JPH05297067A - Lsiテスタ - Google Patents
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- JPH05297067A JPH05297067A JP4102742A JP10274292A JPH05297067A JP H05297067 A JPH05297067 A JP H05297067A JP 4102742 A JP4102742 A JP 4102742A JP 10274292 A JP10274292 A JP 10274292A JP H05297067 A JPH05297067 A JP H05297067A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 記憶容量の小さなメモリによってフェイルデ
ータを記憶する。 【構成】 応答信号を複数のブロックに分け、ブロック
毎に期待値データと比較し、被測定対象物の合否を判定
するLSIテスタにおいて、ブロック毎に設けられてい
て、被測定対象物から入力される複数の応答信号を期待
値メモリから入力される期待値データと比較する判定回
路と、判定回路が期待値データに基づいてブロック毎に
得たフェイルデータを記憶するフェイルメモリと、判定
回路をイネーブルとするイネーブル信号を各判定回路に
順次出力するイネーブル信号発生回路とを設け、ブロッ
ク毎のフェイルデータを判定回路からフェイルメモリに
順次記憶し、被測定対象物の合否を判定する。
ータを記憶する。 【構成】 応答信号を複数のブロックに分け、ブロック
毎に期待値データと比較し、被測定対象物の合否を判定
するLSIテスタにおいて、ブロック毎に設けられてい
て、被測定対象物から入力される複数の応答信号を期待
値メモリから入力される期待値データと比較する判定回
路と、判定回路が期待値データに基づいてブロック毎に
得たフェイルデータを記憶するフェイルメモリと、判定
回路をイネーブルとするイネーブル信号を各判定回路に
順次出力するイネーブル信号発生回路とを設け、ブロッ
ク毎のフェイルデータを判定回路からフェイルメモリに
順次記憶し、被測定対象物の合否を判定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定対象物(以下、
DUTという)の応答信号と期待値データを比較して得
たフェイルデータに基づいてDUTの合否を判断するL
SIテスタに関し、更に詳しくは、フェイルデータを時
分割でフェイルメモリに記憶するようにし、小さな記憶
容量のメモリによってフェイルデータを記憶できるよう
にしたLSIテスタに関する。
DUTという)の応答信号と期待値データを比較して得
たフェイルデータに基づいてDUTの合否を判断するL
SIテスタに関し、更に詳しくは、フェイルデータを時
分割でフェイルメモリに記憶するようにし、小さな記憶
容量のメモリによってフェイルデータを記憶できるよう
にしたLSIテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来のLSIテスタの構成ブロ
ック図である。図中、1はタイミングジェネレータで、
各回路の動作タイミングとなるタイミングクロックを出
力する。2はプログラムカウンタで、タイミングジェネ
レータ1から入力したテストレートクロックCK1(以
下、レートクロックCK1という)に基づきパターンメ
モリ(図省略)にアドレスを指定すると共に、フェイル
メモリ3にアドレスを指定する。パターンメモリは、D
UT4を検査するパターンデータが記憶されたメモリ
で、プログラムカウンタ2で指定されるアドレスに従っ
てパターンデータをDUT4に出力する。
ック図である。図中、1はタイミングジェネレータで、
各回路の動作タイミングとなるタイミングクロックを出
力する。2はプログラムカウンタで、タイミングジェネ
レータ1から入力したテストレートクロックCK1(以
下、レートクロックCK1という)に基づきパターンメ
モリ(図省略)にアドレスを指定すると共に、フェイル
メモリ3にアドレスを指定する。パターンメモリは、D
UT4を検査するパターンデータが記憶されたメモリ
で、プログラムカウンタ2で指定されるアドレスに従っ
てパターンデータをDUT4に出力する。
【0003】一方、フェイルメモリ3は、DUT4の応
答信号のフェイルデータを記憶するメモリで、判定回路
