JPH05291376A - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
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- JPH05291376A JPH05291376A JP8736092A JP8736092A JPH05291376A JP H05291376 A JPH05291376 A JP H05291376A JP 8736092 A JP8736092 A JP 8736092A JP 8736092 A JP8736092 A JP 8736092A JP H05291376 A JPH05291376 A JP H05291376A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、移載ロボットのペンシルをボ−トま
たはウエハカセットの棚間隔の中間位置に調整すること
ができるウエハ移載装置を提供することを目的とする。 【構成】ウエハを棚に収納可能なウエハカセット２３、
ウエハを棚に収納可能なボ−ト１７、上記ウエハを吸着
するペンシル２０の一端をア−ム１９Ａで片持ち支持す
る移載ロボット１９を備え、この移載ロボット１９が上
記ウエハカセット２３の棚から上記ボ−ト１７の棚へま
たはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置にお
いて、上記ボ−ト１７側とウエハカセット２３側に上記
棚列方向に溝を有するダミ−３０、３１を設け、上記ア
−ム１９Ａには、上記ダミ−３０、３１の溝位置を検出
する検知センサ４４を駆動する駆動機構４１とこの駆動
機構４１の移動を制御する制御装置４６を収納するとと
もに上記ペンシル２０を片持ち支持する枠体４０を有す
ることを特徴をする。
たはウエハカセットの棚間隔の中間位置に調整すること
ができるウエハ移載装置を提供することを目的とする。 【構成】ウエハを棚に収納可能なウエハカセット２３、
ウエハを棚に収納可能なボ−ト１７、上記ウエハを吸着
するペンシル２０の一端をア−ム１９Ａで片持ち支持す
る移載ロボット１９を備え、この移載ロボット１９が上
記ウエハカセット２３の棚から上記ボ−ト１７の棚へま
たはその逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置にお
いて、上記ボ−ト１７側とウエハカセット２３側に上記
棚列方向に溝を有するダミ−３０、３１を設け、上記ア
−ム１９Ａには、上記ダミ−３０、３１の溝位置を検出
する検知センサ４４を駆動する駆動機構４１とこの駆動
機構４１の移動を制御する制御装置４６を収納するとと
もに上記ペンシル２０を片持ち支持する枠体４０を有す
ることを特徴をする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの表面処
理を行なう反応炉を備えた表面処理装置におけるウエハ
移載装置に関する。
理を行なう反応炉を備えた表面処理装置におけるウエハ
移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下、従来の技術を図面を参照して説明
する。
する。
【０００３】図１３は半導体ウエハの表面処理をおこな
うシステムを示したもので、１０は縦型の反応炉、１１
は炉のシャッタ−、１２はボ−トエレベ−タであって、
反応炉１０は、図１４に示す如く、炉体１３、ヒ−タ−
１４、石英管１５、支持フランジ１６を備え、この石英
管１５内に処理流体（水素ガスと窒素ガスの混合）が供
給される。１７はＣＶＤ処理される半導体ウエハＷPと
ダミ−ウエハＷD及びフィラ−ウエハＷFの多段枚を段々
に保持するボ−トであって、移載装置１８によりボ−ト
エレベ−タ１２の昇降台１２Ａ上のボ−ト支持台１２Ｂ
に載置される。
うシステムを示したもので、１０は縦型の反応炉、１１
は炉のシャッタ−、１２はボ−トエレベ−タであって、
反応炉１０は、図１４に示す如く、炉体１３、ヒ−タ−
１４、石英管１５、支持フランジ１６を備え、この石英
管１５内に処理流体（水素ガスと窒素ガスの混合）が供
給される。１７はＣＶＤ処理される半導体ウエハＷPと
ダミ−ウエハＷD及びフィラ−ウエハＷFの多段枚を段々
に保持するボ−トであって、移載装置１８によりボ−ト
エレベ−タ１２の昇降台１２Ａ上のボ−ト支持台１２Ｂ
に載置される。
【０００４】半導体ウエハＷPは、図１０に示す如く、
一定間隔Ｐ2隔てて形成されている棚を有するウエハカ
セット２３に収納されてステ−ジ２２上へ搬送され、こ
のステ−ジ２２上のウエハカセット２３から１枚ずつ取
り出されて、ボ−ト１７に移載される。耐用期間が経過
すると交換されるダミ−ウエハＷD及びフィラ−ウエハ
ＷFも同様である。以下、半導体ウエハＷPとダミ−ウエ
ハＷD及びフィラ−ウエハＷFを総称してウエハＷとい
う。
一定間隔Ｐ2隔てて形成されている棚を有するウエハカ
セット２３に収納されてステ−ジ２２上へ搬送され、こ
のステ−ジ２２上のウエハカセット２３から１枚ずつ取
り出されて、ボ−ト１７に移載される。耐用期間が経過
すると交換されるダミ−ウエハＷD及びフィラ−ウエハ
ＷFも同様である。以下、半導体ウエハＷPとダミ−ウエ
ハＷD及びフィラ−ウエハＷFを総称してウエハＷとい
う。
【０００５】このボ−ト１７は、図１１および図１２に
示す如く、上板１７Ａと下板１７Ｂとの間に、４本の棚
柱２４〜２７を立てた構成を有し、各棚柱２４〜２７に
はウエハＷの周部を載せる凹部２８が上下方向に一定間
隔Ｐ1を隔てて形成されている。この凹部２８は図７に
示す如く、ウエハ載置面２８Ａと垂直の棚壁面２８Ｂを
備えている。
示す如く、上板１７Ａと下板１７Ｂとの間に、４本の棚
柱２４〜２７を立てた構成を有し、各棚柱２４〜２７に
はウエハＷの周部を載せる凹部２８が上下方向に一定間
隔Ｐ1を隔てて形成されている。この凹部２８は図７に
示す如く、ウエハ載置面２８Ａと垂直の棚壁面２８Ｂを
