JPH0528498B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0528498B2 JPH0528498B2 JP27966685A JP27966685A JPH0528498B2 JP H0528498 B2 JPH0528498 B2 JP H0528498B2 JP 27966685 A JP27966685 A JP 27966685A JP 27966685 A JP27966685 A JP 27966685A JP H0528498 B2 JPH0528498 B2 JP H0528498B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- reversing
- holding device
- input side
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体シリコンウエハ、ガラ
スウエハ等の円板状部材を拡散処理する場合に使
用して好適なカセツトの移替装置に関する。
スウエハ等の円板状部材を拡散処理する場合に使
用して好適なカセツトの移替装置に関する。
従来、この種カセツトの移替装置は第２図に示
すように構成されている。それを同図に基づいて
説明すると、１は円板状の半導体シリコンウエハ
２の工程間搬送に用いるカセツトで、両側に開口
し移動レール３上を所定ストローク内で移動する
保持装置４に回動自在に保持されている。このカ
セツト１の内部には半導体シリコンウエハ２を挿
脱自在に支承する多数の細溝１ａ，１ｂが形成さ
れている。５は前記半導体シリコンウエハ２の周
縁部を案内する案内部材で、各々の開口部が互い
に対向する案内溝６ａ，７ａを有する２つの上下
レール６，７からなり、前記保持装置４と拡散ボ
ート（図示せず）との間に配設されている。この
案内部材５の案内溝６ａ，７ａは前記カセツト１
からその立ち上がり部６ｂ，７ｂに向かつて傾斜
している。８はＬ字形状の突き上げ棒で、前記保
持装置４の近傍に配設されており、ウエハ整列時
に駆動装置（図示せず）によつて前記カセツト１
内の半導体シリコンウエハ２を前記立ち上がり部
６ｂ，７ｂまで突き上げるように構成されてい
る。９は前記カセツト１を反転させる反転装置
で、円板状の支持台９ａを有し前記突き上げ棒８
の下方に配設されている。１０はウエハ移し替え
を終了した前記カセツト１を載置する回収ステー
シヨンで、前記反転装置９の近傍に配設されてい
る。
すように構成されている。それを同図に基づいて
説明すると、１は円板状の半導体シリコンウエハ
２の工程間搬送に用いるカセツトで、両側に開口
し移動レール３上を所定ストローク内で移動する
保持装置４に回動自在に保持されている。このカ
セツト１の内部には半導体シリコンウエハ２を挿
脱自在に支承する多数の細溝１ａ，１ｂが形成さ
れている。５は前記半導体シリコンウエハ２の周
縁部を案内する案内部材で、各々の開口部が互い
に対向する案内溝６ａ，７ａを有する２つの上下
レール６，７からなり、前記保持装置４と拡散ボ
ート（図示せず）との間に配設されている。この
案内部材５の案内溝６ａ，７ａは前記カセツト１
からその立ち上がり部６ｂ，７ｂに向かつて傾斜
している。８はＬ字形状の突き上げ棒で、前記保
持装置４の近傍に配設されており、ウエハ整列時
に駆動装置（図示せず）によつて前記カセツト１
内の半導体シリコンウエハ２を前記立ち上がり部
６ｂ，７ｂまで突き上げるように構成されてい
る。９は前記カセツト１を反転させる反転装置
で、円板状の支持台９ａを有し前記突き上げ棒８
の下方に配設されている。１０はウエハ移し替え
を終了した前記カセツト１を載置する回収ステー
シヨンで、前記反転装置９の近傍に配設されてい
る。
このように構成されたカセツトの移替装置にお
いては、保持装置９を180゜回転させることにより
支持台９ａ上に載置されたカセツト１を反転さ
せ、その移し替え作業を自動的に行うことができ
る。
いては、保持装置９を180゜回転させることにより
支持台９ａ上に載置されたカセツト１を反転さ
せ、その移し替え作業を自動的に行うことができ
る。
ところで、この種カセツトの移替装置において
は、拡散ボート（図示せず）への半導体シリコン
ウエハ２の移し替えが終了すると、カセツト１は
直接回収ステーシヨン１０に載置されるものと、
一旦反転装置９の支持台９ａ上で反転して回収ス
