JPH052910U - スライシング装置におけるブレード撓み量検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ブレードにおけるワーク切断部位の撓みを正
確に検出する。 【構成】 回転可能なブレード１０を備えたスライシン
グ装置において、ワーク３０の切断時においてワーク３
０の前端面に対向する位置に検出装置本体２４を配設す
るとともに、この検出装置本体２４と上記ワーク前端面
との間にクーラント除去エアを吹き付けるエア吹き付け
手段３４を備える。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体インゴット等のワークをブレードの内周刃で切断して半導体 ウエハ等の薄片を切り出すスライシング装置において、上記ブレードの撓み量を 検出する検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、上記のようなスライシング装置としては、円形状の内周刃をもつブレー ドの内側にワークの一端部を臨ませ、上記ブレードを回転させながらワークに対 してブレードの半径方向に相対移動させることにより上記ワークから薄片を切り 出すように構成されたものが知られている。しかしながら、この装置では切断中 にブレードが撓み易く、加工精度の低下を招くといった問題点を有している。

【０００３】 そこで、実開昭６２−７０９０４号公報、特開平１−１８２０１５号公報等に おいては、ブレードの撓み量を検出するブレード撓み量検出センサと、このブレ ード撓み量検出センサの検出結果に基づいてブレード全体の撓みを調整するブレ ード撓み調整手段とを備え、ブレード撓みを自動的に修正するようにした装置が 提案されるに至っている。

【０００４】 図１１は、上記従来の装置における撓み量検出センサ２９の配設位置を示した ものである。図示のように、上記撓み量検出センサ２９は、ワーク３０が切断送 りによって移動する軌跡Ｃ上を避けた位置で、かつブレード１０のワーク切断部 位（Ｐ₁〜Ｐ₂）の入口部（すなわち回転方向（図では矢印Ｂ方向）上流端）Ｐ₁ 近傍の位置に配され、この撓み量検出センサ２９の検出結果に基づいてブレード １０全体の撓みを軸方向に調整するといった制御がなされている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上記スライシング装置では、ワークスライシング中、ワーク切断部位の入口部 Ｐ₁近傍ではブレード１０がほとんど撓んでいなくても、ワーク切断部位の中央 部（すなわち回転方向上流端Ｐ₁から回転方向下流端Ｐ₂までの中間部分）Ｐ₃近 傍ではブレード１０が大きく撓んでいる場合がある。このブレード１０の中央部 近傍部分は、ワーク３０のスライシング時に最も長くワーク３０と接触している 部分であり、この部分の撓み量がワーク３０の加工精度に最も強く影響するので 、上記撓み量検出センサ２９は、なるべくブレード１０のワーク切断部位に対応 する位置、より好ましくは上記中央部Ｐ₃近傍の位置に配することが望ましい。

【０００６】 しかし、このような位置に単純に撓み量検出センサ２９を配設すると、この撓 み量検出センサ２９と、切断送りされるワーク３０とが互いに干渉してしまうの で、従来はこのような干渉が起こらない位置、すなわち、ワーク３０の移動軌跡 Ｃから外れた入口部Ｐ₁近傍の位置に配設することがやむなく行われている。従 って、この従来装置では、上記中央部Ｐ₃近傍の位置で実際にブレード１０が大 きく撓んでいてもこれを正確に検出できない場合があり、これによってブレード １０の撓みが適切に調整されず、加工精度の低下を招く不都合がある。

【０００７】 また近年は、上記ブレード１０の撓み量に基づいてドレスを行うべき時期（す なわちドレスタイミング）を判定し、このタイミングで内周刃１１をドレスする ことにより内周刃１１の切れ味を回復させるといった制御も行われているが、こ の場合にも、ブレード１０のワーク切断部位の撓み量が直接検出されないことに より、適切なタイミングでドレスが行われず、実際にドレスが必要な時にドレス が行われなかったり、必要以上にドレスが行われたりする不都合が生じる。

【０００８】 そこで本出願人は、上記ワークの切断時にこのワークの前端面と対向する位置 に撓み量検出センサを設けることにより、上記ブレードにおけるワーク切断部位 、特に中央部近傍の撓み量を直接検出することを先に提案しているが（特願平２ −２６２１１７号）、この装置においてブレードの表面に切削用、冷却用のクー ラントが供給されると、このクーラントが上記ワークの前端面と撓み量検出セン サとの間にトラップされ、このクーラントに撓み量検出センサが反応することに よりその検出結果に悪影響が与えられるとともに、上記クーラントの表面張力に より、ワークから切り出された薄片が撓み量検出センサ側に引張られ、外側に反 るおそれがあり、その改善が新たな課題となっている。

