JPH0531495B2 - - Google Patents
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- JPH0531495B2 JPH0531495B2 JP62309484A JP30948487A JPH0531495B2 JP H0531495 B2 JPH0531495 B2 JP H0531495B2 JP 62309484 A JP62309484 A JP 62309484A JP 30948487 A JP30948487 A JP 30948487A JP H0531495 B2 JPH0531495 B2 JP H0531495B2
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- superconducting material
- superconducting
- film
- oxygen
- composite oxide
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、基材の表面上に超電導物質からな
る皮膜が形成された超電導材の製造方法に関する
ものである。 〔従来の技術〕 超電導材料は、既に高エネルギ粒子加速器、医
療診断用MRI−CTおよび物性研究装置などにお
いて、超電導マグネツトの形で実用化されてい
る。このような超電導材料の応用分野は広く、今
後、例えば、発電機、エネルギーの貯蔵や変換、
リニアモーターカー、資源回収用磁気分離装置、
核融合炉、送電ケーブルおよび磁気シールド材等
に対する超電導材料の応用が期待されており、更
に、超高速度コンピユーター、赤外線検出器、お
よび、低雑音の増幅器やミキサー等に対する、ジ
ヨセフソン効果を利用した超電導素子の応用が期
待されている。これらが本格的に実用化されたと
きの産業的および社会的インパクトの大きさは計
り知れないものがある。 これまでに開発された代表的な超電導材料とし
てはNb−Ti合金があり、これは、現在9Tまでの
磁界発生用線材として、広く使用されている。
Nb−Ti合金のTc（超電導状態が存在する臨界温
度）は、9Kである。 このNb−Ti合金よりも格段に高いTcを有する
超電導材料として、化合物系の超電導材料が開発
され、現在、Nb3Sn（Tc：18K）およびV3Ga
（Tc：15K）が線材化され、実用に供されてい
る。更に、Nb3Geによれば、23KのTcが得られ
ている。 このように、長年にわたつて高Tcの超電導材
料を得るための努力がなされてきたが、従来の合
金系および化合物系の超電導材料においては、現
状ではTc23Kが大きな壁になつている。即ち、
Tcが23K以下の超電導材料の冷却には、高価な
液体ヘリウムを必要とするため、これが超電導材
料の広範な応用を阻害している。 このTcの壁を大幅に打破する超電導物質に関
し、1986年にIBMチユーリツヒ研究所のMuller
氏等が、Ba−La−Cu−Ｏ系の複合酸化物で超電
導の徴候が認められたことを発表して以来、複合
酸化物超電導物質の開発競争に拍車がかかつた。
即ち、1986年代の超電導物質のTcは40K級であ
つたが、翌年（1987年）の初めには、早くも液体
窒素の温度である77Kを超えるTcを有するＹ−
Ba−Cu−Ｏ系のCuxOy基を含む複合酸化物超電
導物質が開発され、そのTcは約93Kに達した。 更に、その後も精力的に超電導物質の開発が続
けられており、最近、安全性等に問題はあるもの
の、室温で超電導現象を示す超電導物質の開発も
報告されている。 上述のように、液体窒素温度（77K）で使用可
能な、CuxOy基を含む複合酸化物超電導物質が開
発されたことによつて、超電導材料の前述した応
用分野への実用化の期待度が、一段と高められて
きた。 超電導材料の実用化に当つて必要なことは、超
電導物質の線材化、皮膜化等、その加工技術の開
発である。 このような加工技術のうち、超電導材料の皮膜
化に関しては、スパツタリング法、電子ビーム蒸
着法によつて、基材の表面上に複合酸化物超電導
皮膜を形成する方法が試みられており、最近では
レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法による皮膜の
形成が研究されている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、レーザ蒸着法またはプラズマ溶
射法によつて、基材の表面上にCuxOy基を含む複
合酸化物超電導物質の皮膜を形成した場合に、レ
ーザ蒸着まま、またはプラズマ溶射ままでは、皮
