JPH0529575Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0529575Y2 JPH0529575Y2 JP1987121503U JP12150387U JPH0529575Y2 JP H0529575 Y2 JPH0529575 Y2 JP H0529575Y2 JP 1987121503 U JP1987121503 U JP 1987121503U JP 12150387 U JP12150387 U JP 12150387U JP H0529575 Y2 JPH0529575 Y2 JP H0529575Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- rotary table
- shaft
- screw shaft
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Transmission Devices (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、回転テーブルの精密な位置決めを実
施するための微少回転テーブル駆動装置に関す
る。
施するための微少回転テーブル駆動装置に関す
る。
（従来の技術及び問題点）
第３図は回転テーブル駆動装置の第１従来例で
あり、回転テーブル１に取付固定された支持軸２
を軸受３で回転自在に支えるとともに、支持軸２
をモーター４に直結したダイレクト・ドライブ方
式である。この場合、回転テーブル回転角につい
て微少分割数が取れないし、モーターの発熱が回
転テーブル側に伝わり易い。また、高さ寸法Ｈが
大きくなる問題点がある。
あり、回転テーブル１に取付固定された支持軸２
を軸受３で回転自在に支えるとともに、支持軸２
をモーター４に直結したダイレクト・ドライブ方
式である。この場合、回転テーブル回転角につい
て微少分割数が取れないし、モーターの発熱が回
転テーブル側に伝わり易い。また、高さ寸法Ｈが
大きくなる問題点がある。
第４図は回転テーブル駆動装置の第２従来例で
あり、回転テーブル１とモーター４とをウオー
ム・ギヤ５を介して接続したギヤ駆動方式であ
る。この場合には、バツクラツシユが出る問題点
がある。
あり、回転テーブル１とモーター４とをウオー
ム・ギヤ５を介して接続したギヤ駆動方式であ
る。この場合には、バツクラツシユが出る問題点
がある。
第５図は回転テーブル駆動装置の第３従来例で
あり、回転テーブル１の下面に歯車６Ａを形成
し、軸受７で支持された支持軸８に前記歯車６Ａ
にかみ合う歯車６Ｂを取付固定し、前記支持軸８
にモーター４を連結したギヤ位置決め方式であ
る。この場合には、矢印Ｐ，Ｑのように回転テー
ブル１を昇降させる機構が必要であり、テーブル
が大きくなる問題点が生じる。
あり、回転テーブル１の下面に歯車６Ａを形成
し、軸受７で支持された支持軸８に前記歯車６Ａ
にかみ合う歯車６Ｂを取付固定し、前記支持軸８
にモーター４を連結したギヤ位置決め方式であ
る。この場合には、矢印Ｐ，Ｑのように回転テー
ブル１を昇降させる機構が必要であり、テーブル
が大きくなる問題点が生じる。
（問題点を解決するための手段）
本考案は、上記の点に鑑み、高精度、高分解能
で、バツクラツシユの無い微少回転テーブル駆動
装置を提供しようとするものである。
で、バツクラツシユの無い微少回転テーブル駆動
装置を提供しようとするものである。
本考案の微少回転テーブル駆動装置は、基台に
取付固定されたモーターの回転軸にボール螺子軸
を直結するか該回転軸自体でボール螺子軸を構成
し、かつ前記基台に回転自在に支持された回転テ
ーブルの回転中心軸方向に垂直な面内に当該ボー
ル螺子軸を配し、該ボール螺子軸に螺合したボー
ル螺子ナツトを、前記回転テーブルの外周部に取
付固定した構造を備えている。そして、回転テー
ブルの回転に伴うボール螺子ナツトの位置変化に
対しては前記ボール螺子軸の弾性によるたわみで
追従させるようにしている。
取付固定されたモーターの回転軸にボール螺子軸
を直結するか該回転軸自体でボール螺子軸を構成
し、かつ前記基台に回転自在に支持された回転テ
ーブルの回転中心軸方向に垂直な面内に当該ボー
ル螺子軸を配し、該ボール螺子軸に螺合したボー
ル螺子ナツトを、前記回転テーブルの外周部に取
付固定した構造を備えている。そして、回転テー
ブルの回転に伴うボール螺子ナツトの位置変化に
対しては前記ボール螺子軸の弾性によるたわみで
追従させるようにしている。
（作用）
本考案の微少回転テーブル駆動装置において
は、モーターは基台に対して確実に固定され、ま
たその回転軸（及びボール螺子軸）は軸受により
径方向及び軸方向共にがたつきの無いように支持
することができる。また、回転テーブルは基台に
対してがたつきの無いように回転自在に支持する
ことができる。さらに、モーター側ボール螺子軸
に螺合しかつ回転テーブルに取付固定されたボー
ル螺子ナツトは、バツクラツシユの生じないよう
にボール螺子軸に螺合可能なバツクラツシユレス
構造のものを採用することにより、バツクラツシ
ユの発生を防止し、高精度、高分解能の位置決め
を可能とすることができる。
は、モーターは基台に対して確実に固定され、ま
たその回転軸（及びボール螺子軸）は軸受により
径方向及び軸方向共にがたつきの無いように支持
することができる。また、回転テーブルは基台に
対してがたつきの無いように回転自在に支持する
ことができる。さらに、モーター側ボール螺子軸
に螺合しかつ回転テーブルに取付固定されたボー
ル螺子ナツトは、バツクラツシユの生じないよう
にボール螺子軸に螺合可能なバツクラツシユレス
構造のものを採用することにより、バツクラツシ
ユの発生を防止し、高精度、高分解能の位置決め
を可能とすることができる。
（実施例）
以下、本考案に係る微少回転テーブル駆動装置
の実施例を図面に従つて説明する。
の実施例を図面に従つて説明する。
第１図及び第２図において、１０は基台であ
り、該基台１０上にモーター４が支持部材１１を
介して取付固定されている。モーター４の回転軸
１２は軸受１３によつて径方向及び軸方向にがた
つきの無いように支持されている。ボール螺子軸
１４はモーター回転軸１２に直結されるか該回転
軸自体で構成されている。
り、該基台１０上にモーター４が支持部材１１を
介して取付固定されている。モーター４の回転軸
１２は軸受１３によつて径方向及び軸方向にがた
つきの無いように支持されている。ボール螺子軸
１４はモーター回転軸１２に直結されるか該回転
軸自体で構成されている。
一方、基台１０上には固定支持軸１５が固定さ
れており、該固定支持軸１５に対して回転ガイド
１６を介して回転テーブル１ががたつきの無いよ
うに回転自在に取り付けられている。その回転テ
ーブル１の外周部にはナツト取付板１８が固定さ
れ、該ナツト取付板１８にボール螺子ナツト１７
が取付固定されている。該ボール螺子ナツト１７
は前記ボール螺子軸１４に螺合している。ここ
で、ボール螺子ナツト１７は２個のナツト及びナ
ツトを付勢するスプリングを内蔵したバツクラツ
シユレス構造のものであり、ボール螺子軸１４に
螺合するに際し、がたつきやバツクラツシユは発
生しないようになつている。
れており、該固定支持軸１５に対して回転ガイド
１６を介して回転テーブル１ががたつきの無いよ
うに回転自在に取り付けられている。その回転テ
ーブル１の外周部にはナツト取付板１８が固定さ
れ、該ナツト取付板１８にボール螺子ナツト１７
が取付固定されている。該ボール螺子ナツト１７
は前記ボール螺子軸１４に螺合している。ここ
で、ボール螺子ナツト１７は２個のナツト及びナ
ツトを付勢するスプリングを内蔵したバツクラツ
シユレス構造のものであり、ボール螺子軸１４に
螺合するに際し、がたつきやバツクラツシユは発
生しないようになつている。
なお、前記回転テーブル１の回転中心軸方向に
垂直な面内に前記ボール螺子軸１４は配設されて
いる。
垂直な面内に前記ボール螺子軸１４は配設されて
いる。
以上の構成において、回転テーブル１上には、
精密加工が必要な被加工物が固定されるようにな
つており、その被加工物の回転方向の位置決め
は、モーター４を所定角度（もしくは所定回転
数）回転させ、ボール螺子軸１４に螺合したボー
ル螺子ナツト１７を移動させ、回転テーブル１を
回転させることにより実行する。ここで、回転テ
ーブル１の回転角が零でボール螺子軸１４及びボ
ール螺子ナツト１７の中心軸線が回転テーブル１
の接線方向に平行である状態（中心軸線Ｓ）から
ボール螺子軸１４の回転によりボール螺子ナツト
１７が移動すると、ボール螺子ナツト１７の中心
軸線は例えば第１図の直線Ｒとなり、当初のボー
ル螺子軸１４の中心軸線Ｓから角度φだけずれる
が、このずれに対して、ボール螺子軸１４を細く
して弾性を持たせ、ボール螺子軸１４をたわませ
て追従させるようにしている。
精密加工が必要な被加工物が固定されるようにな
つており、その被加工物の回転方向の位置決め
は、モーター４を所定角度（もしくは所定回転
数）回転させ、ボール螺子軸１４に螺合したボー
ル螺子ナツト１７を移動させ、回転テーブル１を
回転させることにより実行する。ここで、回転テ
ーブル１の回転角が零でボール螺子軸１４及びボ
ール螺子ナツト１７の中心軸線が回転テーブル１
の接線方向に平行である状態（中心軸線Ｓ）から
ボール螺子軸１４の回転によりボール螺子ナツト
１７が移動すると、ボール螺子ナツト１７の中心
軸線は例えば第１図の直線Ｒとなり、当初のボー
ル螺子軸１４の中心軸線Ｓから角度φだけずれる
が、このずれに対して、ボール螺子軸１４を細く
して弾性を持たせ、ボール螺子軸１４をたわませ
て追従させるようにしている。
（考案の効果）
以上説明したように、本考案の微少回転テーブ
ル駆動装置によれば、基台に取付固定されたモー
ターの回転軸にボール螺子軸を直結するか該回転
軸自体でボール螺子軸を構成し、該ボール螺子軸
に螺合したボール螺子ナツトを、前記基台に回転
自在に支持された回転テーブルに取付固定し、前
記ボール螺子ナツトの位置変化に対して前記ボー
ル螺子軸の弾性によるたわみで追従させる構成と
したので、簡単な構成によりバツクラツシユを無
くすることができる。この結果、高分解能で高精
度（0.1μオーダー）の位置決めを実行可能な装置
を得ることができる。
ル駆動装置によれば、基台に取付固定されたモー
ターの回転軸にボール螺子軸を直結するか該回転
軸自体でボール螺子軸を構成し、該ボール螺子軸
に螺合したボール螺子ナツトを、前記基台に回転
自在に支持された回転テーブルに取付固定し、前
記ボール螺子ナツトの位置変化に対して前記ボー
ル螺子軸の弾性によるたわみで追従させる構成と
したので、簡単な構成によりバツクラツシユを無
くすることができる。この結果、高分解能で高精
度（0.1μオーダー）の位置決めを実行可能な装置
を得ることができる。
第１図は本考案に係る微少回転テーブル駆動装
置の実施例を示す平面図、第２図は同側断面図、
第３図は従来の回転テーブル駆動装置である第１
従来例を示す概略図、第４図は第２従来例を示す
概略図、第５図は第３従来例を示す概略図であ
る。 １……回転テーブル、４……モーター、１０…
…基台、１２……回転軸、１４……ボール螺子
軸、１５……固定支持軸、１６……回転ガイド、
１７……ボール螺子ナツト、１８……ナツト取付
板。
置の実施例を示す平面図、第２図は同側断面図、
第３図は従来の回転テーブル駆動装置である第１
従来例を示す概略図、第４図は第２従来例を示す
概略図、第５図は第３従来例を示す概略図であ
る。 １……回転テーブル、４……モーター、１０…
…基台、１２……回転軸、１４……ボール螺子
軸、１５……固定支持軸、１６……回転ガイド、
１７……ボール螺子ナツト、１８……ナツト取付
板。
Claims (1)
- 基台に取付固定されたモーターの回転軸にボー
ル螺子軸を直結するか該回転軸自体でボール螺子
軸を構成し、かつ前記基台に回転自在に支持され
た回転テーブルの回転中心軸方向に垂直な面内に
当該ボール螺子軸を配し、該ボール螺子軸に螺合
したボール螺子ナツトを、前記回転テーブルの外
周部に取付固定し、前記ボール螺子ナツトの位置
変化に対して前記ボール螺子軸の弾性によるたわ
みで追従させることを特徴とする微少回転テーブ
ル駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987121503U JPH0529575Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987121503U JPH0529575Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6427573U JPS6427573U (ja) | 1989-02-16 |
| JPH0529575Y2 true JPH0529575Y2 (ja) | 1993-07-28 |
Family
ID=31368565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987121503U Expired - Lifetime JPH0529575Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0529575Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5836478A (ja) * | 1981-08-25 | 1983-03-03 | Canon Inc | 印字ヘツド駆動装置 |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP1987121503U patent/JPH0529575Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6427573U (ja) | 1989-02-16 |
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