JPH05281400A - 電子線照射装置の通気口装置 - Google Patents

電子線照射装置の通気口装置

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JPH05281400A
JPH05281400A JP4109127A JP10912792A JPH05281400A JP H05281400 A JPH05281400 A JP H05281400A JP 4109127 A JP4109127 A JP 4109127A JP 10912792 A JP10912792 A JP 10912792A JP H05281400 A JPH05281400 A JP H05281400A
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Toshiro Nishikimi
敏朗 錦見
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 通気口製作の簡易化、設置スペースの減少を
図ること。 【構成】 シールド円筒部材11を電子線照射装置のシ
ールド外壁7に取り付ける。円筒部材の上部に多数の通
気孔13を設ける。鍔付きシールド蓋部材14を溶接等
により円筒部材に固定する。電子線照射装置内部のガス
は円筒部材の内部及び通気孔を通り排出される。円筒部
材内に入り込んだX線は、蓋部材の円盤部15、鍔部1
6で反射、減衰する。蓋部材を円筒部材に間隔を持たせ
て取り付けてもよい。管路を曲げずに通気口が製作でき
る。円筒部材を同心状に二重に配置することにより、X
線の減衰機能を一層向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子線照射装置におけ
るX線の漏出を防止できる省スペース構造の通気口装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】電子線照射装置にあっては、電子線照射
に伴い照射室内に発生するオゾン或いは照射室内に供給
された不活性ガスの排気口、照射室内への空気或いは不
活性ガスの給気口等の通気口が設けられる。図8は、か
かる通気口を有する電子線照射装置の一例についての一
部破断概略構成図である。電子線照射装置1の中央上部
に設けられた電子線発生部から得られた電子線は照射室
2内に導入され、ビームキャッチャ3の上部を搬送され
る被照射物に照射される。照射室2の両脇位置には、被
照射物が通り抜けるスリットが形成されているシールド
内壁4で仕切られて第1及び第2予備室が設けられ、図
では右脇に位置する第1予備室5及び第2予備室6が示
されており、例えば、その第1予備室5の上部シールド
外壁7に、電子線照射装置1の内部のガスを排気する通
気口8が設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】通気口8は、電子線照
射装置内で発生したX線が通気口から漏出するとき許容
レベル以下になるように構成しなければならない。通気
口8はX線が透過しないように鉄またはステンレス製の
管材に鉛を巻いて構成されるが、点線矢印で示すよう
に、内部でX線を反射減衰させる曲げ部を必要とし、通
常、曲げは2回ないしそれ以上、全曲げ角度にして、お
よそ180度以上になるように構成する。図9に示す通
気口8は、例えば照射室などのように強いX線が入り込
むところで用いることができるもので、その入口と出口
が逆向き、入口と出口の軸線が平行となるように曲げら
れており、X線は、その内部で少なくとも3回反射し減
衰する。しかしながら、通気口8は、その径が小さいも
のでも100mmφ、大きいものでは500mmないし
600mmφに達するものであり、その曲げ、鉛巻き加
工は容易ではないし、その曲げ構成に伴い通気口部分に
かなりのスペースを必要とする。
【0004】本発明は、通気口について、管材を曲げず
に省スペース構造のものとした電子線照射装置の通気口
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明は、電子線照射装置において、シールド壁
に設けられたシールド円筒部材と、この円筒部材の側面
部及び開口部を覆う鍔付きシールド蓋部材とにより通気
口を構成したことを備えたことを特徴とするものであ
る。
【0006】更に、電子線照射装置の通気口を、シール
ド壁に設けられた第1のシールド円筒部材と、この部材
の内部に同心状に設けられた第2のシールド円筒部材
と、これら両円筒部材の開口部を覆うシールド蓋部材と
により構成したことを特徴とするものである。
【0007】
【作用】電子線照射装置の内部からシールド円筒部材を
通ったX線は鍔付きシールド蓋部材の円盤部と鍔部で反
射減衰し、管材をおよそ180度曲げたものとほぼ同じ
に働く。
【0008】また、シールド円筒部材を同心状に2重に
配置したことにより、シールド蓋部材から見たシールド
円筒部材の開口立体角をより小さくすることができ、X
線の反射、減衰機能がより向上する。