【０００９】 本考案は、このような事情に鑑み、ブレードにおけるワーク切断部位の撓みを 正確に検出することができるブレード撓み量検出装置を提供することを目的とす る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、円形状の内周刃をもつブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、 上記ブレードを回転させた状態でこのブレードの表面にクーラントを供給しなが らこのブレードに対してワークをブレードの半径方向に相対移動させることによ り上記ワークから薄片を切り出すスライシング装置において、上記ブレードのワ ーク切断部位に対応する位置であって上記ワークの切断時にこのワークの前端面 と対向する位置に、上記ブレードの撓み量を検出する検出装置本体を設けるとと もに、この検出装置本体と上記ワーク前端面との間に上記ワークの送り方向と略 直交する方向にクーラント除去エアを吹き付けるエア吹き付け手段を備えたもの である（請求項１）。

【００１１】 上記エア吹き付け手段としては、上記ワークの送り方向と平行な方向に延び、 内部にクーラント除去エアが供給されるエア供給管を備えるとともに、このエア 供給管において上記ワークと対向する側の端部に終端壁を設け、この終端壁の直 手前側の部分にエア噴出口を設け、このエア噴出口を上記検出装置本体とワーク 前端面との間の位置に向けたものが好適である（請求項２）。

【００１２】

【作用】

請求項１記載の装置によれば、検出装置本体をブレードのワーク切断部位に対 応する位置に配することにより、この部位の撓み量を直接検出することができる 。また、この検出装置本体とワーク前端面との間の位置にはクーラント除去エア が吹き付けられるので、上記位置にクーラントがトラップされることが防がれる 。しかも、上記クーラント除去エアはワーク送り方向と略直交する方向、すなわ ちワーク前端面にほぼ沿う方向に供給されるので、このエアの圧力によって薄片 が撓むことはほとんどない。

【００１３】 より具体的に、請求項２記載の装置では、エア供給管内において上記ワークの 送り方向と平行な方向にクーラント除去エアが供給され、このエアが終端壁で行 き止まってその直手前のエア噴出口から上記検出本体とワーク前端面との間の位 置に吹き付けられる。

【００１４】

【実施例】

本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。

【００１５】 図４，５に示すスライシング装置は、基台１を備え、この基台１上にガイドレ ール２が設置されており、このガイドレール２に沿ってスライド可能にスライド テーブル３が支持されている。

【００１６】 上記基台１上において、スライドテーブル３に対向する位置には主軸台４が設 置されている。この主軸台４の上部には主軸受４ａが設けられ、この主軸受４ａ によって主軸６が回転可能に支持されるとともに、この主軸６にベルト伝動機構 を介して主軸駆動モータ８の出力軸が連結されている。主軸６の先端部にはテン ションディスク９が固着され、このテンションディスク９が、上記主軸６、ベル ト伝動機構７、及び主軸駆動モータ８からなる回転駆動手段５により回転駆動さ れるようになっている。

【００１７】 テンションディスク９の周縁部には、ドーナツ状の薄板からなるブレード１０ が装着され、このブレード１０の内周縁にダイヤモンド粒子等からなる内周刃１ １が固着されている。そして、上記テンションディスク９の回転中にその回転数 Ｎが変化することにより、この回転数Ｎに応じて上記ブレード１０が主軸６の軸 方向（すなわちブレード１０の回転軸方向）に変位するようになっている。すな わち、テンションディスク９が回転すると、このテンションディスク９の周縁部 に回転数Ｎに比例した遠心力が作用するため、この回転数Ｎによってテンション ディスク９からブレード１０に付与される回転軸方向の変位の大きさ及び方向が 決定されることとなる。

【００１８】 上記スライドテーブル３上には、保持部材１５及び割出し送り手段１８が設け られ、保持部材１５にはシリコン製半導体インゴット等からなるワーク３０が保 持されている。割出し送り手段１８は、ボールねじ１６と、このボールねじ１６ を回転駆動する保持部材駆動モータ１７とを有し、この割出し送り手段１８によ って上記保持部材１５が上記主軸６の軸方向にスライド駆動されることにより、 上記ワーク３０の一端部がブレード１０の表面１０ａ側（ワーク保持側）からブ レード１０の中央孔を通じて裏面１０ｂ側へ微小量突出することが可能となって いる。

