JPH0535313B2 - - Google Patents
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- JPH0535313B2 JPH0535313B2 JP59214744A JP21474484A JPH0535313B2 JP H0535313 B2 JPH0535313 B2 JP H0535313B2 JP 59214744 A JP59214744 A JP 59214744A JP 21474484 A JP21474484 A JP 21474484A JP H0535313 B2 JPH0535313 B2 JP H0535313B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve seat
- hole
- poppet
- guide hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電磁操作力、機械的操作力あるいは
流体圧力の操作力により流体の流れを制御する方
向切換弁に関する。
流体圧力の操作力により流体の流れを制御する方
向切換弁に関する。
（従来技術と問題点）
従来、このような方向切換弁には、例えば実開
昭54−87434号のようなポペツト弁が知られてい
る。ところがこの構造においては、シール作用を
なすポペツト２１を円錐面20に形成しているた
め、このようなポペツト弁のみで４方弁などの多
方弁を構成しようとすると、複数の円錐面が同時
シールしなければならず、そのため複数の円錐面
20間の寸法を正確に構成する必要があり、実質的
に製作が困難であり、そのためこの実開昭54−
87434号に示すように一方の弁部を円筒面２２を
有するスプール２３とし、バルブシート９とでシ
ールさせるスプール弁としてポペツト弁との複合
構造にして多方弁を達成している。また、こうい
つた方向切換弁は、最近特に小型化の一途をたど
つており、ハイテク産業と呼ばれている半導体分
野での利用が増大してきている。このため、半導
体製造装置用小型方向切換弁として無潤滑によ
る長期使用排気処理の容易さより大流量を流
せて大きなアクチユエータを作動可能なことなど
が条件として要求されている。
昭54−87434号のようなポペツト弁が知られてい
る。ところがこの構造においては、シール作用を
なすポペツト２１を円錐面20に形成しているた
め、このようなポペツト弁のみで４方弁などの多
方弁を構成しようとすると、複数の円錐面が同時
シールしなければならず、そのため複数の円錐面
20間の寸法を正確に構成する必要があり、実質的
に製作が困難であり、そのためこの実開昭54−
87434号に示すように一方の弁部を円筒面２２を
有するスプール２３とし、バルブシート９とでシ
ールさせるスプール弁としてポペツト弁との複合
構造にして多方弁を達成している。また、こうい
つた方向切換弁は、最近特に小型化の一途をたど
つており、ハイテク産業と呼ばれている半導体分
野での利用が増大してきている。このため、半導
体製造装置用小型方向切換弁として無潤滑によ
る長期使用排気処理の容易さより大流量を流
せて大きなアクチユエータを作動可能なことなど
が条件として要求されている。
この点で実開昭54−87434号においては、スプ
ール弁としての摺動部分を有すると共に、両端側
にパツキン１９を設けた摺動軸１６が押さえ金具
１３内を摺動するよう構成している。即ち摺動部
があり、しかもパツキンを用いているので無潤滑
状態での使用が不可能であり、仮に無潤滑状態で
使用したとしても、その耐久寿命は極度に低下す
るものであり、更に、排気中に含まれる油分、水
分などが環境の点で問題となるため、排気を１つ
にまとめて集中排気をしようとするには、多方弁
としての排気口となる４と６を連通する通路を基
台１内へ設けなければならず、小型弁では形状の
上で余裕が無いと共に、連通する通路を基台１内
へ設けたとしても、逆に排気圧力による圧力バラ
ンスがとれず弁作動が安定しないものだつた。ま
た、摺動部分をなくした多方弁としては、実開昭
56−5874号のような２つの独立したポペツト弁で
構成された４方弁が知られているが、この構造に
おいては、摺動部分がないので無潤滑状態での使
用が可能であり、しかもスプール弁とポペツト弁
との複合構造である前記実開昭54−87434号に示
されている多方弁と比較して長手方向に小型化す
ることが可能である半面、可動鉄心の作動によつ
