JPH05271966A - エッチング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】厚い金属板からも精度の高い製品を製造できる
エッチング方法を提供すること。 【構成】製品を形成するための部分１１，２１と保持部
を形成するための部分１２，２２とこれらを連結する連
結部を形成するための部分１３，２３とからなるマスク
１０，２０を用いてエッチングを行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、金属板のような被エッ
チング物からエッチングにより所定形状の製品を抜き加
工するためのエッチング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２は、いわゆるフェイスアップの状
態でＴＡＢ（Tape Automated Bonding)パッケージ２を
回路基板１に搭載した状態を示しており、図中符号３は
シリコンチップ、符号４はリード、符号６はフィルムで
ある。ＴＡＢパッケージ２をこのように搭載する場合、
リード４等の変形を防止するためにリード４と回路基板
１との間に図１３に示すような枠状の封止材７を介在さ
せる場合がある。

【０００３】このように用いられる封止材７の寸法精度
や曲がり精度に対する要求は非常に厳しいため、これを
打ち抜き加工で生産することはできず、エッチング加工
により製造されている。即ち、図１４に示すように、４
２アロイ等のニッケル-金合金からなる厚さ０.６ｍｍ程
度の金属板８の表面及び裏面に枠状のマスク９を多数形
成し、これを図１５に示すようにエッチング装置内に吊
るして表面側および裏面側からエッチング液を噴霧して
エッチングすることによって製造されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところがこのような方
法で封止材７を製造すると、金属板８の肉厚分エッチン
グが進行したとき金属板８から封止材７が脱落してしま
うため、封止材７の外寸及び内寸の精度を十分高められ
ない不満があった。即ち、図１６に示すように、エッチ
ングは金属板８の表面及び裏面から始まり中心部に向か
って進行するため、金属板８の中心部のエッチング量が
表面近傍部分や裏面近傍部分に比較して小である。そし
て従来のエッチング方法ではエッチングが肉厚分進行す
ると、直ちに封止材７が金属板８から落下してしまう。
このため従来のエッチング方法では、図１７に示すよう
に、封止材７の外周面１０や内周面１１が山形に突出し
た状態のところでエッチング処理を終了しなければなら
ず、このため封止材７の外寸Ａや内寸Ｂの精度が損なわ
れる。このような問題は、薄い金属箔をエッチングする
場合は顕在化しないが、厚さ０.３ｍｍ以上の金属板、
例えば前記封止材７を製造する時に用いるような厚い金
属板８をエッチングする場合に顕著となる。

【０００５】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、厚い金属板からも精度の高い製品を製造できるエッ
チング方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１のエッチング方
法は、製品を形成するための部分（以下、製品形成部と
記す）と保持部を形成するための部分（以下、保持部形
成部と記す）とこれらを連結する連結部を形成するため
の部分（以下、連結部形成部と記す）とからなるマスク
を用いてエッチングを行なうことを特徴とする方法であ
る。エッチング処理を表裏両面から行なう場合は、前記
マスクを被エッチング物の表裏両面に形成することが望
ましい。前記連結部形成部は、製品形成部の角部に接続
するように設けると良い。また連結部形成部を、表面側
のマスクあるいは裏面側のマスクのうちいずれか一方に
は設けないでおくと、後述する作用効果を得ることがで
きる。この場合でも連結部形成部を製品形成部の角部に
接続すると、後述するように良好な結果を得ることがで
きる。

