 以上のように、一見して不合理な点が多く、種
類の課題解決は、とても難しくなつている。 そこで、本発明者は、ハンドラの基本的構成で
ある被測定物の搬送機構を装置設置面に対して斜
めに設けていること、つまり自重落下方式を用い
て被測定物搬送を行なつているところに着目し、
種々の課題解決を計つた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、多様な環境設定による被測定
物の試験をコンパクトな装置構成によつて行なう
ことが可能なハンドラを提供することにある。 本発明の他の目的は、容易にローダ及びアンロ
ーダの大容量化を実現することが可能なハンドラ
を提供することにある。 本発明のさらに他の目的は、被測定物の移動経
路におけるひつかかり（ジヤム）、および被測定
物の損傷を確実に防止することが可能なハンドラ
を提供することにある。 本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な
特徴は、本明細書の記述および添付図面から、あ
きらかになるであろう。 〔発明の概要〕 本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。 すなわち、本発明のハンドラは、 装置設置面に対して水平に設けられ、複数の被
測定物を長手方向に一列に収納した複数のマガジ
ンを水平な姿勢で積層収載するローダと、 このローダの直下に平行かつ一体に配置され、
前記ローダから供給される前記被測定物を当該ロ
ーダ直下の水平な経路を移動させる間に測定目的
に応じた処理を施す環境槽と、 この環境槽の一端に一体に配置され、当該環境
槽において処理された被測定物を測定及び選別す
るする測定選別部と、 環境槽の直下に平行かつ一体に配置され、測定
選別部から取り出された被測定物を環境槽の直下
に水平に位置するマガジン内に回収するアンロー
ダと、 ローダ内の最下端に位置するマガジンの一端に
配置され、当該マガジン内の被測定物を他端側に
水平に強制的に移動させる巻き尺型の第１の強制
送り機構と、 この第１の強制送り機構によつてマガジンの他
端部に排出される被測定物が個別に載置されるレ
ール、及び当該レールを環境槽の高さ位置まで昇
降動作を行なう上下動要回転ねじ、及びレール上
の被測定物を環境槽内に水平方向に強制的に送り
込む送りツメからなる第２の強制送り機構と、 測定選別部内に設けられ、測定済の被測定物の
振り分けを行なう揺動アーム及びアンローダ内の
マガジン内に揺動アーム上の被測定物を水平方向
に強制的に送り込むプツシヤからなる第３の強制
送り機構と、 ローダとアンローダとの間に環境槽の壁面に沿
つて配置され、マガジンを水平な姿勢を保持しつ
つ挟持して搬送する一対の弾性ベルトによりロー
ダ内のマガジンをアンローダに搬送するマガジン
搬送部と、 を備えた構造としたものである。 これにより、ローダ、環境槽、アンローダが装
置設置面に対して一体に積み重なるように配置さ
れているとともに、ローダからアンローダに至る
被測定物の搬送は、第１、第２及び第３の強制送
り機構によつて装置設置面に対して水平に行なわ
れるので、多様な環境設定による被測定物の試験
をコンパクトな装置構成で実現できるとともに、
設置スペースを有効に利用して容易にローダおよ
びアンローダにおけるマガジン収載量の大容量化
を達成することができる。 また、ローダからアンローダに至る被測定物の
搬送は、第１、第２及び第３の強制送り機構によ
つて強制的に行なわれるので、ジヤム及び被測定
物の衝突による損傷を防止することができる。 〔実施例〕 第２図は、本発明の一実施例であるハンドラを
示す正面図である。同図において１０は、ローダ
であり、マガジン１９に収納された被測定物を蓄
積しかつ１１の強制送り機構（第１の強制送り機
構）により被測定物を搬送する機能を備えてお
り、その下方左側面に設けられる１２は、搬送部
であり、前記ローダ１０から送られた被測定物を
環境槽１４に搬送する機能を備えている。１３
は、マガジ搬送部であり、ローダ１０で被測定物
を取り出した後のマガジン１９をアンローダ１８