テーシヨン１０に載置されるものがある。
は、拡散ボート（図示せず）への半導体シリコン
ウエハ２の移し替えが終了すると、カセツト１は
直接回収ステーシヨン１０に載置されるものと、
一旦反転装置９の支持台９ａ上で反転して回収ス
テーシヨン１０に載置されるものがある。
すなわち、カセツト１の形状は左右対称ではな
く、このためカセツト１を次工程に搬送する時に
はその向きを揃えて次工程での混乱を避ける必要
があるからである。
く、このためカセツト１を次工程に搬送する時に
はその向きを揃えて次工程での混乱を避ける必要
があるからである。
この結果、保持装置４にカセツト１が反転した
状態で保持されている場合には、このカセツト１
が回収ステーシヨン１０に載置されるまで次のカ
セツト１を保持装置４に保持させることができ
ず、それだけ半導体シリコンウエハ２の移し替え
に多大の時間を費やすという問題があつた。
状態で保持されている場合には、このカセツト１
が回収ステーシヨン１０に載置されるまで次のカ
セツト１を保持装置４に保持させることができ
ず、それだけ半導体シリコンウエハ２の移し替え
に多大の時間を費やすという問題があつた。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもの
で、カセツトの移し替え作業を効率よく行うこと
ができるカセツトの移替装置を提供するものであ
る。
で、カセツトの移し替え作業を効率よく行うこと
ができるカセツトの移替装置を提供するものであ
る。
本発明に係るカセツトの移替装置は、円板状部
材を挿脱自在に支承する多数の細溝をその内部に
形成したカセツトと、移動レール上に進退自在に
設けられかつ多数枚の円板状部材を支承した投入
側のカセツトを受け取つて保持するとともに円板
状部材の移し替えを完了した回収側のカセツトを
送出する保持装置と、この保持装置の近傍に進退
自在に配設されこの保持装置との間でカセツトを
搬送する搬送装置を備え、これら搬送装置と保持
装置との間に、投入側のカセツトが載置されると
ともに必要に応じてその向きを反転させる投入側
反転装置と、回収側のカセツトが載置されるとと
もに必要に応じてその向きを反転させる回収側反
転装置とを配設したものである。
材を挿脱自在に支承する多数の細溝をその内部に
形成したカセツトと、移動レール上に進退自在に
設けられかつ多数枚の円板状部材を支承した投入
側のカセツトを受け取つて保持するとともに円板
状部材の移し替えを完了した回収側のカセツトを
送出する保持装置と、この保持装置の近傍に進退
自在に配設されこの保持装置との間でカセツトを
搬送する搬送装置を備え、これら搬送装置と保持
装置との間に、投入側のカセツトが載置されると
ともに必要に応じてその向きを反転させる投入側
反転装置と、回収側のカセツトが載置されるとと
もに必要に応じてその向きを反転させる回収側反
転装置とを配設したものである。
本発明によれば、カセツトを反転させるに際し
て、保持装置にカセツトを保持する場合に投入側
反転装置を、また回収する場合に回収側反転装置
を使用することが可能で、カセツトの移し替えを
連続的に行える。
て、保持装置にカセツトを保持する場合に投入側
反転装置を、また回収する場合に回収側反転装置
を使用することが可能で、カセツトの移し替えを
連続的に行える。
第１図は本発明に係るカセツトの移替装置を示
す斜視図で、同図において第２図と同一の部材に
ついては同一の符号を示し、詳細な説明は省略す
る。同図において、符号２１で示すものは前記カ
セツト１を把持する把持器２２を有する搬送装置
で、前記保持装置４の近傍に進退自在に配設され
ており、後述する投入側および回収側反転装置と
ストツカ（図示せず）との間で前記カセツト１を
搬送するように構成されている。２３および２４
は各々前記カセツト１を反転させる投入側反転装
置と回収側反転装置で、円板状の支持台２３ａ，
２４ａを有し、前記保持装置４と前記搬送装置２
１との間に配設されている。そして、投入側反転
装置２３は、投入側のカセツト１が載置されると
ともに必要に応じてその向きを反転させるように
構成され、回収側反転装置２４は、回収側のカセ
ツト１が載置されるとともに必要に応じてその向
きを反転させるように構成されている。なお、２
５は前記移動レール３に平行に配設され前記搬送
装置２１を案内するガイドレールである。
す斜視図で、同図において第２図と同一の部材に