膜成分中の酸素量が不足し、所望の超電導特性を
有する皮膜を形成することができない問題があ
る。 そこで、レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法に
よつて、基材の表面上にCuxOy基を含む複合酸化
物超電導物質の皮膜を形成し、このようにして得
られたレーザ蒸着まま、またはプラズマ溶射まま
の超電導素材に対し、酸素含有雰囲気中におい
て、所定温度まで加熱した後、その温度で所定時
間保持し次いで所定速度で冷却することからなる
熱処理を施し、これによつて、前記皮膜に所望の
超電導特性を付与する試みがなされている。 しかしながら、超電導素材に、上述した加熱、
保持、冷却からなる熱処理を施すためには、大規
模な設備が必要である上、高温の加熱によつて皮
膜に割れや溶損が生じたり、基板に歪が発生する
等の問題があつた。 従つて、この発明の目的は、基材の表面上に
CuxOy基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形
成された超電導材を製造するに当り、皮膜成分中
の不足する酸素を、皮膜に割れ等が生ずることな
く効率的に補給し、かくして、超電導特性の優れ
た皮膜を有する超電導材を製造するための方法を
提供することにある。 〔問題点を解決するための手段〕 この発明は、基材の表面上に、CuxOy基を含む
複合酸化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、
このようにして得られた超電導素材を容器内に収
容し、前記容器内を10Torr以下の圧力の酸素含
有雰囲気に保ち、前記超電導素材の皮膜から所定
間隔をあけ、前記超電導素材と平行に電極を配置
し、前記電極と前記超電導素材との間に高周波放
電を行なわせることにより、高周波放電域内に存
在する酸素を励起させて、前記酸素を前記超電導
素材の前記皮膜中に浸透させ、且つ、前記超電導
素材にバイアス電圧を印加し、前記超電導素材に
正の極性を付与することによつて前記酸素の前記
皮膜中への浸透を促進せしめ、かくして、皮膜成
分中に酸素を補給し、前記皮膜に優れた超電導特
性を付与することに特徴を有するものである。 この発明における超電導素材は、例えば、第２
図に示すレーザ蒸着装置または第３図に示すプラ
ズマ溶射装置によつて調製される。 第２図に示すレーザ蒸着装置は、真空容器４
と、真空容器４内に設けられた蒸着源５と、蒸着
源５に向けてレーザａを発射させるためのレーザ
発生装置（図示せず）とからなつている。６は基
材２の加熱用ヒータである。蒸着源５としてCux
Oy基を含む複合酸化物焼結体を使用し、蒸着源
５の上方に基材２を配置する。次いで、真空容器
４内を所定の真空度に減圧し、そして、レーザａ
を蒸着源５に照射して、蒸着源５から蒸発した粒
子を、ヒータ６で加熱されている基材２の表面上
に付着させる。かくして、基材２の表面上にCux
Oy基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形
成された超電導素材１が調製される。 第３図に示すプラズマ溶射装置は、真空容器４
と、真空容器４内に設けられた溶射ノズル７と、
溶射ノズル７に設けられたタングステン電極８
と、溶射ノズル７とタングステン電極８との間に
接続された電源９とからなつている。真空容器４
内に溶射ノズル７と対向して基材２を配置する。
次いで、真空容器４内を所定の真空度に減圧し、
溶射ノズル７内に、アルゴン、ヘリウム等の作動
ガスおよびCuxOy基を含む複合酸化物超電導物質
の粉末をそれぞれ供給し、そして、電源９を作動
させて、溶射ノズル７からタングステン電極８に
向けてプラズマジエツトを発生させる。かくし
て、基材２の表面上にCuxOy基を含む複合酸化物
超電導物質の皮膜３が形成された超電導素材１が
調製される。 次いで、上述のようにして調製された超電導素
材１を第１図に示す容器１０内に収容する。そし
て、第１図に示すように、超電導素材１の皮膜３
から所定間隔をあけ、超電導素材１と平行に電極
１１を配設する。超電導素材１と電極１１との間
に導線１２を接続し、導線１２の途中に高周波電
源１３を設ける。超電導素材１に、一端がバイア
ス電圧印加用電源１５の正極側に取付けられた導
線１４を接続する。バイアス電圧印加用電源１５
の負極側は、導線１４′によつて接地されている。 容器１０内を10Torr以下の圧力の酸素含有雰
囲気に保持し、この状態で高周波電源１３を作動
させる。この結果、電極１１と超電導素材１との
間において高周波放電が行なわれる。容器内は、
その圧力が10Torr以下の真空または真空に近い