【００１９】 また、このスライドテーブル３上には、内周刃１１をドレスするためのドレス 装置１９が設けられ、このドレス装置１９は、その工具先端がブレード１０の内 側に臨む位置に配されている。

【００２０】 上記基台１上には切断送り手段１４が設置されている。この切断送り手段１４ は、ボールねじ１２と、このボールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ１３ とを備え、この切断送り手段１４によって、上記スライドテーブル３全体がガイ ドレール２に沿って主軸６と直交する方向にスライド駆動される。従って、この スライドテーブル３を図４の手前から奥へスライドさせることにより、ワーク３ ０がブレード１０に対してその半径方向（図５では矢印Ａ方向）に相対移動し（ すなわち切断送りされ）、このブレード１０を回転させかつブレード１０の内側 にワーク３０の一端部を臨ませた状態で上記切断送りを行うことにより、ワーク ３０の一端部が内周刃１１によってスライスされ、ウエハ（薄片）が切り出され ることとなる。

【００２１】 ワーク３０の切断送り方向下流側の外周部分、すなわち、ワーク３０において 内周刃１１で最終的に切断される部分には、カーボン等からなるスライスベース ３１が固着されている。このスライスベース３１の固着により、ワーク３０の切 断終了時にブレード１０に作用する切断抵抗が急に開放されて上記ワーク３０の 最終切断部分が欠けることが防がれる。

【００２２】 ブレード１０の近傍の３個所には、その撓み量を検出する撓み量検出センサ２ ０，２１，２４が設けられている。これらの撓み量検出センサ２０，２１，２４ は、磁気センサで構成され、図５〜図７に示すような位置に配設されている。

【００２３】 すなわち、撓み量検出センサ２０，２１は、ワーク３０が切断送りによって移 動する軌跡Ｃ上から外れ、かつブレード１０の表面（図４，６では右側面）１０ ａに対向する位置に配置されている。より具体的に、撓み量検出センサ（以下、 「入口部センサ」という）２０は、ブレード１０のワーク切断部位（Ｐ₁〜Ｐ₂） の入口部（すなわち回転方向（図５の矢印Ｂ方向）上流端）Ｐ₁近傍に配置され 、撓み量検出センサ（以下、「出口部センサ」という）２１は、ブレード１０の ワーク切断部位の出口部（すなわち回転方向下流端）Ｐ₂近傍に配置されている 。

【００２４】 これに対し、撓み量検出センサ（本考案の検出装置本体；以下「中央部センサ 」という）２４は、上記軌跡Ｃ上であって、ブレード１０の裏面１０ｂに対向す る位置に配置されており、より具体的には、ワーク３０を切断する際にその前端 面（図１，６では左側端面）に近接しながら対向する位置であって、ブレード１ ０のワーク切断部位の中央部Ｐ₃の近傍の位置に配置されている。すなわち、こ の中央部センサ２４は、微小厚みＤｗでもってワーク３０から切り出されるウェ ハＷ超しにブレード１０の撓み量を検出する位置に配されている。

【００２５】 次に、この中央部センサ２４を含む中央の撓み量検出装置全体の構造を図１〜 図３に基づいて説明する。この装置は、前側ブロック３３、後側ブロック３２、 及びエア供給管３４を備え、上記中央部センサ２４は両ブロック３３，３２を貫 通する状態でその前端面（検出面）２４ａが上記ワーク３０の前端面に対向する 位置に配設されている。

【００２６】 前側ブロック３３は、全体が合成樹脂で形成され、後側ブロック３２の前端面 に固定されている。この前側ブロック３３の前端部には、図１，３に示すように 下方にのみ開放された凹部３３ａが形成されており、この凹部３３ａの前端面３ ３ｂと上記中央部センサ２４の前端面２４ａとが合致している。この凹部３３ａ の形成により、中央部センサ２４の前端面２４ａがワーク３０の前端面（すなわ ちウェハＷの表面）に直接接触することが防がれている。後側ブロック３２は、 全体がステンレス鋼で形成され、前側ブロック３３の側面からさらに側方に突出 する取付部３２ａを有しており、この取付部３２ａに設けられた取付穴３２ｂに ボルト３６を挿通することにより、このボルト３６を用いて、テンションディス ク９側の所定の位置に設けられた装着部に後側ブロック３２が固定されるように なっている。しかも、この後側ブロック３２の装着位置、及び上記凹部３３ａの 深さ寸法ｄ₂（図１）は、上記中央部センサ２４の前端面２４ａからワーク３０ の前端面までの離間寸法ｄがブレード撓み量検出可能な微小寸法以下となるよう に設定されている。

【００２７】 エア供給管３４は、中央にエア供給通路３４ａを有し、上記中央部センサ２４ の直上方の位置に設けられており、この中央部センサ２４と平行な方向、すなわ ちワーク送り方向と平行な方向に両ブロック３２，３３を貫通している。このエ ア供給管３４の後端部は撓み可能なホース３５を介して図外のエア供給ポンプに 接続されている。これに対し、前端部、すなわち上記ワーク３０の前端面に対向 する側の端部（図１では左側端部）には、上記エア供給通路３４ａを塞ぐ終端壁 ３４ｂが設けられ、この終端壁３４ｂの直手前の位置に、図２（ｂ）にも示すよ うな下方に開口するエア噴出口３４ｃが設けられている。そして、上記終端壁３ ４ｂの前端面が前側ブロック３３の前端面と合致し、上記エア噴出口３４ｃが上 記凹部３３ａに上方から臨む位置にセットされている。

【００２８】 従って、上記エア供給管３４のエア供給通路３４ａ内に図外のエア供給ポンプ からホース３５を介してクーラント除去エアが供給されることにより、このエア が終端壁３４ｂで行き止まり、その手前のエア噴出口３４ｃからワーク前端面と センサ前端面２４ａとの間の位置に吹き付けられるようになっている。

【００２９】 一方、このスライシング装置は、図８に示すような制御部４０を備えている。

【００３０】 同図に示す中央部基準変位記憶装置４１、入口部基準変位記憶装置４３、及び 出口部基準変位記憶装置４５は、それぞれ、上記中央部センサ２４、入口部セン サ２０、出口部センサ２１の検出信号を取り込み、中央部基準変位記憶装置４１ は、切断送りモータ１３の駆動によってワーク３０が切断開始直前の位置（図５ に左側の二点鎖線で示す位置よりも僅かに左寄りの位置；以下、直前位置と称す る）に移動した時点（以下、基準時と称する）で中央部センサ２４で検出される ブレード１０の撓み量を中央部基準撓み量Ｓａ₃として記憶する。同様に、入口 部基準変位記憶装置４３は、上記基準時に入口部センサ２０で検出されるブレー ド１０の撓み量を中央部基準撓み量Ｓａ₁として記憶し、出口部基準変位記憶装 置４５は、上記基準時に出口部センサ２１で検出されるブレード１０の撓み量を 中央部基準撓み量Ｓａ₂として記憶する。なお、ワーク３０が上記直前位置に移 動したことは、後述の切断送りモータ制御装置５２の切断送り位置検出手段５２ １によって検出される。

【００３１】 上記のように記憶された各基準撓み量Ｓａ₃，Ｓａ₁，Ｓａ₂は、中央部変位比 較器４２、入口部変位比較器４４、及び出口部変位比較器４６にそれぞれ入力さ れる。中央部変位比較器４２は、上記中央部基準撓み量Ｓａ₃の他、中央部セン サ２４で検出される現在撓み量Ｓｂ₃を所定のサンプリング周期Δｔごとに取り 込み、後者から前者を差し引いた値を基準状態からの撓み量（切断に起因してブ レード１０の中央部Ｐ₃が撓んだ量）Ｓ₃として算出し、出力する。同様に、入口 部変位比較器４４は、上記入口部基準撓み量Ｓａ₁と、入口部センサ２０で検出 される現在撓み量Ｓｂ₁とを取り込み、後者から前者を差し引いた値を基準状態 からの入口部撓み量Ｓ₁として算出、出力し、出口部変位比較器４６は、上記出 口部基準撓み量Ｓａ₂と、出口部センサ２１で検出される現在撓み量Ｓｂ₂とを取 り込み、後者から前者を差し引いた値を基準状態からの出口部撓み量Ｓ₂として 算出、出力する。

【００３２】 上記各変位比較器４２，４４，４６で算出された撓み量Ｓ₃，Ｓ₁，Ｓ₂は、切 断送り速度演算装置５１及びドレスタイミング判定装置６１に入力され、さらに 、中央部撓み量Ｓ₃は回転数演算装置４８に入力される。