5が期待値データと比較して得たフェイルデータをプロ
グラムカウンタ2で指定されるアドレスに従って記憶す
る。フェイルメモリ3は、DUT4が応答信号を出力す
るチャンネル数と同じビット幅を有していて、判定回路
5が出力したフェイルデータをタイミングジェネレータ
1のライトクロックCK2によって書き込む。
答信号のフェイルデータを記憶するメモリで、判定回路
5が期待値データと比較して得たフェイルデータをプロ
グラムカウンタ2で指定されるアドレスに従って記憶す
る。フェイルメモリ3は、DUT4が応答信号を出力す
るチャンネル数と同じビット幅を有していて、判定回路
5が出力したフェイルデータをタイミングジェネレータ
1のライトクロックCK2によって書き込む。
【0004】判定回路5は、タイミングジェネレータ1
から入力されるストローブクロックCK3によって、コ
ンパレータ61、62、〜6nを介して入力されるDUT
4の応答信号と期待値メモリ7から入力される期待値デ
ータとを比較し、フェイルデータを得る。図5は、図4
のフェイルメモリの構成を示した図である。フェイルメ
モリ3は、DUT4の出力チャンネル数と同じビット幅
を有していて、指定されたアドレスにフェイルデータが
書き込まれる。図は、アドレス“n+1”の斜線で示し
た領域にフェイルデータが書き込まれた様子を示したも
のである。
から入力されるストローブクロックCK3によって、コ
ンパレータ61、62、〜6nを介して入力されるDUT
4の応答信号と期待値メモリ7から入力される期待値デ
ータとを比較し、フェイルデータを得る。図5は、図4
のフェイルメモリの構成を示した図である。フェイルメ
モリ3は、DUT4の出力チャンネル数と同じビット幅
を有していて、指定されたアドレスにフェイルデータが
書き込まれる。図は、アドレス“n+1”の斜線で示し
た領域にフェイルデータが書き込まれた様子を示したも
のである。
【0005】図6は、従来のLSIテスタの動作を説明
するタイミングチャートで、図7に示すような集積回路
化されたレジスタ回路をDUTとする場合のものであ
る。図7において、41はシフトレジスタで、一ビット
のレジスタがn個直列に接続されていて、第一のクロッ
ク信号CK41が入力される毎にデータが順次取り込まれ
る。42はパラレルレジスタで、第二のクロック信号C
K42が入力されると、シフトレジスタ41に保持したn
ビットのデータを一括して取り込んで出力する。
するタイミングチャートで、図7に示すような集積回路
化されたレジスタ回路をDUTとする場合のものであ
る。図7において、41はシフトレジスタで、一ビット
のレジスタがn個直列に接続されていて、第一のクロッ
ク信号CK41が入力される毎にデータが順次取り込まれ
る。42はパラレルレジスタで、第二のクロック信号C
K42が入力されると、シフトレジスタ41に保持したn
ビットのデータを一括して取り込んで出力する。
【0006】図6において、(A)はタイミングジェネ
レータのレートクロックCK1、(B)はプログラムカ
ウンタが指定するアドレス、(C)はDUTに出力され
るデータ、(D)はDUTに出力される第一のクロック
信号CK41、(E)はDUTに出力される第二のクロッ
ク信号CK42、(F)はDUTの出力する応答信号、
(G)はタイミングジェネレータが判定回路に出力する
ストローブクロックCK 3、(H)は判定回路の出力す
るフェイルデータ、(I)はタイミングジェネレータが
フェイルメモリに出力するライトクロックCK2であ
る。
レータのレートクロックCK1、(B)はプログラムカ
ウンタが指定するアドレス、(C)はDUTに出力され
るデータ、(D)はDUTに出力される第一のクロック
信号CK41、(E)はDUTに出力される第二のクロッ
ク信号CK42、(F)はDUTの出力する応答信号、
(G)はタイミングジェネレータが判定回路に出力する
ストローブクロックCK 3、(H)は判定回路の出力す
るフェイルデータ、(I)はタイミングジェネレータが
フェイルメモリに出力するライトクロックCK2であ
る。
【0007】(1)タイミングジェネレータ1からレート
クロックCK1がプログラムカウンタ2に入力される。 プログラムカウンタ2は、このレートクロックCK1に
基づいてパターンメモリのアドレスを指定し、同時に、
期待値メモリ7アドレスとフェイルモリ3のアドレスを
指定する。
クロックCK1がプログラムカウンタ2に入力される。 プログラムカウンタ2は、このレートクロックCK1に
