JPH05334618A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 記録媒体との接触性を損なうことなく、狭ト
ラック幅を精度良く得ることができる磁気ヘッドを提供
する。 【構成】 磁気ヘッド２０は、一対の基体２１ａで構成
されるヘッドコア２１を備え、各基体２１ａ間には金属
磁性膜２４ａ，２４ｂが挟み込まれている。金属磁性膜
２４ａ，２４ｂのそれぞれの突き合わせ部位は互いに共
働して記録媒体のトラックに対応するトラック幅規定部
位を形成し、そのトラック幅規定部位の幅寸法Ｔｗは一
対のトラック幅規制溝２６によって所定のトラック幅に
等しくなるように規制されている。各トラック幅規制溝
２６は摺動面２１ｂに形成され、各トラック幅規制溝２
６の横断面形状は矩形状である。各トラック幅規制溝２
６の幅寸法はＷであり、その深さ寸法Ｄはギャップデプ
スｄより大きい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク装置、
フロッピーディスク装置、ＶＴＲなどの磁気記録装置に
用いられる磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、処理される情報量の増加に伴い大
きな記憶容量を有する磁気記録装置が出現し、この磁気
記録装置には、記憶容量を大きくするために、高い抗磁
力Ｈｃを有する磁性材料からなる高密度記録媒体が用い
られている。

【０００３】しかし、フェライト磁気ヘッドでは、その
本体を構成するヘッドコアの材質がフェライト材である
ことから、飽和磁束密度が比較的小さく、前記高密度記
録媒体に対し十分な書込磁界強度を得ることができず、
高密度記録媒体を搭載する磁気記録装置に用いることが
できない。また、トラック幅がトラック幅規制溝の溝加
工によって規制されているから、この溝加工によってト
ラック幅をより狭くすることは困難である。よって、フ
ェライト磁気ヘッドに代えて、高密度記録媒体に対する
磁気ヘッドとして、複合型ヘッドが用いられる。

【０００４】この複合型ヘッドは、図９に示すように、
互いに対向する一対の基体１ａで構成され、記録媒体と
の摺動面１ｂが形成されているヘッドコア１を備える。
各基体１ａはフェライト材からなる。基体１ａの一方に
は、摺動面１ｂに平行に伸びる巻線用溝２が形成されて
いる。

【０００５】ヘッドコア１には、互いに対向する一対の
トラック幅規制溝３が形成されている。各トラック幅規
制溝３は、巻線用溝２に直交するように基体１ａの一方
と他方との間に配置されている。トラック幅規制溝３は
ほぼ三角形状の断面形状を有し、該トラック幅規制溝３
には基体１ａの一方と他方とを接合するためのガラス材
７が充填されている。トラック幅規制溝３の側部の角度
θは、３０度から６０度の範囲内に設定されている。

【０００６】各基体１ａの対向面には、高飽和磁束密度
を有する金属磁性膜４がスパッタリングなどの薄膜形成
手段で形成されている。金属磁性膜４の厚さ寸法Ｓは、
数μｍから数１０μｍまでの範囲内の寸法に設定されて
いる。金属磁性膜４のトラック幅規制溝３に挟まれてい
る部位のそれぞれは互いに突き合わされ、ぞれぞれの間
にはギャップ５が形成されている。金属磁性膜４の突き
合わせ部位のそれぞれは互いに共働して記録媒体のトラ
ックに対応するトラック幅規定部位を形成し、そのトラ
ック幅規定部位の幅寸法Ｔｗは一対のトラック幅規制溝
３によって所定のトラック幅に等しくなるように規制さ
れている。

【０００７】トラックピッチがＰ、トラック幅がＴ、ガ
ードバンドがΔＴである記録媒体に上述の複合型磁気ヘ
ッドを用いるとき、図１０に示すように、ＶＴＲでは、
Ｐが１０〜２０μｍの範囲内になるように、ＴがＰにほ
ぼ等しくなるように、ΔＴが０になるように、金属磁性
膜４の厚さ寸法Ｓが２〜１０μｍの範囲内になるように
設定されている。フロッピーディスク装置では、Ｐが５
０〜１００μｍの範囲内になるように、Ｔが２０〜５０
μｍの範囲内になるように、ΔＴが３０〜５０μｍの範
囲内になるように、Ｓが１〜５μｍの範囲内になるよう
に設定されている。ハードディスク装置では、Ｐが２０
〜５０μｍの範囲内になるように、Ｔが１０〜２０μｍ
の範囲内になるように、ΔＴが１０〜３０μｍの範囲内
になるように、Ｓが１〜１０μｍの範囲内になるように
設定されている。

