JPH0535373Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0535373Y2 JPH0535373Y2 JP16056888U JP16056888U JPH0535373Y2 JP H0535373 Y2 JPH0535373 Y2 JP H0535373Y2 JP 16056888 U JP16056888 U JP 16056888U JP 16056888 U JP16056888 U JP 16056888U JP H0535373 Y2 JPH0535373 Y2 JP H0535373Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- movable
- movable base
- motor
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、ウエーハ上に形成されたパターンの
検査等に用いられる光学顕微鏡の自動焦点調節機
構のステージの高さの調節等に利用される微少送
り機構に関する。
検査等に用いられる光学顕微鏡の自動焦点調節機
構のステージの高さの調節等に利用される微少送
り機構に関する。
（従来の技術と解決しようとする課題）
光学顕微鏡のステージの高さを焦点調節のため
に、パルスモータ等を用いて制御するために、微
少送り機構が必要となる。
に、パルスモータ等を用いて制御するために、微
少送り機構が必要となる。
挺を用いて、微少ステツプの送りを実現しよう
とすると、挺の比率を大きくする必要がある。
とすると、挺の比率を大きくする必要がある。
半導体ウエーハの検査装置などでは装置をでき
るだけ小形にしたいという要請がある。
るだけ小形にしたいという要請がある。
本考案の目的は、小形であるが、極めて高い分
解能で光学顕微鏡のステージ等を移動させること
ができる微少送り機構を提供することにある。
解能で光学顕微鏡のステージ等を移動させること
ができる微少送り機構を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本考案による微少
送り機構は、基盤に対して上下可能に支持されて
いる移動基台と、前記基盤に支点支持され短辺側
で基台の一部を支え長辺側で前記移動基台に設け
られ前記基盤に対して上下動する突子を支持する
梃と、前記移動基台に対して回転進退可能に支持
され下端が前記突子に結合させられているリード
ねじと、前記移動基台に設けられたモータと、前
記モータの回転を減速して前記リードねじに伝達
する減速歯車列からなり、前記移動基台を前記モ
ータの回転により微少送りするように構成されて
いる。
送り機構は、基盤に対して上下可能に支持されて
いる移動基台と、前記基盤に支点支持され短辺側
で基台の一部を支え長辺側で前記移動基台に設け
られ前記基盤に対して上下動する突子を支持する
梃と、前記移動基台に対して回転進退可能に支持
され下端が前記突子に結合させられているリード
ねじと、前記移動基台に設けられたモータと、前
記モータの回転を減速して前記リードねじに伝達
する減速歯車列からなり、前記移動基台を前記モ
ータの回転により微少送りするように構成されて
いる。
（実施例）
本考案を図面等を参照して、さらに詳しく説明
する。
する。
基盤１４にビーム部材（梃）１２が支点１３に
より支持されている。
より支持されている。
ビーム部材１２の左端にはベアリング１５が設
けられている。
けられている。
移動基台１は前記基盤に対して並列を保つて上
下に移動可能に基台案内部３ａ，３ｂで案内され
ている。
下に移動可能に基台案内部３ａ，３ｂで案内され
ている。
そしてこの移動基台１はその下方に突出させら
れているベアリング受け１７で前記ビーム部材１
２の左端のベアリング１５に、また移動基台１の
右側に設けられているリード筒９に結合している
リードねじ８の下端に設けられている突子１０で
前記ビーム部材１２の右端に接触して支持されて
いる。
れているベアリング受け１７で前記ビーム部材１
２の左端のベアリング１５に、また移動基台１の
右側に設けられているリード筒９に結合している
リードねじ８の下端に設けられている突子１０で
前記ビーム部材１２の右端に接触して支持されて
いる。
移動基台１にはパルスモータ４が固定されてお
り、このパルスモータ４の出力軸には歯車６が結
合されている。
り、このパルスモータ４の出力軸には歯車６が結
合されている。
移動基台３に固定されているリード筒９に結合
させられているリードねじ８は前記歯車７の軸を
兼ねておりリードねじ８の下端に突子１０が設け
られている。
させられているリードねじ８は前記歯車７の軸を
兼ねておりリードねじ８の下端に突子１０が設け
られている。
この歯車６と歯車７は減速歯車系（１／Ｒ）を
形成しておりモータ４の回転は１／Ｒ回転に減速
されてリードねじ８に伝達される。
形成しておりモータ４の回転は１／Ｒ回転に減速
されてリードねじ８に伝達される。
今、前述のパルスモータ４がステツプ角（α°）
だけ回転したとする。
だけ回転したとする。
この回転は、歯車６と歯車７は減速歯車系
（１／Ｒ）を経てリードねじ８の先端の突子１０
が移動基台１に対して距離Ｈだけ下がり、ビーム
部材１２の右端を押し下げる。
