JPH05297066A - Lsiテスタ - Google Patents

Lsiテスタ

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Publication number
JPH05297066A
JPH05297066A JP4101074A JP10107492A JPH05297066A JP H05297066 A JPH05297066 A JP H05297066A JP 4101074 A JP4101074 A JP 4101074A JP 10107492 A JP10107492 A JP 10107492A JP H05297066 A JPH05297066 A JP H05297066A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
expected value
value data
memory
output
determination circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP4101074A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Sugimura
明男 杉村
Hiroshi Yokoyama
弘志 横山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP4101074A priority Critical patent/JPH05297066A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 期待値データを記憶容量の小さなメモリで記
憶できるようにしたもの。 【構成】 複数のピンから被測定対象物が出力する応答
信号を複数のブロックに分け、ブロック毎に期待値デー
タと比較するLSIテスタであって、ブロック毎に設け
られていて、複数の応答信号が入力される判定回路と、
判定回路毎に出力する期待値データが記憶されていて、
プログラムカウンタの指定するアドレスに基づいて各判
定回路に期待値データを順次出力するメモリと、メモリ
の出力する期待値データを判定回路に保持するラッチ信
号を各判定回路に出力するラッチ信号発生回路とを設
け、被測定対象物が出力する応答信号を判定回路毎に期
待値データと比較し、被測定対象物の良否を判定するよ
うにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定対象物(以下、
DUTと省略する)の応答信号と期待値データを比較し
て得たフェイルデータに基づきDUTの合否を判断する
LSIテスタに関し、更に詳しくは、期待値データが記
憶される期待値メモリを小さな容量のメモリで対応でき
るようにしたLSIテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来のLSIテスタの構成ブロ
ック図である。図中、1はタイミングジェネレータで、
各回路の動作タイミングとなるタイミングクロックを出
力する。2はプログラムカウンタで、タイミングジェネ
レータ1から入力したテストレートクロックCK1(以
下、レートクロックCK1という)に基づき、パターン
メモリ(図省略)にアドレスを指定すると共に、期待値
メモリ3にアドレスを指定する。
【0003】パターンメモリは、DUT4を検査するパ
ターンデータが記憶されたメモリで、プログラムカウン
タ2で指定されるアドレスに従ってパターンデータをD
UT4に出力する。一方、期待値メモリ3は、DUT4
の応答信号を検査する期待値データが記憶されたメモリ
で、プログラムカウンタ2で指定されるアドレスに従っ
て期待値データを判定回路5に出力する。
【0004】期待値メモリ3は、DUT4がコンパレー
タ61、62、〜6nを介して出力する応答信号と同じ数
のビット幅を有していて、コンパレータ61、62、〜6
n毎に設けられた判定回路5に各チャンネルから期待値
データを出力する。判定回路5は、タイミングジェネレ
ータ1から入力されるラッチクロックCK 2に基づいて
期待値メモリ3の期待値データを保持し、この期待値デ
ータをストローブクロックCK3に基づいてDUT5か
ら入力されている応答信号と比較する。
【0005】図5は、図4の期待値メモリの構成を示し
た図である。期待値メモリ3は、DUT4の出力チャン
ネル数と同じビット幅を有していて、プログラムカウン
タ2で指定されるアドレスに従って期待値データを出力
する。図は、斜線で示したアドレス“n+1”領域の期
待値データが判定回路に出力される場合の例を示してい
る。
【0006】図6は、従来のLSIテスタの動作を説明
するタイミングチャートで、図7に示すような集積回路
化されたレジスタ回路をDUTとする場合のものであ
る。図7において、41はシフトレジスタで、1ビット
のレジスタがn個直列に接続されていて、第一のクロッ
ク信号CK41が入力される毎にデータが順次取り込まれ
る。42はパラレルレジスタで、第二のクロック信号C
42が入力されると、シフトレジスタ41に保持したn
ビットのデータを一括して取り込んで出力する。
【0007】図6において、(A)はタイミングジェネ
レータの出力するレートクロックCK1、(B)はプロ
グラムカウンタが指定するアドレス、(C)はタイミン
グジェネレータが判定回路に出力するラッチクロックC
2、(D)は判定回路に保持された期待値データ、
(E)はDUTに入力されるデータ、(F)はDUTに
入力される第一のクロック信号CK41、(G)はDUT
に入力される第二のクロック信号42CK42、(H)はD
UTの出力するデータ、(I)はタイミングジェネレー
タが判定回路に出力するストローブクロックCK3であ
る。
【0008】(1)タイミングジェネレータ1からレート