て第１の弁体が切り換えられたときの圧力を、パ
イロツト圧として第２の弁体の押圧機構へ加えて
第２の弁体を切り換えているため、２つの弁体の
切り換え動作にズレが生じてしまう。即ち、ソレ
ノイドをONさせてから第２の弁体が切り換わる
までに第１の弁体の比較して余分に時間がかかる
ので、アクチユエータを接続して作動させた場合
にそれだけ動作が遅れる。これはアクチユエータ
の容量が大きくなればなる程顕著になるものであ
つて、そのためサイクルタイムが長くなるなどの
欠点があつた。このことは半導体製造装置など大
量生産する場合には、時に致命的な欠点になる恐
れがあるものである。
ール弁としての摺動部分を有すると共に、両端側
にパツキン１９を設けた摺動軸１６が押さえ金具
１３内を摺動するよう構成している。即ち摺動部
があり、しかもパツキンを用いているので無潤滑
状態での使用が不可能であり、仮に無潤滑状態で
使用したとしても、その耐久寿命は極度に低下す
るものであり、更に、排気中に含まれる油分、水
分などが環境の点で問題となるため、排気を１つ
にまとめて集中排気をしようとするには、多方弁
としての排気口となる４と６を連通する通路を基
台１内へ設けなければならず、小型弁では形状の
上で余裕が無いと共に、連通する通路を基台１内
へ設けたとしても、逆に排気圧力による圧力バラ
ンスがとれず弁作動が安定しないものだつた。ま
た、摺動部分をなくした多方弁としては、実開昭
56−5874号のような２つの独立したポペツト弁で
構成された４方弁が知られているが、この構造に
おいては、摺動部分がないので無潤滑状態での使
用が可能であり、しかもスプール弁とポペツト弁
との複合構造である前記実開昭54−87434号に示
されている多方弁と比較して長手方向に小型化す
ることが可能である半面、可動鉄心の作動によつ
て第１の弁体が切り換えられたときの圧力を、パ
イロツト圧として第２の弁体の押圧機構へ加えて
第２の弁体を切り換えているため、２つの弁体の
切り換え動作にズレが生じてしまう。即ち、ソレ
ノイドをONさせてから第２の弁体が切り換わる
までに第１の弁体の比較して余分に時間がかかる
ので、アクチユエータを接続して作動させた場合
にそれだけ動作が遅れる。これはアクチユエータ
の容量が大きくなればなる程顕著になるものであ
つて、そのためサイクルタイムが長くなるなどの
欠点があつた。このことは半導体製造装置など大
量生産する場合には、時に致命的な欠点になる恐
れがあるものである。
（解決しようとする技術的課題）
本発明の課題は、無潤滑による長期使用が可能
で排気処理が容易で且つ弁作動の安定した小型方
向切換弁を得ることにある。
で排気処理が容易で且つ弁作動の安定した小型方
向切換弁を得ることにある。
（発明の構成）
上記技術的課題を解決するために講じた技術的
手段は、ポペツト弁のみで多方弁を構成すると共
に、更にポペツト弁を構成する可動部材内へ連通
路を設けて排気通路を連通構成したことである。
手段は、ポペツト弁のみで多方弁を構成すると共
に、更にポペツト弁を構成する可動部材内へ連通
路を設けて排気通路を連通構成したことである。
（発明の実施例）
以下、この発明を電磁方向切換弁に適用した場
合の実施例を第１図〜第２図について説明してい
く。
合の実施例を第１図〜第２図について説明してい
く。
第１図に示すように本発明の方向切換弁は、主
弁部Ｖと電磁石部Ｍとから構成されており、主弁
部Ｖは弁本体１とこの弁本体１内へ内蔵した弁部
２とこの弁本体１下部へ装着される基台３とを有
している。弁本体１は長手方向中央を貫通した案
内孔１１とその両端面から同心で大径の座ぐり孔
１２，１３とを有しており、その底面にそれぞれ
該案内孔１１の直径より大きい直径で環状弁座１
４，１５が突出形成されている。そしてこの弁本
体１の下部面から複数の通口即ち供給口Ｐと２つ
の接続口Ａ，Ｂと２つの排気口Ｒ１，Ｒ２が前記
案内孔１１および座ぐり孔１２，１３内へ貫通形
成してあり、４方弁の通口をなしている。以上の
構造を有する弁本体へ内蔵する弁部２は、前記弁
本体１の案内孔１１へ滑合すると共に内部軸心へ
貫通孔２１ａを有する軸部２１とを、軸部２１の
両側へ圧入してなるポペツト２２，２３と、更に
弁本体１の座ぐり孔１２，１３内へねじ込まれて
所定位置で固定される弁座体２４および２５とを
有しており、このポペツト２２，２３は弁本体１
の座ぐり孔１２，１３内に配置されると共に、両
端面の環状溝内へゴムなどのシール材が焼付けな