状態であるから、電極１１と超電導素材１との間
には、低温プラズマが発生する。従つて、高周波
放電域内に存在する雰囲気中の酸素は、励起され
たラジカルな状態になり、超電導素材１の皮膜３
中に浸透する。 更に、バイアス電圧印加用電源１５によつて、
超電導素材１にバイアス電圧が印加され、超電導
素材１に正の極性が付与されるので、高周波放電
域内に存在する負の極性を有する酸素イオンは、
超電導素材１の皮膜３に電気的に吸着され、皮膜
３に対する酸素の浸透が促進される。 かくして、皮膜３の成分中に不足する酸素が補
給され、基材２の表面上に超電導特性の優れた
CuxOy基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が
形成された超電導材が製造される。 超電導素材１がある程度以上の幅を有している
場合には、電極１１を超電導素材１の幅方向に移
動させながら放電させる。かくすることにより、
超電導素材１の皮膜３の全面にわたり、均一に酸
素の補給が行なわれる。 なお、超電導素材１の皮膜３の表面上に、その
長さ方向にわたつて電極（図示せず）を配置し、
この電極と、超電導素材１から所定間隔をあけて
配置された前述の電極１１との間に高周波放電を
行なわせるようにしてもよい。 次に、この発明を実施例により説明する。 〔実施例〕 蒸着源としての複合酸化物焼結体として、Y1.2
Ba0.6CuOxの成分組成を有する、直径20mm、厚さ
10mmの円盤状の複合酸化物焼結体を使用し、被蒸
着体としての基材として、１辺の長さが15mmで厚
さが１mmの、イツトリウム安定化ジルコニア
（YSZ）からなる四角形状の板を使用し、第３図
に示したレーザ蒸着装置により下記条件で基材の
表面上に超電導物質の皮膜を形成した。 (a) 真空容器の真空度：10-2Torr（酸素雰囲気） (b) 基材の加熱温度：700℃ (c) レーザビームの種類：炭酸ガスレーザ (d) レーザビームの出力：300W (e) レーザビームの照射時間：５分 かくして、基材の表面上に、Y0.3Ba0.6Cu1Oxか
らなる成分組成を有する厚さ2μmの皮膜が形成さ
れた超電導素材を調製した。 次いで、この超電導素材に対し、第１図に示し
た装置により下記条件で高周波放電およびバイア
ス電圧の印加を施して、その皮膜成分中に酸素を
補給し、本発明超電導材を製造した。 (a) 容器内の雰囲気：O2：100％ (b) 容器内の圧力：1Torr (c) 高周波電源の周波数：13.56MHz (d) 高周波電源の出力：500W (e) バイアス電圧：80V (f) 高周波放電時間：100時間 比較のために、蒸着ままの超電導素材からなる
比較用超電導材No.１、および、バイアス電圧の印
加を行なわないほかは上記と同じ方法による処理
を施した比較用超電導材No.２を製造した。 上述のようにして製造された本発明超電導材お
よび比較用超電導材No.１、No.２について、各々の
Tc（超電導臨界温度）および77KにおけるJc（臨
界電流密度）を、四端子抵抗測定法によつて調べ
た。 その結果を、第１表に示す。
る皮膜が形成された超電導材の製造方法に関する
ものである。 〔従来の技術〕 超電導材料は、既に高エネルギ粒子加速器、医
療診断用MRI−CTおよび物性研究装置などにお
いて、超電導マグネツトの形で実用化されてい
る。このような超電導材料の応用分野は広く、今
後、例えば、発電機、エネルギーの貯蔵や変換、
リニアモーターカー、資源回収用磁気分離装置、
核融合炉、送電ケーブルおよび磁気シールド材等
に対する超電導材料の応用が期待されており、更
に、超高速度コンピユーター、赤外線検出器、お
よび、低雑音の増幅器やミキサー等に対する、ジ
ヨセフソン効果を利用した超電導素子の応用が期
待されている。これらが本格的に実用化されたと
きの産業的および社会的インパクトの大きさは計
り知れないものがある。 これまでに開発された代表的な超電導材料とし
てはNb−Ti合金があり、これは、現在9Tまでの
磁界発生用線材として、広く使用されている。
Nb−Ti合金のTc（超電導状態が存在する臨界温
度）は、9Kである。 このNb−Ti合金よりも格段に高いTcを有する
超電導材料として、化合物系の超電導材料が開発
され、現在、Nb3Sn（Tc：18K）およびV3Ga
（Tc：15K）が線材化され、実用に供されてい
る。更に、Nb3Geによれば、23KのTcが得られ
ている。 このように、長年にわたつて高Tcの超電導材
料を得るための努力がなされてきたが、従来の合
金系および化合物系の超電導材料においては、現
状ではTc23Kが大きな壁になつている。即ち、