クロックCK1がプログラムカウンタ2に入力される。
プログラムカウンタ2は、このレートクロックCK1
基づいて期待値メモリ3のアドレスを指定すと共に、パ
ターンメモリのアドレスを指定する。アドレスが指定さ
れた期待値メモリ3は、期待値データを判定回路5に出
力し、パターンメモリは、検査データをDUT4に出力
する。
【0009】(2)続いて、判定回路5には、タイミング
ジェネレータ1からラッチクロックCK2が入力され、
期待値メモリ3から入力される期待値データが保持され
る。この(1)〜(2)の動作は、レートクロックCK1が入力
される毎に繰り返される。 (3)一方、パターンメモリがDUT4に出力するデータ
は、第一のクロック信号CK41の入力によって逐次シフ
トレジスタ41に取り込まれる。
【0010】(4)n個のデータがシフトレジスタ41に取
り込まれた後、第二のクロック信号CK42がDUT4に
入力されると、n個のデータが一括してパラレルレジス
タ42からコンパレータ61、62、〜6nを介し判定回路
5に出力される。 (4)'この時、判定回路5は、既に、期待値メモリ3から
(n+1)番目レートクロックCK1によって指定され
た期待値データ、即ち、(n+1)番地に記憶されてい
る期待値データが入力されている。
【0011】(5)この状態で、タイミングジェネレータ
1から判定回路5にストローブクロックCK3が入力さ
れると、判定回路5は、DUT4から入力されているn
個のデータと期待値メモリ3から入力した期待値データ
とを比較し、その結果をフェイルメモリに出力する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のLS
Iテスタは、DUTがシリアル入力で、パラレル出力の
ような場合、即ち、シフトレジスタのように、パターン
入力サイクルn回に対して、パターン比較サイクルが1
回行われるだけのような場合には、n対1の割合でしか
期待値メモリが使用されないために、メモリの使用率が
悪く、且つ、ビット数の大きな期待値メモリが必要とな
るという欠点がある。
【0013】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、DUTの出力する応答信号を複数のブロックに
分け、各ブロックに期待値データを時分割で期待値メモ
リから与えて比較するようにしたもので、期待値メモリ
を小さな容量のメモリで対応できるようにしたことを特
徴としたLSIテスタを提供することを目的としてい
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、複数のピンから被測定対象物が出
力する応答信号を複数のブロックに分け、ブロック毎に
期待値データと比較し、この比較結果のフェイルデータ
によって前記被測定対象物の良否を判定するLSIテス
タであって、前記ブロック毎に設けられていて、複数の
応答信号が入力される判定回路と、この判定回路毎に出
力する期待値データが記憶されていて、プログラムカウ
ンタの指定するアドレスに基づいて各判定回路に前記期
待値データを順次出力するメモリと、このメモリの出力
する期待値データを前記判定回路に保持するラッチ信号
を各判定回路に出力するラッチ信号発生回路と、を設
け、前記被測定対象物が出力する応答信号を前記判定回
路毎に期待値データと比較し、前記被測定対象物の良否
を判定することを特徴としている。
【0015】
【作用】本発明の各構成要素はつぎのような作用をす
る。判定回路は、被測定対象物が出力する応答信号を複
数のブロックに分け、ブロック毎に期待値データと比較
する。期待値メモリは、判定回路毎に出力する期待値デ
ータが記憶されていて、プログラムカウンタの指定する
アドレスに基づいて各判定回路に期待値データを順次出
力する。ラッチ信号発生回路は、期待値メモリの出力す
る期待値データを保持するラッチ信号を各判定回路に出
力する。
【0016】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明のLSIテスタの一実施例
を示す構成ブロック図である。尚、DUTは、従来例で
説明したnビットのシフトレジスタであるものとし、図
4と同一作用をするものは同一符号を付けて説明する。
【0017】図中、10はタイミングジェネレータ、1
1は期待値メモリで、プログラムカウンタ2によってア
ドレスが指定され、各判定回路121、122、〜12m
にDUT4が出力する応答信号の期待値データを出力す
る。判定回路121、122、〜12mは、DUT4から
応答信号がjchを1ブロックとして入力され、jビッ
トの期待値データが期待値メモリ11から入力される。
【0018】図2は、本発明のLSIテスタの期待値メ
モリの構成を示した図で、破線で示した部分は従来の期
待値メモリを示している。アドレス“n+1”の斜線で
示した領域のデータが判定回路121に出力される期待
値データ、アドレス“n+2”の斜線で示した領域のデ
ータが判定回路122に出力される期待値データで、以
下、同様に判定回路12mには、アドレス“n+m”の
期待値データが出力される。期待値データは、ラッチ信
号発生回路101から判定回路121、122、〜12m
入力されるラッチクロックCK11〜CK1mによって判定
回路121、122、〜12mに保持され、続いて入力さ
れるストローブクロックCK3によって応答信号と比較
される。
【0019】図3は、本発明のLSIテスタの動作を説
明するタイミングチャートで、256chのDUTを1
28chを1ブロックとし、測定した場合を説明したも
のである。尚、1〜128chのデータは、第一の判定
回路121に入力され、129〜256chのデータ
は、第二の判定回路122に入力されるものとする。そ
して、期待値メモリ11は、128ビットのメモリであ
るものとする。