に搬送する機能を備えている。前記ローダ１０直
下に位置する１４は、環境槽であり搬速部１２に
より搬送された被測定物に対して、その測定目的
に応じて低温または高温処理を施しながら、ある
いは常温に保ちながら測定選別部１５手前まで搬
送する機能を備えている。前記環境槽１４右側面
に設けられる１５は、測定選別部であり被測定物
をソケツト方式によつて測定した後、測定結果に
従つて選別する機能を備えており、接続線１７に
より装置外にあるテスタ１６に接続されている。
前記環境槽１４直下に位置する１８は、アンロー
ダであり選別された被測定物を、それぞれの分類
に応じてマガジンに回収し、マガジンが被測定物
で満たされると、コンテナに、マガジン１９ごと
蓄積させる機能を備えている。 次に、上記の構成のハンドラの詳細を各部ごと
に説明する。 Ａ ローダ１０ 第３図は、ローダ１０の詳細図で、特に被測
定物を収納したマガジン１９を各列ごとに一本
ずつ取出す機構を示している。すなわち、各列
ごとにマガジン１９の長手方向と平行して上下
二本配置され、マガジン１９長手方向両端部に
設けられたツメ２０，２１のうち下のツメ２０
によつて、積み重ねてあるマガジン１９のう
ち、最下にあるものの凹部が引掛けられ、複数
列に積み重ねてあるマガジン１９が保持されて
いる。ツメ２０，２１は、それぞれ、２２の回
転軸上に設けられたカム２３，２４の回転によ
つて交互にスライドするようになつている。そ
の動作は、回転軸２２が回転すると共にカム２
３が回転することによりツメ２０が後退する一
方、カム２４の回転によりツメ２１が突出し
て、下から二番目にあるマガジン１９の凹部を
引掛け、その上方にあるマガジン１９を保持す
る。その後充分にツメ２０が後退すると、ツメ
２０により引掛けられていた最下にあるマガジ
ン１９が落下する。さらに回転軸２２が回転す
ることによつて今度は、ツメ２１が後退する一
方、ツメ２０が突出し、充分に突出したところ
でツメ２１が解除され、今までツメ２１によつ
てささえられていた上下にあるマガジン１９が
落下し、ツメ２０によつてささえられる。ま
た、供給されたマガジン１９のうち手前にある
マガジン１９長手方向両端下方に設けられ、マ
ガジン１９長手方向に対して直交する方向に配
置された回転軸２５は、それぞれ一端を軸受２
６によつてささえられており、他端には傘歯歯
車２７が設けられれている。この回転軸２５が
回転することによつて回転軸２５上に設けられ
たカム２８が回転し、マガジン１９長手方向両
端に設けられたクランパ２９が動き、手前のマ
ガジン１９をその長手方向両端でクランプす
る。その後第４図に示されるように、巻尺型の
強制送り機構１１の押出しによつてマガジン１
９内の被測定物が一個ずつ送り出される。この
マガジン１９内の被測定物が全て送り出される
と、強制送り機構１１の押出し機構が元に戻
り、クランパ２９が解除され、マガジン１９は
マガジン搬送部１３に送られる。その後複数列
供給されたマガジン１９のうち、手前から二列
目にあつたマガジン１９が、マガジン１９長手
方向両端に設けられるツメ（図示せず）の矩形
動作によつて手前に搬送され、所定位置に達し
たところでクランパ２９でクランプされ、前記
と同様に被測定物が供給される。その後順次供
給され、複数列供給されたマガジン１９が無く
なるとツメ２０，２１が前記と同様にスライド
し、複数列一本ずつのマガジン１９が供給され
る。 なお、前記回転軸２２は、それぞれ長手方向
一端が軸受（図示せず）によつてささえられて
いるものであり、他端は、回転駆動軸（図示せ
ず）に、前記傘歯歯車２７と同一形状のもので
接続されている（図示せず）。また、前記クラ
ンパ２９の、マガジン長手方向と直交する方向
に設けられている３０は、クランパ２９の支点
軸となるもので、この支点軸３０を支点として
揺動する。さらに、マガジン長手方向と平行に
設置されている回転軸３１は、その長手方向一
端を軸受（図示せず）によつてささえられれて
おり、他端は回転機構（図示せず）に接続され
ていて、前記回転軸２５を回転させるため、前
記傘歯歯車２７と同一の傘歯歯車３２で接続さ
