JPH0537208Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、セラミツクス製の測定管を有するセ
ラミツクス電磁流量計に関するものである。

更に詳述すれば、本考案は電磁流量計の電極部
分の改良に関するものである。

（従来の技術） 第２図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。

図において、１はセラミツクス製の円筒状の測
定管である。１１，１２は導電性粉末を混合し測
定管１と一体に焼成することにより形成された柱
状のサーメツトの電極である。

（考案が解決しようとする問題点） このような電極においては、 導電性粉末の材質としては、導電性粉末の融点
が、セラミツク製の測定管の焼成温度より高いこ
と、かつ、高耐食性を有することが必要で、たと
えば、アルミナ（Al₂O₃）、ジルコニア（Z_rO₂）
等の酸化物セラミツクスに白金（Pt）あるいは
パラジウム（Pd）を混合する組み合わせが適当
である。

次に、混合する導電性粉末の割合は、シール性
能の信頼性及びコストの面からは導電性が得られ
る範囲内でなるべく少い方が良い。電極部１１，
１２と測定管１との境界でのシール性能からは、
導電性微粉末の含有率は少なければ少いほどよ
い。なぜならば、含有率が増すほど焼成時の収縮
率が小さくなり、周囲の素地セラミツクスとの収
縮率差が大きくなり、シール性の信頼性が低下す
る。このため、導電性が得られる範囲内で含有率
はなるべく少い方がよい。

またコストの面からは、白金やパラジウム等の
高価な金属粉末を使用する場合、特に少ない方が
よい。

一方、接液部の抵抗は、導電性粉末の体積含有
率が高い方が小さくなる。なぜならば、接液抵抗
は導電性微粉末と測定流体との接触面積が大きい
ほど、小さくなるからである。

接液インピーダンスが大きくなると、性能面に
関し、次の問題点が発生する。

第２図において、e_oは外部の誘導電圧、Z_sは信
号源インピーダンス、Z_oは誘導源と信号線間のイ
ンピーダンスとする。ここで、サーメツト電極１
１，１２内の抵抗は、導電性物質の連続相が形成
されることにより導電性を得ているため、十分小
さく無視できる。（導電性物質の導電性とほぼ同
じ）。

検出器からの誘導による出力電圧ｅは ｅ＝Z_s／Z_s＋Z_oe_o となり、信号源インピーダンスZ_sが大きいほど、
誘導の影響を受け易いことになる。信号源インピ
ーダンスZ_sは、測定液のインピーダンスと接液イ
ンピーダンスの和である。したがつて、接液イン
ピーダンスが大きくなると、信号源インピーダン
スZ_sは大きくなる。

以上の結果、接液しない部分はなるべく導電性
微粉末の含有率を小さくして、高い気密性を確保
し、接液部分は含有率を高くすることにより接液
抵抗を小とし、耐ノイズ性を確保することが望ま
しい。

本考案は、この点に着目したものである。

本考案の目的は、セラミツクス電磁性流量計に
おいて、電極部分の接液インピーダンスを小さく
し、しかも、低コストの高信頼性を有するセラミ
ツク電磁流量計を提供するにある。

（問題点を解決するための手段） この目的を達成するために、本考案は、測定流
体が流れるセラミツクス製の測定管中の電極部に
導電性物質が埋め込み焼成されたセラミツクス電
磁流量計において、前記電極部の接液部分が高濃
度の導電性物質から構成され該電極部の他の部分
が低濃度の導電性物質から構成されたことを特徴
とするセラミツクス電磁流量計を構成したもので
ある。

（作用） 以上の構成において、電極部の接液部は導電性
が大であるので、測定流体に対する接液インピー
ダンスが低くでき、耐ノイズ性を改善することが
できる。同時に、電極部の他の部分は導電性物質
が低濃度で測定管と同様な焼成時の収縮率を有す
るので、シール性も確保できる。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

（実施例） 第１図は、本考案の一実施例の要部構成説明図
である。

図において、第２図と同一記号は同一機能を示
す。

以下、第２図と相違部分のみ説明する。

図において、２は電極である。２１は電極にお
いて、電気的導通の得られる、最低限必要な導電
性をもたせる程度、白金あるいはパラジウムの粉
末がセラミツク材に混合された本体部分である。
ここでは、たとえは、白金の20％体積含有率を有
する。２２は電極部分２において、測定流体との
接液部分において、接液インピーダンスを低くす
るように、白金又はパラジウムの金属粉末の含有
率を高くした接液部分である。ここでは、たとえ
ば、白金の体積含有率を50％にした部分である。

このように構成された装置においては、接液部
分２２は接液インピーダンスは低くでき、耐ノイ
ズ性を改善する事でできる。一方、本体部分２１
は導通性は確保しつつ金属の体積含有率は低いの
で、低コストにし得ると共に、シール性について
高信頼性を確保することができる。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案は測定流体が流れ
るセラミツクス製の測定管中の電極部に導電性物
質が埋め込み焼成されたセラミツクス電磁流量計
において、前記電極部の接液部分が高濃度の導電
性物質から構成され該電極部の他の部分が低濃度
の導電性物質から構成されたことを特徴とするセ
ラミツクス電磁流量計を構成したので、接液部分
は接液インピーダンスを低く確保でき、耐ノイズ
性が改善し得ると共に電極の他の部分は導電性の
確保してリードとしての機能を果すと共にシール
性について高信頼性が得られると共に、低コスト
を確保できる。

したがつて、本考案によれば、電極部分の接液
インピーダンスを低くし得ると共に、シール性の
高信頼性と低コスト化し得るセラミツクス電磁流
量計を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図、第３図は第２図の説明図である。 １……測定管、２……電極、２１……本体部
分、２２……接液部分。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 測定流体が流れるセラミツクス製の測定管中の
   電極部に導電性物質が埋め込み焼成されたセラミ
   ツクス電磁流量計において、前記電極部の接液部
   分が高濃度の導電性物質から溝成され該電極部の
   他の部分が低濃度の導電性物質から構成されたこ
   とを特徴とするセラミツクス電磁流量計。