JPH05333554A - プリント配線板用露光装置 - Google Patents
プリント配線板用露光装置Info
- Publication number
- JPH05333554A JPH05333554A JP4143989A JP14398992A JPH05333554A JP H05333554 A JPH05333554 A JP H05333554A JP 4143989 A JP4143989 A JP 4143989A JP 14398992 A JP14398992 A JP 14398992A JP H05333554 A JPH05333554 A JP H05333554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed wiring
- wiring board
- photomask
- stage
- exposure apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント配線板の製造装置であるプリント配
線板用露光装置に関し、フォトマスクとプリント配線板
を接触して露光させるために、真空引きの機構や動作が
必要となり、フォトマスクにゴミが付着して不良になる
という課題を解決し、優れたプリント配線板用露光装置
を提供することを目的とする。 【構成】 プリント配線板１２を載置するステージ１３
と、クロム蒸着パターン１５を表面に形成した石英ガラ
ス製のフォトマスク１４をマスクステージ１６で保持
し、スペーサ１７によりプリント配線板１２とフォトマ
スク１４の間隔を一定とし、エキシマレーザの発振器１
８から発生するエキシマレーザ光をミラー１９とレンズ
群２０を介して照射する構成とすることにより、フォト
マスク１４とプリント配線板１２を非接触状態で露光す
ることができるようになり、真空引きの機構や動作が不
要となり、作業のピッチタイムが短縮できるとともにフ
ォトマスク１４のゴミ付着をなくして信頼性を向上する
ことができる。
線板用露光装置に関し、フォトマスクとプリント配線板
を接触して露光させるために、真空引きの機構や動作が
必要となり、フォトマスクにゴミが付着して不良になる
という課題を解決し、優れたプリント配線板用露光装置
を提供することを目的とする。 【構成】 プリント配線板１２を載置するステージ１３
と、クロム蒸着パターン１５を表面に形成した石英ガラ
ス製のフォトマスク１４をマスクステージ１６で保持
し、スペーサ１７によりプリント配線板１２とフォトマ
スク１４の間隔を一定とし、エキシマレーザの発振器１
８から発生するエキシマレーザ光をミラー１９とレンズ
群２０を介して照射する構成とすることにより、フォト
マスク１４とプリント配線板１２を非接触状態で露光す
ることができるようになり、真空引きの機構や動作が不
要となり、作業のピッチタイムが短縮できるとともにフ
ォトマスク１４のゴミ付着をなくして信頼性を向上する
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板の製造装
置であるプリント配線板用露光装置に関するものであ
る。
置であるプリント配線板用露光装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリント配線板用露光装置は自動
のものが数多く開発されており、以下に従来のプリント
配線板用露光装置について説明する。
のものが数多く開発されており、以下に従来のプリント
配線板用露光装置について説明する。
【０００３】図３は従来のプリント配線板用露光装置の
構成を示す正面断面図である。図３において２はプリン
ト配線板であり、レジスト１が表面に塗布されている。
３はステージで、その上に上記プリント配線板２が載置
されている。ステージ３にはプリント配線板２をステー
ジ３に吸着すると共にプリント配線板２とポリエチレン
製のフォトマスク７を密着させるために真空引きを行う
ように真空穴４が多数開いている。また、５は上記密着
時に空気が漏れないためのパッキンであり、６はストッ
プバルブで、通常は閉じており、真空引き時およびプリ
ント配線板２をフォトマスク７から剥離する場合に気圧
をかける時のみ開放するものである。またフォトマスク
７はマスクステージ８に固定されている。９は露光光源
である水銀ランプおよびそのランプハウスである。
構成を示す正面断面図である。図３において２はプリン
ト配線板であり、レジスト１が表面に塗布されている。
３はステージで、その上に上記プリント配線板２が載置
されている。ステージ３にはプリント配線板２をステー
ジ３に吸着すると共にプリント配線板２とポリエチレン
製のフォトマスク７を密着させるために真空引きを行う
ように真空穴４が多数開いている。また、５は上記密着
時に空気が漏れないためのパッキンであり、６はストッ
プバルブで、通常は閉じており、真空引き時およびプリ
ント配線板２をフォトマスク７から剥離する場合に気圧
をかける時のみ開放するものである。またフォトマスク
７はマスクステージ８に固定されている。９は露光光源
である水銀ランプおよびそのランプハウスである。
【０００４】以上のように構成された従来のプリント配
線板用露光装置について、以下その動作について説明す
る。まず、レジスト１が表面に塗布されたプリント配線
板２をステージ３の上へ載置し、次にプリント配線板２