【０００８】また、さらに高密度化される磁気記録媒体
に対応するために、Ｐを５μｍ、Ｔを１０μｍ、ΔＴを
５μｍ、Ｓを１〜１０μｍの範囲内とするシステムが研
究されているが、このような狭いトラック幅の設定に対
しては、金属磁性膜のトラック幅を規制するための溝加
工に高い精度が要求される。しかし、トラックの位置決
め精度、トラックピッチ、ガードバンドなどから前記溝
加工に対する精度として±１μｍ以下が要求され、この
精度を量産時に保持することは難しい。よって、前記溝
加工に対する精度が低下すると、隣接トラックからのク
ロストーク信号によってＣ／Ｎ比が悪化する。

【０００９】例えば、図１１を参照するに、前記溝加工
には先端角が（１８０°−２θ）である砥石８が用いら
れ、機械精度の垂直方向の変化分をΔＺとし、トラック
幅Ｔｗの変化量をΔＴｗとすると、垂直方向の変化分Δ
Ｚとトラック幅Ｔｗの変化量ΔＴｗとの関係は次の
（１）式を満足する。

【００１０】

【数１】 ΔＴｗ＝２×ΔＺ／（ｔａｎθ） （１） よって、θ＝４５°、ΔＺ＝１μｍとすると、ΔＴｗ＝
２μｍとなり、精度±１μｍを保持することは難しい。

【００１１】これに対し、金属磁性膜のトラック幅を規
制するためのトラック幅規制溝３の底部３ａがギャップ
５の対向面に直角であるとき、図１２に示すように、Ｚ
方向への変動に対しトラック幅の変動はなく、トラック
幅に対する精度を保持することは容易であるが、金属磁
性膜を薄膜形成手段で形成するときに、粒子の入射角の
関係から金属磁性膜のトラック幅を規定する部位の端部
は丸みを帯びる。この丸みを帯びた部分がトラック間の
ガードバンドを越えて隣接トラックにかかり、クロスト
ークが多くなる。

【００１２】他方、ハードディスク装置に用いられる複
合型磁気ヘッドでは、図１３および図１４に示すよう
に、スライダ１０にヘッドコア１１が埋め込まれ、ヘッ
ドコア１１は低融点ガラス材１２でスライダ１０に接合
されている。ヘッドコア１１に挟み込まれている金属磁
性膜１３のトラック幅は、図１５に示すように、ヘッド
コア１１の一部を切断することによって規制されている
から、トラック幅に対する加工精度は高いが、トラック
幅が狭いことから、機械的強度が弱く、記録媒体との接
触面積の小ささに起因する接触性が不安定になる。よっ
て、図１４に示すように、ガラス材１２でスライダ１０
とヘッドコア１１とを接合する必要がある。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の複合型磁気ヘッドでは、記録媒体との接触性を損なう
ことなく、狭トラック幅を精度良く得ることは困難であ
る。

【００１４】本発明は、上述の問題を解決すべく、記録
媒体との接触性を損なうことなく、狭トラック幅を精度
良く得ることができる磁気ヘッドおよびその製造方法を
提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る磁気ヘッ
ドは、互いに対向する一対の基体で構成され、記録媒体
との摺動面にこれに垂直な側部およびギャップデプスよ
り深い寸法を有するトラック幅規制溝が設けられたヘッ
ドコアと、前記ヘッドコアの基体間に挟み込まれ、前記
トラック幅規制溝によって所定のトラック幅に等しくな
るように規制されたトラック幅規定部位を有した磁性膜
とを備える。

【００１６】請求項２に係る磁気ヘッドの製造方法は、
スパッタリングなどの薄膜形成手段で一対の基体の内の
少なくとも一方に磁性膜を形成する工程と、前記基体の
一方と他方とをその間に磁性膜が配置されるように接合
することによって接合ブロックを形成する工程と、前記
接合ブロックの記録媒体との摺動面を規定する面に、そ
れに垂直な側部およびギャップデプスより深い寸法を有
するトラック幅規制溝を形成し、該トラック幅規制溝の
形成により前記磁性膜のトラック幅規定部を設定する工
程とを備える。

【００１７】

【作 用】請求項１に係る磁気ヘッドでは、前記磁性膜
のトラック幅規定部位を所定のトラック幅に等しくなる
ように規制する溝として、記録媒体との摺動面に垂直な
側部およびギャップデプスより深い寸法を有するトラッ
ク幅規制溝が前記記録媒体との摺動面に形成される。

【００１８】前記トラック幅規制溝が前記記録媒体との
摺動面を規定する面に垂直な側部およびギャップデプス
より深い寸法を有するから、該トラック幅規制溝の形成
精度は高くなり、該トラック幅規制溝の形成によって規
制される前記トラック幅規定部位を所定のトラック幅に
等しくなるように精度良く形成することができ、ひいて
は狭トラック幅を精度良く得ることができる。また、前
記トラック幅規制溝の幅を小さくすることによって、前
記記録媒体と前記摺動面との接触性が損なわれることを
防止することができる。

【００１９】請求項２に係る磁気ヘッドの製造方法で
は、前記基体間に磁性膜が挟み込まれている接合ブロッ
クを形成した後に、前記接合ブロックの摺動面を規定す
る面に前記トラック幅規制溝を形成することによって、
記録媒体との接触性が損なわれる恐れがなく、かつ狭ト
ラック幅が精度良く形成された磁気ヘッドを得ることが
できる。

【００２０】

【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。

【００２１】図１は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示
す斜視図、図２は図１の磁気ヘッドのギャップの周囲を
拡大して示す平面図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿って得
られた断面図である。

【００２２】磁気ヘッド２０は、図１〜図３に示すよう
に、互いに対向する一対の基体２１ａで構成され、記録
媒体との摺動面２１ｂが形成されているヘッドコア２１
を備える。各基体２１ａはフェライト材からなる。基体
２１ａの一方には、摺動面２１ｂに平行に伸びる巻線用
溝２２が形成されている。

【００２３】ヘッドコア２１には、互いに対向する一対
のトラック幅規制溝２３が形成されている。各トラック
幅規制溝２３は、巻線用溝２２に直交するように基体２
１ａの一方と他方との間に配置されている。各トラック
幅規制溝２３には、基体２１ａの一方と他方とを接合す
るためのガラス材２７が充填されている。

【００２４】各基体２１ａ間には、高飽和磁束密度を有
する金属磁性膜２４ａ，２４ｂが挟み込まれている。金
属磁性膜２４ａはスパッタリングなどの薄膜形成手段で
一方の基体２１ａの対向面に形成され、同様に、金属磁
性膜２４ｂは他方の基体２１ａの対向面に形成されてい
る。金属磁性膜２４ａ，２４ｂの厚さ寸法は、数μｍか
ら数１０μｍまでの範囲内の寸法に設定されている。金
属磁性膜２４ａ，２４ｂのトラック幅規制溝２３に挟ま
れている部位のそれぞれは互いに突き合わされ、それぞ
れの間にはギャップ２５が形成されている。なお、ギャ
ップ２５のギャップデプスはｄである。

【００２５】金属磁性膜２４ａ，２４ｂのそれぞれの突
き合わせ部位は互いに共働して記録媒体のトラックに対
応するトラック幅規定部位を形成し、そのトラック幅規
定部位の幅寸法Ｔｗは一対のトラック幅規制溝２６によ
って所定のトラック幅に等しくなるように規制されてい
る。

【００２６】各トラック幅規制溝２６は互いに平行にか
つ金属磁性膜２４ａ，２４ｂを経て基体２１ａの一方か
ら他方に向けて伸びる溝であり、該溝はヘッドコア２１
の摺動面２１ｂに形成されている。各トラック幅規制溝
２６は矩形状の横断面形状を有する。各トラック幅規制
溝２６の幅寸法はＷであり、その深さ寸法Ｄはギャップ
デプスｄより大きい。