どにより装着した弁シート２２ａ，２２ｂおよび
２３ａ，２３ｂを有している。弁座体２４および
２５は、前端面へ環状弁座２４ａ，２５ａを突出
形成しておりポペツト２２，２３の弁シートとの
間で弁作用をする。更に弁部２を構成する軸部２
１の外周は、第２図に示すように軸方向に４つの
溝２１ｂが等間隔で形成されて流体通路を構成し
ている。この弁座体２４および２５は外周１ケ所
へ各々Ｏリング９ａ，９ｂを装着しており、環状
弁座側から外周側へ通じる孔２４ｂおよび２５ｂ
を有しそれぞれ排気口Ｒ１，Ｒ２とを接続されて
いる。また、ポペツト２２の弁シート２２ａ側端
面と弁座体２４との間には圧縮ばね６が張設さ
れ、弁部２を一方へ押圧している。以上の構造
上、ポペツト２２側で第１の弁、ポペツト２３側
で第２の弁を構成しているものである。基台３は
上面に弁本体１の各通口Ｐ，Ａ，Ｂ，Ｒ１および
Ｒ２に接続する通口をそれぞれ形成しており、側
面へ１ケあて開口している。なお、Ｒ１およびＲ
２については取付状態に応じてどちらか一方のみ
開口形成されるものであり、この基台３は弁本体
１に対してパツキング７を介してねじなど（図示
せず）により固定される。前述した軸部２１の貫
通孔２１ａは、２つの排気口を連通して共通化す
るためだけでなく、後述するように弁部の圧力バ
ランスをとるために有効である。
弁部Ｖと電磁石部Ｍとから構成されており、主弁
部Ｖは弁本体１とこの弁本体１内へ内蔵した弁部
２とこの弁本体１下部へ装着される基台３とを有
している。弁本体１は長手方向中央を貫通した案
内孔１１とその両端面から同心で大径の座ぐり孔
１２，１３とを有しており、その底面にそれぞれ
該案内孔１１の直径より大きい直径で環状弁座１
４，１５が突出形成されている。そしてこの弁本
体１の下部面から複数の通口即ち供給口Ｐと２つ
の接続口Ａ，Ｂと２つの排気口Ｒ１，Ｒ２が前記
案内孔１１および座ぐり孔１２，１３内へ貫通形
成してあり、４方弁の通口をなしている。以上の
構造を有する弁本体へ内蔵する弁部２は、前記弁
本体１の案内孔１１へ滑合すると共に内部軸心へ
貫通孔２１ａを有する軸部２１とを、軸部２１の
両側へ圧入してなるポペツト２２，２３と、更に
弁本体１の座ぐり孔１２，１３内へねじ込まれて
所定位置で固定される弁座体２４および２５とを
有しており、このポペツト２２，２３は弁本体１
の座ぐり孔１２，１３内に配置されると共に、両
端面の環状溝内へゴムなどのシール材が焼付けな
どにより装着した弁シート２２ａ，２２ｂおよび
２３ａ，２３ｂを有している。弁座体２４および
２５は、前端面へ環状弁座２４ａ，２５ａを突出
形成しておりポペツト２２，２３の弁シートとの
間で弁作用をする。更に弁部２を構成する軸部２
１の外周は、第２図に示すように軸方向に４つの
溝２１ｂが等間隔で形成されて流体通路を構成し
ている。この弁座体２４および２５は外周１ケ所
へ各々Ｏリング９ａ，９ｂを装着しており、環状
弁座側から外周側へ通じる孔２４ｂおよび２５ｂ
を有しそれぞれ排気口Ｒ１，Ｒ２とを接続されて
いる。また、ポペツト２２の弁シート２２ａ側端
面と弁座体２４との間には圧縮ばね６が張設さ
れ、弁部２を一方へ押圧している。以上の構造
上、ポペツト２２側で第１の弁、ポペツト２３側
で第２の弁を構成しているものである。基台３は
上面に弁本体１の各通口Ｐ，Ａ，Ｂ，Ｒ１および
Ｒ２に接続する通口をそれぞれ形成しており、側
面へ１ケあて開口している。なお、Ｒ１およびＲ
２については取付状態に応じてどちらか一方のみ
開口形成されるものであり、この基台３は弁本体
１に対してパツキング７を介してねじなど（図示
せず）により固定される。前述した軸部２１の貫
通孔２１ａは、２つの排気口を連通して共通化す
るためだけでなく、後述するように弁部の圧力バ
ランスをとるために有効である。
以上において、ポペツト２２の弁シート２２
ａ，２２ｂと、弁座体２４の環状弁座２４ａおよ
び弁本体１の環状弁座１４とで第１の弁部を構成
しており、且つポペツト２３の弁シート２３ａ，
２３ｂと、弁座体２５の環状弁座２５ａおよび弁
本体１の環状弁座１５とで第２の弁部を構成す
る。
ａ，２２ｂと、弁座体２４の環状弁座２４ａおよ
び弁本体１の環状弁座１４とで第１の弁部を構成
しており、且つポペツト２３の弁シート２３ａ，
２３ｂと、弁座体２５の環状弁座２５ａおよび弁
本体１の環状弁座１５とで第２の弁部を構成す
る。
次に、電磁石部Ｍについて説明すると、この電
磁石部Ｍは直流ソレノイドを示しており、弁本体
１の一端面へ取りつけられた下側ヨーク１００お
