JPH0534109Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、チヤツク装置に関し、特にローテー
シヨン機構を有するチヤツク装置に関する。

［従来の技術］ 従来、この種のチヤツク装置は、第３及び第４
図に示すように、中央に円形状の凹部を設けたチ
ヤツク支持台２と、そのチヤツク支持台２の凹部
に遊挿して、その底に載置された円形状のチヤツ
ク１と、外部からチヤツク支持台２の凹部の底を
貫通してチヤツクを回転させるDCモータ４とを
設けると共に、チヤツク支持台２の凹部の側壁と
円形状のチヤツク１の外周面との間隙にボールベ
アリング３を組入れ、又は、チヤツク支持台２の
凹部の底とチヤツク１の下面と間にロールベアリ
ング５を設けることにより、チヤツク１のローテ
ーシヨンを調整を実現していた。

しかしながら、ボールベアリング及びロールベ
アリングの使用においては、ベアリングの摩擦駆
動による発塵の問題がある。

このため、近年では、ボール及びロールベアリ
ングに代えて、エアーベアリングを採用するよう
になつている。

［考案が解決しようとする課題］ ところが、上述したエアーベアリングでは、そ
の剛性が低いため、チヤツク装置の移動に際し
て、振動しやすく、しかも、静止に時間がかかる
という欠点を有していた。

そこで、本考案の技術的課題は、上記欠点に鑑
み、発塵のない、しかも、剛性の高いローテーシ
ヨン機構を有するチヤツク装置に関する。

［課題を解決するための手段］ 本考案によれば、互いに対向する第１及び第２
の端面を有し、該第１の端面上にウエハを固定す
る円柱状のチヤツク部材と、前記第２の面を乗せ
受けて、前記チヤツク部材を回転自在に支持する
チヤツク支持部材とを有するチヤツク装置におい
て、振動体と該振動体の振動により回転する移動
体とを有する超音波モータを、前記第２の面と前
記チヤツク支持部材との間に設け、前記移動体上
に前記第２の面を面接触させて、チヤツク部材を
回転自在に支持し、一方、前記移動体を臨み前記
第２の面に開口する真空吸着用のエア配管部を、
前記チヤツク部材に設けたことを特徴とするチヤ
ツク装置が得られる。

また、本考案によれば、前記チヤツク支持部材
に、前記円柱状のチヤツク部材の外周面を離間し
て囲周する側壁部を設け、該側壁部と前記外周部
部との間隙を磁性流体で密封したことを特徴とす
るチヤツク装置が得られる。

なお、前記第２の面には、電磁石部材を備える
ことが好ましい。

［実施例］ 次に、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

第１図に示すとおり、１は円柱状のチヤツクで
あり、上面にウエハを搭載するものである。２は
チヤツク支持台であり、チヤツク１を遊挿する凹
部を設けてある。その凹部の底には、振動体と該
振動体の振動により回転する移動体とから構成さ
れる超音波モータ６が設置されており、移動体と
チヤツク１の下面とが面接触するように配置され
ている。また、凹部の側壁とチヤツク１の外周と
の間隙は、発塵の外部への拡散を防止するため
に、磁性流体１０を用いて密封されている。凹部
の側壁とチヤツク１の外周には永久磁石９が備え
られ、これにより、磁性流体１０が保持されてい
る。

第２図ａ，ｂに示すように、チヤツク１の下面
には、超音波モータ６の移動体に臨みチヤツク１
の下面に開口する真空吸着用のエア配管部８が、
同芯円状に配列されて、外部に設けられた図示し
ない真空ポンプ等と接続されて、バキユーム機構
を構成している。係るバキユーム機構を用いて、
脱気することにより、チヤツク１とチヤツク支持
台２とが超音波モータ６を介して真空吸着され
る。また、エア配管部８に並行して、電磁石群７
がチヤツク１の下面に設けられている。

これにより、超音波モータ６にチヤツク１の下
面を面接触させた状態で、ローテーシヨン調整を
行うことができるから、ローテーシヨン調整後
に、電磁力、或は、エア配管部８を通した真空吸
着により、チヤツク１とチヤツク支持台２とを吸
着固定しても、ローテーシヨン調整の狂いを生じ
させることがない。よつて、チヤツク１とチヤツ
ク支持台２とを真空吸着及び電磁力により一体化
し、チヤツク装置の移動に際しても、ローテーシ
ヨン調整の狂い等を防止した高い剛性を実現する
ことがきる。なお、チヤツク装置を縦型に使用す
る場合には、電磁石群７の電磁力を使用すること
により、ローテーシヨン調整時におけるチヤツク
１の逸脱を有効に防止することができる。

次に、ローテーシヨン調整の具体的な手順につ
いて説明する。

まず、電磁石７に通電して、その電磁力によ
りチヤツク１とチヤツク支持台２とが離れない
ように保持しつつ、超音波モータ６を駆動し
て、ローテーシヨン調整を行う。

ローテーシヨン終了後、バキユーム機構を稼
働させて、その真空吸着力と電磁力との共働に
より、チヤツク１とチヤツク支持台２とを高い
剛性で固定する。

最後に、チヤツク装置の移動を行う。

尚、係る作業において、超音波モータの摩擦駆
動による発塵は、磁性流体により、シールドされ
ているため、外部には発散しない。

［考案の効果］ 以上の説明のとおり、本考案によれば、チヤツ
ク支持台に設けた超音波モータの移動体とチヤツ
クの下面とを面接触させ、かつ、チヤツクの下面
に真空吸着用のエア配管部を開口させ、或は、電
磁石を設けたから、チヤツクとチヤツク支持台と
を高い剛性で一体に固定することができる。ま
た、チヤツクの外周面を囲周する側壁部をチヤツ
ク支持台に設けて、側壁部とチヤツク外周面との
間隙を磁性流体で密封したから、超音波モータの
摩擦駆動による発塵の外部への発散を防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す模式断面図、
第２図ａ，ｂは第１図のチヤツクの底面図及び模
式断面図、第３図及び第４図は従来のチヤツク装
置の模式断面図である。 １……チヤツク、２……チヤツク支持台、６…
…超音波モータ、７……電磁石、８……エア配
管、９……永久磁石、１０……磁性流体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 互いに対向する第１及び第２の端面を有し、
   該第１の端面上にウエハを固定する円柱状のチ
   ヤツク部材と、前記第２の面を乗せ受けて、前
   記チヤツク部材を回転自在に支持するチヤツク
   支持部材とを有するチヤツク装置において、 振動体と該振動体の振動により回転する移動
   体とを有する超音波モータを、前記第２の面と
   前記チヤツク支持部材との間に設け、前記移動
   体上に前記第２の面を面接触させて、チヤツク
   部材を回転自在に支持し、 一方、前記移動体を臨み前記第２の面に開口
   する真空吸着用のエア配管部を、前記チヤツク
   部材に設けたことを特徴とするチヤツク装置。 ２ 第１請求項記載のチヤツク装置において、前
   記チヤツク支持部材に、前記円柱状のチヤツク
   部材の外周面を離間して囲周する側壁部を設
   け、該側壁部と前記外周部部との間隙を磁性流
   体で密封したことを特徴とするチヤツク装置。 ３ 第１及び第２請求項記載のいずれかのチヤツ
   ク装置において、前記第２の面に、電磁石部材
   を備えたことを特徴とするチヤツク装置。