れている。 Ｂ 搬送部１２ 第５図は、搬送部１２での被測定物搬送機構
（第２の強制送り機構）を示している。すなわ
ち、３３は上下動用回転ねじであり、その長手
方向は装置設置面に対して垂直方向となるよう
に配置され、一端は軸受３４にてささえられ、
他端は、駆動源（図示せず）に接続されてい
る。この上下動用回転ねじ３３の回転によつて
上下動する上下動ねじ３５は、被測定物を搬送
するレール３６をマガジン１９長手方向と同方
向に設けている。その動作は、ローダ１０から
一個ずつ送られる被測定物を一個ずつレール３
６上にのせた後、上下動用回転ねじ３３が回転
し、上下動ねじ３５が下がることによつて環境
槽１４入口手前まで搬送し、送りツメ３７によ
つて環境槽１４内に挿入する。その後、上下動
用回転ねじ３３が前記とは逆方向に回転するこ
とによつて上下動ねじ３５が上昇し、所定位置
に停止後、前記と同様の動作を繰り返し、被測
定物の搬送を行なう。 Ｃ マガジン搬送部１３ 第６図は、ローダ１０で被測定物をすべて供
給した後のマガジン１９を、マガジン搬送部１
３でアンローダへ搬送する機構を示す側面図で
ある。すなわち、３８，３９は弾性ベルトで、
それぞれローラ４０，４１の回転によつて動く
ものであり、マガジン１９をはさむかたちで配
置されている。４２はローラであり、マガジン
１９の搬送経路を形成すると共に、弾性ベルト
３８に適切なテンシヨンを与える役目を果たす
ものである。４３は、ガイド板であり、マガジ
ン１９がローラ４２に接触することを防ぐと共
に、マガジン１９の搬送を案内する役目を果た
すものである。その動作は、弾性ベルト３８，
３９が、図中矢印で示されるような動きをする
ことにより、マガジン１９がその間にはさまれ
るかたちでアンローダ１８に搬送される。 Ｄ 環境槽１４ 第７図、第８図は、環境槽１４での被測定物
搬送機構を示している。第７図は、搬送機構の
側面図を示し、第８図は正面図を示す。第７図
において４４，４５はガイドブロツクであり、
その間に配置される４６は矩形動作可能なブロ
ツクである。第８図に示されるように、ガイド
ブロツク４４，４５及びブロツク４６は、それ
ぞれの長手方向が被測定物長手方向と平行する
ように設けられており、被測定物は、ガイドブ
ロツク４４，４５によつて案内されながら、図
中矢印で示されるブロツク４６の矩形動作によ
つて搬送される。 Ｅ 測定選別部１５ 第９図、第１０図は、選定選別部１５での、
被測定物の搬送、被測定物のソケツトへの挿
入、被測定物のソケツトからの抜き取り、被測
定物の搬送を示す正面図である。第９図におい
て、４７，４８は、ロボツトアームであり、上
下動可能であると共に、被測定物挾持部が開閉
可能となつている。このアーム４７，４８は、
被測定物長手方向と平行して設けられた二本の
ガイドレール４９に沿つて移動可能な支持ブロ
ツク５０により支持されている。５１は、被測
定物を測定するソケツトである。また、５２
は、プツシヤーであり、被測定物をソケツト５
１に挿入する際に押す役目を持つ。５３は、バ
ネであり、被測定物をソケツト５１から抜き取
る際に被測定物を押さえる役目を持つ。その動
作は、ロボツトアーム４７，４８が、それぞれ
環境槽１４出口手前にある被測定物の上方所定
位置と、ソケツト５１上方所定位置に位置する
ように二本のガイドレール４９に沿つて支持ブ
ロツク５０が移動する。その後ロボツトアーム
４７，４８が下降し、挾持部でそれぞれ被測定
物と測定済の被測定物をつかみ、ロボツトアー
ム４７は上昇し、ロボツトアーム４８は上昇す
ることによつてソケツト５１から抜き取る。所
定の高さまで上昇したところで、支持ブロツク
５０が二本のガイドレール４９に沿つて図中右
方向に移動を始める。そして、第１０図に示さ
れるように、ロボツトアーム４７がソケツト５
１上方所定位置に、ロボツトアーム４８がレー
ル５４上方所定位置に達したところで停止す
る。その後ロボツトアーム４７が下降して被測
定物をソケツト５１に挿入する。一方ロボツト
アーム４８も下降し、測定済の被測定物をレー
ル５４上にのせる。その後測定済の被測定物
は、レール５４に沿つて送りツメ５５の矩形動
