JPH05335103A - 抵抗体 - Google Patents
抵抗体Info
- Publication number
- JPH05335103A JPH05335103A JP4137069A JP13706992A JPH05335103A JP H05335103 A JPH05335103 A JP H05335103A JP 4137069 A JP4137069 A JP 4137069A JP 13706992 A JP13706992 A JP 13706992A JP H05335103 A JPH05335103 A JP H05335103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- resistance value
- film
- film resistor
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、電子回路、特に混成集積回路に最適
に組み込まれる抵抗体に関し、膜抵抗体の上に保護膜を
形成するとともに、膜抵抗体の抵抗値が高い値を有する
ものであっても保護膜による抵抗値の変動を受けにくい
抵抗体を提供する。 【構成】膜抵抗体上に膜抵抗体のたかだか一方の電極と
接する保護膜を形成した。
に組み込まれる抵抗体に関し、膜抵抗体の上に保護膜を
形成するとともに、膜抵抗体の抵抗値が高い値を有する
ものであっても保護膜による抵抗値の変動を受けにくい
抵抗体を提供する。 【構成】膜抵抗体上に膜抵抗体のたかだか一方の電極と
接する保護膜を形成した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路、特に混成集
積回路に最適に組み込まれる抵抗体に関する。
積回路に最適に組み込まれる抵抗体に関する。
【0002】
【従来の技術】モノリシック集積回路と、抵抗体を含む
その周辺回路とを基板上に実装して混成集積回路を構成
する場合に、チップ抵抗に代わり、基板上に印刷された
膜抵抗が用いられることがある。図4は、従来の膜抵抗
体の模式断面図およびその等価回路図である。
その周辺回路とを基板上に実装して混成集積回路を構成
する場合に、チップ抵抗に代わり、基板上に印刷された
膜抵抗が用いられることがある。図4は、従来の膜抵抗
体の模式断面図およびその等価回路図である。
【0003】アルミナ基板10上に導体ペーストを印
刷,乾燥,焼成することにより抵抗体の両端の電極12
を形成し、次にこれらの電極12に跨るように抵抗体ペ
ーストを印刷,乾燥,焼成することにより膜抵抗体14
を形成し、さらにその後、その膜抵抗体14の保護のた
めにその膜抵抗体14を覆うように保護膜用ペーストを
印刷,乾燥,焼成することにより保護膜16を形成す
る。これによりアルミナ基板10上に抵抗体が形成され
る。
刷,乾燥,焼成することにより抵抗体の両端の電極12
を形成し、次にこれらの電極12に跨るように抵抗体ペ
ーストを印刷,乾燥,焼成することにより膜抵抗体14
を形成し、さらにその後、その膜抵抗体14の保護のた
めにその膜抵抗体14を覆うように保護膜用ペーストを
印刷,乾燥,焼成することにより保護膜16を形成す
る。これによりアルミナ基板10上に抵抗体が形成され
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、膜抵抗体1
4の抵抗値R1が例えば1MΩ未満等比較的小さい場合
は無視し得るものの保護膜16も抵抗値R2を有してお
り、したがって図4(A)に示す抵抗体は、等価的に、
図4(B)に示すように抵抗値R1の膜抵抗体14と抵
抗値R2の保護膜16とが並列的に接続された回路を有
することになる。ここで、膜抵抗体14の抵抗値R1が
1MΩを越え、例えば1GΩ、10GΩといった高い抵
抗値を有するものの場合保護膜16の抵抗値R2が大き
な誤差要因となり、しかもこの保護膜16の抵抗値R2
をあらかじめ見込んだ抵抗体を形成しようとしても、こ
の保護膜16はもともと抵抗体として用いることを意図
されているものではなく、その保護膜16の材料特性そ
の他によりその抵抗値が大幅に変動し、その抵抗体の抵
抗値が製作毎にばらついてしまい再現性に乏しいという
問題がある。
4の抵抗値R1が例えば1MΩ未満等比較的小さい場合
は無視し得るものの保護膜16も抵抗値R2を有してお
り、したがって図4(A)に示す抵抗体は、等価的に、
図4(B)に示すように抵抗値R1の膜抵抗体14と抵
抗値R2の保護膜16とが並列的に接続された回路を有
することになる。ここで、膜抵抗体14の抵抗値R1が
1MΩを越え、例えば1GΩ、10GΩといった高い抵
抗値を有するものの場合保護膜16の抵抗値R2が大き
な誤差要因となり、しかもこの保護膜16の抵抗値R2
をあらかじめ見込んだ抵抗体を形成しようとしても、こ
の保護膜16はもともと抵抗体として用いることを意図
されているものではなく、その保護膜16の材料特性そ
の他によりその抵抗値が大幅に変動し、その抵抗体の抵
