JPH053970Y2 - - Google Patents

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JPH053970Y2
JPH053970Y2 JP20128487U JP20128487U JPH053970Y2 JP H053970 Y2 JPH053970 Y2 JP H053970Y2 JP 20128487 U JP20128487 U JP 20128487U JP 20128487 U JP20128487 U JP 20128487U JP H053970 Y2 JPH053970 Y2 JP H053970Y2
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  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、マルチ流体変調方式(これは本考案
者らの名付けた名称である)という従来になかつ
た特異な手法を採用することによつて、ただ1個
の検出器を用いるだけでありながら、2つの(ま
たは2つの系に分流された)サンプル流体を、同
時にかつ連続的にしかも非常に精度良く分析する
ことができる、全く新規な流体分析装置におい
て、より一層簡素かつ安価な構成のものを開発せ
んとしてなされたものである。
〔従来の技術〕
例えば、サンプル流体の一例である大気中に含
まれる自動車排気ガスや工場排気ガスなどの有害
成分(NOx,HyCZ、あるいは、COxなど)の濃
度(ひいては量)を分析するような場合に使用さ
れる流体分析装置としては、従来から、ケミカル
ルミネツセンス検出器(CLD)を備えた分析装
置とか、フレームイオン検出器(FID)を備えた
分析装置とか、あるいは、コンデンサマイクロフ
オン方式またはマイクロフロー方式等によるニユ
ーマテイツク型検出器やサーモパイルあるいは半
導体等の固体検出器を備えた非分散型赤外線分析
装置(NDIR)など、各種の検出器(センサー)
を採用して成る流体分析装置が用いられている。
ところで、前記のような流体分析を行うに際し
ては、例えば、NOとNO2、あるいは、メタン
(CH4)とメタン以外のHC(NMHC)、あるいは
また、COとCO2というように、サンプル流体流
の2つの成分濃度を同時にかつ連続的に測定する
必要があることが多いが、従来一般の流体分析装
置によつてそれを実現するためには、どうしても
2個の検出器(センサー)が必要であつた。
即ち、NOとNO2とを同時連続測定する場合に
は、サンプル流体を2つの測定系に分流し、一方
の系にはサンプルガス中のNO濃度をそれ単独で
測定するための第1NO検出器を設け、他方の系
にはサンプルガス中のNO2をNOに変換する処理
を施して生成された処理流体中の全NO濃度を測
定するための第2NO検出器を設ける、というよ
うに2個のNO検出器が必要であり(NO2濃度は
第2NO検出器による全NO濃度検出値と第1NO検
出器によるNO単独濃度検出値との差として得ら
れ、この手法は差量法と呼ばれる)、また、メタ
ンとメタン以外のHC(NMHC)とを同時連続測
定する場合には、サンプル流体を2つの測定系に
分流し、一方の系にはサンプル流体中の全HC濃
度(THC)を測定するための第1HC検出器を設
け、他方の系にはサンプル流体中のメタン以外の
HCを触媒燃焼させて除去する処理を施して生成
された処理ガス中のメタン濃度を測定するための
第2HC検出器を設ける、というように2個のHC
検出器が必要であり(この場合も差量法を用いて
おり、NMHCは第1HC検出器によるTHC濃度検
出値と第2HC検出器によるメタン濃度検出値と
の差として得られる)、また、サンプル流体中の
COとCO2とを同時連続測定する場合には、サン
プル流体を2つの測定系に分流し、一方の系には
CO検出器を設け他方の系にはCO2検出器を設け
るというように、CO検出器とCO2検出器の2個
の異なる検出器が必要である。
そして、上記のように同一サンプル流体を2つ
の系に分流することにより、そのサンプル流体中
の2つの成分の同時連続分析を行う場合に限ら
ず、2つの異なるサンプル流体について夫々の中
に含まれる特定西部の同時連続分析を行おうとす
る場合にも、同様に2つの検出器(センサー)を
必要とすることが明らかである。
しかしながら、上記したように、同一サンプル
流体中の2つの成分の同時連続分析、あるいは、
2つの異なるサンプル流体について夫々の中に含
まれる特定成分の同時連続分析を行うに際して、
前記従来装置におけるように2つの検出器を用い
なければならないということは、 (ア) 分析装置が大型化すると共に製造コストが高