作によつて選別機構手前まで搬送される。 第１１図は、測定選別部１５のソケツト５１
下方に設けられた選別機構（第３の強制送り機
構）を示す。図において５６は揺動アームであ
り、回転軸５７を中心にして揺動するものであ
る。この揺動アーム５６は、図中二点鎖線で示
されるように、マガジン１９手前まで回転する
際に、測定済の被測定物をのせている部分が揺
動アーム５６長手方向に対して90°回転し、マ
ガジン１９長手方向と測定済の被測定物長手方
向が一致する仕組になつている。５８は、矩形
動作可能な送りツメであり、測定済の被測定物
を揺動アーム５６上に搬送する役目を持つ。５
９，６０はプツシヤーであり、レール５４をは
さんで、マガジン１９長手方向と同方向に設け
られていて、揺動アーム５６によつて選別され
た測定済の被測定物をマガジン１９に挿入する
役目を持つ。その動作は、測定済の被測定物が
ツメ５８によつて揺動アーム５６上に搬送され
る。その後、測定結果に基づいて揺動アーム５
６が回転し、プツシヤー５９によつて測定済の
被測定物がマガジン１９内に回収される。 Ｆ アンローダ１８ アンローダ１８では、選別された測定済の被
測定物をマガジン１９に回収後、マガジン１９
ごと蓄積する機能を持つ。第１２図は、測定済
の被測定物で満たされたマガジン１９を、エレ
ベータ上に搭載する機構を示している。図にお
いて６１はマガジン１９長手方向と直交して、
マガジン１９長手方向両端に設けられる揺動ア
ームであり、マガジン１９を搬送する機能を持
ち、回転軸６２を中心にして揺動する。この揺
動アーム先端には、回転ガイド板６３が設けら
れており、マガジン１９を保持し、回転するこ
とによつてマガジン１９を案内搬送する機能を
持つ。６４はガイド板であり、マガジン１９の
搬送を案内するものである。６５はエレベータ
であり、マガジン１９を複数列搭載後下降し、
その上方にさらにマガジン１９を多段に搭載す
る機能を持つ。６６は、コンテナである。その
動作は、測定済の被測定物で満たされたマガジ
ン１９を保持している揺動アーム６１が、図に
示すように回転軸６２を中心にして回転し、そ
の後回転ガイド板６３が90°回転し、マガジン
１９は、回転ガイド板６３上を落下する。そし
てガイド板６４によつて一時落下が停止し、第
１３図に示されるようにさらに回転ガイド板６
３が回転することによつてマガジン１９がガイ
ド板６４に沿つて落下する。その後、回転ガイ
ド板６３が180°回転すると第１４図に示される
ように、回転ガイド板６３の回転による押し出
しによつてエレベータ６５上に搭載される。こ
の動作を繰り返し、マガジン１９が一段複数列
搭載された後、エレベータ６５が下降してその
上にマガジン１９が搭載されていく。その後、
コンテナ６６にマガジン１９ごと蓄積される。 なお、この蓄積機構は、分類ごとに行なうもの
である。 次に被測定物の流れを説明する。 ローダ１０において蓄積された被測定物は、巻
尺型の強制送り機構１１によつて搬送部１２に一
個ずつ搬送される。搬送部１２では、一個ずつ環
境槽１４に搬送され、その後環境槽１４内で測定
目的に応じて低温又は高温処理を施されながら、
あるいは常温に保たれ、ブロツク４６の矩形動作
によつて測定選別部１５手前まで搬送される。測
定選別部１５では、ロボツトアーム４７によつて
ソケツト５１に挿入され、測定される。測定が終
了するとロボツトアーム４８によつて抜き取りが
行なわれ搬送される。その後測定結果に基づいて
選別機構により選別され、アンローダ１８で分類
ごとにマガジン１９に回収され、マガジン１９ご
とコンテナ６６に蓄積される。 〔効果〕 １ 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式（第１、
第２および第３の強制送り機構）により装置設
置面に対して水平に行ない、かつローダ、環境
槽、アンローダを装置設置面に対して水平に重
ねるように搭載することにより、装置全体が小
さくなり、スペース効率が向上するという効果
が得られる。 ２ 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式（第１、
