JPH0529433A - Ｉｃ収納パレツトの搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ２つの搬送部を、ダミーパレットを設けるこ
とによって、１つの搬送部で賄うようにする。 【構成】 搬送レール20面上のパレット１をパレットの
後面を押して移送する搬送爪10とその爪の駆動機構と、
パレット１とほぼ同一寸法でかつ搬送爪10がはまり込む
穴17が移送方向と反対側の後方に設けられているダミー
パレット15、このダミーパレット15を搬送レール20面上
部で保持し、かつこのダミーパレット15を搬送レール20
面へ載せるダミーパレット上下動機構18とで構成する。 【効果】 機構製作コスト及び故障因子の削減と、槽
内、昇降温時間の短縮が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ収納パレットの
搬送機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５、図６は従来のＩＣ収納パレット
（以下パレットと称す）および搬送機構を示すものであ
り、図５において、１はＩＣ収納パレット、1aは位置決
め穴、1bはポケット部で、ＩＣ収納パレット１に単体ま
たは複数で規則正しく穴1a、ポケット部1bが配置されて
いる。２はＩＣで、ＩＣ収納パレット１のポケット部1b
に納められている。

【０００３】図６において、１はパレット、３は恒温槽
で、パレット１やＩＣ２を高温、低温状態で保温する。
また、この恒温槽３には、パレットを出し入れする際熱
を逃さないようにシャッタ板が設けられている。４は図
示しないテストヘッド部で、パレットの中のＩＣの特性
を単体または複数個同時に測定する。５はパレット送込
み爪で、恒温槽３の入口より槽内へパレット１を送り込
む。６はパレット引出し爪で、恒温槽３の出口より槽外
へパレット１を取り出す。７は駆動プーリで、円周上に
等間隔でピン7aが埋込まれている。９はスチールベルト
で、駆動プーリ７のピン間隔と同じ間隔でピン径と同じ
穴があいている。このピンとピン穴は駆動プーリ７を回
転させる際、スチールベルト９の滑り止めの作用をす
る。10は搬送爪Ａで、パレット１の後面を押して搬送す
る。８は支柱で、各プーリを支えている。11はプーリ
で、ピンは埋込まれていない。12はテンション機構で、
スチールベルト９のテンションを張っている。また、こ
の機構は、スチールベルト９の熱膨張、収縮を吸収でき
る作用をなす。13は搬送爪Ｂで、パレット１にあいてい
る穴1aに、この爪13を引っかけてパレット１を搬送す
る。14は位置決めピンで、パレット１の穴1aへピンを入
れて位置決めする。ピン14にはテーパが施してあり、こ
れはパレット１の長さの公差や送り精度公差を十分吸収
する作用をする。20はレールである。

【０００４】図７、図８は動作説明の図である。パレッ
トはガイドされた連続したレール20の上を水平に搬送さ
れる。このレール20の上を最初のパレット1Aはパレット
送込み爪５によって、図７(a)のように恒温槽３内へ運
ばれる。次に駆動プーリ７を回転させ、スチールベルト
９と一体化した搬送爪Ａ10でパレット1Aを図７(c)まで
運ぶ。搬送爪Ａ10は、次パレットを入れるために待避点
まで移動する。次のパレット1Bがパレット送込み爪５に
よって図７(d)のように槽内へ入れられる。図７(e)のよ
うに、前パレット1Aと次パレット1Bを数珠つなぎにして
搬送爪Ａ10で前パレット1Aをテスト点まで運ぶ。前パレ
ット1Aは位置決めピン14によって位置決めされ、テスト
ヘッド部４によってテストされる。テスト終了後、搬送
爪Ｂ13をパレット1Aの穴1aへ引っかけて図７(f)の位置
まで運ぶ。パレット1Aはパレット引出し爪６によって槽
外へ運び出される。以上のような動作を繰返し、順次パ
レットをテストしていく。最後のパレットは図８(i)〜
(l)で示すようにテストして槽外へ運び出す。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来のＩ
Ｃ収納パレットの搬送機構は２つのパレット搬送部で構
成されているので、パレットの受渡し位置での受渡しミ
スや、受渡し部分の調整が困難であった。また、槽内に
搬送機構が多いと熱容量が増えて設定温度になるまでの
昇降温時間を要し、さらに、搬送機構部がテストヘッド
部の機構部配置を制限して、ＩＣの同時測定数を制限す
るなどの問題があった。

【０００６】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、２つで構成されているパレッ
ト搬送部を１つのパレット搬送部で構成し、しかも従来
と同様な機能を持つ搬送機構を得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明に係るＩＣ収納
パレットの搬送機構は、パレットとほぼ同一寸法でかつ
搬送爪がはまり込む穴が移送方向と反対側の後方にあい
ているダミーパレットを配置し、さらに、このダミーパ
レットをレール面から上方へ押し上げるダミーパレット
上下動機構を設けたものである。

【０００８】

【作用】この発明におけるダミーパレットは、ダミーパ
レット上下動機構により搬送レールへ載せられた時、搬
送爪と穴がはまり込み、搬送爪でダミーパレットが移送
することにより、今までの搬送可能範囲（搬送爪で押し
進める）よりダミーパレットの長さ寸法分搬送可能範囲
が拡大される。このため、従来装置における第２の搬送
部を省略できる。

【０００９】

【実施例】実施例１．図１はこの発明の一実施例を示す
ＩＣ収納パレットの搬送機構を示すもので、１〜12の各
部と機能は従来の技術と同じである。15はダミーパレッ
トで、搬送レール20の上を移動可能なようにパレットと
ほぼ同一寸法の図２に示す形状をしている。これには、
搬送爪Ａ10と連結可能なように搬送爪Ａ10形状に合致し
た穴17が設けられている。16はダミーパレット支えつ
ば、18はパレット上下駆動部で、通常はこの駆動部18で
ダミーパレット支えつば16を介してパレット搬送面上方
でダミーパレット15を待機させている。

【００１０】次に動作について説明する。搬送爪Ａ10
は、パレット搬送レール20面より下面で待避している。
このパレット搬送面上をパレット送り込み爪５によって
パレット1Aが送り込まれる（図３(a)）。次に駆動プー
リ７が図示しない回転駆動装置によって回転され、図３
(c)のように搬送爪Ａ10によってパレット1A後面を後押
ししてパレット1Aを搬送する。図３(d)のように搬送
後、搬送爪Ａ10は待避点へ戻り、次のパレット1Bが送り
込まれる。同様にして駆動プーリ７を回転させ、搬送爪
Ａ10でパレット1B後面を後押しする。このとき図３(e)
のように前パレット1Aとパレット1Bは数珠連なぎで、パ
レット1Aがテスト点に届くまで搬送される。次に位置決
めピン14を押し上げてパレット1Aを位置決めする。この
時パレット搬送移動量はテスト点に対して送り足らない
方向で送り、位置決めピン14のテーパ分でパレット間に
すき間をもたす。また、パレット1Aテスト中に次々パレ
ット1Cを槽内へ送り込む（図３(f)）。パレット1Aのテ
ストが全て終了すると、同様にして次のパレット1Bをテ
スト位置へ運ぶ。パレット1Bテスト開始後、引出し位置
に押出されたパレット1Aをパレット引出し爪６で恒温槽
３外へ引出す（図３(g)(h)）。この動作をくり返す。最
後のパレット1Nが槽内に送り込まれ、１つ前のパレット
(1N−1)がテスト終了し槽外へ引出されると（図４
(j)）、搬送爪Ａ10はダミーパレット15の受け渡し位置
まで戻り、ダミーパレット上下動駆動部18でダミーパレ
ット15を下げ、搬送レール20上に置くと、ダミーパレッ
ト15に設けられた穴17に搬送爪Ａ10が入り込み、連結さ
れる。このダミーパレット15でパレット1Nはテスト点ま
で搬送される。テストが終了して槽外へパレット1Nが引
出された後、ダミーパレット15は先程の受渡し位置まで
戻され、前記駆動部18によりレール上方へ押上げられる
（図４(q)）。搬送爪Ａ10は待避点まで戻り、次投入パ
レットを待つ。この一連の動作をくり返す。

【００１１】実施例２．なお上記実施例では、スチール
ベルト駆動によるパレット搬送を行うようにしている
が、他の駆動方式でもよく、例えばボールネジ駆動や、
リニアパルスモータ等などでも代用可能である。

【００１２】実施例３．また上例ではパレットを数珠つ
なぎにしてパレットを搬送したが、１枚ずつパレットを
搬送してテストしてもよい。この場合はダミーパレット
をパレット１枚ごとに使用する。

【００１３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ダミーパ
レットを用いることにより、搬送可能範囲を拡大できる
ように構成したので、１つの搬送機構ですべての搬送が
可能となり、搬送機構にかかっていたコスト削減が可能
である。また故障因子（ＪＡＭ因子）を減らせるので、
信頼性が向上し、さらに、熱容量を小さくしたので、槽
内の昇降温時間の短縮化が図れる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるＩＣ収納パレットの
搬送機構を示す断面側面図である。

【図２】ダミーパレットの斜視図である。

【図３】この発明の動作説明図である。

【図４】この発明の動作説明図である。

【図５】ＩＣ収納パレットの斜視図である。

【図６】従来のＩＣ収納パレット搬送機構を示す断面側
面図である。

【図７】従来装置の動作説明図である。

【図８】従来装置の動作説明図である。

【符号の説明】

１ ＩＣ収納パレット ３ 恒温槽 ４ テストヘッド部 ５ パレット送込み機構 ６ パレット引出し機構 ７ 駆動プーリ ９ スチールベルト 10 搬送爪Ａ 11 プーリ 14 位置決めピン 15 ダミーパレット 16 ダミーパレット支えつば 17 穴 18 ダミーパレット上下動機構 20 搬送レール

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ＩＣを収納したパレットをＩＣ測定部へ
   連続的もしくは間欠的に順次移送して供給する機構にお
   いて、パレットを移送方向に対してガイドしながら滑走
   可能とする搬送レール、 この搬送レール面上でパレットの後端を押してパレット
   を移送する搬送爪とその爪の駆動機構、 この搬送爪の可動範囲内で、かつ上記搬送レールへ、外
   部よりパレットを供給するパレット送込み機構、 上記パレットとほぼ同一寸法で、かつ上記搬送爪がはま
   り込む穴が移送方向と反対側の後方に設けられているダ
   ミーパレット、 このダミーパレットを搬送レール面上部で保持し、かつ
   このダミーパレットを搬送レール面へ載せるダミーパレ
   ット上下動機構、 上記ダミーパレットで押出された搬送レール面上のパレ
   ットを外部へ運び出すパレット引出し機構を備えたこと
   を特徴とするＩＣ収納パレットの搬送機構。