よび内部へコイル１０１を保持した外筒ヨーク１
０２と、端部に位置する上側ヨーク１０３と、更
に該コイル内に挿入した駆動部材である可動鉄心
１０４および上側ヨーク１０３へ調整可能に装置
され可動鉄心１０４が衝接する固定鉄心１０５と
を有しているものである。該可動鉄心１０４は先
端が前記弁部２のポペツト２３の弁シート２３ｂ
側端面へ圧縮ばね８により押圧されている。そし
て圧縮ばね８力を圧縮ばね６力より大きく設定し
てある。従つて弁部２は第１図で左方位置にあ
り、供給口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ａに接
続し、一方接続口Ｂは排気口Ｒ２へ連通し更に貫
通孔２１ａを介して排気口Ｒ１とも連通してい
る。固定鉄心１０５は上側ヨーク１０３へ直接ね
じ結合しており、固定鉄心１０５をスパナなどで
回すことによつてソレノイドストロークを調整す
ることができるものである。図中番号９ａ，９ｂ
はＯリングである。
磁石部Ｍは直流ソレノイドを示しており、弁本体
１の一端面へ取りつけられた下側ヨーク１００お
よび内部へコイル１０１を保持した外筒ヨーク１
０２と、端部に位置する上側ヨーク１０３と、更
に該コイル内に挿入した駆動部材である可動鉄心
１０４および上側ヨーク１０３へ調整可能に装置
され可動鉄心１０４が衝接する固定鉄心１０５と
を有しているものである。該可動鉄心１０４は先
端が前記弁部２のポペツト２３の弁シート２３ｂ
側端面へ圧縮ばね８により押圧されている。そし
て圧縮ばね８力を圧縮ばね６力より大きく設定し
てある。従つて弁部２は第１図で左方位置にあ
り、供給口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ａに接
続し、一方接続口Ｂは排気口Ｒ２へ連通し更に貫
通孔２１ａを介して排気口Ｒ１とも連通してい
る。固定鉄心１０５は上側ヨーク１０３へ直接ね
じ結合しており、固定鉄心１０５をスパナなどで
回すことによつてソレノイドストロークを調整す
ることができるものである。図中番号９ａ，９ｂ
はＯリングである。
以上のように構成した本実施例の動作について
説明する。
説明する。
第１図は、非励磁状態を示しており、前述した
ように圧縮ばね８力により弁部２は左方位置にあ
り、ポペツト２２の弁シート２２ａが弁座体２４
の環状弁座２４と当接し、且つポペツト２３の弁
シート２３ａが弁本体１の環状弁座１５と当接し
て、供給口Ｐは流体通路21bから接続口Ａに連通
し、一方接続口Ｂは排気口Ｒ２へ連通し更に貫通
孔２１ａを介して排気口Ｒ１とも連通状態にあ
る。従つて供給口Ｐからの圧力流体は接続口Ａか
らシリンダなどのアクチユエータ（図示せず）へ
流入し、アクチユエータからの排気は接続口Ｂか
ら弁本体１の座ぐり孔１３内を通つて排気口Ｒ２
より排出されると共に軸部２１の貫通孔２１ａを
通つて反対側排気口Ｒ１からも排出される。
ように圧縮ばね８力により弁部２は左方位置にあ
り、ポペツト２２の弁シート２２ａが弁座体２４
の環状弁座２４と当接し、且つポペツト２３の弁
シート２３ａが弁本体１の環状弁座１５と当接し
て、供給口Ｐは流体通路21bから接続口Ａに連通
し、一方接続口Ｂは排気口Ｒ２へ連通し更に貫通
孔２１ａを介して排気口Ｒ１とも連通状態にあ
る。従つて供給口Ｐからの圧力流体は接続口Ａか
らシリンダなどのアクチユエータ（図示せず）へ
流入し、アクチユエータからの排気は接続口Ｂか
ら弁本体１の座ぐり孔１３内を通つて排気口Ｒ２
より排出されると共に軸部２１の貫通孔２１ａを
通つて反対側排気口Ｒ１からも排出される。
次に、ソレノイドコイル１０１へ通電すると電
磁力により可動鉄心１０４が圧縮ばね８に抗して
固定鉄心側へ吸引される。そのため今度は弁部２
は圧縮ばね６力により図で右側へ移動し、ポペツ
ト２２の弁シート２２ｂが弁本体１の環状弁座１
４と当接し、且つポペツト２３の弁シート２３ｂ
が弁座体２５の環状弁座２５ａと当接して、供給
口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ｂに連通し、一
方接続口Ａは排気口Ｒ１へ連通状態になる。従つ
て供給口Ｐからの圧力流体は逆に接続口Ｂからシ
リンダなどのアクチユエータ（図示せず）へ流入
し、アクチユエータからの排気は前述したように
接続口Ａからの弁本体１の座ぐり孔１２内へ流入
すると共に軸部２１の貫通孔２１ａを通つて反対
側の座ぐり孔１３内へも流入してから排気口Ｒ２