第２および第３の強制送り機構）により装置設
置面に対して水平に行ない、かつローダ、環境
槽、アンローダを装置設置面に対して水平に重
ねるように搭載することにより、また装置全体
が小さくなることにより、ローダにおける被測
定物を充填したマガジンの供給、アンローダに
おける測定済の被測定物の回収作業効率が良く
なるという効果が得られる。 ３ 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式（第１、
第２および第３の強制送り機構）により装置設
置面に対して水平に行ない、かつローダ、環境
槽、アンローダを装置設置面に対して水平に重
ねるように搭載することにより、また装置全体
が小さくなることにより、ローダ、アンローダ
の大容量化が容易にできるという効果が得られ
る。 ４ 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式（第１、
第２および第３の強制送り機構）により装置設
置面に対して水平に行なうことにより、ジヤム
がなくなるという効果が得られる。 ５ 被測定物の、マガジンからの供給、被測定物
の環境槽での搬送、被測定物の選別、被測定物
のマガジンへの回収を、強制送り方式（第１、
第２および第３の強制送り機構）により装置設
置面に対して水平に行なうことにより、被測定
物と被測定物、あるいは被測定物とストツパ等
との衝突による衝撃が小さくなり、被測定物の
損傷を防ぐことができるという効果が得られ
る。 ６ ローダ、アンローダの大容量化ができ、ジヤ
ム及び被測定物の損傷を防ぐことができるの
で、被測定物の蓄積量が増え、人手がかからな
くなり、無人稼働効率が良くなるという相乗効
果が得られる。 以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
もとづき具体的に説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。 たとえば、ローダにおいて、ツメのスライド機
構の動作と、マガジンのクランプ機構の動作を、
マガジン長手方向一端について一個のカムで行な
うことができ、そうすることによつて、機構が簡
単になる。また、クランプ機構を、マガジン長手
方向両端にあり、長手方向と直交してマガジンを
はさむようにすることもできる。そうすることに
よつて、上方向のスペース効率が良くなる。ま
た、マガジンの長手方向に開口部があるものにつ
いては、その開口部に沿つてツメを入れ、そのツ
メによつて被測定物の搬送を行なう方法もあり、
そうすることによつて、ローダ外部に搬送機構を
設ける必要がなくなり、ローダの凸部が少なくな
る。 搬送部においては、被測定物の環境槽入口手前
までの搬送を、カムの回転によるレバーの上下動
によつて行なう方法もあり、そうすることによつ
て機構が簡単になる。 マガジン搬送部においては、ローダで被測定物
が全て供給された後のマガジンの搬送を、揺動ア
ームの上下揺動によつて行なう方法や、リンク機
構の上下運動によつて行なうこともでき、そうす
ることによつて機構が簡単にできる。 環境槽においては、被測定物の搬送をガイドブ
ロツクの矩形動作によつて行なう方法や、被測定
物をその長手方向に伸びるブロツク上にのせ、ツ
メ送りとする方法もあり、そうすることによつて
低・高温処理の効率が良くなる。また、被測定物
長手方向が、マガジン長手方向に対して直交する
ように並べて、ブロツクの矩形動作によつて搬送
する方法もあり、そうすることによつて多くの被
測定物を処理搬送できる。その場合には、搬送部
で搬送中に被測定物を90°回転させておく。また、
環境槽出入口にシヤツターを設けたり、環境槽内
に複数の仕切板を設けることもでき、そうするこ
とによつて環境槽内での低・高温状態等が保て易
くなる。 測定選別部においては、ソケツトを複数個用い
て測定する方法もあり、そうすることによつて効
率良く測定できる。また、ソケツト位置を装置設
置面に対して直交する位置に設けることもでき、
そうすることによつて測定選別部がコンパクトに
できる。他には、選別を、被測定物長手方向に対