とフォトマスク７が密着するようにステージ３をマスク
ステージ８に押し当て、ストップバルブ６を開放して真
空穴４より真空引きを行う。この際に、パッキン５があ
るため空気が内部に流入せずフォトマスク７とレジスト
１が塗布されたプリント配線板２は真空密着状態とな
り、その状態で水銀ランプ９を点灯し露光を行うように
構成されたものであった。
線板用露光装置について、以下その動作について説明す
る。まず、レジスト１が表面に塗布されたプリント配線
板２をステージ３の上へ載置し、次にプリント配線板２
とフォトマスク７が密着するようにステージ３をマスク
ステージ８に押し当て、ストップバルブ６を開放して真
空穴４より真空引きを行う。この際に、パッキン５があ
るため空気が内部に流入せずフォトマスク７とレジスト
１が塗布されたプリント配線板２は真空密着状態とな
り、その状態で水銀ランプ９を点灯し露光を行うように
構成されたものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、水銀ランプ９およびそのランプハウスによ
り得られる光線は平行光線でないため、フォトマスク７
とプリント配線板２を真空密着しなければ露光精度は得
られず、またフォトマスク７とプリント配線板２を真空
密着するためにプリント配線板２の持ち込むゴミがフォ
トマスク７に付着し、その後露光するプリント配線板２
を連続で不良にするという問題点を有していた。
の構成では、水銀ランプ９およびそのランプハウスによ
り得られる光線は平行光線でないため、フォトマスク７
とプリント配線板２を真空密着しなければ露光精度は得
られず、またフォトマスク７とプリント配線板２を真空
密着するためにプリント配線板２の持ち込むゴミがフォ
トマスク７に付着し、その後露光するプリント配線板２
を連続で不良にするという問題点を有していた。
【０００６】本発明は上記課題を解決するもので、フォ
トマスクとプリント配線板を非接触の状態で露光し、真
空引きの機構や動作が不要となり、作業のピッチタイム
が短縮できるとともにフォトマスクにゴミが付着する心
配がない優れたプリント配線板用露光装置を提供するこ
とを目的とするものである。
トマスクとプリント配線板を非接触の状態で露光し、真
空引きの機構や動作が不要となり、作業のピッチタイム
が短縮できるとともにフォトマスクにゴミが付着する心
配がない優れたプリント配線板用露光装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のプリント配線板用露光装置は、レジストが塗
布されたプリント配線板を載置するステージとエキシマ
レーザ光を発生する発振器を備え、上記プリント配線板
と発振器との間に、エキシマレーザ光を透過させる物質
よりなる板の表面にエキシマレーザ光を遮光する物質よ
りなる膜のパターンを形成したフォトマスクと、このフ
ォトマスクをプリント配線板との間に一定の間隔を置く
ように固定するマスクステージと、上記発振器から発生
するエキシマレーザ光を拡大縮小成形するレンズを設け
た構成としたものである。
に本発明のプリント配線板用露光装置は、レジストが塗
布されたプリント配線板を載置するステージとエキシマ
レーザ光を発生する発振器を備え、上記プリント配線板
と発振器との間に、エキシマレーザ光を透過させる物質
よりなる板の表面にエキシマレーザ光を遮光する物質よ
りなる膜のパターンを形成したフォトマスクと、このフ
ォトマスクをプリント配線板との間に一定の間隔を置く
ように固定するマスクステージと、上記発振器から発生
するエキシマレーザ光を拡大縮小成形するレンズを設け
た構成としたものである。
【０００８】
【作用】この構成によって、フォトマスクとプリント配
線板を非接触の状態で露光できるようになり、真空引き
の機構や動作が不要となって作業のピッチタイムが短縮
できるとともにフォトマスクにゴミが付着することをな
くすることができる。
線板を非接触の状態で露光できるようになり、真空引き
の機構や動作が不要となって作業のピッチタイムが短縮
できるとともにフォトマスクにゴミが付着することをな
くすることができる。
【０００９】
（実施例１）以下、本発明の一実施例について図面を参
照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例にお
けるプリント配線板用露光装置の構成を示す正面図であ
る。図１において１１はレジスト、１２はプリント配線
板でレジスト１１が表面に塗布されている。１３はステ
ージでその上にプリント配線板１２が載置されている。
１４は石英ガラスよりなるフォトマスクでその表面には
クロム蒸着パターン１５が形成されている。１６はマス
クステージでフォトマスク１４を保持する。また１７は
プリント配線板１２とフォトマスク１４の間隔を一定と
するためのスペーサである。１８はエキシマレーザの発
振器であり、１９はミラー、２０はレンズ群である。
照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例にお
けるプリント配線板用露光装置の構成を示す正面図であ
る。図１において１１はレジスト、１２はプリント配線
板でレジスト１１が表面に塗布されている。１３はステ
ージでその上にプリント配線板１２が載置されている。
１４は石英ガラスよりなるフォトマスクでその表面には
クロム蒸着パターン１５が形成されている。１６はマス
クステージでフォトマスク１４を保持する。また１７は
プリント配線板１２とフォトマスク１４の間隔を一定と
するためのスペーサである。１８はエキシマレーザの発
振器であり、１９はミラー、２０はレンズ群である。
【００１０】以上のように構成された本実施例のプリン
ト配線板用露光装置について、以下その動作について説
明する。まず、プリント配線板１２をステージ１３の上
へ載置し、次にフォトマスク１４を保持するマスクステ
ージ１６をスペーサ１７を介して固定する。次にエキシ
マレーザの発振器１８よりレーザ光（ＸｅＣｌ、３０８
ｎｍ）を数パルス発振する。このレーザ光はミラー１９
で反射されて方向転換し、レンズ群２０で拡大と均一化
がなされ、フォトマスク１４の表面のクロム蒸着パター
ン１５のないところのみを透過してプリント配線板１２
の上のレジスト１１に到達して露光を行うものである。
ト配線板用露光装置について、以下その動作について説
明する。まず、プリント配線板１２をステージ１３の上
へ載置し、次にフォトマスク１４を保持するマスクステ
ージ１６をスペーサ１７を介して固定する。次にエキシ
マレーザの発振器１８よりレーザ光（ＸｅＣｌ、３０８
ｎｍ）を数パルス発振する。このレーザ光はミラー１９
で反射されて方向転換し、レンズ群２０で拡大と均一化
がなされ、フォトマスク１４の表面のクロム蒸着パター
ン１５のないところのみを透過してプリント配線板１２
の上のレジスト１１に到達して露光を行うものである。
【００１１】以上のように本実施例によれば、フォトマ
スク１４とプリント配線板１２を非接触の状態で露光で
きるので、真空引きの機構や動作が不要となり、作業の
ピッチタイムが短縮できるとともにフォトマスク１４の
ゴミ付着をなくして信頼性を向上することができる。
スク１４とプリント配線板１２を非接触の状態で露光で
きるので、真空引きの機構や動作が不要となり、作業の
ピッチタイムが短縮できるとともにフォトマスク１４の
ゴミ付着をなくして信頼性を向上することができる。
【００１２】なお、上記第１の実施例において、プリン
ト配線板１２が大きくて一括露光できないときは、ステ
ージ１３とマスクステージ１６を固定したままＸＹテー
ブルに乗せ、発振器１８の発振と同期をとってステップ
アンドリピートで分割露光を行ってもよい。
ト配線板１２が大きくて一括露光できないときは、ステ
ージ１３とマスクステージ１６を固定したままＸＹテー
ブルに乗せ、発振器１８の発振と同期をとってステップ
アンドリピートで分割露光を行ってもよい。
【００１３】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について図面を参照しながら説明する。図２は本発明の
第２の実施例におけるプリント配線板用露光装置の構成
を示す正面図である。図２において２１はレジスト、２
２はプリント配線板でレジスト２１が表面に塗布されて
いる。２３はステージでその上にプリント配線板２２が
載置されている。２４は石英ガラスよりなるフォトマス
クでその表面にはクロム蒸着パターン２５が形成されて
いる。２６はマスクステージでフォトマスク２４を保持
する。２７はエキシマレーザの発振器であり、２８はミ
ラー、２９はレンズ群である。以上は図１の構成と同様
である。図１の構成と異なるのはフォトマスク２４とエ
キシマレーザの発振器２７の間にレンズ群３０が入った
ことである。
について図面を参照しながら説明する。図２は本発明の
第２の実施例におけるプリント配線板用露光装置の構成
を示す正面図である。図２において２１はレジスト、２
２はプリント配線板でレジスト２１が表面に塗布されて
いる。２３はステージでその上にプリント配線板２２が
載置されている。２４は石英ガラスよりなるフォトマス
クでその表面にはクロム蒸着パターン２５が形成されて
いる。２６はマスクステージでフォトマスク２４を保持
する。２７はエキシマレーザの発振器であり、２８はミ
ラー、２９はレンズ群である。以上は図１の構成と同様
である。図１の構成と異なるのはフォトマスク２４とエ
キシマレーザの発振器２７の間にレンズ群３０が入った
ことである。
【００１４】以上のように構成された本実施例のプリン
ト配線板用露光装置について、以下その動作について説
明する。まず、プリント配線板２２をステージ２３の上
へ載置し、次にエキシマレーザの発振器２７よりレーザ
光（ＸｅＣｌ、３０８ｎｍ）を発振する。このレーザ光
はレンズ群３０で拡大して均一化され、フォトマスク２
４の表面のクロム蒸着パターン２５のないところのみを
透過してミラー２８で反射されて方向転換し、レンズ群
２９でさらに拡大と均一化がなされ、プリント配線板２
２の上のレジスト２１に到達して露光を行う。
ト配線板用露光装置について、以下その動作について説
明する。まず、プリント配線板２２をステージ２３の上
へ載置し、次にエキシマレーザの発振器２７よりレーザ
光（ＸｅＣｌ、３０８ｎｍ）を発振する。このレーザ光
はレンズ群３０で拡大して均一化され、フォトマスク２
４の表面のクロム蒸着パターン２５のないところのみを
透過してミラー２８で反射されて方向転換し、レンズ群
２９でさらに拡大と均一化がなされ、プリント配線板２
２の上のレジスト２１に到達して露光を行う。
【００１５】以上のように本実施例によれば、小さなフ
ォトマスク２４でも、レンズ群２９，３０を用いること
によって拡大して露光することができるので、フォトマ
スク２４の費用が安価にできるという効果が得られる。
ォトマスク２４でも、レンズ群２９，３０を用いること
によって拡大して露光することができるので、フォトマ
スク２４の費用が安価にできるという効果が得られる。
【００１６】なお、上記第２の実施例でプリント配線板
２２が大きくて一括露光できないときは、ステージ２３
とマスクステージ２６をそれぞれ別のＸＹテーブルに乗
せ、発振器２７の発振と同期をとってステップアンドリ
ピートで分割露光を行ってもよい。
２２が大きくて一括露光できないときは、ステージ２３
とマスクステージ２６をそれぞれ別のＸＹテーブルに乗
せ、発振器２７の発振と同期をとってステップアンドリ
ピートで分割露光を行ってもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によるプリント配線
板用露光装置は、フォトマスクとプリント配線板が非接
触状態で露光できるので、真空引きの機構や動作が不要
となり、作業のピッチタイムが短縮できるとともにフォ
トマスクのゴミ付着をなくして信頼性を向上することが
できる優れたプリント配線板用露光装置を実現できるも
のである。
板用露光装置は、フォトマスクとプリント配線板が非接
触状態で露光できるので、真空引きの機構や動作が不要
となり、作業のピッチタイムが短縮できるとともにフォ
トマスクのゴミ付着をなくして信頼性を向上することが
できる優れたプリント配線板用露光装置を実現できるも
のである。
【図１】本発明の第１の実施例におけるプリント配線板
用露光装置の構成を一部断面で示す正面図
用露光装置の構成を一部断面で示す正面図
【図２】本発明の第２の実施例におけるプリント配線板
用露光装置の構成を一部断面で示す正面図
用露光装置の構成を一部断面で示す正面図
【図３】従来のプリント配線板用露光装置の構成を一部
断面で示す正面図
断面で示す正面図
１１ レジスト １２ プリント配線板 １３ ステージ １４ フォトマスク １５ クロム蒸着パターン １６ マスクステージ １７ スペーサ １８ エキシマレーザの発振器 １９ ミラー ２０ レンズ群 ２１ レジスト ２２ プリント配線板 ２３ ステージ ２４ フォトマスク ２５ クロム蒸着パターン ２６ マスクステージ ２７ エキシマレーザの発振器 ２８ ミラー ２９ レンズ群 ３０ レンズ群
Claims (2)
- 【請求項１】レジストが塗布されたプリント配線板を載
置するステージとエキシマレーザ光を発生する発振器を
備え、上記プリント配線板と発振器との間に、エキシマ
レーザ光を透過させる物質よりなる板の表面にエキシマ
レーザ光を遮光する物質よりなる膜のパターンを形成し
たフォトマスクと、このフォトマスクをプリント配線板
との間に一定の間隔を置くように固定するマスクステー
ジと、上記発振器から発生するエキシマレーザ光を拡大
縮小成形するレンズを設けてなるプリント配線板用露光
装置。 - 【請求項２】ステージとマスクステージはＸＹテーブル
により移動し、ステップアンドリピートで露光を行う請
求項１記載のプリント配線板用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143989A JPH05333554A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | プリント配線板用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143989A JPH05333554A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | プリント配線板用露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05333554A true JPH05333554A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15351722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4143989A Pending JPH05333554A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | プリント配線板用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05333554A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010000881A (ko) * | 2000-10-25 | 2001-01-05 | 안지양 | 회로기판의 회로패턴 형성방법 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP4143989A patent/JPH05333554A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010000881A (ko) * | 2000-10-25 | 2001-01-05 | 안지양 | 회로기판의 회로패턴 형성방법 |
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