備えている。
【０００６】ウエハＷは、移載ロボット１９のア−ム１
９Ａ端部に片持ち支持されたペンシル２０の吸着部２０
ａで吸着しカセット２３から１枚ずつ取り出されて、図
１２の矢印の方向（ウエハ搬入方向）からボ−ト１７に
搬入されて同一高さにある４個の凹部（１枚のウエハＷ
に対して１つのウエハ載置棚となる）２８上へ移載され
る。
９Ａ端部に片持ち支持されたペンシル２０の吸着部２０
ａで吸着しカセット２３から１枚ずつ取り出されて、図
１２の矢印の方向（ウエハ搬入方向）からボ−ト１７に
搬入されて同一高さにある４個の凹部（１枚のウエハＷ
に対して１つのウエハ載置棚となる）２８上へ移載され
る。
【０００７】この移載動作、即ち、ウエハカセット２１
からペンシル２０で取出されたウエハＷのボ−ト１７の
凹部２８への載置手順を図９を参照して説明する。
からペンシル２０で取出されたウエハＷのボ−ト１７の
凹部２８への載置手順を図９を参照して説明する。
【０００８】移載ロボット１９は、このロボット制御装
置２１がシステム全体を制御する図示しないシ−ケンス
からの指令を受け取って作動する。
置２１がシステム全体を制御する図示しないシ−ケンス
からの指令を受け取って作動する。
【０００９】ウエハカセット２３からウエハＷを取り出
した移載ロボット１９は、 (1)ペンシル２０で吸着しているウエハＷをボ−ト１７
の指定された棚番号のウエハ載置棚の上下方向の中間位
置Ｏ1（ロボット制御装置２１に予め入力されているボ
−ト１７の各棚の間隔情報に基づいて計算される位置）
へ向けて搬送し、図９(A)の如く、ペンシル２０がこの
ウエハ載置棚の最奥部の凹部（棚支柱２６、２７の凹部
２８）２８の棚壁面２８Ｂまである一定距離を残す位置
Ｒに来ると、ペンシル２０の吸引作動を停止させるとと
もに移動速度を落として、図９(B)の如く、非吸引状態
でウエハＷの周端が棚壁面２８Ｂの中間位置に当接する
まで移動する。
した移載ロボット１９は、 (1)ペンシル２０で吸着しているウエハＷをボ−ト１７
の指定された棚番号のウエハ載置棚の上下方向の中間位
置Ｏ1（ロボット制御装置２１に予め入力されているボ
−ト１７の各棚の間隔情報に基づいて計算される位置）
へ向けて搬送し、図９(A)の如く、ペンシル２０がこの
ウエハ載置棚の最奥部の凹部（棚支柱２６、２７の凹部
２８）２８の棚壁面２８Ｂまである一定距離を残す位置
Ｒに来ると、ペンシル２０の吸引作動を停止させるとと
もに移動速度を落として、図９(B)の如く、非吸引状態
でウエハＷの周端が棚壁面２８Ｂの中間位置に当接する
まで移動する。
【００１０】(2)このウエハＷの搬入ステップが終わる
と、ペンシル２０が、図９(C)の如く、所定距離だけ垂
直に下降して、その間にウエハＷが上記ウエハ載置棚の
各凹部２８の載置面２８Ａに着床する。
と、ペンシル２０が、図９(C)の如く、所定距離だけ垂
直に下降して、その間にウエハＷが上記ウエハ載置棚の
各凹部２８の載置面２８Ａに着床する。
【００１１】(3)このウエハＷ載置ステップが終わる
と、次のウエハＷを移載するためにペンシル２０はステ
−ジ２２側へ戻される。
と、次のウエハＷを移載するためにペンシル２０はステ
−ジ２２側へ戻される。
【００１２】このようにして、各ウエハ載置棚にウエハ
Ｗが移載されたボ−ト１７は、移載装置１８によりボ−
トエレベ−タ１２の昇降台１２Ａのボ−ト支持台１２Ｂ
上にセットされた後、ボ−トエレベ−タ１２により持ち
上げられ、石英管１５の開口部から、この石英管１５内
の所定位置まで送りこまれ、半導体ウエハＷPとダミ−
ウエハＷD及びフィラ−ウエハＷFはシャッタ−１１で密
閉された高温の処理雰囲気中に曝されることになり、半
導体ウエハＷPの表面処理が行われる。
Ｗが移載されたボ−ト１７は、移載装置１８によりボ−
トエレベ−タ１２の昇降台１２Ａのボ−ト支持台１２Ｂ
上にセットされた後、ボ−トエレベ−タ１２により持ち
上げられ、石英管１５の開口部から、この石英管１５内
の所定位置まで送りこまれ、半導体ウエハＷPとダミ−
ウエハＷD及びフィラ−ウエハＷFはシャッタ−１１で密
閉された高温の処理雰囲気中に曝されることになり、半
導体ウエハＷPの表面処理が行われる。
【００１３】半導体ウエハＷPの表面処理が終了する
と、ボ−トエレベ−タ１２が元の位置へ下降し始めるの
で、移載装置１８がボ−ト支持台１２Ｂからボ−ト１７
を授受して所定位置まで搬送し、ボ−ト１７の各棚から
移載ロボット１９のペンシル２０によりウエハＷが１枚
ずつ取り出されて、ステ−ジ２２上にあるウエハカセッ
ト２３の各棚に、上述の如く、ステップで移載される。
と、ボ−トエレベ−タ１２が元の位置へ下降し始めるの
で、移載装置１８がボ−ト支持台１２Ｂからボ−ト１７
を授受して所定位置まで搬送し、ボ−ト１７の各棚から
移載ロボット１９のペンシル２０によりウエハＷが１枚
ずつ取り出されて、ステ−ジ２２上にあるウエハカセッ
ト２３の各棚に、上述の如く、ステップで移載される。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の技術におけ
るウエハ移載装置において、ウエハカセットおよびボ−
トに棚にペンシルで吸着して持ち上げたウエハを載置時
に、予めロボット制御装置に入力・計算されたボ−ト
（ウエハカセット）の各棚間隔の中心位置にペンシルを
位置決めして、ウエハを載置している。しかしながら、
ボ−ト（ウエハカセット）は製品誤差を含んでおり、ま
た、ボ−ト（ウエハカセット）を所定位置に搬送する移
載装置、ステ−ジ等には機械構成上に誤差が存在してい
るので、移載ロボットの制御装置に入力・計算されてい
るボ−ト（ウエハカセット）の中間位置と実際のボ−ト
（ウエハカセット）の各棚間隔の中間位置とはかならず
しも一致せず、この相互の中間位置に誤差が生じること
になるので、正確にボ−ト（ウエハカセット）の棚にウ
エハを載置することができないという問題があった。
るウエハ移載装置において、ウエハカセットおよびボ−