【００３３】 この回転数演算装置４８は、後述の切断送りモータ制御装置５２の命令手段５ ２３から駆動命令信号を受けたときに、現在のテンションディスク９の回転数Ｎ と、中央部変位比較器４２で検出された中央部撓み量Ｓ₃とに基づいて、上記中 央部撓み量Ｓ₃を０にするために必要なテンションディスク９の目標回転数Ｎａ を演算し、この演算値に対応する信号を主軸駆動モータ制御装置４９に出力する 。主軸駆動モータ制御装置４９は、回転数演算装置４８から信号を受けた場合に は上記目標回転数Ｎａを、それ以外は予め設定記憶された基本回転数Ｎ₀を目標 としてテンションディスク９の回転数Ｎを調節するように主軸駆動モータ８の駆 動制御を行う。

【００３４】 切断送り速度演算装置５１は、切断送りモータ制御装置５２の命令手段５２３ から駆動命令信号を受けたときに、各変位比較器４４，４６，４２でそれぞれ検 出された撓み量Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃に基づいて、図９に示す中央部撓み量Ｓ₃、入口部 撓み量Ｓ₁と中央部撓み量Ｓ₃との差ΔＳ₁、または出口部撓み量Ｓ₂と中央部撓み 量Ｓ₃との差ΔＳ₂を小さくするために必要な目標切断送り速度Ｖａを演算し、そ の演算結果に対応した信号を切断送りモータ制御装置５２に出力する。ここで、 上記目標切断送り速度Ｖａの演算は、例えば次式 Ｖａ＝Ｖ₀−ｋＳ に基づいて行われる。同式において、Ｖ₀は予め設定記憶された基本切断送り速 度、ｋは演算係数であり、ＳにはＳ₃の絶対値、ΔＳ₁の絶対値、ΔＳ₂の絶対値 の中で最大の値を代入するようにする。

【００３５】 この切断送り速度演算装置５１は、上記値Ｓに基づき、現在の状態が所定の切 断送り速度演算条件にあるか否かを判定し、条件に該当しない場合、すなわち上 記値Ｓが所定値以下の時には、上記目標切断送り速度Ｖａの演算を行わず、切断 送りモータ制御装置５２に信号を出力しないように構成されている。

【００３６】 切断送りモータ制御装置５２は、切断送り速度演算装置５１から信号を受けた ときには切断送り速度Ｖが切断送り速度演算装置５１で求められた目標切断送り 速度Ｖａとなるように、それ以外は基本切断送り速度Ｖ₀となるように切断送り モータ１３を制御するもので、具体的には、切断送り位置検出手段５２１、切断 送り位置判定手段５２２、及び命令手段５２３を備えている。

【００３７】 切断送り位置検出手段５２１は、切断送りモータ１３から検出されるパルス信 号に基づいてワーク３０の切断送り位置（切断送り方向の位置）を検出する。切 断送り位置判定手段５２２は、切断送り位置検出手段５２１で検出された切断送 り位置に基づいてワーク３０の切断送り位置が切断開始位置（図５に左側の二点 鎖線で示す位置）からスライスベース３１を含まないワーク３０のみの切断終了 位置（図５に右側の二点鎖線で示す位置）までの範囲Ｌ内であるか否かを判定し 、範囲Ｌ内であると判定した時には命令手段５２３から駆動命令信号を、範囲Ｌ 外であると判定した時には命令手段５２３から停止命令信号をそれぞれ回転数演 算装置４８、切断送り速度演算装置５１、及びドレスタイミング判定装置６１に 出力させる。

【００３８】 ドレスタイミング判定装置６１は、上記命令手段５２３から駆動命令信号を受 けた時点で、上記値Ｓに基づき、現在、ドレス装置１９によるドレスを行う時期 か否かを判定し、ドレスタイミングであると判定した場合（詳細後述）にはドレ ス制御装置６２に指令信号を出力し、所定の時期にドレス装置１９を作動させる 。

【００３９】 また、この制御部４０は、ワーク３０をブレード１０に対して割出し送りする ための保持部材駆動モータ１７等の制御も行うように構成されている。

【００４０】 次に、この制御部４０の制御に伴うスライシング装置の動作を図１０のフロー チャートを参照しながら説明する。

【００４１】 制御部４０は、回転駆動手段５によってテンションディスク９を基本回転数Ｎ ₀ で回転駆動する（ステップＳ１）とともに、割出し送り手段１８によって、保 持部材１５に保持されたワーク３０を主軸６側にスライド移動させる（ステップ Ｓ２）。これにより、ワーク３０の一端部がブレード１０の表面１０ａ側からブ レード１０の内側に挿通され、ブレード１０の裏面１０ｂ側へ微小量突出する状 態となる。