【0009】
【実施例】本発明の実施例について図1ないし図7を参
照して説明する。以下の説明において同一符号は図8の
符号を含めて同等部分を示す。図1は電子線照射装置に
おける通気口部の断面図であり、シールド円筒部材11
は、鉄又はステンレス部(以下、鉄部という)111
鉛部112で形成されており、そのフランジ部12で電
子線照射装置のシールド外壁7に固定する。シールド円
筒部材11の上部には円周方向に多数の通気孔13を形
成する。鍔付きシールド蓋部材14は、鉄部141と鉛
部142で形成され、シールド円筒部材11の上面開口
部を覆う円盤部15とシールド円筒部材の側面部を覆う
鍔部16を有し、シールド円筒部材11と、例えば溶接
により結合されている。
【0010】電子線照射装置内部に発生したオゾンを含
む空気、照射室(2)に供給された不活性ガス等のガス
は、矢印で示すようにシールド円筒部材11の内部と多
数の通気孔13を通って排出される。電子線照射装置の
内部からシールド円筒部材11内に入り込んだX線は、
鍔付きシールド部材14の円盤部15と鍔部16の内面
で2回反射することが可能となり、充分に減衰する。
【0011】図2は通気口部について他の実施例の断面
図であり、シールド円筒部材11はシールド外壁7に例
えば溶接等により取り付けられている。同円筒部材11
の上端部に数個のスペーサ17が溶接等によって固定さ
れており、鍔付きシールド蓋部材14は、これらスペー
サ17を介してシールド円筒部材11に取り付けるよう
に構成されており、シールド蓋部材14は、例えばスペ
ーサ17の内部に形成された雌ネジに螺合するボルトに
よってスペーサ17に固定する。
【0012】電子線照射装置内部のガスは、シールド円
筒部材11の中を通り、同円筒部材11と鍔付きシール
ド蓋部材14との間に形成されている開口部18を通し
て排出される。シールド円筒部材2内に入り込んだX線
は図1に示したものと同様に鍔付きシールド蓋部材14
の円盤部15と鍔部16で2回反射、減衰させることが
できる。
【0013】図3はシールド円筒部材を二重に設けた実
施例の断面図である。第1のシールド円筒部材19の内
部に同部材より長い第2のシールド円筒部材20が同心
状に配置されている。これら第1、第2のシールド円筒
部材19、20も鉄部191、201と鉛部192、202
の2層で形成され、第2のシールド円筒部材20の上部
には多数の通気孔21が設けられており、同円筒部材2
0は鍔付きシールド蓋部材14に例えば溶接により取り
付ける。第1のシールド円筒部材19は電子線照射装置
のシールド外壁7に固定して設け、鍔付きシールド蓋部
材14は数個のスペーサ17によって第1のシールド円
筒部材19の上部に間隔を置いて結合されている。
【0014】電子線照射装置内部のガスは、第2のシー
ルド円筒部材20の内部から多数の通気孔21を通り、
また、第1と第2のシールド円筒部材19と20の間を
通り、第1のシールド円筒部材19とシールド蓋部材1
4との間を抜けて外部に排出される。第2のシールド円
筒部材20の内部に入り込んだX線はシールド蓋部材1
4の円盤部15と鍔部16の部分で少なくとも2回以上
反射し、充分に減衰させることができる。また、第1と
第2のシールド円筒部材19、20間の空間部は、入り
込むX線に対し小さな立体角のものであるから、その内
部でX線を多重反射減衰させることができ、さらにシー
ルド蓋部材14の円盤部15と鍔部16で反射、減衰さ
せることができる。
【0015】図4は第2のシールド円筒部材20を鍔付
きシールド蓋部材14に対し間隔を置いて配置した実施
例の断面図である。第1のシールド円筒部材19の上部
にスペーサ取付け片部22が設けられ、シールド蓋部材
14は、同部材に溶接により固定されたスペーサ17を
用いてスペーサ取付け片部22にネジ止め固定される。
第2のシールド円筒部材20は、同部材に溶接等により
固定されたフランジ板23により電子線照射装置のシー
ルド外壁7に取り付けられている。フランジ板23に
は、図5に示すように、第1のシールド円筒部材19と
第2のシールド円筒部材20との間にガスを通すための
多数の通気孔24を設ける。
【0016】図6は鍔付きシールド蓋部材14を電子線
照射装置の内部に配置した実施例の断面図である。シー
ルド蓋部材14は第1のシールド円筒部材19の電子線
照射装置内部に位置する部分にスペーサ17を用いて、
図2、図3あるいは図4と同様に取り付ける。図6の第
2のシールド円筒部材20は、フランジ板23により第
1のシールド円筒部材19のフランジ25に取り付けら
れている。フランジ板23には図5に示したものと同様
にガスの通気孔24が設けられている。
【0017】電子線照射装置のシールド外壁7の内面で
反射したX線の侵入をシールド蓋部材14の鍔部16で
防ぐと共に、同蓋部材内に侵入したX線は円盤部15の
部分で反射して減衰し、この反射点からの第2のシール
ド円筒部材20の内部、第1のシールド円筒部材19と
第2のシールド円筒部材20間の空間部の立体角を小さ
くできるから、X線の漏出を充分に阻止できる。