抗値が製作毎にばらついてしまい再現性に乏しいという
問題がある。
【0005】一方、保護膜16を形成せずに膜抵抗体1
4を剥き出しのままとした場合には、温湿度,風(対
流)等の影響によりこの膜抵抗体14の抵抗値が変化し
てしまう場合があり、また機械的にも傷がつきやすいと
いう問題がある。本発明は、上記問題に鑑み、膜抵抗体
の上に保護膜を形成するとともに、膜抵抗体の抵抗値が
高い値を有するものであっても保護膜による抵抗値の変
動を受けにくい抵抗体を提供することを目的とする。
4を剥き出しのままとした場合には、温湿度,風(対
流)等の影響によりこの膜抵抗体14の抵抗値が変化し
てしまう場合があり、また機械的にも傷がつきやすいと
いう問題がある。本発明は、上記問題に鑑み、膜抵抗体
の上に保護膜を形成するとともに、膜抵抗体の抵抗値が
高い値を有するものであっても保護膜による抵抗値の変
動を受けにくい抵抗体を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の抵抗体は、基板上に形成された膜抵抗体上
に、該膜抵抗体のたかだか一方の電極と接する保護膜が
1つもしくは複数形成されてなることを特徴とするもの
である。
の本発明の抵抗体は、基板上に形成された膜抵抗体上
に、該膜抵抗体のたかだか一方の電極と接する保護膜が
1つもしくは複数形成されてなることを特徴とするもの
である。
【0007】
【作用】図1は、本発明の抵抗体の一例の模式断面図お
よびその等価回路図である。この図において前述した従
来例(図4参照)の要素と対応した要素には、図4に付
した番号と同一の番号を付し、相違点についてのみ説明
する。膜抵抗体14の上部には僅かな間隙18を有する
2つの保護膜16が形成されている。これらの保護膜1
6のそれぞれは一方の電極12とのみ接している。これ
を等価回路で表わすと、保護膜16については抵抗R2
と容量の非常に小さなコンデンサCとが直列に接続され
たものとして表わされる。この場合、コンデンサCの容
量は非常に小さく、このためこのコンデンサCのインピ
ーダンスが非常に大きく、したがってこの抵抗体の全体
の抵抗値は膜抵抗体14の抵抗値R1にほぼ等しくな
る。
よびその等価回路図である。この図において前述した従
来例(図4参照)の要素と対応した要素には、図4に付
した番号と同一の番号を付し、相違点についてのみ説明
する。膜抵抗体14の上部には僅かな間隙18を有する
2つの保護膜16が形成されている。これらの保護膜1
6のそれぞれは一方の電極12とのみ接している。これ
を等価回路で表わすと、保護膜16については抵抗R2
と容量の非常に小さなコンデンサCとが直列に接続され
たものとして表わされる。この場合、コンデンサCの容
量は非常に小さく、このためこのコンデンサCのインピ
ーダンスが非常に大きく、したがってこの抵抗体の全体
の抵抗値は膜抵抗体14の抵抗値R1にほぼ等しくな
る。
【0008】また、この図1に示すように、僅かな間隙
18のみを残して膜抵抗体14の上部のほとんどを保護
膜16で覆うことにより、したがって温湿度や風(対
流)等の影響も小さく、また機械的に傷がつく可能性も
十分に低減化される。
18のみを残して膜抵抗体14の上部のほとんどを保護
膜16で覆うことにより、したがって温湿度や風(対
流)等の影響も小さく、また機械的に傷がつく可能性も
十分に低減化される。
【0009】
【実施例】以下本発明の実施例について説明する。図2
は、本発明の一実施例に係る抵抗体の平面図である。ア
ルミナ(Al2 O3 )96%の基板上に導体ペースト
(デュポン社製DP5715)を、通常の厚膜プロセス
であるスクリーン印刷法により印刷し乾燥させ焼成し、
これにより、互いに幅W1=2.0mmの間隔をあけて
幅W2=0.2mm、長さd1=2.8mmの導体パタ
ーン20を形成した。次に抵抗体ペースト(デュポン社
製PP9681(シート抵抗値ρ0 =1GΩ/mm2 )
ないしESL社D−3981(ρ0 =10GΩ/m
m2 ))を同様にして印刷,乾燥,焼成し、これにより
幅W3=2.0mm、長さd2=2.4mmの膜抵抗体
22を形成した。さらにその後保護膜用ペースト(デュ
ポン社製DP9137)を印刷,乾燥,焼成することに
より、図に示すような折れ曲がった形状の、幅W4=
0.2mmの間隙24を残し、幅W5=2.4mm、長
さd3=2.8mmの保護膜26を形成した。
は、本発明の一実施例に係る抵抗体の平面図である。ア
ルミナ(Al2 O3 )96%の基板上に導体ペースト
(デュポン社製DP5715)を、通常の厚膜プロセス
であるスクリーン印刷法により印刷し乾燥させ焼成し、
これにより、互いに幅W1=2.0mmの間隔をあけて
幅W2=0.2mm、長さd1=2.8mmの導体パタ
ーン20を形成した。次に抵抗体ペースト(デュポン社
製PP9681(シート抵抗値ρ0 =1GΩ/mm2 )
ないしESL社D−3981(ρ0 =10GΩ/m
m2 ))を同様にして印刷,乾燥,焼成し、これにより
幅W3=2.0mm、長さd2=2.4mmの膜抵抗体
22を形成した。さらにその後保護膜用ペースト(デュ