【００４２】 次に、切断送り手段１４によってワーク３０をブレード１０の半径方向に基本 切断送り速度Ｖ₀で移動させる（ステップＳ３）と同時に、切断送り位置検出手 段５２１でワーク３０の切断送り位置を、各センサ２０，２１，２４で現時点で の撓み量Ｓｂ₁，Ｓｂ₂，Ｓｂ₃をそれぞれ検出する（ステップＳ４，Ｓ５）。こ の検出動作において、入口部センサ２０及び出口部センサ２１はワーク３０の移 動軌跡Ｃ上から外れた位置にあるのに対し、中央部センサ２４は図１，６に示す ようにワーク３０の前端面と対向する位置にあるため、図５において例えば入口 部Ｐ₁の回転方向上流側の位置からブレード１０の表面に切削用や冷却用のクー ラントを供給すると、このクーラントがブレード１０に巻き込まれて上記中央部 センサ２４の前端面２４ａとワーク３０の前端面との間に侵入する場合があり得 る。しかしながら、この位置にはワーク送り方向と直交する方向（この実施例で は下方）に向けてエア噴出口３４ｃからクーラント除去エアが吹き付けられてい るので、この位置にクーラントがトラップされることはなく、これによって、中 央部センサ２４による正常な撓み検出が保証される。

【００４３】 次に、切断送り位置判定手段５２２がワーク３０が切断開始直前位置に達した と判定した時点で（ステップＳ６でＮＯかつＳ７でＹＥＳ）、この判定直前に検 出された各撓み量Ｓｂ₁，Ｓｂ₂，Ｓｂ₃をそれぞれ基準撓み量Ｓａ₁，Ｓａ₂，Ｓ ａ₃として記憶し（ステップＳ８）、その後は上記憶値に基づいて各撓み量Ｓ₁〜 Ｓ₃の検出を行い（ステップＳ９〜Ｓ１１）、撓み量の記憶は行わない（ステッ プＳ６でＹＥＳ）。

【００４４】 次に、回転数演算装置４８により中央部撓み量Ｓ₃に基づいてテンションディ スク９の目標回転数Ｎａを演算し（ステップＳ１４）、この目標回転数Ｎａにテ ンションディスク９の実際回転数Ｎを合わせるように主軸駆動モータ８を制御す る（ステップＳ１５）。これにより、ブレード１０はその中央部Ｐ₃近傍の撓み 量が０となる方向に変位し、ブレード１０全体の撓みが調整される。この動作と 並行して、切断送り速度演算装置５１は、現在の状態が所定の切断送り速度演算 条件に該当するか否か、すなわち、上記各値Ｓ₃，ΔＳ₁，ΔＳ₂の絶対値が予め 設定した許容限界値Ｒ１を上回っているか否かを判定し（ステップＳ１６）、条 件に該当する場合には、切断送り速度演算装置５１で各部撓み量Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃ に基づき目標切断送り速度Ｖａを演算し（ステップＳ１７）、切断送りモータ制 御装置５２によって、切断送り速度Ｖが上記目標切断送り速度Ｖａとなるように 切断送りモータ１３の駆動制御を行う（ステップＳ１８）。これにより、切断送 り速度Ｖが目標切断送り速度Ｖａに近づくように低下し、切断抵抗が減少するた めに、ブレード１０の弾性復元力に起因して、上記撓み量差ΔＳ₁，ΔＳ₂が縮ま る方向にブレード１０全体の軸方向の撓みが調整される。なお、上記ステップＳ １６において条件外であると判定した場合には調整を行わない。

【００４５】 次に、ドレスタイミング判定装置６１は、値Ｓに基づいて現在状態が所定のド レスタイミング条件であるか否かを判定し（ステップＳ１９）、ドレスタイミン グ条件であると判定した場合、すなわち、Ｓ₃の絶対値が臨界値Ｒ₂（＞Ｒ₁）を 上回るか、ΔＳ₁の絶対値が臨界値Ｒ₃（＞Ｒ₁）を上回るか、あるいはΔＳ₁の絶 対値が臨界値Ｒ₃を上回る場合にのみ、ドレス制御装置６２からドレス装置１９ へドレス指令信号を出力させる（ステップＳ２０）。これにより、現在切断中の ワーク３０の加工終了後にドレス装置１９によってドレスが行われる。

