JPH05340809A - レーザ光線の出力検出装置 - Google Patents
レーザ光線の出力検出装置Info
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- JPH05340809A JPH05340809A JP17202592A JP17202592A JPH05340809A JP H05340809 A JPH05340809 A JP H05340809A JP 17202592 A JP17202592 A JP 17202592A JP 17202592 A JP17202592 A JP 17202592A JP H05340809 A JPH05340809 A JP H05340809A
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- Japan
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- laser beam
- light
- detector
- laser
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 20
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010469 Glycine max Nutrition 0.000 description 1
- 244000068988 Glycine max Species 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 紫外レーザの出力検出精度を向上させる。
【構成】 出力検出装置は、モニタ光ＭＬを２方向に分
岐させるビームスプリッタ４を備えるとともに、ビーム
スプリッタ４によって分岐した第１モニタ光ＭＬ１の出
力を検出する第１検出器７を備えている。また、ビーム
スプリッタ４によって分岐した第２モニタ光ＭＬ２の光
路上には、第２モニタ光ＭＬ２に含まれる紫外レーザの
通過を阻止するフィルタ９を設けている。さらに、出力
検出装置は、上記両検出器７，１０によって検出した出
力を比較演算して、励起光を除いた紫外レーザだけの出
力を求める比較手段８を備えている。 【効果】 励起光を含んだ状態のモニタＭＬを直接に検
出器１０で出力を検出していた従来に比較して、本発明
によれば、励起光を完全に除去した状態の紫外レーザの
出力を正確に検出することができる。
岐させるビームスプリッタ４を備えるとともに、ビーム
スプリッタ４によって分岐した第１モニタ光ＭＬ１の出
力を検出する第１検出器７を備えている。また、ビーム
スプリッタ４によって分岐した第２モニタ光ＭＬ２の光
路上には、第２モニタ光ＭＬ２に含まれる紫外レーザの
通過を阻止するフィルタ９を設けている。さらに、出力
検出装置は、上記両検出器７，１０によって検出した出
力を比較演算して、励起光を除いた紫外レーザだけの出
力を求める比較手段８を備えている。 【効果】 励起光を含んだ状態のモニタＭＬを直接に検
出器１０で出力を検出していた従来に比較して、本発明
によれば、励起光を完全に除去した状態の紫外レーザの
出力を正確に検出することができる。
Description
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光線の出力検出装
置に関し、より詳しくは紫外領域のレーザ光線の出力を
検出する出力検出装置に関する。
置に関し、より詳しくは紫外領域のレーザ光線の出力を
検出する出力検出装置に関する。
【従来の技術】従来、レーザ発振器から発振したレーザ
光線の出力を検出する出力検出装置は知られており、こ
のような従来の出力検出装置では、レーザ発振器で発振
するレーザ光線の一部をモニタ光として取り出して、そ
のモニタ光の出力を検出器によって出力を検出するよう
にしている。ところで、レーザ発振器によって発振され
るレーザ光線には、波長の長い赤外線領域のレーザ（赤
外レーザ）と、波長の短い紫外線領域のレーザ（紫外レ
ーザ）とがあることは周知である。またレーザ発振器か
ら発振されるレーザ光線には、レーザ発振器内でレーザ
光線を励起させる際に発生する励起光が含まれているこ
とも知られており、上記励起光の波長は、赤外レーザと
紫外レーザとの中間の波長であることも知られている。
そして、従来では、上記励起光を除去するためにモニタ
光の光路上にフィルタを配設し、該フィルタを透過した
モニタ光の出力を検出することにより検出精度を高める
ようにしている。
光線の出力を検出する出力検出装置は知られており、こ
のような従来の出力検出装置では、レーザ発振器で発振
するレーザ光線の一部をモニタ光として取り出して、そ
のモニタ光の出力を検出器によって出力を検出するよう
にしている。ところで、レーザ発振器によって発振され
るレーザ光線には、波長の長い赤外線領域のレーザ（赤
外レーザ）と、波長の短い紫外線領域のレーザ（紫外レ
ーザ）とがあることは周知である。またレーザ発振器か