ポン社製DP9137)を印刷,乾燥,焼成することに
より、図に示すような折れ曲がった形状の、幅W4=
0.2mmの間隙24を残し、幅W5=2.4mm、長
さd3=2.8mmの保護膜26を形成した。
【0010】ここで、一般に抵抗値R(Ω)は、 R=(ρ0 /t)・(W3/W1) …(1) ρ0 :抵抗率(Ω・mm) t:膜厚(mm) W1,W3:図2に示す寸法(mm) で表わされる。
【0011】上記のようにして図2に示す形状の抵抗体
を形成したところ、間隙24を形成しない場合と比べ、
(1)式で計算された値により近い抵抗値が得られた。
このように間隙24を形成することにより保護膜の抵抗
値の影響の少ない抵抗体が形成される。図3は、本発明
の抵抗体の各種の例を示した図である。これらの図にお
いて、形状等の相違を無視して図2に付した番号と同一
の番号を付し、詳細な説明は省略する。
を形成したところ、間隙24を形成しない場合と比べ、
(1)式で計算された値により近い抵抗値が得られた。
このように間隙24を形成することにより保護膜の抵抗
値の影響の少ない抵抗体が形成される。図3は、本発明
の抵抗体の各種の例を示した図である。これらの図にお
いて、形状等の相違を無視して図2に付した番号と同一
の番号を付し、詳細な説明は省略する。
【0012】これらの図に示すように、間隙24の形状
は図2に示す形状に限られず、波形(図3(A))、直
線形(図3(B),(C),(D))であってもよい。
また保護膜26は、狭い間隙24のみを残し全体として
膜抵抗体22のほとんど全部を覆うように形成されると
ともに、各保護膜26は双方の電極20には触れないよ
うに形成される。即ち各保護膜26は一方の電極20に
触れ、あるいはいずれの電極20にも触れないように形
成される。
は図2に示す形状に限られず、波形(図3(A))、直
線形(図3(B),(C),(D))であってもよい。
また保護膜26は、狭い間隙24のみを残し全体として
膜抵抗体22のほとんど全部を覆うように形成されると
ともに、各保護膜26は双方の電極20には触れないよ
うに形成される。即ち各保護膜26は一方の電極20に
触れ、あるいはいずれの電極20にも触れないように形
成される。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の抵抗体
は、膜抵抗体上にこの膜抵抗体のたかだか一方の電極と
接する保護膜を形成したものであるため、この保護膜に
より膜抵抗体が保護されるとともに、高い抵抗値を有す
る膜抵抗体の場合であっても保護膜による抵抗値の変動
の受けにくい抵抗体となる。
は、膜抵抗体上にこの膜抵抗体のたかだか一方の電極と
接する保護膜を形成したものであるため、この保護膜に
より膜抵抗体が保護されるとともに、高い抵抗値を有す
る膜抵抗体の場合であっても保護膜による抵抗値の変動
の受けにくい抵抗体となる。
【図1】本発明の抵抗体の一例の模式断面図およびその
等価回路図である。
等価回路図である。
【図2】本発明の一実施例に係る抵抗体の平面図であ
る。
る。
【図3】本発明の抵抗体の各種の例を示した図である。
【図4】従来の膜抵抗体の模式断面図およびその等価回
路図である。
路図である。
10 アルミナ基板 12 電極 14,22 膜抵抗体 16,26 保護膜 18,24 間隙
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に形成された膜抵抗体上に、該膜
抵抗体のたかだか一方の電極と接する保護膜が1つもし
くは複数形成されてなることを特徴とする抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4137069A JPH05335103A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4137069A JPH05335103A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 抵抗体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05335103A true JPH05335103A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15190179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4137069A Withdrawn JPH05335103A (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05335103A (ja) |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP4137069A patent/JPH05335103A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |