JPH05343341A - 熱処理炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、反応管内への不純物の侵入を防止
することができる熱処理炉を提供する。 【構成】 本発明の熱処理炉１は、内部に熱処理領域３
を形成するとともに壁部に反応ガス通過穴４を設けられ
た石英製の反応管５に対し、反応ガス導入管８により反
応ガスを送り、反応管５内で反応した後の反応ガスを反
応ガス通過穴４から反応ガス導入領域６に導き、反応管
５の外周を反応ガスで包囲するようにしたものである。
この構成により、反応管壁を透過して侵入する不純物成
分は存在しなくなり、熱処理領域３において高清浄度の
反応ガスを用いた熱処理を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱処理炉に関し、より
詳しくは、石英製の反応管を備えた熱処理炉に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、石英製の反応管を有する熱処理炉
は、シリコンウエハ等の基板処理を行う反応ガスを導入
するための反応管が外部雰囲気、即ち、炉内大気雰囲気
にさらされ、反応管内部の基板処理領域は反応管の壁の
みによって外部雰囲気と隔てられた構造となっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、石英は材質
的に高温時において反応ガスを透過しやすい性質を持っ
ており、このため、従来装置の構造では、高温時におい
て前記反応管の壁を透過して基板処理領域中に外部雰囲
気に混在する不純物が侵入し基板処理領域中の反応ガス
の清浄度を悪化させてしまうという問題があった。

【０００４】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、反応管内への不純物の侵入を防止することがで
きる熱処理炉を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の熱処理炉は、内部に熱処理領域を形成すると
ともに壁部に反応ガス通過穴を設けた石英製の反応管
と、該反応管の外周に反応ガス導入領域を形成しつつ前
記反応管の外周部を覆う外部管と、前記反応管内に反応
ガスを送る反応ガス導入管とを有し、前記反応管内で反
応した後の反応ガスを前記反応ガス通過穴から前記外部
管の前記反応ガス導入領域に導き、前記反応管外周を反
応ガスで包囲するように構成したことを特徴とするもの
である。

【０００６】

【作用】上述した構成の熱処理炉によれば、反応管の周
囲は常にこの反応管内の反応ガス雰囲気とほとんど組成
の変らない反応後のガスによって満たされるため、反応
管の壁を透過して侵入する不純物成分は存在しなくな
り、前記熱処理領域において高清浄度の反応ガスを用い
た熱処理を行うことができる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の一実施例である熱処理装置に
ついて図面を参照しながら説明する。図１は本発明の一
実施例である熱処理炉の概略断面図ある。本実施例の熱
処理炉１は、石英製の基台２と、筒状で頂部が閉塞され
た石英製の反応管５と、反応管５と略同形状で内径の大
きい外部管７と、反応管５内に反応ガスを送る石英製の
反応ガス導入管８とを有している。尚、図１では、説明
の簡略化のため、従来装置と同じである、反応管５を加
熱する発熱体や反応ガス供給源等は省略してある。

【０００８】反応管５は、基台２上に配置され、内部に
シリコンウエハ等の処理基板９を配置する熱処理領域３
が形成されているとともに、壁部の一部に反応ガス通過
穴４が設けられている。外部管７は、反応管５の外周に
沿って反応ガス導入領域６を形成するように反応管５の
外周部を覆っている。また、外部管７の頂部には、反応
ガスを炉外に排出する排出管７ｂが設けられている。反
応管５及び外部管７の各底部は、フランジ５ａ，７ａに
より基台２上に密着させている。

【０００９】反応ガス導入管８は、外部管７を貫通して
反応管５内に挿通され、さらに反応管５で垂直上方向に
立ち上げられている。反応ガス導入管８の垂直方向に立
ち上げられた部分には、任意数の放出口８ａが形成さ
れ、この放出口８ａから、熱処理領域３に図示しない反
応ガス供給源からの反応ガスが放出される。

【００１０】上述した構成の熱処理炉１によれば、外部
管７の外周に沿って配置された発熱体（不図示）により
熱処理領域３を所定の温度に昇温するとともに、図示し
ない反応ガス供給源から反応ガスが反応ガス導入管８に
送られ、反応ガス導入管８の各放出口８ａから反応管５
内の熱処理領域３に放出される。放出された反応ガス
は、処理基板９に対して反応した後、反応ガス通過穴４
から外部管７が形成する反応ガス導入領域６内に至り、
反応管５の外周を包囲する。

【００１１】この結果、反応管５の外部雰囲気は、反応
処理終了後の反応ガス雰囲気で満たされることになり、
反応管５内外の反応ガスの組成はほとんど同じとなり、
反応管５の管壁を透過する不純物成分は存在せず、反応
管５内は常に清浄な反応ガス成分のみとなる。

【００１２】上記の本実施例によれば、熱処理終了後の
反応ガスを反応管５の包囲用に再利用するため経済性も
高いという利点がある。さらに、外部管７の管壁を透過
する外部雰囲気成分は、排出管７ａから反応処理後の反
応ガスとともに排出されるため、反応管５内に透過侵入
することは皆無となる。

【００１３】本発明は、上述した実施例のほか、その要
旨の範囲内で種々の変形が可能である。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、反
応管の外周を反応後の反応ガスで覆うことにより、反応
管内への不純物成分の透過侵入を防ぐことができ、高清
浄の反応ガスによる熱処理を行うことが可能な熱処理炉
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である熱処理炉の概略断面図
である。

【符号の説明】

１ 熱処理炉 ２ 基台 ３ 熱処理領域 ４ 反応ガス通過穴 ５ 反応管 ６ 反応ガス導入領域 ７ 外部管 ８ 反応ガス導入管

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に熱処理領域を形成するとともに壁
   部に反応ガス通過穴を設けた石英製の反応管と、該反応
   管の外周に反応ガス導入領域を形成しつつ前記反応管の
   外周部を覆う外部管と、前記反応管内に反応ガスを送る
   反応ガス導入管とを有し、前記反応管内で反応した後の
   反応ガスを前記反応ガス通過穴から前記外部管の前記反
   応ガス導入領域に導き、前記反応管外周を反応ガスで包
   囲するように構成したことを特徴とする熱処理炉。