【００２７】なお、記録媒体との接触性を良好に保持す
るために、トラック幅Ｔｗとトラック幅規制溝２６の幅
寸法Ｗとの関係が、次の（２）式を満足することが好ま
しい。

【００２８】

【数２】 Ｗ≦１０・Ｔｗ （２） ただし、上述の関係は記録媒体と磁気ヘッド２０との相
対速度、記録媒体のテンションなどに応じて若干異な
る。

【００２９】以上により、磁気ヘッド２０では、金属磁
性膜２４ａ，２４ｂで形成されるトラック幅規定部位の
幅寸法がトラック幅規制溝２６によって規制されるか
ら、金属磁性膜２４ａ，２４ｂで形成されるトラック幅
規定部位の幅寸法を高い精度でトラック幅Ｔｗに一致さ
せることができ、狭いトラック幅を精度良く得ることが
できる。

【００３０】なお、本実施例では、トラック幅規制溝２
６の幅寸法Ｗとトラック幅Ｔｗとの関係が上述の（２）
式を満足するように設定されているが、この関係式を満
足しないとき、磁気テープ、フロッピーディスクなどの
柔軟性を有する磁気記録媒体との接触性を低下させる恐
れがある。この記録媒体との接触性の低下を防止するた
めに、図８に示すように、トラック幅規制溝２６にガラ
ス材２８を充填することが好ましい。また、トラック幅
規制溝２６にガラス材２８が充填されている磁気ヘッド
をハードディスク装置に用いることができる。この磁気
ヘッドを用いることによって、ヘッドコアのスライダへ
の埋め込みにガラス材を用いる必要がなく、ヘッドコア
とスライダとの固定に有機接着剤を使用することができ
る。

【００３１】また、本実施例では、金属磁性膜が設けら
れている複合型磁気ヘッドを例にあげて説明したが、こ
のトラック幅規制溝２６によってトラック幅を規制する
方法をフェライト磁気ヘッド、メタルインギャップヘッ
ド（いわゆるＭＩＧヘッド）、磁性膜界面とギャップと
が非平行であるいわゆるＴＳＳタイプの磁気ヘッドなど
に適用することができる。

【００３２】次に、磁気ヘッド２０の製造方法について
図面を参照しながら説明する。図４ないし図７は図１の
磁気ヘッドの製造方法を説明するための図であって、そ
れぞれその第１の工程ないし第４の工程を示す。

【００３３】まず、図４（ａ），（ｂ）に示すように、
巻線用溝３０が形成されているブロック３１と、ブロッ
ク３２とが準備される。

【００３４】ブロック３１には、図５（ａ）に示すよう
に、巻線用溝３０に直角に伸びる複数のトラック幅規制
溝３３が形成され、各トラック幅規制溝３３は互いに所
定の間隔をおいて平行に配置されている。ブロック３１
の溝３３形成面には、スパッタリングなどの薄膜形成手
段によって金属磁性膜（図示せず）が形成される。ブロ
ック３２には、図５（ｂ）に示すように、複数のトラッ
ク幅規制溝３４が形成され、各トラック幅規制溝３４は
互いに所定の間隔をおいて平行に配置されている。ブロ
ック３２のトラック幅規制溝３４形成面には、ブロック
３１と同様に、スパッタリングなどの薄膜形成手段によ
って金属磁性膜（図示せず）が形成される。

【００３５】各トラック幅規制溝３３，３４および金属
磁性膜の形成後、図６に示すように、ブロック３１とブ
ロック３２とはそれぞれのトラック幅規制溝３３，３４
が互いに対向するように突き合わされ、かつガラス材
（図示せず）で一体的に接合される。ブロック３１の金
属磁性膜とブロック３２の金属磁性膜との間には、ギャ
ップ３５を形成するための絶縁膜が挟み込まれる。前記
絶縁膜は二酸化けい素からなる。ギャップ３５を介して
突き合わされている金属磁性膜の部位のそれぞれは互い
に共働して記録媒体のトラックに対応するトラック幅規
定部位を形成する。