【０００７】

【作用】請求項１のエッチング方法では、製品形成部と
保持部形成部と連結部形成部とからなるマスクを設けて
エッチングを行なうので、エッチングは保持部、連結部
及び製品部分を残して進行する。よって保持部形成部を
設けた箇所を適宜な手段によって把持しておけば製品部
分は保持部及び連結部によって支持し続けることがで
き、被エッチング物の肉厚分エッチングが進行しても脱
落しない。従って、製品部分の肉厚方向に沿う面を平滑
化するのに必要な時間この製品部分をエッチング処理で
きる。請求項２のエッチング方法では、表裏両面にマス
クを形成したので、表裏両面からエッチングを行なうこ
とができる利点がある。請求項３のエッチング方法で
は、連結部形成部が製品形成部の角部に接続されている
ので、エッチング処理終了後に連結部と製品部分との間
を折ったとき、製品部分が抉られるような状態で製品部
分と連結部とが切り離される。従ってこのエッチング方
法によれば、製品部分の連結部が連設されていた箇所が
突出するのを防止できる。請求項４のエッチング方法で
は、連結部形成部が被エッチング物の表面側マスクある
いは裏面側マスクの一方にのみ設けられているので、こ
の部分では被エッチング物の一方の面からエッチングさ
れる。このため被エッチング物の他の部分が肉厚分エッ
チングされたとき連結部は肉厚の半分程度の厚さとなっ
ている。従ってこのエッチング方法では、エッチング処
理終了後、製品部分を保持部から切り離し易い。請求項
５のエッチング方法では、前記一方のマスクに設けた連
結部形成部を製品形成部の角部に接続したので、エッチ
ング処理終了後折られた連結部の残片が製品部分に残っ
ていても、エッチング処理では製品の角部が必然的に丸
まっているため、連結部の残片が製品の辺の部分より外
方に突出するのを避けることができる。

【０００８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明のエッチング方
法を封止材７を製造する場合を例にして詳しく説明す
る。なお前記従来例と同一構成部分には、同一符号を付
して説明を簡略化する。

【０００９】(実施例１)ニッケル−鉄合金である４２ア
ロイからなる厚さ０.６ｍｍ±１０μｍ、巾３００ｍ
ｍ、長さ３００ｍｍの金属板８の両面に、ポジ型のレジ
スト材を塗布した。ついでこれらレジスト材を露光し、
現像して、図１に示すように表マスク１０、裏マスク２
０を形成した。これらマスク１０、２０は、製品形成部
１１、２１と保持部形成部１２、２２と連結部形成部１
３、２３とで構成されている。またこれら表マスク１０
および裏マスク２０は、互いに重なり合うように設けら
れている。製品形成部１１、２１の外周は１４mm×１４
mm、内側の穴は１２mm×１２mmである。

【００１０】ついでマスク１０、２０を形成した金属板
８をエッチング装置内に吊るし、金属板８の表面側及び
裏面側からエッチング液を噴霧した。このとき保持部形
成部１２、２２が設けられた箇所を把持するようにし
た。またエッチング液には１０％塩化第二鉄を用いた。
金属板８の肉厚分エッチングが進行した後、さらにエッ
チングを行ない製品形成部１１，１２に覆われた箇所に
ある肉厚方向に沿う面が所望の平坦度となるのに要する
と思われる時間エッチング液の噴霧を継続し、その後エ
ッチング液の噴霧を停止した。この後、レジスト剥離液
を噴霧してマスク１０、２０を除去した。

【００１１】こうして得られたものは図２に示すよう
に、保持部３０に連結部３１を介して製品である封止材
７が連結されたものであった。この連結部３１と封止材
７との間を折って封止材７を得た。

【００１２】こうして得られた封止材７を投影機で観察
したところ、封止材７の外周面１０および内周面１１は
殆ど平坦になっていた。またこの封止材７の外形寸法を
表面近傍の部分と中心部分の両方で測定したところ、両
者の差は２μｍ以下であった。

【００１３】この実施例のエッチング方法では、製品形
成部１１、２１と保持部形成部１２、２２と連結部形成
部１３、２３とからなるを設けたマスク１０、２０を用
いて、エッチングを行なったので、エッチングは保持部
形成部１２、２２の下の保持部３０、連結部形成部１
３、２３の下の連結部３１及び製品形成部１１、２１の
下の製品部分（封止材７）を残して進行する。この結果
保持部形成部１２、２２を設けた部分を適宜な手段によ
って把持しておけば金属板８の肉厚分エッチングが進行
しても製品部分（封止材７）は保持部３０及び連結部３
１によって支持され、脱落しない。従って、このエッチ
ング方法では封止材７の外周面１０および内周面１１を
平滑化するのに必要な時間エッチング処理することがで
き、厚い金属板８からも精度の高い製品を製造できる。

