JPH0534105Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0534105Y2 JPH0534105Y2 JP19372885U JP19372885U JPH0534105Y2 JP H0534105 Y2 JPH0534105 Y2 JP H0534105Y2 JP 19372885 U JP19372885 U JP 19372885U JP 19372885 U JP19372885 U JP 19372885U JP H0534105 Y2 JPH0534105 Y2 JP H0534105Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recognition
- entire surface
- illuminance
- amount
- light
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、ICトランジスタ等の半導体部品の
外観検査を施す装置に関するものである。
外観検査を施す装置に関するものである。
従来の技術
従来の外観検査装置のパツケージ外観認識（ボ
イド、欠け、損傷、汚れ）は、第２図の概要構成
断面図で示される装置により、目視観察によつて
なされている。１はデバイス２を照明する照明装
置、３はデバイスガイドカバー、４はデバイス搬
送レールである。
イド、欠け、損傷、汚れ）は、第２図の概要構成
断面図で示される装置により、目視観察によつて
なされている。１はデバイス２を照明する照明装
置、３はデバイスガイドカバー、４はデバイス搬
送レールである。
考案が解決しようとする問題点
このような従来の構成では、デバイスへの光の
照射状態が均一にならず、特に第３図に示す額縁
部分９においては照射状態が不均一であり、その
他の部分と同様な認識画像照度が得られなかつ
た。画像の状態は画像の明暗に大きく影響される
為に第２図における照射状態でＡ領域は照度が高
く、Ｂ領域は低い照度を示すような従来の構成で
は精度の高い認識による検査はできなかつた。
照射状態が均一にならず、特に第３図に示す額縁
部分９においては照射状態が不均一であり、その
他の部分と同様な認識画像照度が得られなかつ
た。画像の状態は画像の明暗に大きく影響される
為に第２図における照射状態でＡ領域は照度が高
く、Ｂ領域は低い照度を示すような従来の構成で
は精度の高い認識による検査はできなかつた。
例えば第４図に示すように、額縁部分９には、
しばしば、ボイド１０（樹脂封止の際、樹脂流れ
の状態によつて発生する巣穴、小孔）などのよう
な外観不良を生じ易いが、従来の外観検査装置の
ように表面状態が暗い中ではこれを認識するのが
困難である。
しばしば、ボイド１０（樹脂封止の際、樹脂流れ
の状態によつて発生する巣穴、小孔）などのよう
な外観不良を生じ易いが、従来の外観検査装置の
ように表面状態が暗い中ではこれを認識するのが
困難である。
本考案は、かかる点に鑑みてなされたもので簡
易な構成でデバイスに対して光の照射状態を調整
し、デバイス全表面の照度を均一にして非常に高
い認識精度を得ることができる外観検査装置を提
供するものである。
易な構成でデバイスに対して光の照射状態を調整
し、デバイス全表面の照度を均一にして非常に高
い認識精度を得ることができる外観検査装置を提
供するものである。
問題点を解決するための手段
本考案の装置は、デバイスの全表面に均一な照
度をつくりだす適正光量にするための角度調整可
能な平面鏡の反射板を設け、同反射板が前記デバ
イスと照明装置の間であつて、前記デバイスの全
表面を側面から照らす位置に配置されたものであ
る。
度をつくりだす適正光量にするための角度調整可
能な平面鏡の反射板を設け、同反射板が前記デバ
イスと照明装置の間であつて、前記デバイスの全
表面を側面から照らす位置に配置されたものであ
る。
作 用
上記反射板の設定により、デバイス全表面に対
する光量調整が反射板の角度調整のみでデバイス
全表面の認識状態を均一にすることができるよう
になる。
する光量調整が反射板の角度調整のみでデバイス
全表面の認識状態を均一にすることができるよう
になる。
実施例
第１図は本考案実施例のIC外観検査装置の概
要構成断面図である。第１図において７はピン６
と嵌合され前記ピン６を中心として回動可能でか
つ、反射板８を保持する角度調整板、５はピン６
と嵌合し前記角度調整板７を支持する支持板でデ
バイスのガイドレールカバー３に固定されてい
る。１は画像認識において撮像可能な光量を有す
る照明装置である。
要構成断面図である。第１図において７はピン６
と嵌合され前記ピン６を中心として回動可能でか
つ、反射板８を保持する角度調整板、５はピン６
と嵌合し前記角度調整板７を支持する支持板でデ
バイスのガイドレールカバー３に固定されてい
る。１は画像認識において撮像可能な光量を有す
る照明装置である。
上記構成により照明装置１の光量を調整する反
射板８の角度調整を行い、デバイス２の全表面状
態の画像認識する際の照度を全て均一にならし
め、精度の高いパツケージ認識が得られるもので
ある。尚、本実施例は２方向からの光量調整であ
るが、さらに多方向から光量調整すればデバイス
全表面のより良い均一照度が得られるのはいうま
でもない。但し、実験により２方向でも認識には
十分なデバイス表面の均一照度が得られている。
射板８の角度調整を行い、デバイス２の全表面状
態の画像認識する際の照度を全て均一にならし
め、精度の高いパツケージ認識が得られるもので
ある。尚、本実施例は２方向からの光量調整であ
るが、さらに多方向から光量調整すればデバイス
全表面のより良い均一照度が得られるのはいうま
でもない。但し、実験により２方向でも認識には
十分なデバイス表面の均一照度が得られている。
考案の効果
このように本考案は、通常の照明では影になる
部分にも反射板を利用することにより、その他の
部分と同様な表面の照度をつくりだし、認識部分
を全て均一照度にすることにより、照明系に左右
されたデバイス表面の明暗による誤認識をなくし
パツケージのボイド、欠け、損傷、汚れ等の本当
に検査したいものだけの外観検査を可能にしたも
ので実用的にきわめて有用である。
部分にも反射板を利用することにより、その他の
部分と同様な表面の照度をつくりだし、認識部分
を全て均一照度にすることにより、照明系に左右
されたデバイス表面の明暗による誤認識をなくし
パツケージのボイド、欠け、損傷、汚れ等の本当
に検査したいものだけの外観検査を可能にしたも
ので実用的にきわめて有用である。
第１図は本考案一実施例装置の概要構成断面
図、第２図は従来例装置の概要構成断面図、第３
図は第２図の矢印Ｙの方向からみた平面図、第４
図は第３図のデバイス拡大図における額縁部分の
中のボイド状態を示す平面図である。 １……照明装置、２……デバイス、３……デバ
イスガイドレールカバー、４……搬送レール、５
……支持板、６……ピン、７……角度調整板、８
……反射板。
図、第２図は従来例装置の概要構成断面図、第３
図は第２図の矢印Ｙの方向からみた平面図、第４
図は第３図のデバイス拡大図における額縁部分の
中のボイド状態を示す平面図である。 １……照明装置、２……デバイス、３……デバ
イスガイドレールカバー、４……搬送レール、５
……支持板、６……ピン、７……角度調整板、８
……反射板。
Claims (1)
- デバイスを撮像するために必要な光量を提供す
る照明装置と、前記デバイスに照射する光量を調
整する角度が可変である平面鏡の反射板とを備え
るとともに、同反射板が前記デバイスと前記照明
装置の間であつて、前記デバイスの全表面を側面
から照らす位置に配置されていることを特徴とす
るIC外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19372885U JPH0534105Y2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19372885U JPH0534105Y2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101232U JPS62101232U (ja) | 1987-06-27 |
| JPH0534105Y2 true JPH0534105Y2 (ja) | 1993-08-30 |
Family
ID=31150024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19372885U Expired - Lifetime JPH0534105Y2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534105Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP19372885U patent/JPH0534105Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62101232U (ja) | 1987-06-27 |
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