基づいてパターンメモリのアドレスを指定し、同時に、
期待値メモリ7アドレスとフェイルモリ3のアドレスを
指定する。
【0008】(2)パターンメモリは、プログラムカウンタ
2によって指定されるアドレスに基づいてデータをDU
T4に出力する。 (3)DUT4は、パターンメモリから入力されるデータ
を第一のクロック信号CK41によって取り込む。 (4)n個のデータがシフトレジスタ41に取り込まれた
後、第二のレートクロックCK42がDUT4に入力され
ると、n個のデータはパラレルレジスタ42からコンパ
レータ61、62、〜6nを介し判定回路5に出力され
る。
2によって指定されるアドレスに基づいてデータをDU
T4に出力する。 (3)DUT4は、パターンメモリから入力されるデータ
を第一のクロック信号CK41によって取り込む。 (4)n個のデータがシフトレジスタ41に取り込まれた
後、第二のレートクロックCK42がDUT4に入力され
ると、n個のデータはパラレルレジスタ42からコンパ
レータ61、62、〜6nを介し判定回路5に出力され
る。
【0009】(5)この時、判定回路5は、既に、(n+
1)番目のレートクロックCKで期待値メモリ7から期
待値データが入力されて判定サイクルになっていて、続
いて入力されるストローブクロックによってDUT4か
ら入力したデータの比較が行われる。 (6)この比較結果のフェイルデータは、フェイルメモリ
3に出力され、ライトクロックCKによってフェイルメ
モリ3に書き込まれる。
1)番目のレートクロックCKで期待値メモリ7から期
待値データが入力されて判定サイクルになっていて、続
いて入力されるストローブクロックによってDUT4か
ら入力したデータの比較が行われる。 (6)この比較結果のフェイルデータは、フェイルメモリ
3に出力され、ライトクロックCKによってフェイルメ
モリ3に書き込まれる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、DUTがnビットのシフトレジスタのよう
な場合においては、n対1の割合でしかフェイルメモリ
が使用されず利用率が悪く、且つ、フェイルメモリに大
きな容量を必要とするという欠点があった。
Iテスタは、DUTがnビットのシフトレジスタのよう
な場合においては、n対1の割合でしかフェイルメモリ
が使用されず利用率が悪く、且つ、フェイルメモリに大
きな容量を必要とするという欠点があった。
【0011】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、DUTのフェイルデータを複数のブロックに分
けフェイルメモリに記憶するようにしたもので、記憶容
量の小さなメモリによってフェイルデータを記憶するこ
とができるようにしたLSIテスタを提供することを目
的としている。
もので、DUTのフェイルデータを複数のブロックに分
けフェイルメモリに記憶するようにしたもので、記憶容
量の小さなメモリによってフェイルデータを記憶するこ
とができるようにしたLSIテスタを提供することを目
的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、複数のピンから被測定対象物が出
力した応答信号を複数のブロックに分け、ブロック毎に
期待値データと比較し、この比較結果のフェイルデータ
によって前記被測定対象物の合否を判定するLSIテス
タにおいて、前記ブロック毎に設けられていて、前記被
測定対象物から入力される複数の応答信号を期待値メモ
リから入力される期待値データと比較する判定回路と、
この判定回路が期待値データに基づいてブロック毎に得
たフェイルデータを記憶するフェイルメモリと、前記判
定回路をイネーブルとするイネーブル信号を各判定回路
に順次出力するイネーブル信号発生回路と、を設け、ブ
ロック毎のフェイルデータを前記判定回路から前記フェ
イルメモリに順次記憶し、前記フェイルメモリのフェル
データに基づいて前記被測定対象物の合否を判定するこ
とを特徴としている。
るために、本発明は、複数のピンから被測定対象物が出
力した応答信号を複数のブロックに分け、ブロック毎に
期待値データと比較し、この比較結果のフェイルデータ
によって前記被測定対象物の合否を判定するLSIテス
タにおいて、前記ブロック毎に設けられていて、前記被
測定対象物から入力される複数の応答信号を期待値メモ