【００１４】(実施例２）この例のエッチング方法にあ
っては、図３に示すように、連結部形成部１３、２３が
製品形成部１１、２１の角部に連接されたマスク１０、
２０を用いた。このマスク１０、２０を用いてエッチン
グを行なったところ、図４に示すように、封止材７の角
部３５に連結部３１が連なったものが得られた。そして
封止材７の部分を左右に動かしたところ、連結部３１か
ら封止材７を切り離すことができた。切り離された封止
材７は、図５に示すように、連結部３１が連接されてい
た角３５が欠けた状態になっていた。

【００１５】この実施例のエッチング方法では、連結部
形成部１３、２３が製品形成部１１、２１の角部に接続
されたマスク１０、２０を用いたので、エッチング処理
終了後に連結部３１と製品部分３２の間を折ると、製品
部分３２が抉られるような状態で、製品部分３２と連結
部３１とが切り離される。従ってこのエッチング方法に
よれば、連結部３１の連結されていた部分が封止材７の
設定された外径寸法よりも突出するのを避けることがで
きる。

【００１６】（実施例３)この実施例のエッチング方法
では、図６に示すように、表マスク１０にのみ連結部形
成部１３を設け、裏マスク２０には連結部形成部２３を
設けずにエッチング処理を行なった。この状態でエッチ
ングを行なったところ、連結部形成部１３の設けられた
部分は、図７に示すように、裏面側からエッチングされ
た。そして得られたものは、図８に示したように、連結
部３１の肉厚が封止材７や保持部３０の肉厚の半分以下
になっていた。

【００１７】この実施例のエッチング方法では、表マス
ク１０にのみ連結部形成部１３を設けたので、この部分
では金属板８の裏面側からエッチングが進行する。この
ため金属板８の肉厚分エッチングが進行したとき連結部
３１は約半分ほどの厚さとなっている。従ってこのエッ
チング方法では、エッチング処理終了後、製品部分３２
を保持部３０から容易に切り離すことができ、切断時に
封止材７が変形するのを防止できる利点がある。

【００１８】（実施例４）この実施例では、裏マスク２
０の連結部形成部２３を省くと共に表マスク１０にのみ
連結部形成部１３を設け、さらに連結部形成部１３を製
品形成部１１の角部に連接した。

【００１９】このようなマスク１０、２０を設けた金属
板８をエッチングしたところ、連結部形成部１３の設け
られた部分が裏面側からのエッチングを受け、図９に示
したように、連結部３１の肉厚が封止材７や保持部３０
の肉厚の半分程度になったものが得られた。また得られ
た封止材７の角部は、いずれも一般的なエッチング処理
により得られたものと同様に丸まっており、連結部３１
が連接されている角３５の裏面側も図１０に示すよう
に、面取りされた状態となっていた。

【００２０】この実施例のエッチング方法では、裏マス
ク２０の連結部形成部２３を省き、表マスク１０にのみ
連結部形成部１３を設けると共に、この連結部形成部１
３を製品形成部１１の角部に連設したので、図１１に示
したように、封止材７の角部３５は必然的に丸まってい
るため、折られた連結部３１の残片４０が封止材７に取
り付いても、この残片４０が封止材７の辺４１、４２の
部分より突出するのを避けることができる効果もある。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように請求項１のエッチン
グ方法では、製品形成部と保持部形成部と連結部形成部
とからなるマスクを設けてエッチングを行なうので、エ
ッチングは保持部、連結部及び製品部分を残して進行す
る。よって保持部形成部を設けた箇所を適宜な手段によ
って把持しておけば製品部分を保持部及び連結部によっ
て支持し続けることができ、被エッチング物の肉厚分エ
ッチングが進行しても脱落しない。従って、このエッチ
ング方法によれば、製品部分の肉厚方向に沿う面を平滑
化するのに必要な時間この製品部分をエッチング処理で
き、厚い金属板からも精度の高い製品を製造できる。請
求項２のエッチング方法では、表裏両面にマスクを形成
したので、表裏両面からエッチングを行なうことができ
る利点がある。請求項３のエッチング方法では、連結部
形成部が製品形成部の角部に接続されているので、エッ
チング処理終了後に連結部と製品部分との間を折ると、
製品部分が抉られるような状態で、製品部分と連結部と
が切り離される。従ってこのエッチング方法によれば、
製品部分の連結部が連設されていた箇所が突出するのを
防止することができる。請求項４のエッチング方法で
は、連結部形成部が被エッチング物の表面側マスクある
いは裏面側マスクの一方にのみ設けられているので、こ
の部分では被エッチング物の一方の面からのエッチング
を受ける。このため被エッチング物の他の部分が肉厚分
エッチングされたとき連結部は肉厚の半分程度の厚さと
なっている。従ってこのエッチング方法では、エッチン
グ処理終了後、製品部分を保持部から切り離し易い。請
求項５のエッチング方法では、前記一方のマスクにのみ
設けた連結部形成部を、製品形成部の角部に接続したの
で、エッチング処理終了後折られた連結部の残片が製品
部分に残っていても、エッチング処理では角部が必然的
に丸まるため、連結部の残片が製品の辺の部分より外方
に突出するのを避けることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は実施例１のエッチング方法で金属板に
マスクを形成した状態を示す平面図、（ｂ）は（ａ）図
中I-I線に沿う断面図。

