JPH0536132Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、メタルシール材によつてシール面を
シールするメタルシール機構に関するものであ
り、特に詳しくは、超高真空利用の機器のシール
に好適なメタルシール機構を関するものである。

［従来の技術］ 通常の流体圧におけるシール材としては、合成
樹脂、合成ゴム等の素材で形成したＯリングが使
用されているが、周知のＯリングでは、超高真空
利用の機器において要求される、質量分析器（ヘ
リウムリークデイテクタ）によつても検出できな
い高度のシール性能を満たすことができない。

上記超高真空のシールには、メタル平ガスケツ
トを使用することもあるが、メタル平ガスケツト
は再使用できないために、通常は再使用可能なメ
タルシール材が使用される。

従来、メタルシール材として、ヘリコフレツク
スと呼ばれるものが知られており、このメタルシ
ール材１は、第７図に示すように、断面円形の金
属線材を螺旋状に巻回してエンドレスにした弾性
材と２、その外周を被覆したＣ形断面を有する金
属薄板製のジヤケツト３で構成されている。

しかしながら、上記公知のＣ形メタルシール材
は、弾性材２の剛性力が小さいために、ジヤケツ
ト外周のシール面に高精度の加工を施す場合に、
チヤツクで把持することが困難であつて加工が難
しく、大きい力で把持すると変形して使用できな
くなる。

また、単に置いただけでもシール面が疵つき易
いために、取扱いが著しく面倒である。

一方、上記メタルシール材によつてシールされ
るシール面は、その素材がステンレスの場合に
は、高精度の研磨が必要であり、アルミニウムの
場合には、鏡面加工をした後にイオンプレーテイ
ング等の硬化処理を施す必要があるため、これら
のシール面の加工も面倒で、全体として高価にな
るという問題がある。

［考案が解決しようとする課題］ 本考案が解決しようとする課題は、加工及び取
扱いが容易で、かつ安価なメタルシール機構を提
供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案は、金属製弾
性材、及び該金属製弾性材外周の略全面を被覆す
る金属板製ジヤケツトを有するメタルシール材
と、該メタルシール材によつてシールされるシー
ル面を有するシール部材よりなるメタルシール機
構において、上記メタルシール材が、ジヤケツト
の一端に設けた取付部によつて、上記シール部材
に気密に固着されていることを特徴としている。

［作用及び考案の効果］ ジヤケツトの一端に設けた取付部によつて、メ
タルシール材を、該メタルシール材でシールされ
るシール部材の一方に気密に固着したので、ジヤ
ケツトと該ジヤケツトが固着されたシール部材と
の相互間のシール面の加工精度を低くすることが
できる。

したがつて、超高真空のシールに必要な高精度
の加工面積または加工場所を大幅に減少できるの
で、メタルシール機構を安価なものにすることが
できる。

また、メタルシール材をシール部材の一方に固
着させた後にジヤケツトのシール面を精密加工で
きるので、把持、加工が容易になり、保管時にメ
タルシール材を直接置かなくてよいため、加工後
のシール面に疵がつかないので、取扱いが容易で
ある。

さらに、シール時におけるメタルガスケツトの
脱落を防止することができる。

［実施例］ 第１図ないし第３図は本考案の第１実施例を示
し、このメタルシール機構におけるメタルシール
材１０は、第１図に示すように、弾性材１１と、
該弾性材外周の略全面を覆う金属薄板製のジヤケ
ツト１２を備え、後記するシール面の一方に取付
けられる。

上記弾性材１１は、公知の弾性材と同様に、ス
テンレス等の断面円形の金属線材を螺旋状に巻回
してエンドレスにしたもので構成されており、螺
旋状の線材によつて径方向の弾性が付与されてい
る。

一方、上記ジヤケツト１２は、弾性材１１の外
周の略全面を覆う被覆部１２ａと、該被覆部の一
端を弾性材１１の接線方向に延設させた取付部１
２ｂとを備え、被覆部１２ａの先端と取付部１２
ｂの間に間隔が形設され、アルミニウム、ニツケ
ル等の弾性材１１より軟質の金属薄板で形成され
ている。