あるいは排気口Ｒ２へ流出することとなる。この
ため、アクチユエータからの排気は弁室としての
座ぐり孔（１２，１３）の両側へ流入してポペツ
ト弁部へ作用するので、ポペツト弁部に軸方向即
ち切り換え方向への力は発生せず、圧力バランス
状態を呈する。
磁力により可動鉄心１０４が圧縮ばね８に抗して
固定鉄心側へ吸引される。そのため今度は弁部２
は圧縮ばね６力により図で右側へ移動し、ポペツ
ト２２の弁シート２２ｂが弁本体１の環状弁座１
４と当接し、且つポペツト２３の弁シート２３ｂ
が弁座体２５の環状弁座２５ａと当接して、供給
口Ｐは流体通路２１ｂから接続口Ｂに連通し、一
方接続口Ａは排気口Ｒ１へ連通状態になる。従つ
て供給口Ｐからの圧力流体は逆に接続口Ｂからシ
リンダなどのアクチユエータ（図示せず）へ流入
し、アクチユエータからの排気は前述したように
接続口Ａからの弁本体１の座ぐり孔１２内へ流入
すると共に軸部２１の貫通孔２１ａを通つて反対
側の座ぐり孔１３内へも流入してから排気口Ｒ２
あるいは排気口Ｒ２へ流出することとなる。この
ため、アクチユエータからの排気は弁室としての
座ぐり孔（１２，１３）の両側へ流入してポペツ
ト弁部へ作用するので、ポペツト弁部に軸方向即
ち切り換え方向への力は発生せず、圧力バランス
状態を呈する。
図において、流体通路２１ｂは軸部へ形成した
が、弁本体側へ形成しても同様に実施できる。
が、弁本体側へ形成しても同様に実施できる。
また、実施例では、基台３側で２つの排気通口
の選択をするよう構成しているが、弁座体２４お
よび２５へ形成してある孔２４ｂおよび２５ｂを
どちらか選択的に形成することにより２つの排気
通口の選択をするよう構成しても同様に実施でき
るものである。
の選択をするよう構成しているが、弁座体２４お
よび２５へ形成してある孔２４ｂおよび２５ｂを
どちらか選択的に形成することにより２つの排気
通口の選択をするよう構成しても同様に実施でき
るものである。
そして、実施例では、電磁操作力により流体の
流れを制御する方向切換弁の駆動部材として直流
ソレノイドの可動鉄心１０４を用いた場合につい
て説明したが、機械的操作力による場合にはレバ
ー等が用いられ、流体圧力の操作力による場合は
パイロツトピストンがそれぞれ駆動部材として用
いられることにより同様に実施できるものであ
る。
流れを制御する方向切換弁の駆動部材として直流
ソレノイドの可動鉄心１０４を用いた場合につい
て説明したが、機械的操作力による場合にはレバ
ー等が用いられ、流体圧力の操作力による場合は
パイロツトピストンがそれぞれ駆動部材として用
いられることにより同様に実施できるものであ
る。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明はポペツト弁のみ
で多方弁を構成したので、弁作動時のパツキンに
よる摺動部分を皆無となり、従つて潤滑油などを
必要とせず無潤滑による長期使用を可能にすると
共に、更にポペツト弁を構成する可動部材内へ貫
通孔を設けて排気通路を連通構成したので、１ケ
所にまとめられるため排気処理が容易となる他、
第１の弁部、第２の弁部とを圧力バランスさせた
のでより弁の作動が滑らかとなり、更に小さな操
作力で弁切り換えが可能となるなど本発明の特有
の優れた効果が期待できる。それと共に小型であ
りながら通口に比べて弁座の直径をより大きく形
成したので、より大流量を小さいストロークで流
せて大きなアクチユエータを作動できるなどの副
効果も得られるものである。更に第１の弁座およ
び第２の弁部は軸部で一体になつているため、動
作上の遅れはなく、従来例の欠点を解消した切換
弁を提供できる。
で多方弁を構成したので、弁作動時のパツキンに
よる摺動部分を皆無となり、従つて潤滑油などを
必要とせず無潤滑による長期使用を可能にすると
共に、更にポペツト弁を構成する可動部材内へ貫
通孔を設けて排気通路を連通構成したので、１ケ
所にまとめられるため排気処理が容易となる他、
第１の弁部、第２の弁部とを圧力バランスさせた
のでより弁の作動が滑らかとなり、更に小さな操
作力で弁切り換えが可能となるなど本発明の特有
の優れた効果が期待できる。それと共に小型であ
りながら通口に比べて弁座の直径をより大きく形
成したので、より大流量を小さいストロークで流
せて大きなアクチユエータを作動できるなどの副
効果も得られるものである。更に第１の弁座およ
び第２の弁部は軸部で一体になつているため、動
作上の遅れはなく、従来例の欠点を解消した切換
弁を提供できる。