リから入力される期待値データと比較する判定回路と、
この判定回路が期待値データに基づいてブロック毎に得
たフェイルデータを記憶するフェイルメモリと、前記判
定回路をイネーブルとするイネーブル信号を各判定回路
に順次出力するイネーブル信号発生回路と、を設け、ブ
ロック毎のフェイルデータを前記判定回路から前記フェ
イルメモリに順次記憶し、前記フェイルメモリのフェル
データに基づいて前記被測定対象物の合否を判定するこ
とを特徴としている。
【0013】
【作用】被測定対象物が出力した応答信号を複数のブロ
ックに分け、判定回路毎に期待値データと比較する。判
定回路毎に得られたフェイルデータは、イネーブル信号
発生回路のイネーブル信号によって順次フェイルメモリ
に出力され、フェイルメモリに書き込まれる。
ックに分け、判定回路毎に期待値データと比較する。判
定回路毎に得られたフェイルデータは、イネーブル信号
発生回路のイネーブル信号によって順次フェイルメモリ
に出力され、フェイルメモリに書き込まれる。
【0014】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明
する。図1は、本発明のLSIテスタの一実施例を説明
する構成ブロック図である。尚、この説明では、DUT
のnchの応答出力をmブロックに分けてフェイルメモ
リに記憶するものとし、1ブロックはjchからなるも
のとする。図中、図4と同一作用をするもの同一符号を
付けて説明する。
する。図1は、本発明のLSIテスタの一実施例を説明
する構成ブロック図である。尚、この説明では、DUT
のnchの応答出力をmブロックに分けてフェイルメモ
リに記憶するものとし、1ブロックはjchからなるも
のとする。図中、図4と同一作用をするもの同一符号を
付けて説明する。
【0015】10はタイミングジェネレータ、11はフ
ェイルメモリで、プログラムカウンタ2によって指定さ
れたアドレスに、判定回路12から入力されるフェイル
データが書き込まれる。フェイルメモリ11は、タイミ
ングジェネレータ10の出力するアドレスラッチクロッ
クCK4によってアドレスが確定され、そのアドレスに
ライトクロックCK2によってフェイルデータが書込ま
れる。
ェイルメモリで、プログラムカウンタ2によって指定さ
れたアドレスに、判定回路12から入力されるフェイル
データが書き込まれる。フェイルメモリ11は、タイミ
ングジェネレータ10の出力するアドレスラッチクロッ
クCK4によってアドレスが確定され、そのアドレスに
ライトクロックCK2によってフェイルデータが書込ま
れる。
【0016】判定回路12において、121はDUT4
の第一のブロックの応答信号を判定する第一の判定回路
で、DUT4の1〜jchまでの応答信号が入力され
る。122は(j+1)〜2jchの第二のブロックの
応答信号を判定する第二の判定回路、12mはmブロッ
クの第mの判定回路である。判定回路121、122、〜
12mは、期待値メモリ7からブロック毎に期待値デー
タが与えられるようになっていて、DUT4が出力する
応答信号をタイミングジェネレータ10のストローブク
ロックCK3のタイミングで比較する。
の第一のブロックの応答信号を判定する第一の判定回路
で、DUT4の1〜jchまでの応答信号が入力され
る。122は(j+1)〜2jchの第二のブロックの
応答信号を判定する第二の判定回路、12mはmブロッ
クの第mの判定回路である。判定回路121、122、〜
12mは、期待値メモリ7からブロック毎に期待値デー
タが与えられるようになっていて、DUT4が出力する
応答信号をタイミングジェネレータ10のストローブク
ロックCK3のタイミングで比較する。
【0017】101はタイミングジェネレータ10に設
けられたイネーブル信号発生回路で、判定回路12の出
力をイネーブルとするイネーブルクロックCK51〜CK
5mを各判定回路121、122、〜12mに順次出力す
る。判定回路121、122、〜12mは、イネーブル信
号発生回路101から入力されるイネーブルクロックC
K51〜CK5mによって判定結果であるフェイルデータを
フェイルメモリ11に出力する。
けられたイネーブル信号発生回路で、判定回路12の出
力をイネーブルとするイネーブルクロックCK51〜CK
5mを各判定回路121、122、〜12mに順次出力す
る。判定回路121、122、〜12mは、イネーブル信
号発生回路101から入力されるイネーブルクロックC