トに棚にペンシルで吸着して持ち上げたウエハを載置時
に、予めロボット制御装置に入力・計算されたボ−ト
（ウエハカセット）の各棚間隔の中心位置にペンシルを
位置決めして、ウエハを載置している。しかしながら、
ボ−ト（ウエハカセット）は製品誤差を含んでおり、ま
た、ボ−ト（ウエハカセット）を所定位置に搬送する移
載装置、ステ−ジ等には機械構成上に誤差が存在してい
るので、移載ロボットの制御装置に入力・計算されてい
るボ−ト（ウエハカセット）の中間位置と実際のボ−ト
（ウエハカセット）の各棚間隔の中間位置とはかならず
しも一致せず、この相互の中間位置に誤差が生じること
になるので、正確にボ−ト（ウエハカセット）の棚にウ
エハを載置することができないという問題があった。
【００１５】本発明は、この問題を解決するためになさ
れたもので、ボ−トまたはウエハカセットの棚間隔と同
一間隔の溝を有するダミ−を設け、ウエハを載置する際
に、検知センサでこのダミ−の溝間隔を検出して、ペン
シルをボ−トまたはウエハカセットの棚間隔の中間位置
に調整することができるウエハ移載装置を提供すること
を目的とする。
れたもので、ボ−トまたはウエハカセットの棚間隔と同
一間隔の溝を有するダミ−を設け、ウエハを載置する際
に、検知センサでこのダミ−の溝間隔を検出して、ペン
シルをボ−トまたはウエハカセットの棚間隔の中間位置
に調整することができるウエハ移載装置を提供すること
を目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のウエハ移載装置は、所定枚数のウエハを一
定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置にある
ステ−ジに対して搬入・搬出されるウエハカセットと、
一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能で
あって所定位置から表面処理炉内へまたはその逆に移送
されるボ−トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルの一
端側をア−ム端部で片持ち支持する移載ロボットを備
え、この移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上
記ボ−トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウ
エハ移載装置において、上記ボ−ト側とウエハカセット
側にそれぞれ上記棚列方向の段々に溝を有するダミ−を
設け、上記ア−ム端部には、上記ダミ−の溝位置を検出
する検知センサを駆動する駆動機構とこの駆動機構の移
動を制御する制御装置を収納するとともに上記ペンシル
を片持ち支持する枠体を有することを特徴をする。
に、本発明のウエハ移載装置は、所定枚数のウエハを一
定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置にある
ステ−ジに対して搬入・搬出されるウエハカセットと、
一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々に収納可能で
あって所定位置から表面処理炉内へまたはその逆に移送
されるボ−トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルの一
端側をア−ム端部で片持ち支持する移載ロボットを備
え、この移載ロボットが上記ウエハカセットの棚から上
記ボ−トの棚へまたはその逆に上記ウエハを移載するウ
エハ移載装置において、上記ボ−ト側とウエハカセット
側にそれぞれ上記棚列方向の段々に溝を有するダミ−を
設け、上記ア−ム端部には、上記ダミ−の溝位置を検出
する検知センサを駆動する駆動機構とこの駆動機構の移
動を制御する制御装置を収納するとともに上記ペンシル
を片持ち支持する枠体を有することを特徴をする。
【００１７】制御装置は、演算器と制御器からなり、こ
の演算器は上記検知センサから送出される検出信号を入
力すると所定の計算を行ない計算信号として上記制御器
に送出し、上記制御器は上記検出信号に基づいて上記駆
動機構の移動を制御することを特徴とする。
の演算器は上記検知センサから送出される検出信号を入
力すると所定の計算を行ない計算信号として上記制御器
に送出し、上記制御器は上記検出信号に基づいて上記駆
動機構の移動を制御することを特徴とする。
【００１８】また、駆動機構は、上記検知センサをペン
シル長手方向に直交する方向に往復移動する昇降駆動機
構であることを特徴とする。
シル長手方向に直交する方向に往復移動する昇降駆動機
構であることを特徴とする。
【００１９】更に、ボ−ト側のダミ−は、上記ボ−トの
棚間隔と同一間隔の溝が上記棚列方向に段々に形成さ
れ、ウエハカセット側のダミ−は、上記ウエハカセット
の棚間隔と同一間隔の溝が上記棚列方向に段々に形成さ
れていることを特徴とする。
棚間隔と同一間隔の溝が上記棚列方向に段々に形成さ
れ、ウエハカセット側のダミ−は、上記ウエハカセット
の棚間隔と同一間隔の溝が上記棚列方向に段々に形成さ
れていることを特徴とする。
【００２０】
【作用】上述した本発明のウエハ移載装置では、ウエハ
をペンシルでボ−トまたはウエハカセットに載置する際
に、検知センサでボ−ト側またはウエハカセット側に設
けられているダミ−の溝間隔を検出し、この検知センサ
の検知信号に基づいて制御装置が駆動機構の移動を制御
することにより、この検知センサとペンシルとのボ−ト
またはウエハカセットの棚列方向の間隔をダミ−の溝間
隔の中間距離に調整することができる。
をペンシルでボ−トまたはウエハカセットに載置する際
に、検知センサでボ−ト側またはウエハカセット側に設
けられているダミ−の溝間隔を検出し、この検知センサ
の検知信号に基づいて制御装置が駆動機構の移動を制御
することにより、この検知センサとペンシルとのボ−ト
またはウエハカセットの棚列方向の間隔をダミ−の溝間