（１／Ｒ）を経てリードねじ８の先端の突子１０
が移動基台１に対して距離Ｈだけ下がり、ビーム
部材１２の右端を押し下げる。
ビーム部材１２は支点１３を中心に回転させら
れ、左端がΔhだけ上に移動し、ベアリング１５
により基台１がΔHだけ上に移動したとする。
れ、左端がΔhだけ上に移動し、ベアリング１５
により基台１がΔHだけ上に移動したとする。
基台１に設けられたステージ２も同様にΔHだ
け上に移動させられ、このときの移動量はΔh＝
ΔHとなる。
け上に移動させられ、このときの移動量はΔh＝
ΔHとなる。
支点１３からベアリング１５までのビーム長さ
をL1とし、支点１３から右の突子１０に接触さ
れるまでのビーム長さをL2とする。
をL1とし、支点１３から右の突子１０に接触さ
れるまでのビーム長さをL2とする。
そしてリード筒９のリードをｌとすると次の式
が成立する。
が成立する。
Ｈ＝〔（α×ｌ）／360〕×（１×Ｒ）
Δh＝（L1／L2）（Ｈ−ΔH）
これにΔh＝ΔHを代入すると
ΔH＝〔L1／（L1＋L2）〕Ｈ
となる。
（考案の効果）
以上詳しく説明したように、本考案による微少
送り機構は、基盤に対して上下可能に支持されて
いる移動基台を、前記基盤に支点支持されている
挺で支持し、その挺を前記移動基台に設けられた
モータから減速歯車列を介して駆動して、前記移
動基台を前記モータの回転により微少送りするよ
うに構成されている。
送り機構は、基盤に対して上下可能に支持されて
いる移動基台を、前記基盤に支点支持されている
挺で支持し、その挺を前記移動基台に設けられた
モータから減速歯車列を介して駆動して、前記移
動基台を前記モータの回転により微少送りするよ
うに構成されている。
したがつて、ビームを長くして挺の比を大きく
とらない全体として極めて小形コンパクトな形態
で、極めて高い分解で移動台（ステージ）を駆動
できる。
とらない全体として極めて小形コンパクトな形態
で、極めて高い分解で移動台（ステージ）を駆動
できる。
前記実施例では、0.1μm以下の極めて高い分解
能で微少送りが可能であることが確認できてい
る。
能で微少送りが可能であることが確認できてい
る。
第１図は、本考案による微少送り機構の実施例
を示す略図である。 １……移動基台、２……ステージ、３ａ，３ｂ
……基台案内、４……パルスモータ、６，７……
減速歯車、８……リードねじ、９……リード筒、
１０……突子、１２……ビーム部材（梃）、１３
……支点、１４……基盤、１５……ベアリング、
１７……ベアリング受け。
を示す略図である。 １……移動基台、２……ステージ、３ａ，３ｂ
……基台案内、４……パルスモータ、６，７……
減速歯車、８……リードねじ、９……リード筒、
１０……突子、１２……ビーム部材（梃）、１３
……支点、１４……基盤、１５……ベアリング、
１７……ベアリング受け。
Claims (1)
- 基盤に対して上下可能に支持されている移動基
台と、前記基盤に支点支持され短辺側で基台の一
部を支え長辺側で前記移動基台に設けられ前記基
盤に対して上下動する突子を支持する梃と、前記
移動基台に対して回転進退可能に支持され下端が
前記突子に結合させられているリードねじと、前
記移動基台に設けられたモータと、前記モータの
回転を減速して前記リードねじに伝達する減速歯
車列からなり、前記移動基台を前記モータの回転
により微少送りするように構成した微少送り機
構。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16056888U JPH0535373Y2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | |
| US07/431,171 US5022619A (en) | 1988-12-09 | 1989-10-26 | Positioning device of table for semiconductor wafers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16056888U JPH0535373Y2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281516U JPH0281516U (ja) | 1990-06-22 |
| JPH0535373Y2 true JPH0535373Y2 (ja) | 1993-09-08 |
Family
ID=31442745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16056888U Expired - Lifetime JPH0535373Y2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0535373Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP16056888U patent/JPH0535373Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0281516U (ja) | 1990-06-22 |
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