Tcが23K以下の超電導材料の冷却には、高価な
液体ヘリウムを必要とするため、これが超電導材
料の広範な応用を阻害している。 このTcの壁を大幅に打破する超電導物質に関
し、1986年にIBMチユーリツヒ研究所のMuller
氏等が、Ba−La−Cu−Ｏ系の複合酸化物で超電
導の徴候が認められたことを発表して以来、複合
酸化物超電導物質の開発競争に拍車がかかつた。
即ち、1986年代の超電導物質のTcは40K級であ
つたが、翌年（1987年）の初めには、早くも液体
窒素の温度である77Kを超えるTcを有するＹ−
Ba−Cu−Ｏ系のCuxOy基を含む複合酸化物超電
導物質が開発され、そのTcは約93Kに達した。 更に、その後も精力的に超電導物質の開発が続
けられており、最近、安全性等に問題はあるもの
の、室温で超電導現象を示す超電導物質の開発も
報告されている。 上述のように、液体窒素温度（77K）で使用可
能な、CuxOy基を含む複合酸化物超電導物質が開
発されたことによつて、超電導材料の前述した応
用分野への実用化の期待度が、一段と高められて
きた。 超電導材料の実用化に当つて必要なことは、超
電導物質の線材化、皮膜化等、その加工技術の開
発である。 このような加工技術のうち、超電導材料の皮膜
化に関しては、スパツタリング法、電子ビーム蒸
着法によつて、基材の表面上に複合酸化物超電導
皮膜を形成する方法が試みられており、最近では
レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法による皮膜の
形成が研究されている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、レーザ蒸着法またはプラズマ溶
射法によつて、基材の表面上にCuxOy基を含む複
合酸化物超電導物質の皮膜を形成した場合に、レ
ーザ蒸着まま、またはプラズマ溶射ままでは、皮
膜成分中の酸素量が不足し、所望の超電導特性を
有する皮膜を形成することができない問題があ
る。 そこで、レーザ蒸着法またはプラズマ溶射法に
よつて、基材の表面上にCuxOy基を含む複合酸化
物超電導物質の皮膜を形成し、このようにして得
られたレーザ蒸着まま、またはプラズマ溶射まま
の超電導素材に対し、酸素含有雰囲気中におい
て、所定温度まで加熱した後、その温度で所定時
間保持し次いで所定速度で冷却することからなる
熱処理を施し、これによつて、前記皮膜に所望の
超電導特性を付与する試みがなされている。 しかしながら、超電導素材に、上述した加熱、
保持、冷却からなる熱処理を施すためには、大規
模な設備が必要である上、高温の加熱によつて皮
膜に割れや溶損が生じたり、基板に歪が発生する
等の問題があつた。 従つて、この発明の目的は、基材の表面上に
CuxOy基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜が形
成された超電導材を製造するに当り、皮膜成分中
の不足する酸素を、皮膜に割れ等が生ずることな
く効率的に補給し、かくして、超電導特性の優れ
た皮膜を有する超電導材を製造するための方法を
提供することにある。 〔問題点を解決するための手段〕 この発明は、基材の表面上に、CuxOy基を含む
複合酸化物超電導物質の皮膜を形成し、次いで、
このようにして得られた超電導素材を容器内に収
容し、前記容器内を10Torr以下の圧力の酸素含
有雰囲気に保ち、前記超電導素材の皮膜から所定
間隔をあけ、前記超電導素材と平行に電極を配置
し、前記電極と前記超電導素材との間に高周波放
電を行なわせることにより、高周波放電域内に存
在する酸素を励起させて、前記酸素を前記超電導
素材の前記皮膜中に浸透させ、且つ、前記超電導
素材にバイアス電圧を印加し、前記超電導素材に
正の極性を付与することによつて前記酸素の前記
皮膜中への浸透を促進せしめ、かくして、皮膜成
分中に酸素を補給し、前記皮膜に優れた超電導特
性を付与することに特徴を有するものである。 この発明における超電導素材は、例えば、第２
図に示すレーザ蒸着装置または第３図に示すプラ
ズマ溶射装置によつて調製される。 第２図に示すレーザ蒸着装置は、真空容器４
と、真空容器４内に設けられた蒸着源５と、蒸着
源５に向けてレーザａを発射させるためのレーザ
発生装置（図示せず）とからなつている。６は基
材２の加熱用ヒータである。蒸着源５としてCux
Oy基を含む複合酸化物焼結体を使用し、蒸着源
５の上方に基材２を配置する。次いで、真空容器
４内を所定の真空度に減圧し、そして、レーザａ
を蒸着源５に照射して、蒸着源５から蒸発した粒
子を、ヒータ６で加熱されている基材２の表面上
に付着させる。かくして、基材２の表面上にCux
Oy基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が形
成された超電導素材１が調製される。 第３図に示すプラズマ溶射装置は、真空容器４
と、真空容器４内に設けられた溶射ノズル７と、
溶射ノズル７に設けられたタングステン電極８
と、溶射ノズル７とタングステン電極８との間に
接続された電源９とからなつている。真空容器４
内に溶射ノズル７と対向して基材２を配置する。
次いで、真空容器４内を所定の真空度に減圧し、
溶射ノズル７内に、アルゴン、ヘリウム等の作動
ガスおよびCuxOy基を含む複合酸化物超電導物質
の粉末をそれぞれ供給し、そして、電源９を作動
させて、溶射ノズル７からタングステン電極８に
向けてプラズマジエツトを発生させる。かくし
て、基材２の表面上にCuxOy基を含む複合酸化物
超電導物質の皮膜３が形成された超電導素材１が
調製される。 次いで、上述のようにして調製された超電導素
材１を第１図に示す容器１０内に収容する。そし
て、第１図に示すように、超電導素材１の皮膜３
から所定間隔をあけ、超電導素材１と平行に電極
１１を配設する。超電導素材１と電極１１との間
に導線１２を接続し、導線１２の途中に高周波電
源１３を設ける。超電導素材１に、一端がバイア
ス電圧印加用電源１５の正極側に取付けられた導
線１４を接続する。バイアス電圧印加用電源１５
の負極側は、導線１４′によつて接地されている。 容器１０内を10Torr以下の圧力の酸素含有雰
囲気に保持し、この状態で高周波電源１３を作動
させる。この結果、電極１１と超電導素材１との
間において高周波放電が行なわれる。容器内は、
その圧力が10Torr以下の真空または真空に近い
状態であるから、電極１１と超電導素材１との間
には、低温プラズマが発生する。従つて、高周波
放電域内に存在する雰囲気中の酸素は、励起され
たラジカルな状態になり、超電導素材１の皮膜３
中に浸透する。 更に、バイアス電圧印加用電源１５によつて、
超電導素材１にバイアス電圧が印加され、超電導
素材１に正の極性が付与されるので、高周波放電
域内に存在する負の極性を有する酸素イオンは、
超電導素材１の皮膜３に電気的に吸着され、皮膜
３に対する酸素の浸透が促進される。 かくして、皮膜３の成分中に不足する酸素が補
給され、基材２の表面上に超電導特性の優れた
CuxOy基を含む複合酸化物超電導物質の皮膜３が
形成された超電導材が製造される。 超電導素材１がある程度以上の幅を有している
場合には、電極１１を超電導素材１の幅方向に移
動させながら放電させる。かくすることにより、
超電導素材１の皮膜３の全面にわたり、均一に酸
素の補給が行なわれる。 なお、超電導素材１の皮膜３の表面上に、その
長さ方向にわたつて電極（図示せず）を配置し、
この電極と、超電導素材１から所定間隔をあけて
配置された前述の電極１１との間に高周波放電を
行なわせるようにしてもよい。 次に、この発明を実施例により説明する。 〔実施例〕 蒸着源としての複合酸化物焼結体として、Y1.2
Ba0.6CuOxの成分組成を有する、直径20mm、厚さ
10mmの円盤状の複合酸化物焼結体を使用し、被蒸
着体としての基材として、１辺の長さが15mmで厚
さが１mmの、イツトリウム安定化ジルコニア
（YSZ）からなる四角形状の板を使用し、第３図
に示したレーザ蒸着装置により下記条件で基材の
表面上に超電導物質の皮膜を形成した。 (a) 真空容器の真空度：10-2Torr（酸素雰囲気） (b) 基材の加熱温度：700℃ (c) レーザビームの種類：炭酸ガスレーザ (d) レーザビームの出力：300W (e) レーザビームの照射時間：５分 かくして、基材の表面上に、Y0.3Ba0.6Cu1Oxか
らなる成分組成を有する厚さ2μmの皮膜が形成さ
れた超電導素材を調製した。 次いで、この超電導素材に対し、第１図に示し
た装置により下記条件で高周波放電およびバイア
ス電圧の印加を施して、その皮膜成分中に酸素を
補給し、本発明超電導材を製造した。 (a) 容器内の雰囲気：O2：100％ (b) 容器内の圧力：1Torr (c) 高周波電源の周波数：13.56MHz (d) 高周波電源の出力：500W (e) バイアス電圧：80V (f) 高周波放電時間：100時間 比較のために、蒸着ままの超電導素材からなる
比較用超電導材No.１、および、バイアス電圧の印
加を行なわないほかは上記と同じ方法による処理
を施した比較用超電導材No.２を製造した。 上述のようにして製造された本発明超電導材お
よび比較用超電導材No.１、No.２について、各々の
