JPH0529147U - Ｉｃパツケージ外視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣパッケージ上面の段差部や側面のカケや
ボイドを明確に識別できる高信頼性のＩＣパッケージ外
視検査装置を提供する。 【構成】 ＩＣパッケージ６に対して光を照射する照明
器は、ＩＣパッケージ６上面を照明する第１の照明器２
と、ＩＣパッケージ６の側面部に対しＩＣパッケージ６
の斜め上方より光を照射する第２の照明器１とからなる
ことを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はＩＣパッケージのカケ、ボイド等を明確に識別できる外視検査装置に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の技術について図２及び図３を参照して説明する。

【０００３】 図２は従来例によるＩＣパッケージの外視検査装置の側面図、図３（ａ），（ ｂ），（ｃ）はそれぞれ被検査物であるＩＣパッケージの平面図、正面図、側面 図、図３（ｄ）はカケ、ボイドのある場合の平面図である。

【０００４】 従来例によるＩＣパッケージ外視検査装置（以下、単に外視検査装置と記す） は、図２に示すように、検査面を均一に照射するリングガイド照明器２、カメラ レンズ３、光電変換部であるＣＣＤカメラ４、接写リング５、検査物置き台７、 ＣＣＤカメラ４の信号を処理する画像処理装置（図示せず）によって構成される 。

【０００５】 以上の構成において、検査面を均一に照射するリングガイド照明器２により置 き台７に置かれた検査物であるＩＣパッケージ６の検査面Ａに照射し、その反射 光をカメラレンズ３、接写レンズ５を通してＣＣＤカメラ４が捕え、反射光を電 気信号に変換し、画像処理装置に伝え、該画像処理装置にて判別を行う。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、以上の構成においては、ＩＣパッケージ６に対する照明はＩＣパッ ケージ６の上面を照射するリングガイド照明器２からの光だけであり、図３（ｄ ）に示すＩＣパッケージ６の検査面Ａの段差部分Ａ′及び該段差部分Ａ′に平行 な側面ＢにおけるカケＣ，ボイドＤからの反射光が極めて少ない。

【０００７】 従って濃淡の有意差が非常に小さく、画像処理装置で判別するのに時間がかか り、判別する方法も複雑となる。

【０００８】 そこで、本考案の目的は、検査物からの反射光が充分得られる外視検査装置を 提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するために本考案は、ＩＣパッケージに対し光を照射する照明 器と、前記ＩＣパッケージからの反射光を検出し電気信号に変換する光電変換部 と、該光電変換部の信号を処理する画像処理装置とを備えてなるＩＣパッケージ 外視検査装置において、前記照明器は前記ＩＣパッケージ上面を照明する第１の 照明器と、前記ＩＣパッケージの側面部に対し前記ＩＣパッケージの斜め上方よ り光を照射する第２の照明器とからなることを特徴とする。

【００１０】

【作用】

本考案によるＩＣパッケージ外視検査装置の照明器は、ＩＣパッケージ上面を 照明する第１の照明器の他に、ＩＣパッケージの側面部に対しＩＣパッケージの 斜め上方より光を照射する第２の照明器を備えているので、ＩＣパッケージ上面 端部に設けられた極性判別用の段差部や、第１の照明器だけでは充分な反射光が 得られなかったＩＣパッケージ側面部にも十分光が照射される。

【００１１】 従って、従来は判別が困難であった、前述の段差部や側面部のカケ、ボイド等 を短時間で明確に識別でき、高信頼性のＩＣパッケージ外視検査装置を実現でき る。

【００１２】

【実施例】

本考案の一実施例について、図１を参照して説明する。なお、図２及び図３に 示す従来例と同一機能部分には同一記号を付している。

【００１３】 本実施例によるＩＣパッケージ外視検査装置は、スリット形状の光を照射する １対のラインガイド照明器１，検査面を均一に照射する第１の照明器２としてリ ングガイド照明器２（以下、リングガイド照明器２と記す）、カメラレンズ３， 光電変換部４としてＣＣＤカメラ４（以下、ＣＣＤカメラ４と記す）、接写レン ズ５，検査物置き台７，ＣＣＤカメラ４の信号を処理する画像処理装置（図示せ ず）によって構成される。第２の照明器１である１対のラインガイド照明器１（ 以下、ラインガイド照明器１と記す）は、検査面の段差と平行な側面Ｂ，Ｂから それぞれ２０ｍｍ離れ、角度１０〜２０°斜め上方より検査面Ａの段差部分Ａ′ ，該段差部分Ａ′と平行な側面Ｂ，Ｂにスリット形状の光を照射する。

【００１４】 また、リングガイド照明器２は、置き台７に置かれたＩＣパッケージ６の真上 に６０ｍｍ離れた所に位置し、検査面Ａを均一に照射する。カメラレンズ３，接 写レンズ５は、ＣＣＤカメラ４に適度な倍率（×３０倍）を設定する。

【００１５】 以上のような構成において、スリット形状の光を照射する１対のラインガイド 照明器１により検査面Ａの段差部分Ａ′，検査面の段差と平行な側面Ｂ，Ｂを照 射し、且つ、検査面Ａを均一に照射するリングガイド照明器２により置き台７に 置かれたＩＣパッケージ６の検査面Ａに照射する。その２つの複合された反射光 をカメラレンズ３，接写レンズ５を通してＣＣＤカメラ４が捕え、反射光を電気 信号に変換し、画像処理装置に伝え、画像処理装置にて判別を行う。

【００１６】 この結果、検査面Ａの段差部分Ａ′，該段差部分Ａ′と平行な側面Ｂ，Ｂから の反射光が多くなり、図３（ｄ）に示す前記段差部分Ａ′及び側面Ｂ，Ｂにある カケＣ，ボイドＤとの濃淡の有意差が明確になり、画像処理装置で容易に判別で き、判定する時間も短くなる。

【００１７】 なお、本実施例においては、光電変換部４としてＣＣＤカメラを使用したが、 光電変換機能を有する装置であればこれに限るものではない。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、ＩＣパッケージの検査面、特に側面部か らの反射光の濃淡の有意差が明確になり、画像処理装置による判別が容易になり 判別時間も短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例による外視検査装置の側面図
である。

【図２】従来例による外視検査装置の側面図である。

【図３】（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ検査物の平
面図、正面図、側面図、（ｄ）はカケ、ボイドのある場
合の平面図である。

【符号の説明】

１ 第２の照明器 ２ 第１の照明器 ４ 光電変換部（ＣＣＤカメラ） ６ ＩＣパッケージ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩＣパッケージに対し光を照射する照明
   器と、前記ＩＣパッケージからの反射光を検出し電気信
   号に変換する光電変換部と、該光電変換部の信号を処理
   する画像処理装置とを備えてなるＩＣパッケージ外視検
   査装置において、 前記照明器は前記ＩＣパッケージ上面を照明する第１の
   照明器と、前記ＩＣパッケージの側面部に対し前記ＩＣ
   パッケージの斜め上方より光を照射する第２の照明器と
   からなることを特徴とするＩＣパッケージ外視検査装
   置。