JPH077034Y2 - レーザトリマ用載物台 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は載物台に関し、特にレーザ加工装置において用
いるレーザトリマ用載物台に関する。

［従来の技術］ 従来、この種の載物台としては、メカニカルクランプ載
物台や真空吸着機構を有する載物台等があった。

メカニカルクランプ載物台は、オートローダ等との接続
のためやスルーホールを持つ被加工用の基板を固定する
ために作られたもので、被加工用の基板を載物面上でベ
アリングを用いて固定するようにしていた。

また、真空吸着機構を有する載物台は、被加工用の基板
を真空吸着にて載物面上に固定するようにしていた。

［考案が解決しようとする課題］ 上述した従来のメカニカルクランプ載物台にあっては、
被加工用の基板の固定をベアリングによるクランプのみ
で行なっていたため、今般のプロービングの時間短縮の
ためプローブのアップ、ダウンのストロークを最小限に
押さえ、ベアリング高さも最小限に押える傾向と相まっ
て、そりの大きい基板については固定ができないという
欠点があった。特に、最近は基板の大型化が進み、基板
のそりは大型基板になるほど大きくなるため、この欠点
は特に問題となっていた。

その上、ベアリング高さを高くしてそりの大きな基板を
固定しうるようにしてもプロービング中はプローブによ
り基板のそりが減るため、プロービング中以外の時と抵
抗体の位置がかわってしまうという欠点もあった。

また、真空吸着機構を有する載物台にあっては、被加工
用の基板の固定を真空吸着のみで行なっているため、ス
ルーホールの多い基板では固定する力が弱くなり、その
結果載物台移動時に基板が動いてしまったり、基準コー
ナへ基板を移動することができないためオートローダへ
の対応ができなかったりするものであるという欠点があ
った。

［課題を解決するための手段］ 本考案は、上記課題を解決するためになしたもので、そ
の解決手段として本考案は、被トリミング基板を載置す
る載物面と、該載物面上に被トリミング基板位置決め用
の基準コーナを形成する少なくとも３個の基準コーナ側
ベアリングと、上記載物面上で上記基準コーナに対し移
動して上記被トリミング基板を上記基準コーナに押付け
固定する複数のスライドベアリングとを備えるレーザト
リマ用載物台において、上記載物面に形成した上記被ト
リミング基板真空吸着用の多数の微小孔と、上記載物面
の下方にあって上記微小孔と連通した空気流路と、該空
気流路に連結した真空源と、上記スライドベアリングの
動作と関連させて上記真空源を作動させる真空源制御部
とを備える構成としている。

［実施例］ 次に、本考案の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２図はその
正面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第４図は第
２図のＢ−Ｂ線断面図である。

このレーザトリマ用載物台は、被トリミング基板１を載
置する載物面５と、該載物面５上に被トリミング基板１
位置決め用の基準コーナを形成する少なくとも３個の基
準コーナ側ベアリング２と、上記載物面５上で上記基準
コーナに対し移動して上記被トリミング基板１を上記基
準コーナに押付け固定する複数のスライドベアリング３
とを備えるレーザトリマ用載物台において、上記載物面
５に形成した上記被トリミング基板真空吸着用の多数の
微小孔４と、上記載物面５の下方にあって上記微小孔４
と連通した空気流路41と、該空気流路41に連結した真空
源26と、上記スライドベアリング３の動作と関連させて
上記真空源26を作動させる真空源制御部25とを備えてい
る。なお、図中24はプレッシャスイッチである。

具体的には、被トリミング基板１は、基準コーナ側ベア
リング２へのスライドベアリング３の押付け及び多数の
微小孔４からの真空吸着により載物面５に固定される。

スライドベアリング３はガイド21により滑らかに直線運
動を行なうことができ、またその動作は電磁弁22により
エアシリンダ31を駆動して行なわれる。電磁弁22の制御
は電磁弁制御部23により行なう。

電磁弁22がONしたことをプレッシャスイッチ24により検
出し、その信号により真空源制御部25が働き真空源26で
真空を発生、空気の流路41、微小孔４を通して真空吸着
を行なう。

また、被トリミング基板１を開放する場合は、電磁弁制
御部23により電磁弁22をOFFしエアシリンダ31によりス
ライドベアリング３を動作させるとともにプレッシャス
イッチ24により電磁弁22の“OFF"を検出、真空源制御部
25により真空源26での真空発生を停止する。

これら、一連の動作は外部とのインタフェース27と、電
磁弁制御部23との信号交換により行なうことができる。

［考案の効果］ 以上説明したように本考案は、被トリミング基板を載置
する載物面と、該載物面上に被トリミング基板位置決め
用の基準コーナを形成する少なくとも３個の基準コーナ
側ベアリングと、上記載物面上で上記基準コーナに対し
移動して上記被トリミング基板を上記基準コーナに押付
け固定する複数のスライドベアリングとを備えるレーザ
トリマ用載物台において、上記載物面に形成した上記被
トリミング基板真空吸着用の多数の微小孔と、上記載物
面の下方にあって上記微小孔と連通した空気流路と、該
空気流路に連結した真空源と、上記スライドベアリング
の動作と関連させて上記真空源を作動させる真空源制御
部とを備える構成としたため、基準コーナ側ベアリング
及びスライドベアリングによりスルーホールの多い被ト
リミング基板でも固定でき、また多数の微小孔により被
トリミング基板を吸着することによりそりの大きな基板
でも固定することができ、またプロービング中とそうで
ないときの抵抗体の位置を同じにでき、かつベアリング
高さを最小限にでき、そのままオートローダへの対応を
可能にすることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２図はその
正面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第４図は第
２図のＢ−Ｂ線断面図である。 1:被トリミング基板 2:基準コーナ側ベアリング 3:スライドベアリング 4:微小孔 5:載物面 24:プレッシャスイッチ 25:真空源制御部 26:真空源 41:空気の流路

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】被トリミング基板を載置する載物面と、該
   載物面上に被トリミング基板位置決め用の基準コーナを
   形成する少なくとも３個の基準コーナ側ベアリングと、
   上記載物面上で上記基準コーナに対し移動して上記被ト
   リミング基板を上記基準コーナに押付け固定する複数の
   スライドベアリングとを備えるレーザトリマ用載物台に
   おいて、上記載物面に形成した上記被トリミング基板真
   空吸着用の多数の微小孔と、上記載物面の下方にあって
   上記微小孔と連通した空気流路と、該空気流路に連結し
   た真空源と、上記スライドベアリングの動作と関連させ
   て上記真空源を作動させる真空源制御部とを備えること
   を特徴とするレーザトリマ用載物台。