【００４６】 以上の動作を切断終了位置に到達するまで繰り返すが（ステップＳ２１でＮＯ ）、到達後は（ステップＳ２１でＹＥＳ）テンションディスク９の回転数Ｎを基 本回転数Ｎ₀に切換える（ステップＳ２２）とともに、切断送り速度Ｖを基本切 断送り速度Ｖ₀に切換える（ステップＳ２３）。そして、ワーク３０全体が切断 される位置、すなわちスライスベース３１をも完全に切断した位置に達した時点 で（ステップＳ２４でＹＥＳ）、所定の切断完了動作を行い、制御動作を終了す る。

【００４７】 以上のように、この装置では、ワーク３０の前端面に対向して中央部センサ２ ４を配設することにより、この中央部センサ２４がワーク３０の移動軌跡Ｃ上に 位置するにもかかわらず、両者の干渉を生ずることなく、ブレード１０のワーク 切断部位の中央部Ｐ₃の撓み量を直接検出することができ、この検出結果（この 実施例では入口部撓み量及び出口部撓み量も併せた結果）に基づき、ブレード１ ０の撓み調整やドレスタイミングの設定を実際の状態に対応して適切に行うこと ができる。しかも、エア噴出口３４ｃからクーラント除去エアを噴射することに より、上記中央部センサ２４の前端面２４ａとワーク３０の前端面との間にクー ラントがトラップするのを防止できるので、このクーラントのトラップに中央部 センサ２４が反応することに起因する検出不良を防ぐことによって、上記中央部 Ｐ₃のブレード撓み量を常に正確に検出することができるとともに、上記クーラ ントの表面張力に起因してウェハＷがセンサ側に引張られることによるウェハＷ 自身の反りを防ぐことができる。

【００４８】 なお、上記クーラント除去エアをワーク切断送り方向と平行な方向に吹き付け た場合には、このエアの圧力により、ワーク３０から切り出されるウェハＷが押 されてブレード１０に接触する方向に撓み、スライシング不良を引き起こすおそ れがあるが、上記装置では、ワーク切断送り方向と略直交する方向、すなわちワ ーク前端面に沿う方向にエアを供給するようにしているので、このエアの圧力に よってウェハＷが撓むことはほとんどなく、よって正常なスライシングを確保す ることができる。

【００４９】 さらに、この装置では、エアを吹き付ける具体的な手段として、中央部センサ ２４と同方向に延びるエア供給管３４に沿ってエアをクーラント除去エアを供給 し、このエアを終端壁３４ｂで行き止まらせてその手前のエア噴出口３４ｃから 噴射するようにしているので、中央部センサ２４の感度との関係等からセンサ前 端面２４ａとワーク前端面との間に極めて微小な距離ｄしか確保できない場合で も、この間に確実にエアを吹き込むことができる。

【００５０】 また、この装置では、前後のブロックのうち前側ブロック３３を合成樹脂で形 成しているので、仮にウェハＷが撓んで前側ブロック３３に接触しても、これに よってウェハＷが損傷するおそれは極めて少ない。

【００５１】 なお、本考案は上記実施例に限定されるものでなく、例として次のような態様 をとることも可能である。

【００５２】 (1) 上記実施例では、本考案装置を中央部センサ２４に適用した場合を示した が、例えば入口部センサ２０や出口部センサ２１の位置を図５，６に二点鎖線２ ０ａ，２１ａに示す位置、すなわち、中央部センサ２４と同様にワーク３０の前 端面に対向してブレード１０におけるワーク切断部位の撓みを検出する位置に変 更したい場合にも、これら入口部センサ２０や出口部センサ２１に本考案を適用 することにより、クーラントの介在に起因する誤検出を未然に防ぐことができる 。また、本考案はこのように複数の撓み量検出センサを設ける場合に限らず、ワ ーク３０の前端面に対向する少なくとも一つの位置に撓み量検出手段を設ける場 合に適用することにより、その効果を得ることができるものである。

【００５３】 (2) 上記実施例では、中央部センサ２４の上方の位置にエア供給管３４を設け 、センサ前端面２４ａとワーク前端面との間の位置に対して上から下へ向けてク ーラント除去エアを吹き付けるものを示したが、本考案においてエアの吹き付け 方向はワーク切断送り方向に略直交する方向であればよく、例えば上記位置に対 して側方からエアを吹き付けるようにしてもよい。