Tc（超電導臨界温度）および77KにおけるJc（臨
界電流密度）を、四端子抵抗測定法によつて調べ
た。 その結果を、第１表に示す。
以上述べたように、この発明によれば、基材の
表面上にCuxOy基を含む複合酸化物超電導物質の
皮膜が形成された超電導材を製造するに当り、皮
膜成分中に不足する酸素が、皮膜に割れや溶損が
生ずることのない低温状態において効率的に補給
され、かくして、超電導特性の優れた皮膜を有す
る超電導材を製造することができる工業上有用な
効果がもたらされる。
表面上にCuxOy基を含む複合酸化物超電導物質の
皮膜が形成された超電導材を製造するに当り、皮
膜成分中に不足する酸素が、皮膜に割れや溶損が
生ずることのない低温状態において効率的に補給
され、かくして、超電導特性の優れた皮膜を有す
る超電導材を製造することができる工業上有用な
効果がもたらされる。
第１図はこの発明の方法によつて超電導素材の
皮膜成分中に酸素を補給する一実施態様を示す概
略断面図、第２図はこの発明の方法に使用される
超電導素材を製造するためのレーザ蒸着装置を示
す概略断面図、第３図は同じく超電導素材を製造
するためのプラズマ溶射装置を示す概略断面図で
ある。 図面において、１……超電導素材、２……基
材、３……皮膜、４……真空容器、５……蒸着
源、６……ヒータ、７……溶射ノズル、８……タ
ングステン電極、９……電源、１０……容器、１
１……電極、１２……導線、１３……高周波電
源、１４……導線、１５……バイアス電圧印加用
電源。
皮膜成分中に酸素を補給する一実施態様を示す概
略断面図、第２図はこの発明の方法に使用される
超電導素材を製造するためのレーザ蒸着装置を示
す概略断面図、第３図は同じく超電導素材を製造
するためのプラズマ溶射装置を示す概略断面図で
ある。 図面において、１……超電導素材、２……基
材、３……皮膜、４……真空容器、５……蒸着
源、６……ヒータ、７……溶射ノズル、８……タ
ングステン電極、９……電源、１０……容器、１
１……電極、１２……導線、１３……高周波電
源、１４……導線、１５……バイアス電圧印加用
電源。
Claims (1)
- １ 基材の表面上に、CuxOy基を含む複合酸化物
超電導物質の皮膜を形成し、次いで、このように
して得られた超電導素材を容器内に収容し、前記
容器内を10Torr以下の圧力の酸素含有雰囲気に
保ち、前記超電導素材の皮膜から所定間隔をあ
け、前記超電導素材と平行に電極を配置し、前記
電極と前記超電導素材との間に高周波放電を行な
わせることにより、高周波放電域内に存在する酸
素を励起させて、前記酸素を前記超電導素材の前
記皮膜中に浸透させ、且つ、前記超電導素材にバ
イアス電圧を印加し、前記超電導素材に正の極性
を付与することによつて前記酸素の前記皮膜中へ
の浸透を促進せしめ、かくして、皮膜成分中に酸
素を補給し、前記皮膜に優れた超電導特性を付与
することを特徴とする、超電導材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309484A JPH01153522A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62309484A JPH01153522A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153522A JPH01153522A (ja) | 1989-06-15 |
| JPH0531495B2 true JPH0531495B2 (ja) | 1993-05-12 |
Family
ID=17993541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62309484A Granted JPH01153522A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 超電導材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153522A (ja) |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP62309484A patent/JPH01153522A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01153522A (ja) | 1989-06-15 |
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