隔の中間距離に調整することができる。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００２２】図１および図２は、前記示した従来技術の
図１３における移載ロボット１９とボ−ト１７およびウ
エハカセット２１の配置を示す要部拡大図であり、図３
および図４は移載ロボット１９のア−ム１９Ａ端部に取
付けられているペンシル２０の取付け構造を示すもので
ある。
図１３における移載ロボット１９とボ−ト１７およびウ
エハカセット２１の配置を示す要部拡大図であり、図３
および図４は移載ロボット１９のア−ム１９Ａ端部に取
付けられているペンシル２０の取付け構造を示すもので
ある。
【００２３】図１および図２において、３０、３１はダ
ミ−アシであって、ペンシル２０が移動する経路とは関
係のないボ−ト１７の近傍、およびウエハカセット２３
の近傍にそれぞれ配設されている。ダミ−アシ３０、３
１は、図５および図６に示す如く、板部３２とこの板部
３２からボ−ト１７（ウエハカセット２３）の棚列方向
に延びるＬ字形の支持部３３からなり、このダミ−アシ
３０の支持部３３には、ボ−ト１７の各凹部２８の間隔
Ｐ1と同一間隔で、棚列方向に段々に溝３４Ａが形成さ
れている計測板部３４が取付けられ、このダミ−アシ３
１に支持部３３には、ウエハカセット２３の各棚の間隔
Ｐ2と同一間隔で、棚列方向に段々に溝３５Ａが形成さ
れている計測板部３５が取付けられている。
ミ−アシであって、ペンシル２０が移動する経路とは関
係のないボ−ト１７の近傍、およびウエハカセット２３
の近傍にそれぞれ配設されている。ダミ−アシ３０、３
１は、図５および図６に示す如く、板部３２とこの板部
３２からボ−ト１７（ウエハカセット２３）の棚列方向
に延びるＬ字形の支持部３３からなり、このダミ−アシ
３０の支持部３３には、ボ−ト１７の各凹部２８の間隔
Ｐ1と同一間隔で、棚列方向に段々に溝３４Ａが形成さ
れている計測板部３４が取付けられ、このダミ−アシ３
１に支持部３３には、ウエハカセット２３の各棚の間隔
Ｐ2と同一間隔で、棚列方向に段々に溝３５Ａが形成さ
れている計測板部３５が取付けられている。
【００２４】図３および図４において、４０は矩形状の
枠体であって、移載ロボット１９のア−ム１９Ａ端部に
回転可能に取付けられている。
枠体であって、移載ロボット１９のア−ム１９Ａ端部に
回転可能に取付けられている。
【００２５】ペンシル２０は、その反吸着部側の端部を
枠体４０の長手方向の一方側壁４０ａに片持ち支持さ
れ、吸着部２０Ａは枠体４０の側壁４０ａから前方へ伸
びている。
枠体４０の長手方向の一方側壁４０ａに片持ち支持さ
れ、吸着部２０Ａは枠体４０の側壁４０ａから前方へ伸
びている。
【００２６】４１は所定ストロ−クの昇降駆動機構であ
って、本体４２の図示しない駆動手段で移動される移動
部４３を有し、この移動部４３がペンシル２０の長手方
向に直交する方向に昇降移動可能に枠体４０の側壁４０
ａに取付けられている。
って、本体４２の図示しない駆動手段で移動される移動
部４３を有し、この移動部４３がペンシル２０の長手方
向に直交する方向に昇降移動可能に枠体４０の側壁４０
ａに取付けられている。
【００２７】４４は反射式の検知センサであって、ブラ
ケット４５の支持板部４５Ａに支持されている。ブラケ
ット４５はペンシル２０がボ−ト１７（ウエハイカセッ
ト２３）の搬入・搬出方向からボ−ト１７（ウエハカセ
ット２３）の直前に対向したときに、検知センサ４４の
検出光がボ−ト１７の近傍のダミ−３０（ウエハカセッ
ト２３近傍のダミ−３１）の測定板部３４（３５）の側
面３４ａ（３５ａ）にこの支持部３３の軸線方向に直交
して投射されるように、ブラケット４５の支持板部４５
Ａから所定角度折れ曲がる取付板部４５Ｂが昇降駆動機
構４１の移動部４３に取付けられている。検知センサ４
４は、ダミ−３０、３１の計測板部３４、３５に投射さ
れ、この計測板部３４、３５で反射される反射光を受光
して、この受光を検出信号として枠体４０内に収納され
ているペンシル制御装置４６に送出する。尚、昇降駆動
機構４１の移動部４３は、ボ−ト１７近傍およびウエハ
カセット２３近傍に各々に設けられているダミ−３０、
３１の溝３４Ａ、３５Ａ間隔より長いストロ−クを移動
する。
ケット４５の支持板部４５Ａに支持されている。ブラケ
ット４５はペンシル２０がボ−ト１７（ウエハイカセッ
ト２３）の搬入・搬出方向からボ−ト１７（ウエハカセ
ット２３）の直前に対向したときに、検知センサ４４の
検出光がボ−ト１７の近傍のダミ−３０（ウエハカセッ
ト２３近傍のダミ−３１）の測定板部３４（３５）の側
面３４ａ（３５ａ）にこの支持部３３の軸線方向に直交
して投射されるように、ブラケット４５の支持板部４５
Ａから所定角度折れ曲がる取付板部４５Ｂが昇降駆動機
構４１の移動部４３に取付けられている。検知センサ４
４は、ダミ−３０、３１の計測板部３４、３５に投射さ
れ、この計測板部３４、３５で反射される反射光を受光
して、この受光を検出信号として枠体４０内に収納され
ているペンシル制御装置４６に送出する。尚、昇降駆動
機構４１の移動部４３は、ボ−ト１７近傍およびウエハ
カセット２３近傍に各々に設けられているダミ−３０、
３１の溝３４Ａ、３５Ａ間隔より長いストロ−クを移動
する。
【００２８】ペンシル制御装置４６は、演算器４７と制
御器４８からなり、この演算器４７は、検知センサ４４
と接続されており、検知センサ４４から送出される検出
信号を入力すると所定の演算をし、この演算の結果を計
算信号として制御器４８に送出する。制御器４８は演算
器４７および昇降駆動機構４１にそれぞれ接続されてお
り、演算器４７から送出される計算信号に基づいて昇降
駆動機構４１を制御する。また、ペンシル制御装置４６
はロボット制御装置２１と接続されている。その他は、
従来の技術に示す構成と同一である。
御器４８からなり、この演算器４７は、検知センサ４４