ら発振されるレーザ光線には、レーザ発振器内でレーザ
光線を励起させる際に発生する励起光が含まれているこ
とも知られており、上記励起光の波長は、赤外レーザと
紫外レーザとの中間の波長であることも知られている。
そして、従来では、上記励起光を除去するためにモニタ
光の光路上にフィルタを配設し、該フィルタを透過した
モニタ光の出力を検出することにより検出精度を高める
ようにしている。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記フ
ィルタは、モニタ光の中に含まれる波長の短い光を除去
する機能を備えているので、次のような欠点があった。
すなわち、レーザ光線が赤外レーザの場合には、励起光
は赤外レーザよりも波長が短いので上記フィルタによっ
て除去することができるが、レーザ光線が紫外レーザの
場合には、紫外レーザの波長は励起光の波長よりも短い
ため、上記従来のフィルタでは紫外レーザが除去され
て、励起光のみがフィルタを透過することになる。その
ため、従来では、紫外レーザの出力検出の際には、上記
フィルタを用いずに、励起光を含んだモニタ光を直接に
検出器によって検出していたので、検出精度が悪いとい
う欠点があった。
ィルタは、モニタ光の中に含まれる波長の短い光を除去
する機能を備えているので、次のような欠点があった。
すなわち、レーザ光線が赤外レーザの場合には、励起光
は赤外レーザよりも波長が短いので上記フィルタによっ
て除去することができるが、レーザ光線が紫外レーザの
場合には、紫外レーザの波長は励起光の波長よりも短い
ため、上記従来のフィルタでは紫外レーザが除去され
て、励起光のみがフィルタを透過することになる。その
ため、従来では、紫外レーザの出力検出の際には、上記
フィルタを用いずに、励起光を含んだモニタ光を直接に
検出器によって検出していたので、検出精度が悪いとい
う欠点があった。
【課題を解決するための手段】このような事情に鑑み、
本発明は、紫外領域のレーザ光線を発振するレーザ発振
器から取出したモニタ光をもとにレーザ光線の出力を検
出する出力検出装置であって、上記モニタ光をさらに２
方向に分岐させるビームスプリッタと、上記ビームスプ
リッタによって分岐された一方のモニタ光の出力を検出
する第１検出器と、上記ビームスプリッタによって分岐
された他方のモニタ光の光路上に配設されて紫外領域の
レーザ光線の通過を阻止するフィルタと、上記フィルタ
を透過したモニタ光の出力を検出する第２検出器と、上
記第１検出器と第２検出器とで検出した出力を比較し、
それら出力の差を求めて出力する比較手段とを備えるレ
ーザ光線の出力検出装置を提供するものである。
本発明は、紫外領域のレーザ光線を発振するレーザ発振
器から取出したモニタ光をもとにレーザ光線の出力を検
出する出力検出装置であって、上記モニタ光をさらに２
方向に分岐させるビームスプリッタと、上記ビームスプ
リッタによって分岐された一方のモニタ光の出力を検出
する第１検出器と、上記ビームスプリッタによって分岐
された他方のモニタ光の光路上に配設されて紫外領域の
レーザ光線の通過を阻止するフィルタと、上記フィルタ
を透過したモニタ光の出力を検出する第２検出器と、上
記第１検出器と第２検出器とで検出した出力を比較し、
それら出力の差を求めて出力する比較手段とを備えるレ
ーザ光線の出力検出装置を提供するものである。
【作用】このような構成によれば、上記比較手段によっ
て両検出器で検出した出力を比較することにより、励起
光の出力を除去した紫外レーザだけの出力を正確に検出
することができる。したがって、従来に比較して紫外領
域のレーザ光線の出力検出の精度を向上させることがで
きる。
て両検出器で検出した出力を比較することにより、励起
光の出力を除去した紫外レーザだけの出力を正確に検出
することができる。したがって、従来に比較して紫外領
域のレーザ光線の出力検出の精度を向上させることがで
きる。
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１において、１は紫外線領域のレーザ光線を発振
させるレーザ発振器であり、そのハウジング１ａのフロ
ント側には部分透過ミラーからなるフロントミラー２を
配設するとともに、これに対向させてハウジング１ａの
リヤ側には全反射ミラーからなるリヤミラー３を配設し
ている。上記ハウジング１ａ内には、レーザ光線を励起
する媒質としての、例えばレーザガスが充填されるとと
もに、ハウジング１ａ内におけるフロントミラー２とリ
ヤミラー３との中間の位置には図示しない電極を配設し
ている。そして、上記電極に高電圧を印加することによ
って、レーザ発振器１内で紫外線領域のレーザ光線Ｌを
励起するようにしてあり、励起されたレーザ光線Ｌは上
記両ミラー２，３によって反射増幅された後、フロント
ミラー２を透過してハウジング１ａの外部に放射される
ようになっている。上記レーザ発振器１によって紫外線
領域のレーザ光線Ｌを励起させる際には、該紫外線領域
のレーザ光線Ｌとともに、それよりも波長が長い励起光
が発生することは従来から周知である。また、上記リヤ