くつく、 という問題のみならず、 (イ) 2つの検出器毎にゼロ・スパン調整などの調
整を必要とするので、測定に要する手間が大き
く非常に面倒である、 (ウ) 各検出器の調整が十分で無く、2つの検出器
の間にゼロ調整誤差や感度差が存在する場合に
は、非常に大きな測定誤差が生じることにな
る、 といつた種々の問題を引き起こす。
そこで、このような問題を避けるために、ただ
1個の検出器を備えた分析装置を用いて、同一サ
ンプル流体中の2つの成分を交互に測定すると
か、あるいは、2つの異なるサンプル流体を交互
に測定するという、言わばバツチ的な分析方法に
よることも考えられるが、その場合には、同時連
続測定を行えないために、測定データが不連続に
なつてしまうという欠点があり、特に、前述した
差量法を用いた分析を行う場合には、測定精度の
大きな劣化を招く虞れがある。従つて、単に検出
器の個数を節約するためにのみ、このようなバツ
チ的分析方法を採用することは、流体分析の本来
の目的を大きく犠牲にすることになりかねず、得
策とは言えない。
そこで、かかる従来実情に鑑みて、本考案者ら
は、鋭意研究の結果、マルチ流体変調方式という
画期的な手法を採用することによつて、ただ1個
の検出器を用いるだけでありながら、複数の(ま
たは複数の系に分流された)サンプル流体を、同
時にかつ連続的に分析することができる、全く新
規な流体分析方法ならびに流体分析装置を開発す
るに至り、その基本的概念については、昭和62年
12月11日付け出願の特許願および昭和62年12月12
日付け出願の特許願等の先願により、既に提案し
ているところである。
即ち、そのマルチ流体変調方式による流体分析
装置(方法については、この装置において適用さ
れている)とは、第4図に示す基本的概念図およ
び第5図に示す要部具体的構成図に示すところか
ら明らかなように、 複数(この例では2つ)のサンプル流体S1,
S2(これらは、もともと異なるものでも、ある
いは、単一のサンプル流体を2つの系に分流した
ものでもよい)を、夫々、比較流体R1,R2に
より互いに異なる周波数F1,F2(ヘルツ)で
流体変調するための流体変調手段V1,V2と、 ただ一個の検出器Dを有すると共に、前記流体
変調された各サンプル流体S1,S2が同時にか
つ連続的に供給される分析部Aと、 前記分析部Aにおける前記検出脆Dからの出力
信号Oを、適宜周波数分離手段および信号整流・
平滑手段(第4図においては概念的に示してい
る)を用いて、前記各サンプル流体S1,S2に
対する各変調周波数F1,F2の信号成分O1,
O2に分離して夫々整流および平滑化処理するこ
とにより、前記各サンプル流体S1,S2に関す
る分析値を得るための信号処理手段Bとから成
り、 更に、前記信号処理手段Bを構成するに、第5
図に具体的に示しているように、 前記検出器Dからの出力信号Oから、前記各変
調周波数F1,F2付近の帯域の信号のみを夫々
通過させる2つのバンドパスフイルターa1,a
2を互いに並列的に設けると共に、 前記各バンドパスフイルターa1,a2の後段
に、その通過帯域周波数F1,F2に対応する流
体変調手段V1,V2による実際の流体変調動作
に同期して、そのバンドパスフイルターa1,a
2からの出力信号を検波整流する同期検波整流器
b1,b2を設け、かつ、 前記各同期検波整流器b1,b2の後段に、そ
れからの出力信号を平滑化するための平滑素子c
1,c2を設けてある、 という特徴を備えているものである。
つまり、かかる構成を有するマルチ流体変調方
式による流体分析装置においては、例えばロータ
リーバルブとか3方切換電磁弁あるいは4方切換
電磁弁などで構成される適宜流体変調手段V1,
V2を用いて、比較流体R1,R2により互いに
異なる周波数F1,F2で夫々流体変調した2つ
の(または2つの系に分流された)サンプル流体
S1,S2を、ただ一個の検出器Dを有する分析
部Aへ、同時にかつ連続的に供給することによ
り、先ず、そのただ一個の検出器Dから、全ての
サンプル流体S1,S2に対応する個々の測定信
号成分O1,O2が一括的に重畳されたひとつの
測定信号O(=O1+O2)を得る、という従来常
識では全く考えられなかつた特異な手法を採用す
ると共に、次に、前記ただ一個の検出器Dからの
出力信号Oを、例えば、前記第4図に例示してい
るように、適宜周波数分離手段と信号整流・平滑
手段とを組み合わせて構成された信号処理手段B
を用いることにより、前記各サンプル流体S1,
S2に対する各変調周波数F1,F2の信号成分
O1,O2に分離して夫々整流および平滑化処理
するという信号処理を行うことにより、前記各サ
ンプル流体S1,S2に関する分析値を得るよう