【0020】 図中(A)はレートクロックCK1
(B)はプログラムカウンタ2によって指定される期待
値メモリ11のアドレス、(C)は期待値メモリ11の
出力する期待値データ、(D)は第一の判定回路121
に入力される第一のラッチクロックCK11、(E)は第
一の判定回路121に保持される期待値データ、(F)
は第二の判定回路122に入力される第二のラッチロッ
クCK12、(G)は第二の判定回路122に保持される
期待値データ、(H)はタイミングジェネレータ10か
ら各判定回路121、122、〜12mに入力されるスト
ローブクロックCK3である。
【0021】(1)タイミングジェネレータ10から入力
されるレートクロックCK1によって、アドレスが更新
され、期待値メモリ11は、記憶している期待値データ
を第一、第二の判定回路121、122に出力する。尚、
最初のデータ(アドレス“1”)から256回目のレー
トクロックCK1で出力されるデータ(アドレス“25
6”)は、マスクデータでDUT4の応答信号の判断に
は使用されない。 (2)257回目のレートクロックCK1がタイミングジェ
ネレータ10から出力されると、テスタは、判定サイク
ルに入る。
【0022】(3)257回目のレートクロックCK1でア
ドレス“257”が指定された期待値メモリ11は、期待
値データD1を第一の判定回路121及び第二の判定回路
122に出力する。 (4)第一の判定回路121には、続いて、ラッチ信号発生
回路101から第一のラッチロックCK11が入力され、
期待値データD1がラッチされる。
【0023】(5)次に、期待値メモリ11は、アドレス
“258”が指定され、期待値データD2を第一の判定回路
121及び第二の判定回路122に出力する。 (6)第二の判定回路122には、続いて、ラッチ信号発生
回路101から第二のラッチロックCK12が入力され、
期待値データD2がラッチされる。
【0024】(7)この時、既に、第一、第二の判定回路
121、122には、257回目のレートクロックCK1
応答信号が入力されている。第一、第二の判定回路1
21、122にタイミングジェネレータ10からストローブ
クロックCK3が入力されると、第一の判定回路121
は、期待値データD1とDUTが出力した1〜128c
hとのデータの比較が行われ、第二の判定回路122
は、期待値データD2とDUTが出力した129〜25
6chとのデータの比較が行われる。
【0025】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明のLS
Iテスタは、DUTの出力する応答信号を複数のブロッ
クに分け判定回路に入力し、この判定回路に時分割に期
待値データを期待値メモリから与えるようにしたもので
ある。このため、期待値データを小さな容量のメモリに
記憶でき、記憶容量の大きな高価なメモリを必要としな
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のLSIテスタの一実施例を示す構成ブ
ロック図である。
【図2】本発明のLSIテスタの期待値メモリの構成を
示した図である。
【図3】本発明のLSIテスタの動作を説明するタイミ
ングチャートである。
【図4】従来のLSIテスタの構成ブロック図である。
【図5】従来のLSIテスタに用いられた期待値メモリ
の構成を示した図である。
【図6】従来のLSIテスタの動作を説明するタイミン
グチャートである。
【図7】DUTであるレジスタ回路の回路図である。
【符号の説明】
101 ラッチ信号発生回路 11 期待値メモリ 121〜 判定回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のピンから被測定対象物が出力する
    応答信号を複数のブロックに分け、ブロック毎に期待値
    データと比較し、この比較結果のフェイルデータによっ
    て前記被測定対象物の良否を判定するLSIテスタであ
    って、 前記ブロック毎に設けられていて、複数の応答信号が入
    力される判定回路と、 この判定回路毎に出力する期待値データが記憶されてい
    て、プログラムカウンタの指定するアドレスに基づいて
    各判定回路に前記期待値データを順次出力するメモリ
    と、 このメモリの出力する期待値データを前記判定回路に保
    持するラッチ信号を各判定回路に出力するラッチ信号発
    生回路と、 を設け、前記被測定対象物が出力する応答信号を前記判
    定回路毎に期待値データと比較し、前記被測定対象物の
    良否を判定することを特徴としたLSIテスタ。
JP4101074A 1992-04-21 1992-04-21 Lsiテスタ Pending JPH05297066A (ja)

Priority Applications (1)

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JP4101074A JPH05297066A (ja) 1992-04-21 1992-04-21 Lsiテスタ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4101074A JPH05297066A (ja) 1992-04-21 1992-04-21 Lsiテスタ

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ID=14290960

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JP4101074A Pending JPH05297066A (ja) 1992-04-21 1992-04-21 Lsiテスタ

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