JPH05317Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH05317Y2 JPH05317Y2 JP1987181690U JP18169087U JPH05317Y2 JP H05317 Y2 JPH05317 Y2 JP H05317Y2 JP 1987181690 U JP1987181690 U JP 1987181690U JP 18169087 U JP18169087 U JP 18169087U JP H05317 Y2 JPH05317 Y2 JP H05317Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- gas
- pressure
- supply
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は、レーザ加工機におけるレーザ加工ヘ
ツドに関し、特にアシストガス圧によるレンズ破
壊を未然に防止しようとしたものに関する。
ツドに関し、特にアシストガス圧によるレンズ破
壊を未然に防止しようとしたものに関する。
(従来技術およびその問題点)
一般に、この種のレーザ加工ヘツドにおいて
は、レンズにより集光されたレーザ光とアシスト
ガスとをノズルの噴出口より同軸上に出射するこ
とによりレーザ加工が行なわれている。
は、レンズにより集光されたレーザ光とアシスト
ガスとをノズルの噴出口より同軸上に出射するこ
とによりレーザ加工が行なわれている。
しかし、例えばガス供給コントローラ側の故障
やノズルの噴出口が詰まつたりなど何らかの原因
で、レンズとノズルとの間の高圧室内のガス圧が
上昇して、その圧力がレンズの耐圧強度を越えて
しまうと、レンズ破損が起こつたり、或は、レン
ズとレンズ保持部との間に隙間が発生し、熱接触
が悪くなつてレンズが熱破壊を起こすなどという
欠点を有していた。
やノズルの噴出口が詰まつたりなど何らかの原因
で、レンズとノズルとの間の高圧室内のガス圧が
上昇して、その圧力がレンズの耐圧強度を越えて
しまうと、レンズ破損が起こつたり、或は、レン
ズとレンズ保持部との間に隙間が発生し、熱接触
が悪くなつてレンズが熱破壊を起こすなどという
欠点を有していた。
また、レンズがアシストガス圧によつて上方向
へ動いてレンズの焦点位置が変化し、加工精度を
低下させるなどの問題点を有していた。
へ動いてレンズの焦点位置が変化し、加工精度を
低下させるなどの問題点を有していた。
(問題点を解決するための手段)
そこで、本考案は、高圧室内のアシストガスに
よるレンズにかかる圧力を常に測定し、所定圧以
上を測定した時に、高圧室へのアシストガスの供
給を停止させるようにすることにより、レンズの
耐圧強度を越えないようにガス圧を制御でき、ガ
ス圧上昇によるレンズ破壊を未然に防止しようと
するものである。
よるレンズにかかる圧力を常に測定し、所定圧以
上を測定した時に、高圧室へのアシストガスの供
給を停止させるようにすることにより、レンズの
耐圧強度を越えないようにガス圧を制御でき、ガ
ス圧上昇によるレンズ破壊を未然に防止しようと
するものである。
(考案の構成)
すなわち、本考案は、第1図に示すように、レ
ンズ1の出射面側と先端のノズル2との間に形成
された高圧室3にアシストガスを供給し、上記レ
ンズ1により集光されたレーザ光とアシストガス
とを上記ノズル2より出射するレーザ加工ヘツド
において、レンズ1と接触する位置に、上記高圧
室3内のガス圧によるレンズ1にかかる圧力を測
定する圧力センサ4を設け、この圧力センサ4の
測定値が所定値以上になつたとき、アシストガス
の高圧室3への供給を停止する供給停止手段5を
備えたものである。
ンズ1の出射面側と先端のノズル2との間に形成
された高圧室3にアシストガスを供給し、上記レ
ンズ1により集光されたレーザ光とアシストガス
とを上記ノズル2より出射するレーザ加工ヘツド
において、レンズ1と接触する位置に、上記高圧
室3内のガス圧によるレンズ1にかかる圧力を測
定する圧力センサ4を設け、この圧力センサ4の
測定値が所定値以上になつたとき、アシストガス
の高圧室3への供給を停止する供給停止手段5を
備えたものである。
図中6は、図示しないヘツド本体に装着された
ノズルホルダーで、内部にレンズマウント7を、
下部に上記ノズル2をそれぞれ螺着保持してい
る。
ノズルホルダーで、内部にレンズマウント7を、
下部に上記ノズル2をそれぞれ螺着保持してい
る。
レンズマウント7の内部には、上記レンズ1が
嵌着保持されている。レンズ1は、その入射面側
周縁で、レンズマウント7に形成された段部7a
に上記圧力センサ4を介して係止され、出射面側
周縁で、レンズマウント6に下方より螺着された
締付部材8の上端で、Oリング9を介して気密的
に締付固定されている。
嵌着保持されている。レンズ1は、その入射面側
周縁で、レンズマウント7に形成された段部7a
に上記圧力センサ4を介して係止され、出射面側
周縁で、レンズマウント6に下方より螺着された
締付部材8の上端で、Oリング9を介して気密的
に締付固定されている。
ノズル2は先端にガス噴出口2aを有し、上端
ねじ部2bによつて上記ノズルホルダー6に螺合
され、さらに締付ナツト10により固着されてい
る。
ねじ部2bによつて上記ノズルホルダー6に螺合
され、さらに締付ナツト10により固着されてい
る。
そして、上記ノズルホルダー6とレンズ1の出
射面とノズル3とでなる内部空間にアシストガス
の高圧室3が形成されている。ノズルホルダー6
の一側壁には、上記高圧室3に連通するアシスト
ガス供給口11が開口されている。
射面とノズル3とでなる内部空間にアシストガス
の高圧室3が形成されている。ノズルホルダー6
の一側壁には、上記高圧室3に連通するアシスト
ガス供給口11が開口されている。
アシストガスは、不活性ガス或はO2ガス等が
用いられ、外部設置したガスボンベ12からガス
コントロールユニツト13を介して上記供給口1
1より高圧室3内へ供給される。
用いられ、外部設置したガスボンベ12からガス
コントロールユニツト13を介して上記供給口1
1より高圧室3内へ供給される。
ガスコントロールユニツト13は、第2図に示
すように、ガスの供給回路中に上記供給停止手段
5となる圧力スイツチ、レギユレータ14、スピ
ードコントローラ15、チエツクバルブ16およ
び電磁弁17等を接続してなり、NC装置18に
より自動制御される。
すように、ガスの供給回路中に上記供給停止手段
5となる圧力スイツチ、レギユレータ14、スピ
ードコントローラ15、チエツクバルブ16およ
び電磁弁17等を接続してなり、NC装置18に
より自動制御される。
また、上記圧力スイツチ5は、上記圧力センサ
4によつてレンズ1にかかる圧力が予め設定した
所定値以上を測定したとき、コントロールユニツ
ト13内のガス供給端側でガス供給を停止させる
もので、この供給停止時の設定圧は、レンズ1の
耐圧強度に相当する圧力以下に設定しておく。
4によつてレンズ1にかかる圧力が予め設定した
所定値以上を測定したとき、コントロールユニツ
ト13内のガス供給端側でガス供給を停止させる
もので、この供給停止時の設定圧は、レンズ1の
耐圧強度に相当する圧力以下に設定しておく。
また、19はレンズ1の加熱を防止するための
環状冷却空間で、注入口20より冷却エアーまた
は冷却水を注入して、レンズ1の熱を吸収し、レ
ンズ1の熱破壊を防止している。
環状冷却空間で、注入口20より冷却エアーまた
は冷却水を注入して、レンズ1の熱を吸収し、レ
ンズ1の熱破壊を防止している。
(考案の作用)
レーザ加工時、図示しないレーザ発振器より平
行光となつて出射されたレーザ光は複数箇所の反
射鏡を介してレーザ加工ヘツドに導かれ、レンズ
1により集光されてノズル先端より被加工面Wに
に照射される。同時に、NC装置18によつてガ
スコントロールユニツト13が自動制御され適正
圧力に調整されたアシストガスが、供給口11よ
り高圧室3に供給され、ノズル2内でさらに集束
されて噴出口2aより被加工面Wに向かつて高圧
で噴出される。すなわち、レーザ光の熱エネルギ
ーとアシストガスの燃焼エネルギーとにより、被
加工面Wに切断等のレーザ加工がなされる。
行光となつて出射されたレーザ光は複数箇所の反
射鏡を介してレーザ加工ヘツドに導かれ、レンズ
1により集光されてノズル先端より被加工面Wに
に照射される。同時に、NC装置18によつてガ
スコントロールユニツト13が自動制御され適正
圧力に調整されたアシストガスが、供給口11よ
り高圧室3に供給され、ノズル2内でさらに集束
されて噴出口2aより被加工面Wに向かつて高圧
で噴出される。すなわち、レーザ光の熱エネルギ
ーとアシストガスの燃焼エネルギーとにより、被
加工面Wに切断等のレーザ加工がなされる。
しかし、何らかの原因で、高圧室3内のガス圧
が上昇し、圧力センサ4が所定値以上を検出する
と、コントロールユニツト13内の圧力スイツチ
5が作用され、高圧室3へのガス供給が停止され
る。
が上昇し、圧力センサ4が所定値以上を検出する
と、コントロールユニツト13内の圧力スイツチ
5が作用され、高圧室3へのガス供給が停止され
る。
これにより、レンズ1にかかる圧力がレンズ耐
圧強度に至るまでに圧力は下り、レンズ1の破損
を未然に防止することができる。
圧強度に至るまでに圧力は下り、レンズ1の破損
を未然に防止することができる。
なお、上記圧力センサ4は、レンズ1の入射面
側においてレンズマウント7との間に設けたが、
この位置に限らず、レンズ1の出射面側において
Oリング9と締付部材8との間に設けてもよい。
側においてレンズマウント7との間に設けたが、
この位置に限らず、レンズ1の出射面側において
Oリング9と締付部材8との間に設けてもよい。
(考案の効果)
以上のように、本考案によれば、圧力センサに
よつて、高圧室内のガス圧によるレンズにかかる
圧力を常に測定しているので、ガス圧変化が確認
できるとともに、レンズにかかる圧力がレンズの
耐圧強度を越えないように、所定値以上を検知し
たとき供給停止手段を作用して、高圧室へのアシ
ストガスの供給が自動的にストツプされるため、
高圧室内のガス圧の異常な上昇を抑えることがで
き、レンズの耐圧強度を越えることなく、レンズ
破損を防止することができる。また、圧力センサ
によりレンズにかかる衝撃も緩和され、レンズを
衝撃から保護し、しかも熱伝導も良く、レンズの
熱破壊も防止できる。
よつて、高圧室内のガス圧によるレンズにかかる
圧力を常に測定しているので、ガス圧変化が確認
できるとともに、レンズにかかる圧力がレンズの
耐圧強度を越えないように、所定値以上を検知し
たとき供給停止手段を作用して、高圧室へのアシ
ストガスの供給が自動的にストツプされるため、
高圧室内のガス圧の異常な上昇を抑えることがで
き、レンズの耐圧強度を越えることなく、レンズ
破損を防止することができる。また、圧力センサ
によりレンズにかかる衝撃も緩和され、レンズを
衝撃から保護し、しかも熱伝導も良く、レンズの
熱破壊も防止できる。
第1図は、本考案の一実施例を示す断面図、第
2図はガスコントロールユニツトの回路図であ
る。 1……レンズ、2……ノズル、3……高圧室、
4……圧力センサ、5……供給停止手段としての
圧力スイツチ。
2図はガスコントロールユニツトの回路図であ
る。 1……レンズ、2……ノズル、3……高圧室、
4……圧力センサ、5……供給停止手段としての
圧力スイツチ。
Claims (1)
- レンズの出射面側と先端のノズルとの間に形成
された高圧室にアシストガスを供給し、上記レン
ズにより集光されたレーザ光とアシストガスとを
上記ノズルより出射するレーザ加工ヘツドにおい
て、上記レンズと接触する位置に、上記高圧室内
のガス圧によるレンズにかかる圧力を測定する圧
力センサを設け、この圧力センサの測定値が所定
値以上になつたとき、アシストガスの高圧室への
供給を停止する供給停止手段を備えたことを特徴
とするレーザ加工ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181690U JPH05317Y2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181690U JPH05317Y2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184891U JPH0184891U (ja) | 1989-06-06 |
| JPH05317Y2 true JPH05317Y2 (ja) | 1993-01-06 |
Family
ID=31473167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987181690U Expired - Lifetime JPH05317Y2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05317Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP1987181690U patent/JPH05317Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0184891U (ja) | 1989-06-06 |
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