【図２】実施例１のエッチング方法でエッチング工程が
終了した状態を示す斜視図。

【図３】実施例２のエッチング方法で金属板にマスクを
形成した状態を示す平面図。

【図４】同実施例２のエッチング方法でエッチング工程
が終了した状態を示す斜視図。

【図５】同実施例２で得られた製品（封止材）を示す斜
視図。

【図６】実施例３のエッチング方法で金属板にマスクを
形成した状態を示す断面図。

【図７】同実施例３のエッチング方法でエッチング処理
中の状態を示す断面図。

【図８】同実施例３で得られた製品（封止材）を示す断
面図。

【図９】同実施例４のエッチング方法でエッチング工程
が終了した状態を示す斜視図。

【図１０】図９中矢視Xを示す裏面図。

【図１１】同実施例４で得られた製品（封止材）の連結
部が連接されていた角部を示す裏面図。

【図１２】フェイスアップ状態でＴＡＢパッケージを回
路基板に搭載した状態を示す断面図。

【図１３】同パッケージを搭載するときに用いられる封
止材を示す斜視図。

【図１４】図１３の封止材を製造する際に用いられてい
た従来のエッチング方法を説明するための図で、（ａ）
は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図１５】同従来のエッチング方法で、エッチング液を
被エッチング物に噴霧している状態を示す概略図。

【図１６】エッチング処理の途中の状態を示す断面図。

【図１７】従来のエッチング方法で製造された封止材の
要部を示す断面図。

【符号の説明】

１…回路基板、２…ＴＡＢ（Tape Automated Bonding)
パッケージ、３…シリコンチップ、４…リード、６…フ
ィルム、７…封止材、８…金属板、９…マスク、１０…
（表）マスク、１１…製品形成部（製品を形成するため
の部分）、１２…保持部形成部（保持部を形成するため
の部分）、１３…連結部形成部（連結部を形成するため
の部分）、２０…（裏）マスク、２１…製品形成部（製
品を形成するための部分）、２２…保持部形成部（保持
部を形成するための部分）、２３…連結部形成部（連結
部を形成するための部分）、３０…保持部、３１…連結
部、３５…角、４０…残片。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被エッチング物に所望する製品形状に対応
   するマスクを形成してエッチングすることにより被エッ
   チング物から所望形状の製品を抜き加工するエッチング
   方法において、 製品を形成するための部分と保持部を形成するための部
   分とこれらを連結する連結部を形成するための部分とか
   らなるマスクを用いてエッチングを行なうことを特徴と
   するエッチング方法。
2. 【請求項２】前記マスクが被エッチング物の表裏両面に
   形成されていることを特徴とする請求項１記載のエッチ
   ング方法。
3. 【請求項３】前記連結部を形成するための部分が製品を
   形成するための部分の角部に接続されていることを特徴
   とする請求項２記載のエッチング方法。
4. 【請求項４】表面側のマスクあるいは裏面側のマスクの
   うちいずれか一方のマスクには前記連結部を形成するた
   めの部分が設けられていないことを特徴とする請求項２
   記載のエッチング方法。
5. 【請求項５】前記連結部を形成するための部分が製品を
   形成するための部分の角部に接続されていることを特徴
   とする請求項４記載のエッチング方法。