更に本発明においては、可動部材の軸部を弁本
体に設けた案内孔に滑合している。例えば実公昭
52−35541号のように弁座体などの弁本体にねじ
結合している部材に形成した貫通孔に可動部材を
ガイドさせるとねじの加工精度および組立精度が
可動部材の軸の動作に振れとして影響を与えるの
に対し、弁本体の案内孔のみでガイドすること
は、ポペツトと弁座の軸芯を確実に一致するよう
にガイドすることができ、弁を安定的に動作させ
ることができる。さらに、ポペツトの端面が平坦
となつているため、弁座に対し、ポペツトが若干
偏心しても、シール性に影響を与えることがな
い。
体に設けた案内孔に滑合している。例えば実公昭
52−35541号のように弁座体などの弁本体にねじ
結合している部材に形成した貫通孔に可動部材を
ガイドさせるとねじの加工精度および組立精度が
可動部材の軸の動作に振れとして影響を与えるの
に対し、弁本体の案内孔のみでガイドすること
は、ポペツトと弁座の軸芯を確実に一致するよう
にガイドすることができ、弁を安定的に動作させ
ることができる。さらに、ポペツトの端面が平坦
となつているため、弁座に対し、ポペツトが若干
偏心しても、シール性に影響を与えることがな
い。
第１図はこの発明による方向切換弁の一例を示
す正面断面図、第２図は第１図におけるＸ−Ｘ断
面図を示す。 （符号の説明）、Ｖ……主弁部、Ｍ……電磁石
部、１……弁本体、１１……案内孔、１２，１３
……座ぐり孔、１４，１５……環状弁座、２……
弁部、２１……軸部、２１ａ……貫通孔、２２，
２３……ポペツト、２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２
３ｂ……弁シート、２４，２５……弁座体、２４
ａ，２５ａ……環状弁座、２４ｂ，２５ｂ……
孔、３……基台、４，５……Ｏリング、６，８…
…圧縮ばね、７……パツキン、９ａ，９ｂ……Ｏ
リング、１００……下側ヨーク、１０１……コイ
ル、１０２……外筒ヨーク、１０３……上側ヨー
ク、１０４……可動鉄心、１０５……固定鉄心。
す正面断面図、第２図は第１図におけるＸ−Ｘ断
面図を示す。 （符号の説明）、Ｖ……主弁部、Ｍ……電磁石
部、１……弁本体、１１……案内孔、１２，１３
……座ぐり孔、１４，１５……環状弁座、２……
弁部、２１……軸部、２１ａ……貫通孔、２２，
２３……ポペツト、２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２
３ｂ……弁シート、２４，２５……弁座体、２４
ａ，２５ａ……環状弁座、２４ｂ，２５ｂ……
孔、３……基台、４，５……Ｏリング、６，８…
…圧縮ばね、７……パツキン、９ａ，９ｂ……Ｏ
リング、１００……下側ヨーク、１０１……コイ
ル、１０２……外筒ヨーク、１０３……上側ヨー
ク、１０４……可動鉄心、１０５……固定鉄心。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電磁操作力、機械的操作力あるいは流体圧力
の操作力により流体の流れを制御する方向切換弁
において、貫通した案内孔を有する両面側から穿
設した大径の座ぐり孔底面へ環状弁座を形成する
と共に外側一面から該案内孔および座ぐり孔へ貫
通する供給口と複数の接続口および排気口を設け
た弁本体と、該案内孔へ滑合すると共に内部へ貫
通孔を形成した軸部の両側へ、弁シートを両端面
に固着し端面が平坦なポペツトを固定した可動部
材と、前記２つの座ぐり孔内へ軸方向に調整可能
に固定すると共に前端面へ環状弁座を形成し該環
状弁座と弁本体および弁シートとの間でそれぞれ
第１の弁部、第２の弁部を構成する弁座体と、前
記可動部材の一端を押圧する駆動部材とから多方
ポペツト弁を構成すると共に、前記軸部の貫通孔
により排気通路を連通して、第１の弁部、第２の
弁部とを圧力バランスさせたことを特徴とするポ
ペツト形方向切換弁。 ２ 案内孔へ滑合する軸部の外周へ、複数の軸線
方向の流体通過溝を形成してなる特許請求の範囲
第１項記載の方向切換弁。 ３ 軸部が滑合する案内孔の内周へ、複数の軸線
方向の流体通過溝を形成してなる特許請求の範囲
第１項記載の方向切換弁。 ４ 弁本体へ形成した複数の排気口のうち、一方
のみを弁座体を介して可動部材の軸部貫通孔へ連
通させてなる特許請求の範囲第１項記載の方向切
換弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214744A JPS6196272A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 方向切換弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214744A JPS6196272A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 方向切換弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196272A JPS6196272A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0535313B2 true JPH0535313B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=16660869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59214744A Granted JPS6196272A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 方向切換弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196272A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258183A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Kuroda Pneumatics Ltd | ポペット式方向制御弁 |
| JP2007024177A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Kuroda Pneumatics Ltd | 電磁切換弁 |
| JP2011214612A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Ckd Corp | バランスポペット式電磁弁 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5794947B2 (ja) | 2012-04-26 | 2015-10-14 | 株式会社コガネイ | 方向制御弁 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4417867Y1 (ja) * | 1966-01-07 | 1969-08-02 | ||
| JPS4723705U (ja) * | 1971-03-18 | 1972-11-16 | ||
| JPS577962Y2 (ja) * | 1975-09-03 | 1982-02-16 | ||
| JPS5590866U (ja) * | 1978-12-16 | 1980-06-23 | ||
| JPS5631571A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-30 | Keihin Seiki Mfg Co Ltd | 3-way solenoid valve |
-
1984
- 1984-10-13 JP JP59214744A patent/JPS6196272A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258183A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Kuroda Pneumatics Ltd | ポペット式方向制御弁 |
| JP2007024177A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Kuroda Pneumatics Ltd | 電磁切換弁 |
| JP2011214612A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Ckd Corp | バランスポペット式電磁弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6196272A (ja) | 1986-05-14 |
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