ついては同一の符号を示し、詳細な説明は省略す
る。同図において、符号２１で示すものは前記カ
セツト１を把持する把持器２２を有する搬送装置
で、前記保持装置４の近傍に進退自在に配設され
ており、後述する投入側および回収側反転装置と
ストツカ（図示せず）との間で前記カセツト１を
搬送するように構成されている。２３および２４
は各々前記カセツト１を反転させる投入側反転装
置と回収側反転装置で、円板状の支持台２３ａ，
２４ａを有し、前記保持装置４と前記搬送装置２
１との間に配設されている。そして、投入側反転
装置２３は、投入側のカセツト１が載置されると
ともに必要に応じてその向きを反転させるように
構成され、回収側反転装置２４は、回収側のカセ
ツト１が載置されるとともに必要に応じてその向
きを反転させるように構成されている。なお、２
５は前記移動レール３に平行に配設され前記搬送
装置２１を案内するガイドレールである。
このように構成されたカセツトの移替装置にお
いては、支持台２３ａ上のカセツト１が保持装置
４によつて保持されると、搬送装置２１によつて
支持台２３ａ上に半導体シリコンウエハ２を収納
する次のカセツト１が載置される。このとき、突
き上げ棒８によつて半導体シリコンウエハ２がカ
セツト１内から案内部材５の上下レール６，７に
移し替えられる。そして、半導体シリコンウエハ
２の移し替えが終了すると、保持装置４から支持
台２４ａ上にカセツト１が載置される。このと
き、支持台２３ａ，２４ａ上のカセツト１を反転
する必要がある場合には、投入側反転装置あるい
は回収側反転装置２４によつて180゜反転させるこ
とができる。
いては、支持台２３ａ上のカセツト１が保持装置
４によつて保持されると、搬送装置２１によつて
支持台２３ａ上に半導体シリコンウエハ２を収納
する次のカセツト１が載置される。このとき、突
き上げ棒８によつて半導体シリコンウエハ２がカ
セツト１内から案内部材５の上下レール６，７に
移し替えられる。そして、半導体シリコンウエハ
２の移し替えが終了すると、保持装置４から支持
台２４ａ上にカセツト１が載置される。このと
き、支持台２３ａ，２４ａ上のカセツト１を反転
する必要がある場合には、投入側反転装置あるい
は回収側反転装置２４によつて180゜反転させるこ
とができる。
したがつて、カセツト１を反転させるに際して
保持装置４にカセツト１を保持する場合に投入側
反転装置２３を、また回収する場合に回収側反転
装置２４を使用することができ、カセツト１の移
し替え作業を連続的に行うことができる。
保持装置４にカセツト１を保持する場合に投入側
反転装置２３を、また回収する場合に回収側反転
装置２４を使用することができ、カセツト１の移
し替え作業を連続的に行うことができる。
なお、本実施例においては１個の搬送装置２１
でカセツト１の投入、回収を行う例を示したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、その投
入、回収を各々行う２個の搬送装置を使用しても
勿論よい。
でカセツト１の投入、回収を行う例を示したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、その投
入、回収を各々行う２個の搬送装置を使用しても
勿論よい。
また、本実施例においては円板状部材として半
導体シリコンウエハ２である場合を示したが、本
発明は例えばガラスウエハ等の円板状部材でも差
し支えない。
導体シリコンウエハ２である場合を示したが、本
発明は例えばガラスウエハ等の円板状部材でも差
し支えない。
以上説明したように本発明に係るカセツトの移
替装置によれば、移動レール上に進退自在に設け
られ投入側のカセツトを受け取つて保持しかつ回
収側のカセツトを送出する保持装置と、その近傍
に進退自在に配設されこの保持装置との間でカセ
ツトを搬送する搬送装置を備え、これら搬送装置
と保持装置との間に、投入側のカセツトが載置さ
れるとともに必要に応じてその向きを反転させる
投入側反転装置と、回収側のカセツトが載置され
るとともに必要に応じてその向きを反転させる回
収側反転装置とを配設するようにしたので、カセ
ツトを反転させるに際して、保持装置にカセツト
を保持する場合に投入側反転装置を、また回収す
る場合に回収側反転装置を使用することができ
る。したがつて、カセツトの連続的な移し替えが
可能となり、その移し替え作業を効率よく行うこ
とができる。