第２図は、上記メタルシール材１０を弁のシー
ルに使用した一例を示し、弁２０の弁本体２１
は、直交する開口２２と２３を備え、開口２２に
パイプ２４が溶接等の適宜の手段によつて気密に
取付けられており、弁本体２１とパイプ先端の弁
座２４ａを開閉する弁体２５の間は、両端をこれ
らに固定させた蛇腹２６によつて気密にシールさ
れている。そして、上記メタルシール材１０は、
同図においてイ及びロで示す箇所に取付けられ
る。

第３図Ａは、上記イにおける弁座２４ａにメタ
ルシール材１０を取付けた状態を示し、メタルシ
ール材１０は、取付部１２ｂを矢印方向の電子ビ
ームまたはレーザ等で溶接するか、または鑞付け
等によつて弁座２４ａに気密に固着されている。
したがつて、取付部１２ａと弁座面とはビーム溶
接または鑞付け等に必要な加工でよく、超高真空
のシールのための高精度の加工面積または加工場
所を大幅に減少できるので、メタルシール材１０
を安価なものにすることができる。

また、メタルシール材１０を弁座２４ａに固着
させた後に被覆部１２ａのシール面を加工できる
ため、パイプ２４によつてメタルシール材１０を
しつかり把持できるので、加工が容易で生産性が
向上し、かつメタルシール材を直接他のものの上
に置く必要がないので、シール面に疵がつくこと
がなくて取扱いが容易である。

さらに、メタルシール材１０を弁座２４ａに固
着したので、シール時におけるシール材の脱落を
防止できるばかりでなく、一度取付けたシール材
を外すための取外し用の溝を設ける必要もない。

第３図Ｂは、上記弁座２４ａに位置決め用の段
部２７を形設した変形例を示し、メタルシール材
１０の取付部１２ｂは、矢印方向の電子ビームま
たはレーザによつて弁座２４ａに溶接される。

第４図Ａは、上記ロに示す開口２３または２４
ｂを盲フランジ３０で閉鎖する場合を示し、メタ
ルシール材１０の取付部１２ｂは、盲フランジ３
０のシール面に、電子ビームまたはレーザによつ
て溶接するか、或は鑞付け等によつて気密に固着
される。

第４図Ｂは、開口２３または２４ｂに他のパイ
プ３１を取付ける場合を示し、メタルシール材１
０は、取付部１２ｂによつて弁本体２１またはパ
イプ２４のシール面に溶接されている。なお、図
示を省略しているが、これらのフランジ３０やパ
イプ３１が、適宜の手段によつて弁本体２１等に
取付けられることは勿論である。

第５図は本考案の第２実施例を示し、このメタ
ルシール材１４のジヤケツト１５は、弾性材１１
外周の略全面を覆う被覆部１５ａと、弾性材１１
の接線方向に延設した被覆部１５ａの一端をさら
に屈曲した取付部１５ｂとを備え、矢印方向の電
子ビームまたはレーザによつてパイプ弁座２４に
溶接されるか、或は鑞付け等によつて気密に固着
される。。

第６図は本考案の第３実施例を示し、このメタ
ルシール材１７のジヤケツト１８は、弾性材１１
外周の略全面を覆う被覆部１８ａと、該被覆部１
８ａ一端を弾性材１１の接線方向と直交する方向
に屈曲させた取付部１８ｂとを備え、矢印方向の
電子ビームまたはレーザによつて、或は鑞付け等
によつてパイプ２４に気密に固着される。

上記第２及び第３実施例の他の構成及び作用
は、第１実施例と同じであるから、詳細な説明は
省略する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例の要部を示す縦断
面図、第２図は弁におけるシール箇所の説明図、
第３図Ａ，Ｂは弁座のシール部の拡大断面図、第
４図Ａ，Ｂはフランジのシール部の拡大断面図、
第５図及び第６図は本考案の第２実施例及び第３
実施例の要部拡大断面図、第７図は公知のメタル
シール材の要部の縦断面図である。 １０，１４，１７……メタルシール材、１１…
…弾性材、１２，１５，１８……ジヤケツト、１
２ｂ，１５ｂ，１８ｂ……取付部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 金属製弾性材、及び該金属製弾性材外周の略全
   面を被覆する金属板製ジヤケツトを有するメタル
   シール材と、該メタルシール材によつてシールさ
   れるシール面を有するシール部材よりなるメタル
   シール機構において、 上記メタルシール材が、ジヤケツトの一端に設
   けた取付部によつて、上記シール部材に気密に固
   着されている、 ことを特徴とするメタルシール機構。