K51〜CK5mによって判定結果であるフェイルデータを
フェイルメモリ11に出力する。
【0018】図2は、本発明のLSIテスタのフェイル
メモリの構成を示した図で、破線で示した部分は従来の
フェイルメモリを示している。アドレス“n+1”の斜
線で示した領域に第一の判定回路121のフェイルデー
タが書き込まれ、アドレス“n+m”の領域に第mの判
定回路のフェイルデータが書き込まれた様子を示したも
のである。
メモリの構成を示した図で、破線で示した部分は従来の
フェイルメモリを示している。アドレス“n+1”の斜
線で示した領域に第一の判定回路121のフェイルデー
タが書き込まれ、アドレス“n+m”の領域に第mの判
定回路のフェイルデータが書き込まれた様子を示したも
のである。
【0019】図3は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイムチャートで、図7に示すような集積回路化
されたレジスタ回路をDUTとする場合のもので、25
6chのDUTを128chを1ブロックとし、測定し
た場合を説明したものである。尚、1〜128chのデ
ータは、第一の判定回路に入力され、129〜256c
hのデータは、第二の判定回路に入力されるものとす
る。そして、フェイルメモリは、128ビットのビット
幅を有するものとする。
明するタイムチャートで、図7に示すような集積回路化
されたレジスタ回路をDUTとする場合のもので、25
6chのDUTを128chを1ブロックとし、測定し
た場合を説明したものである。尚、1〜128chのデ
ータは、第一の判定回路に入力され、129〜256c
hのデータは、第二の判定回路に入力されるものとす
る。そして、フェイルメモリは、128ビットのビット
幅を有するものとする。
【0020】図中、(A)はレートクロックCK1、
(B)はプログラムカウンタによって指定されるパター
ンメモリのアドレス、(C)はDUTに出力されるデー
タ、(D)はDUTに出力される第一のクロック信号C
K41、(E)はDUTに出力される第二のクロック信号
CK42、(F)はDUTから出力される応答信号、
(G)は第一、第二の判定回路に出力されるストローブ
クロックCK3、(H)は第一の判定回路に出力される
イネーブルクロックCK51、(I)は第二の判定回路に
出力されるイネーブルクロックCK52、(J)は第一の
判定回路からフェイルメモリに出力されるフェイルデー
タ、(K)は第二の判定回路からフェイルメモリに出力
されるフェイルデータ、(L)はフェイルメモリに出力
されるライトクロックCK2である。
(B)はプログラムカウンタによって指定されるパター
ンメモリのアドレス、(C)はDUTに出力されるデー
タ、(D)はDUTに出力される第一のクロック信号C
K41、(E)はDUTに出力される第二のクロック信号
CK42、(F)はDUTから出力される応答信号、
(G)は第一、第二の判定回路に出力されるストローブ
クロックCK3、(H)は第一の判定回路に出力される
イネーブルクロックCK51、(I)は第二の判定回路に
出力されるイネーブルクロックCK52、(J)は第一の
判定回路からフェイルメモリに出力されるフェイルデー
タ、(K)は第二の判定回路からフェイルメモリに出力
されるフェイルデータ、(L)はフェイルメモリに出力
されるライトクロックCK2である。
【0021】(1)タイミングジェネレータ10から入力
されるレートクロックCK1に基づいてアドレスが更新
され、パターンメモリは、記憶しているパターンデータ
をDUT4に出力する。パターンメモリは、256番目
のレートクロックCK1でアドレス“256”が指定され、
最終データがDUT4に出力される。 (2)DUT4は、次に入力される第一のクロック信号C
K41によって、このデータを取り込む。
されるレートクロックCK1に基づいてアドレスが更新
され、パターンメモリは、記憶しているパターンデータ
をDUT4に出力する。パターンメモリは、256番目
のレートクロックCK1でアドレス“256”が指定され、
最終データがDUT4に出力される。 (2)DUT4は、次に入力される第一のクロック信号C
K41によって、このデータを取り込む。
【0022】(3)257番目のレートクロックCK1がタ
イミングジェネレータ10から出力されると、テスタ
は、判定サイクルに入る。期待値メモリ7は、257番
目のレートクロックCK1に基づいて期待値データを第