と接続されており、検知センサ４４から送出される検出
信号を入力すると所定の演算をし、この演算の結果を計
算信号として制御器４８に送出する。制御器４８は演算
器４７および昇降駆動機構４１にそれぞれ接続されてお
り、演算器４７から送出される計算信号に基づいて昇降
駆動機構４１を制御する。また、ペンシル制御装置４６
はロボット制御装置２１と接続されている。その他は、
従来の技術に示す構成と同一である。
【００２９】このような構成において、ウエハカセット
２３からペンシル２０で取出されたウエハＷをボ−ト１
７の凹部２８の中心位置Ｏ0へ調整する手順を図７およ
び図８を参照して説明する。尚、説明の便宜上、ペンシ
ル２０の中間位置Ｏ0への調整は、ボ−ト１７の棚列方
向の調整手順について説明する。
２３からペンシル２０で取出されたウエハＷをボ−ト１
７の凹部２８の中心位置Ｏ0へ調整する手順を図７およ
び図８を参照して説明する。尚、説明の便宜上、ペンシ
ル２０の中間位置Ｏ0への調整は、ボ−ト１７の棚列方
向の調整手順について説明する。
【００３０】図示しないシ−ケンスからロボット制御装
置２１にウエハＷの移載開始指令（信号）が発せられる
と、ペンシル２０はウエハカセット２３の所定の棚にア
プロ−チしてウエハＷを取出す。
置２１にウエハＷの移載開始指令（信号）が発せられる
と、ペンシル２０はウエハカセット２３の所定の棚にア
プロ−チしてウエハＷを取出す。
【００３１】ウエハカセット２３からウエハＷを取り出
した移載ロボット１９は、 (1)ペンシル２０で吸着しているウエハＷを、図７(A)の
如く、ボ−ト１７の指定された棚番号のウエハ載置棚の
上下方向の中間位置Ｏ1（ロボット制御装置２１に予め
入力されているボ−ト１７の各棚の間隔情報に基づいて
計算される位置）へ向けて搬送し、ペンシル２０がこの
ウエハ載置棚の最奥部の凹部（棚支柱２６、２７の凹部
２８）２８の棚壁面２８Ｂまである一定距離を残す位置
Ｒに来ると、ペンシル２０はその位置で停止するととも
に、このとき、検知センサ４４の検出光がボ−ト１７近
傍のダミ−３０の計測板部３４の側面３４ａに投射され
ている。この状態で、ロボット制御装置２１はペンシル
制御装置４６に対して調整指令（調整信号）を与える。
した移載ロボット１９は、 (1)ペンシル２０で吸着しているウエハＷを、図７(A)の
如く、ボ−ト１７の指定された棚番号のウエハ載置棚の
上下方向の中間位置Ｏ1（ロボット制御装置２１に予め
入力されているボ−ト１７の各棚の間隔情報に基づいて
計算される位置）へ向けて搬送し、ペンシル２０がこの
ウエハ載置棚の最奥部の凹部（棚支柱２６、２７の凹部
２８）２８の棚壁面２８Ｂまである一定距離を残す位置
Ｒに来ると、ペンシル２０はその位置で停止するととも
に、このとき、検知センサ４４の検出光がボ−ト１７近
傍のダミ−３０の計測板部３４の側面３４ａに投射され
ている。この状態で、ロボット制御装置２１はペンシル
制御装置４６に対して調整指令（調整信号）を与える。
【００３２】(2)この調整信号を入力したペンシル制御
装置４６は昇降駆動機構４１に対して昇降指令（昇降信
号）を与え、この昇降信号を受け取った昇降駆動機構４
１の移動部４３が、図７(B)に示す如く、ダミ−３０の
溝列方向に昇降移動して、この移動部３５にある検知セ
ンサ４４でダミ−３０の測定板部３４の該ウエハＷを載
置するボ−ト１７の棚と同列にある溝３４Ａの上下方向
の距離Ｈ（検出センサ４４が測定板部３４の側面３４ａ
による反射光を受光するか否かにより検出する。）を検
出する。検知センサ４４で検出された距離Ｈは、検出信
号として演算器４７に送出され、この検出信号を入力し
た演算器４７は中心点Ｐ（ダミ−３０の測定された溝３
４Ａの上下方向の中間に位値する距離）を計算する。こ
のとき、ウエハＷの板厚をｔとすると、
装置４６は昇降駆動機構４１に対して昇降指令（昇降信
号）を与え、この昇降信号を受け取った昇降駆動機構４
１の移動部４３が、図７(B)に示す如く、ダミ−３０の
溝列方向に昇降移動して、この移動部３５にある検知セ
ンサ４４でダミ−３０の測定板部３４の該ウエハＷを載
置するボ−ト１７の棚と同列にある溝３４Ａの上下方向
の距離Ｈ（検出センサ４４が測定板部３４の側面３４ａ
による反射光を受光するか否かにより検出する。）を検
出する。検知センサ４４で検出された距離Ｈは、検出信
号として演算器４７に送出され、この検出信号を入力し
た演算器４７は中心点Ｐ（ダミ−３０の測定された溝３
４Ａの上下方向の中間に位値する距離）を計算する。こ
のとき、ウエハＷの板厚をｔとすると、
【００３３】
【数式１】
【００３４】が計算され、この計算の結果を計算信号と
して制御器４８に送出し、この計算信号を入力した制御
器４８はこの計算信号に基づいて昇降駆動機構４１に昇
降指令（昇降信号）を与える。これにより、昇降駆動機
構４１の移動部４３は，ペンシル２０と検知センサ４４
の検出光の光軸とが，ボ−ト１７の上下方向にＰの間隔
を隔てる位置まで昇降移動する。
して制御器４８に送出し、この計算信号を入力した制御
器４８はこの計算信号に基づいて昇降駆動機構４１に昇
降指令（昇降信号）を与える。これにより、昇降駆動機
構４１の移動部４３は，ペンシル２０と検知センサ４４
の検出光の光軸とが，ボ−ト１７の上下方向にＰの間隔
を隔てる位置まで昇降移動する。
【００３５】(3)このとき、例えば、昇降駆動機構４１
の移動部４３を上昇移動させて、ペンシル２０と検知セ
ンサ４４の検出光の光軸とがＰの間隔に位置した際に、
検知センサ４４からの検出光が、図８(A)の如く、ダ
ミ−３０の測定板部３４の側面３４ａに投射される状
態、即ち、検知センサ４４が測定板部３４の側面３４ａ
により反射される反射光を受光し続ける状態になると、
この反射光が検出信号としてロボット制御装置２１に送
出され、この検出信号を入力したロボット制御装置２１
は、移載ロボット１９に対して下降指令（下降信号）を
与え、この下降信号を入力した移載ロボット１９はこの
ア−ム１９Ａの端部にある枠体４０を検知センサ４４と