【００５４】

【考案の効果】

以上のように本考案は、ワーク切断時におけるワークの前端面に対向する位置 にブレード撓み検出装置の検出装置本体を配設するとともに、この検出装置本体 と上記ワーク前端面との間にクーラント除去エアを吹き付けるエア吹き付け手段 を備えたものであるので、ワークの移動軌跡上に検出装置本体を配するにもかか わらず、このワークと検出装置本体とを干渉させることなく、ブレードのワーク 切断部位の撓み量を直接検出することができ、これによってブレードの撓み調整 やドレスタイミングの設定等を適切に行うことができるとともに、上記クーラン ト除去エアの吹き付けによって検出装置本体とワーク前端面との間にクーラント がトラップされるのを防ぐことができる。従って、このクーラントのトラップに 起因する検出不良を未然に防ぐことができ、これによりブレード撓み量の正確な 検出を確保することができるとともに、上記クーラントの表面張力に起因してウ ェハＷがセンサ側に引張られ、ウェハＷ自身が反るといった不都合も未然に防ぐ ことができる効果がある。また、上記クーラント除去エアをワーク切断送り方向 と略直交する方向、すなわちワーク前端面に沿う方向に供給するようにしている ので、ワークから切り出されるウェハが上記エアの圧力によってブレード側に撓 むことがほとんどなく、よって正常なスライシングを確保することができる。

【００５５】 さらに、請求項２記載の装置では、エア吹き付ける具体的な手段としてエア供 給管を備え、このエア供給管に沿ってクーラント除去エアをワーク切断送り方向 と同方向に供給し、このエアを終端壁で行き止まらせてその手前のエア噴出口か ら噴射するようにしているので、検出装置の感度等の関係から検出装置本体前端 面とワーク前端面とを極めて微小な距離しか離間させることができない場合でも 、この間に確実にエアを吹き込むことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例におけるスライシング装置に
設けられたブレード撓み量検出装置の断面側面図であ
る。

【図２】（ａ）は上記ブレード撓み量検出装置の要部を
示す拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図であ
る。

【図３】上記ブレード撓み量検出装置の斜視図である。

【図４】上記スライシング装置の一部断面正面図であ
る。

【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】上記スライシング装置におけるブレードのワー
ク切断部位近傍の側面図である。

【図７】上記ワーク切断部位近傍の平面図である。

【図８】上記スライシング装置に設けられる制御部の機
能構成を示すブロック図である。

【図９】上記ブレードの各撓み量を示すグラフである。

【図１０】上記スライシング装置において実行される制
御動作を示すフローチャートである。

【図１１】従来のスライシング装置の一例を示す一部断
面正面図である。

【符号の説明】

１０ ブレード １１ 内周刃 ２４ ブレード撓み量検出センサ（検出装置本体） ３０ ワーク ３４ エア供給管 ３４ｂ 終端壁 ３４ｃ エア噴出口 Ｗ ウェハ（薄片）

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 円形状の内周刃をもつブレードの内側に
   ワークの一端部を臨ませ、上記ブレードを回転させた状
   態でこのブレードの表面にクーラントを供給しながらこ
   のブレードに対してワークをブレードの半径方向に相対
   移動させることにより上記ワークから薄片を切り出すス
   ライシング装置において、上記ブレードのワーク切断部
   位に対応する位置であって上記ワークの切断時にこのワ
   ークの前端面と対向する位置に、上記ブレードの撓み量
   を検出する検出装置本体を設けるとともに、この検出装
   置本体と上記ワーク前端面との間に上記ワークの送り方
   向と略直交する方向にクーラント除去エアを吹き付ける
   エア吹き付け手段を備えたことを特徴とするスライシン
   グ装置におけるブレード撓み量検出装置。
2. 【請求項２】 上記エア吹き付け手段として、上記ワー
   クの送り方向と平行な方向に延び、内部にクーラント除
   去エアが供給されるエア供給管を備えるとともに、この
   エア供給管において上記ワークと対向する側の端部に終
   端壁を設け、この終端壁の直手前側の部分にエア噴出口
   を設け、このエア噴出口を上記検出装置本体とワーク前
   端面との間の位置に向けたことを特徴とする請求項１記
   載のスライシング装置におけるブレード撓み量検出装
   置。