替装置によれば、移動レール上に進退自在に設け
られ投入側のカセツトを受け取つて保持しかつ回
収側のカセツトを送出する保持装置と、その近傍
に進退自在に配設されこの保持装置との間でカセ
ツトを搬送する搬送装置を備え、これら搬送装置
と保持装置との間に、投入側のカセツトが載置さ
れるとともに必要に応じてその向きを反転させる
投入側反転装置と、回収側のカセツトが載置され
るとともに必要に応じてその向きを反転させる回
収側反転装置とを配設するようにしたので、カセ
ツトを反転させるに際して、保持装置にカセツト
を保持する場合に投入側反転装置を、また回収す
る場合に回収側反転装置を使用することができ
る。したがつて、カセツトの連続的な移し替えが
可能となり、その移し替え作業を効率よく行うこ
とができる。
第１図は本発明に係るカセツトの移替装置を示
す斜視図、第２図は従来のカセツトの移替装置を
示す斜視図である。 １……カセツト、１ａ，１ｂ……細溝、２……
半導体シリコンウエハ、３……移動レール、４…
…保持装置、２１……搬送装置、２３……投入側
反転装置、２４……回収側反転装置。
す斜視図、第２図は従来のカセツトの移替装置を
示す斜視図である。 １……カセツト、１ａ，１ｂ……細溝、２……
半導体シリコンウエハ、３……移動レール、４…
…保持装置、２１……搬送装置、２３……投入側
反転装置、２４……回収側反転装置。
Claims (1)
- １ 円板状部材を挿脱自在に支承する多数の細溝
をその内部に形成したカセツトと、移動レール上
に進退自在に設けられかつ多数枚の円板状部材を
支承した投入側のカセツトを受け取つて保持する
とともに円板状部材の移し替えを完了した回収側
のカセツトを送出する保持装置と、この保持装置
の近傍に進退自在に配設されこの保持装置との間
で前記カセツトを搬送する搬送装置を備え、この
搬送装置と前記保持装置との間に、前記投入側の
カセツトが載置されるとともに必要に応じてその
向きを反転させる投入側反転装置と、前記回収側
のカセツトが載置されるとともに必要に応じてそ
の向きを反転させる回収側反転装置とを配設した
ことを特徴とするカセツトの移替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27966685A JPS62140957A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | カセツトの移替装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27966685A JPS62140957A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | カセツトの移替装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140957A JPS62140957A (ja) | 1987-06-24 |
| JPH0528498B2 true JPH0528498B2 (ja) | 1993-04-26 |
Family
ID=17614167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27966685A Granted JPS62140957A (ja) | 1985-12-11 | 1985-12-11 | カセツトの移替装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62140957A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5293179A (en) * | 1990-11-20 | 1994-03-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Work convey method and apparatus |
-
1985
- 1985-12-11 JP JP27966685A patent/JPS62140957A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62140957A (ja) | 1987-06-24 |
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