ミラー３は、全反射ミラーであるにも拘らず、反射すべ
き光の僅かな量が該リヤミラー３によって反射されず
に、そのリヤミラー３を透過することは知られている。
そして、従来一般に、上記レーザ光線Ｌの出力を検出す
る場合には、フロントミラー２から放射されるレーザ光
線Ｌをモニタ光としてその出力を検出するか、あるいは
上記リヤミラー３を透過した僅かな漏光をモニタ光とし
てその出力を検出するようにしている。しかして、本発
明の第１実施例では、上記リヤミラー３を透過した僅か
な漏光をモニタ光ＭＬとして、レーザ光線Ｌの出力を検
出するようにしている。すなわち、上記モニタ光ＭＬの
光路上には、５０％反射ミラーからなるビームスプリッ
タ４を配設してあり、このビームスプリッタ４によって
上記モニタ光ＭＬを、直角方向に反射する第１モニタ光
ＭＬ１と、ビームスプリッタ４を透過する第２モニタ光
ＭＬ２とに分岐させるようにしている。このビームスプ
リッタ４によって分岐された両モニタ光ＭＬ１、ＭＬ２
には、上記紫外領域のレーザ光線Ｌだけでなく、それよ
りも波長が長い上述した励起光も混在している。上記第
１モニタ光ＭＬ１の光路上には第１検出器７を設けてあ
り、この第１検出器７によって、励起光を含んだ状態の
第１モニタ光ＭＬ１の出力を検出するようにしてあり、
該第１検出器７は検出した第１モニタ光ＭＬ１の出力値
を、後述する比較手段８に入力するようにしている。他
方、上記第２モニタ光ＭＬ２の光路上には、紫外領域の
レーザ光線の通過を阻止するフィルタ９を設けている。
そのため、フィルタ９を透過した後の第２モニタ光ＭＬ
２’は励起光だけによって構成されている。また、フィ
ルタ９を透過した後の第２モニタ光ＭＬ２’の光路上に
は、第１検出器７と同様の構成を備えた第２検出器１０
を配設してあり、この第２検出器１０によって、フィル
タ９を透過した後の第２モニタ光ＭＬ２’（励起光）の
出力を検出するとともに、第２検出器１０は、検出した
出力値を比較手段８に入力するようにしている。比較手
段８は差動増幅回路から構成してあり、上記両検出器
７，１０で検出した出力値を比較演算することによっ
て、励起光を除いた紫外領域のレーザ光線の正確な出力
を求めるようになっており、求めたレーザ光線の出力値
をモニタ手段１１に出力して、該モニタ手段１１によっ
て表示させるようにしている。上述のように、本実施例
では、フィルタ９を透過した励起光だけの第２モニタ光
ＭＬ２’を第２検出器１０によって出力を検出する一
方、励起光と紫外領域のレーザ光線とが混在した第１モ
ニタ光ＭＬ１を第１検出器７によって検出し、それらの
出力を比較手段８によって比較演算するようにしてい
る。そのため、励起光を完全に除去した正確な紫外領域
のレーザ光線の出力を検出することができる。これに対
して、従来では、上記フィルタ９が波長の短い光を除去
するという属性を備えている関係上、該フィルタ９によ
って紫外領域のレーザ光線が除去されて励起光だけが透
過されることになるので、フィルタ９を透過した後のモ
ニタ光ＭＬ２’をもとにしてレーザ光線の出力検出がで
きないため、上記フィルタ９を透過させることなく、励
起光を含んだモニタ光ＭＬを直接に検出器によって検出
していたものである。そのため、このような従来の装置
では、モニタ光ＭＬの中に励起光が含まれた状態で出力
検出が行われるので、レーザ光線の出力検出精度が悪く
なっていたものである。このような従来に対して、本実
施例によれば、正確な紫外領域のレーザ光線の出力を検
出できるので、上記従来と比較して出力値の検出精度を
向上させることができる。 （第２実施例）図２は、本発明の第２実施例を示したも
のであり、この第２実施例では、フィルタ１０９として
誘電体多層膜を用いるとともに、該フィルタ１０９とし
ての誘電体多層膜を、ビームスプリッタ１０４の裏面に
貼り付けたものである。その他の構成は上記第１実施例
と同じであり、上記第１実施例と対応する部材には１０
０を加算した部材番号を付している。このような第２実
施例の構成であっても、上記第１実施例と同様の効果を
得ることができる。 （第３実施例）図３は本発明の第３実施例を示したもの
であり、この第３実施例では、フロントミラー２０２か
ら放射されるレーザ光線Ｌの光路上に石英板２１３を配
設し、該石英板２１３によって直交方向に反射させたレ
ーザ光線の一部を、モニタ光ＭＬとして用いたものであ
る。その他の構成は上記第１実施例と同じであり、上記
第１実施例と対応する部材には２００を加算した部材番
号を付している。このような第３実施例の構成であって
も、上記した実施例と同様の効果を得ることができる。
と、図１において、１は紫外線領域のレーザ光線を発振
させるレーザ発振器であり、そのハウジング１ａのフロ
ント側には部分透過ミラーからなるフロントミラー２を
配設するとともに、これに対向させてハウジング１ａの
リヤ側には全反射ミラーからなるリヤミラー３を配設し
ている。上記ハウジング１ａ内には、レーザ光線を励起
する媒質としての、例えばレーザガスが充填されるとと
もに、ハウジング１ａ内におけるフロントミラー２とリ
ヤミラー３との中間の位置には図示しない電極を配設し