【００３６】ブロック３１とブロック３２とを接合する
ことによって得られる接合ブロック３６には、図７に示
すように、金属磁性膜のトラック幅規定部位の幅寸法が
トラック幅に一致させるための複数のトラック幅規制溝
３７が形成される。各トラック幅規制溝３７は互いに平
行であり、金属磁性膜のギャップ３５近傍部位を挟み込
む溝３７の一方と他方との間の間隔は所定のトラック幅
に等しい。

【００３７】トラック幅規制溝３７の形成後、接合ブロ
ック３６は所定の切断線（図示せず）に沿って切断さ
れ、ヘッド基材が得られる。ヘッド基材に所定の機械加
工を施した後、図１に示すように、磁気ヘッド２０が得
られる。

【００３８】以上により、トラック幅規制溝３７の形成
によって金属磁性膜のトラック幅規定部位の幅寸法が規
制されるから、高い精度で所定のトラック幅が形成され
た磁気ヘッドをを得ることができ、ひいては高密度化磁
気記録媒体に対応するための狭トラック幅が精度良く形
成されている磁気ヘッドを得ることができる。

【００３９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の磁気ヘ
ッドによれば、記録媒体との接触性を損なうことなく、
高密度化記録媒体に対応するための狭トラック幅を精度
良く得ることができる。

【００４０】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、
記録媒体との接触性が安定し、かつさらに高密度化され
る記録媒体に対応するための狭トラック幅が精度良く形
成された磁気ヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図で
ある。

【図２】図１の磁気ヘッドのギャップの周囲を拡大して
示す平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ線に沿って得られた断面図であ
る。

【図４】図１の磁気ヘッドの製造方法の第１の工程を説
明するための図である。

【図５】図１の磁気ヘッドの製造方法の第２の工程を説
明するための図である。

【図６】図１の磁気ヘッドの製造方法の第３の工程を説
明するための図である。

【図７】図１の磁気ヘッドの製造方法の第４の工程を説
明するための図である。

【図８】本発明の磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視図
である。

【図９】従来の複合型磁気ヘッドを示す斜視図である。

【図１０】図９の磁気ヘッドのギャップの周囲を拡大し
て示す平面図である。

【図１１】図９の磁気ヘッドのトラック幅規制溝を形成
する工程を説明するための図である。

【図１２】従来の他の磁気ヘッドのギャップの周囲を拡
大して示す平面図である。

【図１３】従来のハードディスク装置に用いられている
磁気ヘッドを示す斜視図である。

【図１４】図１３の磁気ヘッドのヘッドコアとスライダ
との接合状態を示す平面図である。

【図１５】図１３の磁気ヘッドのヘッドコアを示す斜視
図である。

【符号の説明】

２０ 磁気ヘッド ２１ ヘッドコア ２１ａ，２１ｂ 基体 ２２，３０ 巻線用溝 ２４ａ，２４ｂ 金属磁性膜 ２５ ギャップ ２６，３７ トラック幅規制溝 ２８ ガラス材 ３１，３２ 基板 ３６ 接合ブロック

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに対向する一対の基体で構成され、記
   録媒体との摺動面にこれに垂直な側部およびギャップデ
   プスより深い寸法を有するトラック幅規制溝が設けられ
   たヘッドコアと、 前記ヘッドコアの基体間に挟み込まれ、前記トラック幅
   規制溝によって所定のトラック幅に等しくなるように規
   制されたトラック幅規定部を有した磁性膜とを備えたこ
   とを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】スパッタリングなどの薄膜形成手段で一対
   の基体の内の少なくとも一方に磁性膜を部位を形成する
   工程と、 前記基体の一方と他方とをその間に磁性膜が配置される
   ように接合することによって接合ブロックを形成する工
   程と、 前記接合ブロックの記録媒体との摺動面を規定する面
   に、それに垂直な側部およびギャップデプスより深い寸
   法を有するトラック幅規制溝を形成し、該トラック幅規
   制溝の形成により前記磁性膜のトラック幅規定部を設定
   する工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造
   方法。