【0018】フランジ板23及びフランジ25の部分に
外部配管取付け用の接続フランジ26を接続することに
より、外部配管部に設けたポンプで強制的に電子線照射
装置内部の排気、電子線照射装置内部への給気を行わせ
ることができる。
【0019】図7は電子線照射装置のビ−ムキャッチャ
3(図8参照)をシールド蓋部材3として用いた実施例
の断面図であり、通気口は、例えば、冷却水が通流する
ステンレス製の角形パイプ並設体31とその下面の鉛板
2とで構成したビ−ムキャッチャ3の下部に設ける。
第2のシールド円筒部材20の上端部に円環状シールド
部材27を取付け、同シールド部材27及び数個のスペ
ーサ17を介して第2のシールド円筒部材20を電子線
照射装置下部のシールド外壁7に取り付ける。第1のシ
ールド円筒部材19の下端部のフランジ25に外部配管
接続用フランジ26が結合されている。
【0020】第2のシールド円筒部材20の内部に入り
込むX線はビ−ムキャッチャ3の下面部で反射したもの
であり、この下面部に当るX線は、ビ−ムキャッチャ3
の下面部と円環状シールド部材27の間を抜けてくるも
のであるから、僅かな量に制限される。また第1と第2
のシールド円筒部材19、20の間に入り込むX線も円
環状シールド部材27が設けられていることにより僅か
なものとすることができる。
【0021】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、通気口
部を、シールド円筒部材と、その側面部及び開口部を覆
う鍔付きシールド蓋部材で構成したから、管材を曲げる
ことなく構成することができ、その製作は容易であり、
設置スペースを小さなものとすることができる。そし
て、電子線照射装置の内部からシールド円筒部材内に入
り、鍔付きシールド蓋部材に当るX線はシールド蓋部材
の円盤部と鍔部で反射減衰させることができるから、管
材をおよそ180度曲げたものとほぼ同じ機能を奏す
る。
【0022】また、シールド円筒部材を同心状に2重に
配置したことにより、電子線照射装置の内部で反射し、
両シールド円筒部材間の空間部、内側のシールド円筒部
材の内部を通過するX線を小量に抑制できるから、シー
ルド蓋部材と相俟って通気口部でのX線の反射、減衰機
能を一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の断面図である。
【図2】他の実施例の断面図である。
【図3】シールド円筒部材を二重に配置した実施例の断
面図である。
【図4】他の実施例の断面図である
【図5】シールド円筒部材を取り付けるフランジ板の平
面図である。
【図6】シールド円筒部材を二重に配置した更に他の実
施例の断面図である。
【図7】ビ−ムキャッチャの下に通気口部を設けた実施
例の断面図である。
【図8】従来の通気口を有する電子線照射装置の概略構
成図である。
【図9】曲げ管路による通気口の構成図である。
【符号の説明】
11 シールド円筒部材 13 通気孔 14 鍔付きシールド蓋部材 15 円盤部 16 鍔部 17 スペーサ 19 第1のシールド円筒部材 20 第2のシールド円筒部材 23 フランジ板 26 外部配管接続用フランジ 27 円環状シールド部材

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シールド壁に設けられたシールド円筒部
    材と、この円筒部材の側面部及び開口部を覆う鍔付きシ
    ールド蓋部材とを備えたことを特徴とする電子線照射装
    置の通気口装置。
  2. 【請求項2】 シールド壁に設けられた第1のシールド
    円筒部材と、この部材の内部に同心状に設けられた第2
    のシールド円筒部材と、これら両円筒部材の開口部を覆
    うシールド蓋部材とを備えたことを特徴とする電子線照
    射装置の通気口装置。
JP10912792A 1992-04-03 1992-04-03 電子線照射装置の通気口装置 Expired - Lifetime JP3188982B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09243794A (ja) * 1996-03-12 1997-09-19 Ebara Corp X線又はγ線の遮蔽設備
WO2012176378A1 (en) * 2011-06-07 2012-12-27 Canon Kabushiki Kaisha X-ray tube

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JPH09243794A (ja) * 1996-03-12 1997-09-19 Ebara Corp X線又はγ線の遮蔽設備
WO2012176378A1 (en) * 2011-06-07 2012-12-27 Canon Kabushiki Kaisha X-ray tube

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