ペンシル２０とともに、下降移動させる。次いで、この
枠体４０の下降移動中に検知センサ４４が測定板部３４
の側面３４ａで反射される反射光を受光しない位置（検
知センサ４４からの検出光が測定板部３４の測面３４ａ
に投射されない位置）まで移動すると、ロボット制御装
置２１は移載ロボット１９に対して停止指令（停止信
号）を与え、この停止信号を受け取った移載ロボット１
９の枠体４０はその位置で停止する。これにより、ペン
シル２０（ウエハＷ）は検知センサ４４で検出されたダ
ミ−３０の溝３４Ａ間隔のボ−ト１７の上下方向に対す
る中間位置Ｏ0（実測中間位置）に調整される。
の移動部４３を上昇移動させて、ペンシル２０と検知セ
ンサ４４の検出光の光軸とがＰの間隔に位置した際に、
検知センサ４４からの検出光が、図８(A)の如く、ダ
ミ−３０の測定板部３４の側面３４ａに投射される状
態、即ち、検知センサ４４が測定板部３４の側面３４ａ
により反射される反射光を受光し続ける状態になると、
この反射光が検出信号としてロボット制御装置２１に送
出され、この検出信号を入力したロボット制御装置２１
は、移載ロボット１９に対して下降指令（下降信号）を
与え、この下降信号を入力した移載ロボット１９はこの
ア−ム１９Ａの端部にある枠体４０を検知センサ４４と
ペンシル２０とともに、下降移動させる。次いで、この
枠体４０の下降移動中に検知センサ４４が測定板部３４
の側面３４ａで反射される反射光を受光しない位置（検
知センサ４４からの検出光が測定板部３４の測面３４ａ
に投射されない位置）まで移動すると、ロボット制御装
置２１は移載ロボット１９に対して停止指令（停止信
号）を与え、この停止信号を受け取った移載ロボット１
９の枠体４０はその位置で停止する。これにより、ペン
シル２０（ウエハＷ）は検知センサ４４で検出されたダ
ミ−３０の溝３４Ａ間隔のボ−ト１７の上下方向に対す
る中間位置Ｏ0（実測中間位置）に調整される。
【００３６】また、検知センサ４４からの検出光が、
図８(B)の如く、ダミ−３０の測定板部３４の側面３４
ａに投射されない位置、即ち、検知センサ４４はダミ−
３４の測定板部３４の側面３４ａで反射される反射光を
受光しない状態になると、ロボット制御装置２１は、検
知センサ４４から送出される検出信号を入力しないこと
になるので、移載ロボット１９に対して上昇指令（上昇
信号）を与え、この上昇信号を入力した移載ロボット１
９はこのア−ム１９Ａの端部にある枠体４０を検知セン
サ４４とペンシル２０とともに、上昇移動させる。次い
で、この枠体４０の上昇移動中に検知センサ４４が測定
板部３４の側面３４ａで反射される反射光を受光する位
置（検知センサ４４からの検出光が測定板部３４の測定
３４ａに投射される位置）まで移動すると、ロボット制
御装置２１は移載ロボット１９に対して停止指令（停止
信号）を与え、この停止信号を受け取った移載ロボット
１９の枠体４０はその位置で停止する。これにより、ペ
ンシル２０（ウエハＷ）は，検知センサ４４で検出され
たダミ−３０の溝３４Ａ間隔のボ−ト１７の上下方向に
対する中間位置Ｏ0（実測中間位置）に調整される。
図８(B)の如く、ダミ−３０の測定板部３４の側面３４
ａに投射されない位置、即ち、検知センサ４４はダミ−
３４の測定板部３４の側面３４ａで反射される反射光を
受光しない状態になると、ロボット制御装置２１は、検
知センサ４４から送出される検出信号を入力しないこと
になるので、移載ロボット１９に対して上昇指令（上昇
信号）を与え、この上昇信号を入力した移載ロボット１
９はこのア−ム１９Ａの端部にある枠体４０を検知セン
サ４４とペンシル２０とともに、上昇移動させる。次い
で、この枠体４０の上昇移動中に検知センサ４４が測定
板部３４の側面３４ａで反射される反射光を受光する位
置（検知センサ４４からの検出光が測定板部３４の測定
３４ａに投射される位置）まで移動すると、ロボット制
御装置２１は移載ロボット１９に対して停止指令（停止
信号）を与え、この停止信号を受け取った移載ロボット
１９の枠体４０はその位置で停止する。これにより、ペ
ンシル２０（ウエハＷ）は，検知センサ４４で検出され
たダミ−３０の溝３４Ａ間隔のボ−ト１７の上下方向に
対する中間位置Ｏ0（実測中間位置）に調整される。
【００３７】(4)このペンシル２０の中間位置Ｏ0の調整
が終了すると、ロボット制御装置２１は、再び移載ロボ
ット１９を作動させるとともに、ペンシル２０の吸着部
２０Ａの吸引作動を停止させ、従来技術の図９(B)の如
く、非吸引状態でウエハＷの周端がボ−ト１７の各支柱
２４〜２７の棚壁面２８Ｂに当接するまで移動する。
が終了すると、ロボット制御装置２１は、再び移載ロボ
ット１９を作動させるとともに、ペンシル２０の吸着部
２０Ａの吸引作動を停止させ、従来技術の図９(B)の如
く、非吸引状態でウエハＷの周端がボ−ト１７の各支柱
２４〜２７の棚壁面２８Ｂに当接するまで移動する。
【００３８】(5)このウエハＷの搬入ステップが終わる
と、従来技術の図９(C)に示す如く、ペンシル２０が移
載ロボット１９により、所定距離だけ垂直に下降して、
その間にウエハＷが上記ウエハ載置棚の各凹部２８の載
置面２８Ａに着床する。
と、従来技術の図９(C)に示す如く、ペンシル２０が移
載ロボット１９により、所定距離だけ垂直に下降して、
その間にウエハＷが上記ウエハ載置棚の各凹部２８の載
置面２８Ａに着床する。
【００３９】(6)このウエハＷ載置ステップが終わる
と、次のウエハＷを移載するためにペンシル２０はステ
−ジ２２側へ戻される。
と、次のウエハＷを移載するためにペンシル２０はステ
−ジ２２側へ戻される。
【００４０】このようにして、ウエハカセット２３から
ペンシル２０で取出された各ウエハＷは、ボ−ト１７の
各ウエハ載置棚に移載される。
ペンシル２０で取出された各ウエハＷは、ボ−ト１７の
各ウエハ載置棚に移載される。
【００４１】また、半導体ウエハＷPの表面処理が終了
すると、ボ−ト１７の各棚から移載ロボット１９のペン