ている。そして、上記電極に高電圧を印加することによ
って、レーザ発振器１内で紫外線領域のレーザ光線Ｌを
励起するようにしてあり、励起されたレーザ光線Ｌは上
記両ミラー２，３によって反射増幅された後、フロント
ミラー２を透過してハウジング１ａの外部に放射される
ようになっている。上記レーザ発振器１によって紫外線
領域のレーザ光線Ｌを励起させる際には、該紫外線領域
のレーザ光線Ｌとともに、それよりも波長が長い励起光
が発生することは従来から周知である。また、上記リヤ
ミラー３は、全反射ミラーであるにも拘らず、反射すべ
き光の僅かな量が該リヤミラー３によって反射されず
に、そのリヤミラー３を透過することは知られている。
そして、従来一般に、上記レーザ光線Ｌの出力を検出す
る場合には、フロントミラー２から放射されるレーザ光
線Ｌをモニタ光としてその出力を検出するか、あるいは
上記リヤミラー３を透過した僅かな漏光をモニタ光とし
てその出力を検出するようにしている。しかして、本発
明の第１実施例では、上記リヤミラー３を透過した僅か
な漏光をモニタ光ＭＬとして、レーザ光線Ｌの出力を検
出するようにしている。すなわち、上記モニタ光ＭＬの
光路上には、５０％反射ミラーからなるビームスプリッ
タ４を配設してあり、このビームスプリッタ４によって
上記モニタ光ＭＬを、直角方向に反射する第１モニタ光
ＭＬ１と、ビームスプリッタ４を透過する第２モニタ光
ＭＬ２とに分岐させるようにしている。このビームスプ
リッタ４によって分岐された両モニタ光ＭＬ１、ＭＬ２
には、上記紫外領域のレーザ光線Ｌだけでなく、それよ
りも波長が長い上述した励起光も混在している。上記第
１モニタ光ＭＬ１の光路上には第１検出器７を設けてあ
り、この第１検出器７によって、励起光を含んだ状態の
第１モニタ光ＭＬ１の出力を検出するようにしてあり、
該第１検出器７は検出した第１モニタ光ＭＬ１の出力値
を、後述する比較手段８に入力するようにしている。他
方、上記第２モニタ光ＭＬ２の光路上には、紫外領域の
レーザ光線の通過を阻止するフィルタ９を設けている。
そのため、フィルタ９を透過した後の第２モニタ光ＭＬ
２’は励起光だけによって構成されている。また、フィ
ルタ９を透過した後の第２モニタ光ＭＬ２’の光路上に
は、第１検出器７と同様の構成を備えた第２検出器１０
を配設してあり、この第２検出器１０によって、フィル
タ９を透過した後の第２モニタ光ＭＬ２’（励起光）の
出力を検出するとともに、第２検出器１０は、検出した
出力値を比較手段８に入力するようにしている。比較手
段８は差動増幅回路から構成してあり、上記両検出器
７，１０で検出した出力値を比較演算することによっ
て、励起光を除いた紫外領域のレーザ光線の正確な出力
を求めるようになっており、求めたレーザ光線の出力値
をモニタ手段１１に出力して、該モニタ手段１１によっ
て表示させるようにしている。上述のように、本実施例
では、フィルタ９を透過した励起光だけの第２モニタ光
ＭＬ２’を第２検出器１０によって出力を検出する一
方、励起光と紫外領域のレーザ光線とが混在した第１モ
ニタ光ＭＬ１を第１検出器７によって検出し、それらの
出力を比較手段８によって比較演算するようにしてい
る。そのため、励起光を完全に除去した正確な紫外領域
のレーザ光線の出力を検出することができる。これに対
して、従来では、上記フィルタ９が波長の短い光を除去
するという属性を備えている関係上、該フィルタ９によ
って紫外領域のレーザ光線が除去されて励起光だけが透
過されることになるので、フィルタ９を透過した後のモ
ニタ光ＭＬ２’をもとにしてレーザ光線の出力検出がで
きないため、上記フィルタ９を透過させることなく、励
起光を含んだモニタ光ＭＬを直接に検出器によって検出
していたものである。そのため、このような従来の装置
では、モニタ光ＭＬの中に励起光が含まれた状態で出力
検出が行われるので、レーザ光線の出力検出精度が悪く
なっていたものである。このような従来に対して、本実
施例によれば、正確な紫外領域のレーザ光線の出力を検
出できるので、上記従来と比較して出力値の検出精度を
向上させることができる。 （第２実施例）図２は、本発明の第２実施例を示したも
のであり、この第２実施例では、フィルタ１０９として
誘電体多層膜を用いるとともに、該フィルタ１０９とし
ての誘電体多層膜を、ビームスプリッタ１０４の裏面に
貼り付けたものである。その他の構成は上記第１実施例
と同じであり、上記第１実施例と対応する部材には１０
０を加算した部材番号を付している。このような第２実
施例の構成であっても、上記第１実施例と同様の効果を
得ることができる。 （第３実施例）図３は本発明の第３実施例を示したもの
であり、この第３実施例では、フロントミラー２０２か
ら放射されるレーザ光線Ｌの光路上に石英板２１３を配
設し、該石英板２１３によって直交方向に反射させたレ
ーザ光線の一部を、モニタ光ＭＬとして用いたものであ
る。その他の構成は上記第１実施例と同じであり、上記
第１実施例と対応する部材には２００を加算した部材番
号を付している。このような第３実施例の構成であって