して首振り可能なレールによつて行なう方法や、
被測定物長手方向に対して直交する方向に移動可
能なレールによつて行なう方法もあり、分類数や
スペースに応じて選別機構を選択できる。また、
マガジンへの被測定物の回収を、ツメによつて行
なうこともできる。 アンローダにおいては、選別された測定済の被
測定物で満たされたマガジンをエレベータ上に搭
載するのに、マガジン長手方向の中心に設けられ
る一本の揺動アームによつて行なう方法もあり、
そうすることによつて機構が簡単になる。また、
不良品が収納されているマガジンの蓄積を、自重
落下方法によつて行なう方式もあり、そうするこ
とによつて機構が簡単にできる。 〔利用分野〕 以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野である半導
体装置の製造技術に適用した場合について説明し
たが、それに限定されるものでなく、たとえば、
撮像装置などの半導体装置以外の電子部品、ある
いは小物品に対するハンドラに適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のハンドラの概観を示す正面
図。第２図は、本発明のハンドラの概観を示す正
面図。第３図は、本発明のハンドラのローダにお
けるマガジン供給の仕組を示す傾視図。第４図
は、本発明のハンドラのローダにおいて、被測定
物供給の仕組を示す正面図。第５図は、本発明の
ハンドラの移送部における被即例物の移送の仕組
を示す正面図。第６図は、本発明のハンドラの空
マガジン移送部における、空マガジン移送の仕組
を示す側面図。第７図は、本発明のハンドラの環
境槽における被測定物の搬送の仕組を示す側面
図。第８図は、本発明のハンドラの環境槽におけ
る被測定物の搬送の仕組を示す正面図。第９図、
第１０図は、本発明のハンドラの測定選別部にお
いて、被測定物の搬送、ソケツト挿入、ソケツト
抜取り、搬送を示す正面図。第１１図は、本発明
のハンドラの測定選別部における選別機構を示す
平面図。第１２図は、本発明のハンドラのアンロ
ーダにおけるマガジン蓄積機構を示す側面図。第
１３図、第１４図は、第１２図におけるマガジン
の動きを示す部分図である。 １……ローダ、２……環境槽、３……測定部、
４……選別部、５……アンローダ、６……制御
部、７……操作部、８……テスタ、９……接続
線、１０……ローダ、１１……強制送り機構、１
２……搬送部、１３……マガジン搬送部、１４…
…環境槽、１５……測定選別部、１６……テス
タ、１７……接続線、１８……アンローダ、１９
……マガジン、２０……ツメ、２１……ツメ、２
２……回転軸、２３……カム、２４……カム、２
５……回転軸、２６……軸受、２７……傘歯歯
車、２８……カム、２９……クランパ、３０……
支点軸、３１……回転軸、３２……傘歯歯車、３
３……上下動用回転ねじ、３４……軸受、３５…
…上下動ねじ、３６……レール、３７……送りツ
メ、３８……弾性ベルト、３９……弾性ベルト、
４０……ローラ、４１……ローラ、４２……ロー
ラ、４３……ガイド板、４４……ガイドブロツ
ク、４５……ガイドブロツク、４６……ブロツ
ク、４７……ロボツトアーム、４８……ロボツト
アーム、４９……ガイドレール、５０……支持ブ
ロツク、５１……ソケツト、５２……プツシヤ
ー、５３……ばね、５４……レール、５５……送
りツメ、５６……揺動アーム、５７……回転軸、
５８……送りツメ、５９……プツシヤー、６０…
…プツシヤー、６１……揺動アーム、６２……回
転軸、６３……回転ガイド板、６４……ガイド
板、６５……エレベータ、６６……コンテナ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 装置設置面に対して水平に設けられ、複数の
   被測定物を長手方向に一列に収納した複数のマガ
   ジンを水平な姿勢で積層収載するローダと、 このローダの直下に平行かつ一体に配置され、
   前記ローダから供給される前記被測定物を当該ロ
   ーダ直下の水平な経路を移動させる間に測定目的
   に応じた処理を施す環境槽と、 この環境槽の一端に一体に配置され、当該環境
   槽において処理された前記被測定物を測定及び選
   別する測定選別部と、 前記環境槽の直下に平行かつ一体に配置され、
   前記測定選別部から取り出された前記被測定物を
   前記環境槽の直下に水平に位置するマガジン内に
   回収するアンローダと、 前記ローダ内の最下端に位置する前記マガジン
   の一端に配置され、当該マガジン内の前記被測定
   物を他端側に水平に強制的に移動させる巻き尺型
   の第１の強制送り機構と、 この第１の強制送り機構によつて前記マガジン
   の他端部に排出される前記被測定物が個別に載置
   されるレール、及び当該レールを前記環境槽の高
   さ位置まで昇降動作を行なう上下動用回転ねじ、
   及び前記レール上の前記被測定物を前記環境槽内
   に水平方向に強制的に送り込む送りツメからなる
   第２の強制送り機構と、 前記測定選別部内に設けられ、測定済の前記被
   測定物の振り分けを行なう揺動アーム及び前記ア
   ンローダ内の前記マガジン内に前記揺動アーム上
   の前記被測定物を水平方向に強制的に送り込むプ
   ツシヤからなる第３の強制送り機構と、 前記ローダと前記アンローダとの間に前記環境
   槽の壁面に沿つて配置され、前記マガジンを水平
   な姿勢を保持しつつ挟持して搬送する一対の弾性
   ベルトにより前記ローダ内のマガジンを前記アン
   ローダに搬送するマガジン搬送部と、 を備えていることを特徴とするハンドラ。 ２ 前記ローダにおいて複数列の一本ずつの前記
   マガジンの供給を、複数列の当該マガジン長手方
   向両端に設けられ、カムによつて交互スライド可
   能な上下２本のツメによつて行なうことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のハンドラ。 ３ 前記ローダにおいて複数列一本ずつの供給さ
   れた前記マガジンの搬送を、当該マガジン長手方
   向両端に設けられ、矩形動作可能なツメによつて
   行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のハンドラ。 ４ 前記ローダにおいて前記被測定物を前記マガ
   ジンから取り出す際に、当該マガジン長手方向両
   端に設けられ、カムによつて揺動可能なクランパ
   によつて前記マガジンをクランプすることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のハンドラ。 ５ 前記環境槽において、前記被測定物を搭載案
   内するガイドブロツクと、このガイドブロツクの
   下方から突出し、矩形動作を行なうブロツクによ
   つて前記被測定物を搬送することを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のハンドラ。 ６ 前記測定選別部において、前記被測定物の搬
   送、前記被測定物のソケツト挿入及び測定済の前
   記被測定物のソケツト抜き取り、測定済の前記被
   測定物の搬送を、上下動可能な二本のロボツトア
   ームと、この二本のロボツトアームを支持し、ガ
   イドレールに沿つて移動可動な支持ブロツクによ
   つて行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のハンドラ。 ７ 前記測定選別部において、選別部までの前記
   被測定物の搬送を矩形動作可能な二本のツメによ
   りレールに沿つて行なうことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のハンドラ。 ８ 前記アンローダにおいて、前記被測定物で満
   杯になつた前記マガジンを、揺動アームとその先
   端に設けられ、ストツパの役目も兼ね備えた回転
   ガイド板、及び前記マガジンの落下をガイドする
   ガイド板によつてエレベーター上に積み重ねた後
   コンテナに蓄積することを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のハンドラ。