シル２０によりウエハＷが１枚ずつ取り出されて、ステ
−ジ２２上にあるウエハカセット２３の各棚に、上述の
如くステップで、検知センサ４４からの検出光をダミ−
３１の測定板部３５の側面３５ａに投射して、ペンシル
２０をウエハカセット２３の棚列方向の中心位置に調整
しながら移載される。
すると、ボ−ト１７の各棚から移載ロボット１９のペン
シル２０によりウエハＷが１枚ずつ取り出されて、ステ
−ジ２２上にあるウエハカセット２３の各棚に、上述の
如くステップで、検知センサ４４からの検出光をダミ−
３１の測定板部３５の側面３５ａに投射して、ペンシル
２０をウエハカセット２３の棚列方向の中心位置に調整
しながら移載される。
【００４２】このように、本実施例によれば、ボ−ト１
７またはウエハカセット２３にウエハＷを載置する際
に、ボ−ト１７またはウエハカセット２３の近傍に配設
されているダミ−３０、３１の溝３４、３５間隔を検知
センサ４４で検出し、この検出信号に基づいてペンシル
制御装置４６により昇降駆動機構４１を介して、検知セ
ンサ４４の光軸とペンシル２０とをボ−ト１７またはウ
エハカセット２３の棚列方向に対してダミ−３０、３１
の溝３４、３５間隔の中心となる距離に調整し、移載ロ
ボット１９により枠体４０とともに、検知センサ４４と
ペンシル２０を上記距離を維持しつつ移動させることが
できるので、従来に比して、ペンシル２０を実際のボ−
ト１７またはウエハカセット２３の棚間隔の中間位置に
より近い位置に調整することができる。
７またはウエハカセット２３にウエハＷを載置する際
に、ボ−ト１７またはウエハカセット２３の近傍に配設
されているダミ−３０、３１の溝３４、３５間隔を検知
センサ４４で検出し、この検出信号に基づいてペンシル
制御装置４６により昇降駆動機構４１を介して、検知セ
ンサ４４の光軸とペンシル２０とをボ−ト１７またはウ
エハカセット２３の棚列方向に対してダミ−３０、３１
の溝３４、３５間隔の中心となる距離に調整し、移載ロ
ボット１９により枠体４０とともに、検知センサ４４と
ペンシル２０を上記距離を維持しつつ移動させることが
できるので、従来に比して、ペンシル２０を実際のボ−
ト１７またはウエハカセット２３の棚間隔の中間位置に
より近い位置に調整することができる。
【００４３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のウエハ移
載装置によれば、ペンシルでウエハカセットから取り出
されたウエハをボ−トに載置する際、またはその逆の載
置の際において、ボ−ト側またはウエハカセット側に設
けられたボ−トまたはウエハカセットの各棚間隔と同一
溝間隔を有するダミ−の該溝間隔を検知センサで検出し
て、この検出された検出信号に基づいて制御装置が駆動
機構の移動を制御することによりダミ−の溝間隔の中心
値にペンシルを調整することができるので、従来に比
し、ペンシルをウエハを載置するボ−トまたはウエハカ
セットの棚間隔の中間位置により近い位置に調整するこ
とができるので、ボ−トまたはウエハカセットの製品誤
差、およびステ−ジ等の機械構成上の誤差が存在して
も、正確にウエハをボ−トまたはウエハカセットの各棚
に載置することができる。
載装置によれば、ペンシルでウエハカセットから取り出
されたウエハをボ−トに載置する際、またはその逆の載
置の際において、ボ−ト側またはウエハカセット側に設
けられたボ−トまたはウエハカセットの各棚間隔と同一
溝間隔を有するダミ−の該溝間隔を検知センサで検出し
て、この検出された検出信号に基づいて制御装置が駆動
機構の移動を制御することによりダミ−の溝間隔の中心
値にペンシルを調整することができるので、従来に比
し、ペンシルをウエハを載置するボ−トまたはウエハカ
セットの棚間隔の中間位置により近い位置に調整するこ
とができるので、ボ−トまたはウエハカセットの製品誤
差、およびステ−ジ等の機械構成上の誤差が存在して
も、正確にウエハをボ−トまたはウエハカセットの各棚
に載置することができる。
【図１】本発明の一実施例としての表面処理装置におけ
る移載ロボットの要部拡大側面図を示すものである。
る移載ロボットの要部拡大側面図を示すものである。
【図２】本発明の一実施例としての表面処理装置におけ
る移載ロボットの要部拡大上面図を示すものである。
る移載ロボットの要部拡大上面図を示すものである。
【図３】図１、および図２における移載ロボットのア−
ム端部に取付けられたペンシル等の構成を示す要部拡大
上面図を示す図である。
ム端部に取付けられたペンシル等の構成を示す要部拡大
上面図を示す図である。
【図４】図１、および図２における移載ロボットのア−
ム端部に取付けられたペンシル等の構成を示す要部拡大
側面図を示す図である。
ム端部に取付けられたペンシル等の構成を示す要部拡大
側面図を示す図である。
【図５】図１、および図２におけるダミ−の構成を示す
上面拡大図である。
上面拡大図である。
【図６】図１、および図２におけるダミ−の構成を示す
側面拡大図である。
側面拡大図である。
【図７】図１、および図２におけるウエハを移載する手
順を説明するためのボ−ト内のウエハ載置棚とペンシ
ル、およびダミ−の溝と検知センサの位置関係を示す図
である。
順を説明するためのボ−ト内のウエハ載置棚とペンシ
ル、およびダミ−の溝と検知センサの位置関係を示す図
である。
【図８】図１、および図２におけるウエハを移載する手
順を説明するためのボ−ト内のウエハ載置棚とペンシ
ル、およびダミ−の溝と検知センサの位置関係を示す図
である。
順を説明するためのボ−ト内のウエハ載置棚とペンシ
ル、およびダミ−の溝と検知センサの位置関係を示す図
である。
【図９】従来技術のウエハを移載する手順を説明するた
めのボ−ト内のウエハ載置棚をウエハの位置関係を示す
図である。
めのボ−ト内のウエハ載置棚をウエハの位置関係を示す
図である。
【図１０】ウエハカセットの構成を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１１】ボ−トの構成を示す縦断面図である。