も、上記した実施例と同様の効果を得ることができる。
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較して紫外領域のレーザ光線の出力検出の精度を向上
させることができるという効果が得られる。
比較して紫外領域のレーザ光線の出力検出の精度を向上
させることができるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す配置図
【図２】本発明の第２実施例を示す配置図
【図３】本発明の第３実施例を示す配置図
１ レーザ発振器 ４ ビームスプリッタ ７ 第１検出器 ８ 比較手段 ９ フィルタ １０ 第２検出器 Ｌ レーザ光線 ＭＬ モニタ光
フロントページの続き (72)発明者 上田 浩司 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷工 業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 紫外領域のレーザ光線を発振するレーザ
発振器から取出したモニタ光をもとにレーザ光線の出力
を検出する出力検出装置であって、 上記モニタ光をさらに２方向に分岐させるビームスプリ
ッタと、上記ビームスプリッタによって分岐された一方
のモニタ光の出力を検出する第１検出器と、上記ビーム
スプリッタによって分岐された他方のモニタ光の光路上
に配設されて紫外領域のレーザ光線の通過を阻止するフ
ィルタと、上記フィルタを透過したモニタ光の出力を検
出する第２検出器と、上記第１検出器と第２検出器とで
検出した出力を比較し、それら出力の差を求めて出力す
る比較手段とを備えることを特徴とするレーザ光線の出
力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17202592A JPH05340809A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | レーザ光線の出力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17202592A JPH05340809A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | レーザ光線の出力検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340809A true JPH05340809A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15934131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17202592A Pending JPH05340809A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | レーザ光線の出力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05340809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100477124B1 (ko) * | 1997-08-01 | 2005-06-07 | 삼성전자주식회사 | 인-라인 식각 모니터링 장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57131024A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Nec Corp | Measuring device for laser energy |
| JPH0159834B2 (ja) * | 1982-07-12 | 1989-12-19 | Kansai Denryoku Kk |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP17202592A patent/JPH05340809A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57131024A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Nec Corp | Measuring device for laser energy |
| JPH0159834B2 (ja) * | 1982-07-12 | 1989-12-19 | Kansai Denryoku Kk |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100477124B1 (ko) * | 1997-08-01 | 2005-06-07 | 삼성전자주식회사 | 인-라인 식각 모니터링 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980428 |