一、第二の判定回路121、122に出力する。
イミングジェネレータ10から出力されると、テスタ
は、判定サイクルに入る。期待値メモリ7は、257番
目のレートクロックCK1に基づいて期待値データを第
一、第二の判定回路121、122に出力する。
【0023】(4)第二のクロック信号CK42がDUT4
に入力されると、DUT4は、パラレルレジスタ42か
ら1〜256chのデータを一括して第一及び第二の判
定回路121、122に出力する。 (5)1〜256chのデータが第一及び第二の判定回路
121、122に入力されると、第一及び第二の判定回路
121、122には、ストローブクロックCK3が入力さ
れ期待値データの比較が行われる。
に入力されると、DUT4は、パラレルレジスタ42か
ら1〜256chのデータを一括して第一及び第二の判
定回路121、122に出力する。 (5)1〜256chのデータが第一及び第二の判定回路
121、122に入力されると、第一及び第二の判定回路
121、122には、ストローブクロックCK3が入力さ
れ期待値データの比較が行われる。
【0024】(6)期待値データの比較が終了すると、第
一の判定回路121は、イネーブル信号発生回路101か
らイネーブルクロックCK51が入力されてイネーブルに
なり、フェイルデータをフェイルメモリ11に出力す
る。 (7)フェイルメモリ11は、続いて、タイミングジェネ
レータ10からライトクロックCK2が入力され、アド
レス“257"に1〜128chのフェイルデータが書き込
まれる。
一の判定回路121は、イネーブル信号発生回路101か
らイネーブルクロックCK51が入力されてイネーブルに
なり、フェイルデータをフェイルメモリ11に出力す
る。 (7)フェイルメモリ11は、続いて、タイミングジェネ
レータ10からライトクロックCK2が入力され、アド
レス“257"に1〜128chのフェイルデータが書き込
まれる。
【0025】(8)フェイルメモリ11に1〜128ch
のフェイルデータが書き込まれると、タイミングジェネ
レータ10は、258番目のレートクロックCK1を出
力し、129〜256chのフェイルデータを書き込む
アドレス“258"を指定する。 (9)フェイルメモリ11に129〜256chのフェイ
ルデータを書き込むアドレスが指定されると、イネーブ
ル信号発生回路101は、イネーブルクロックCK51を
第二の判定回路122に出力し、第二の判定回路122を
イネーブルとする。
のフェイルデータが書き込まれると、タイミングジェネ
レータ10は、258番目のレートクロックCK1を出
力し、129〜256chのフェイルデータを書き込む
アドレス“258"を指定する。 (9)フェイルメモリ11に129〜256chのフェイ
ルデータを書き込むアドレスが指定されると、イネーブ
ル信号発生回路101は、イネーブルクロックCK51を
第二の判定回路122に出力し、第二の判定回路122を
イネーブルとする。
【0026】(10)第二の判定回路122は、イネーブル
クロックCK52が入力されると、129〜256chの
フェイルデータをフェイルメモリ11に出力し、フェイ
ルメモリ11は、タイミングジェネレータ10からのラ
イトクロックCK2によってこのフェイルデータをアド
レス“258"に書き込む。
クロックCK52が入力されると、129〜256chの
フェイルデータをフェイルメモリ11に出力し、フェイ
ルメモリ11は、タイミングジェネレータ10からのラ
イトクロックCK2によってこのフェイルデータをアド
レス“258"に書き込む。
【0027】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明のLS
Iテスタは、DUTのフェイルデータを複数のブロック
に分け、時分割してフェイルメモリに記憶するようにし
たもので、記憶容量の小さなメモリによってフェイルデ
ータを記憶することができる。
Iテスタは、DUTのフェイルデータを複数のブロック
に分け、時分割してフェイルメモリに記憶するようにし
たもので、記憶容量の小さなメモリによってフェイルデ
ータを記憶することができる。
【図1】本発明のLSIテスタの一実施例を説明する構
成ブロック図である。
成ブロック図である。
【図2】本発明のLSIテスタのフェイルメモリの構成
を示した図である。
を示した図である。
【図3】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイム
チャートである。
チャートである。
【図4】従来のLSIテスタの構成ブロック図である。
【図5】図4のフェイルメモリの構成を示した図であ
る。
る。
【図6】従来のLSIテスタの動作を説明するタイミン
グチャートである。
グチャートである。
【図7】DUTである集積回路化されたレジスタ回路の
回路図である。
回路図である。
101 イネーブル信号発生回路 11 フェイルメモリ 12 判定回路
Claims (1)
- 【請求項1】 複数のピンから被測定対象物が出力した
応答信号を複数のブロックに分け、ブロック毎に期待値
データと比較し、この比較結果のフェイルデータによっ
て前記被測定対象物の合否を判定するLSIテスタにお
いて、 前記ブロック毎に設けられていて、前記被測定対象物か
ら入力される複数の応答信号を期待値メモリから入力さ
れる期待値データと比較する判定回路と、 この判定回路が期待値データに基づいてブロック毎に得
たフェイルデータを記憶するフェイルメモリと、 前記判定回路をイネーブルとするイネーブル信号を各判
定回路に順次出力するイネーブル信号発生回路と、 を設け、ブロック毎のフェイルデータを前記判定回路か
ら前記フェイルメモリに順次記憶し、前記フェイルメモ
リのフェルデータに基づいて前記被測定対象物の合否を
判定することを特徴としたLSIテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4102742A JPH05297067A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Lsiテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4102742A JPH05297067A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Lsiテスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297067A true JPH05297067A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14335693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4102742A Pending JPH05297067A (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Lsiテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05297067A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5668764A (en) * | 1995-03-22 | 1997-09-16 | Texas Instruments Incorporated | Testability apparatus and method for faster data access and silicon die size reduction |
| KR100829402B1 (ko) * | 2006-11-01 | 2008-05-15 | 주식회사 유니테스트 | 순차적 반도체 테스트 장치 |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP4102742A patent/JPH05297067A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5668764A (en) * | 1995-03-22 | 1997-09-16 | Texas Instruments Incorporated | Testability apparatus and method for faster data access and silicon die size reduction |
| KR100829402B1 (ko) * | 2006-11-01 | 2008-05-15 | 주식회사 유니테스트 | 순차적 반도체 테스트 장치 |
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