【図１２】ボ−トの構成を示す上面図である。
【図１３】表面処理装置のシムテムを示す矢視図であ
る。
る。
【図１４】図１３のおける表面処理装置の細部を示す縦
断面図である。
断面図である。
１０ 反応炉（表面処理炉） １７ ボ−ト １９ 移載ロボット １９Ａ ア−ム ２０ ペンシル ２２ ステ−ジ ２３ ウエハカセット ３０、３１ ダミ− ４０ 枠体 ４１ 昇降駆動機構（駆動機構） ４４ 検知センサ ４６ ペンシル制御装置（制御装置） ４７ 演算器 ４８ 制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/22 Ｊ 9278−4Ｍ 21/68 Ｆ 8418−4Ｍ Ｄ 8418−4Ｍ
Claims (4)
- 【請求項１】所定枚数のウエハを一定間隔を隔てて段々
に収納可能であって所定位置にあるステ−ジに対して搬
入・搬出されるウエハカセットと、一定枚数のウエハを
一定間隔を隔てて段々に収納可能であって所定位置から
表面処理炉内へまたはその逆に移送されるボ−トと、上
記ウエハを吸着可能なペンシルの一端側をア−ム端部で
片持ち支持する移載ロボットを備え、この移載ロボット
が上記ウエハカセットの棚から上記ボ−トの棚へまたは
その逆に上記ウエハを移載するウエハ移載装置におい
て、 上記ボ−ト側とウエハカセット側にそれぞれ上記棚列方
向の段々に溝を有するダミ−を設け、上記ア−ム端部に
は、上記ダミ−の溝位置を検出する検知センサを駆動す
る駆動機構とこの駆動機構の移動を制御する制御装置を
収納するとともに上記ペンシルを片持ち支持する枠体を
有することを特徴とするウエハ移載装置。 - 【請求項２】制御装置は、演算器と制御器からなり、こ
の演算器は上記検知センサから送出される検出信号を入
力すると所定の計算を行ない計算信号として上記制御器
に送出し、上記制御器は上記検出信号に基づいて上記駆
動機構の移動を制御することを特徴とする請求項１記載
のウエハ移載装置。 - 【請求項３】駆動機構は、上記検知センサをペンシル長
手方向に直交する方向に往復移動する昇降駆動機構であ
ることを特徴とする請求項１および請求項２記載のウエ
ハ移載装置。 - 【請求項４】ボ−ト側のダミ−は、上記ボ−トの棚間隔
と同一間隔の溝が上記棚列方向に段々に形成され、ウエ
ハカセット側のダミ−は、上記ウエハカセットの棚間隔
と同一間隔の溝が上記棚列方向に段々に形成されている
ことを特徴とする請求項１記載のウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8736092A JPH05291376A (ja) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8736092A JPH05291376A (ja) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | ウエハ移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05291376A true JPH05291376A (ja) | 1993-11-05 |
Family
ID=13912725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8736092A Pending JPH05291376A (ja) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05291376A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100262530B1 (ko) * | 1996-12-28 | 2000-09-01 | 김영환 | 웨이퍼 이송장치 |
| JP2012209282A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Tokyo Electron Ltd | ローディングユニット及び処理システム |
| CN110491812A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-22 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种高洁净度半导体晶圆自动装载设备 |
| CN118907842A (zh) * | 2024-08-05 | 2024-11-08 | 广州合邦自动化控制设备有限公司 | 电池液冷板自动化摆放系统及其摆放方法 |
-
1992
- 1992-04-08 JP JP8736092A patent/JPH05291376A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100262530B1 (ko) * | 1996-12-28 | 2000-09-01 | 김영환 | 웨이퍼 이송장치 |
| JP2012209282A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Tokyo Electron Ltd | ローディングユニット及び処理システム |
| CN110491812A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-22 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种高洁净度半导体晶圆自动装载设备 |
| CN118907842A (zh) * | 2024-08-05 | 2024-11-08 | 广州合邦自动化控制设备有限公司 | 电池液冷板自动化摆放系统及其摆放方法 |
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