にしてあるから、たとえ、同一サンプル流体中の
2つの成分の同時連続分析、あるいは、2つの異
なるサンプル流体について夫々の中に含まれる特
定成分の同時連続分析を行うに際しても、ただ1
個の検出器(センサー)を設けるだけで済み、従
つて、2つの検出器を必要としていた従来一般の
流体分析装置の場合に比べて、装置全体の小型化
および簡素化ならびにコスト低減を容易に図れる
と共に、検出器の調整を容易かつ短時間に行え、
かつ、従来のように複数の検出器間のゼロ調整誤
差や感度差は生じ得ないことから、常に良好な測
定精度を確保できるという基本的に優れた利点を
有している。
しかも、前記信号処理手段Bとしては、例えば
フーリエ解析(周波数分析処理に相当する)およ
び絶対値平均化処理(整流・平滑化処理に相当す
る)などの数値解析の演算処理が可能なコンピユ
ーターを用いるとか、あるいは、ロツクインアン
プなどの電気回路を用いるというように、種々の
ソフトあるいはハードによる適宜手段を構成する
ことが可能であるが、上記流体分析装置において
は、特に、前記第5図に示しているように、バン
ドパスフイルターa1,a2と、同期検波整流器
b1,b2と、例えばローパスフイルターやコン
デンサーで構成される平滑素子c1,c2とを直
列接続して成る信号処理系列を2系列並列に設け
た構成としてあるため、前記のようなコンピユー
ターあるいはロツクインアンプを用いる手段に比
べて、非常に簡単でかつ安価に構成できるのみな
らず、バンドパスフイルターa1,a2のみでは
不十分である虞れがある周波数分離作用を同期検
波整流器b1,b2により補足してより一層精度
の良い周波数分離を行えるように構成してあるか
ら、例えば、ただ単にバンドパスフイルターのみ
で周波数分離した後で直ちに絶対値整流するだけ
の構成のものに比べて、格段に優れた信号処理性
能(S/N比)を得ることができるという利点も
ある。
〔考案が解決しようとする問題点〕
ところで、上記したように、前記第5図に示し
た信号処理手段Bにおいては、各同期検波整流器
b1,b2へ、流体変調手段V1,V2による実
際の流体変調動作を表す(つまり同期した)周波
数信号を供給する必要があるが、その手段として
は、通常は、次のような構成が採られる。
即ち、前記流体変調手段V1,V2がどのよう
な形式のもので構成されるにせよ、夫々の実際の
流体変調動作を正確に検出する必要があることか
ら、第6図に示すように、それら両流体変調手段
V1,V2に対して、夫々、実変調動作信号検出
器9a,9bを各別に付設すると共に、各実変調
動作信号検出器9a,9bから出力される実変調
動作信号F1ヘルツ(F2ヘルツ)を各同期検波
整流器b1,b2へ供給するようにするのが普通
である。なお、前記各実変調動作信号検出器9
a,9bとしては、接触式や非接触式など種々の
回転検出器を用いることができる。
しかしながら、上記のような構成を採用する場
合には、両流体変調手段V1,V2に対して、実
変調動作信号検出器9a,9bを各別に付設しな
ければならないから、部品点数が多くなると共に
それだけ構造が複雑になり、コスト高になること
は明らかである。
本考案は、かかる実情に鑑みてなされたもので
あつて、その目的は、前記両流体変調手段および
信号処理手段の構成に更なる工夫を加えることに
より、実変調動作信号検出器をただ1個設けるだ
けで済むようにすることによつて、より簡素で安
価に構成できるマルチ流体変調方式による流体分
析装置を提供せんとすることにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本考案装置は、前
述した先願に係るマルチ流体変調方式による流体
分析装置、即ち、 2つの(また2つの系に分流された)サンプル
流体を、夫々、比較流体により互いに異なる周波
数で流体変調するための流体変調手段と、 ただ一個の検出器を有すると共に、前記流体変
調された各サンプル流体が同時にかつ連続的に供
給される分析部と、 前記分析部における前記検出器からの出力信号
を、前記各サンプル流体に対する各変調周波数の
信号成分に分離して夫々整流おぼび平滑化処理す
ることにより、前記各サンプル流体に関する分析
値を得るために、前記検出器からの出力信号か
ら、前記各変調周波数付近の帯域の信号のみを
夫々通過させる2つのバンドパスフイルターを互
いに並列的に設けると共に、前記各バンドパスフ
イルターの後段に、その通過帯域周波数に対応す
る流体変調手段による実際の流体変調動作に同期
して、そのバンドパスフイルターからの出力信号
を検波整流する同期検波整流器を設け、かつ、前
記各同期検波整流器の後段に、それからの出力信
号を平滑化するための平滑素子を設けて成る信号
分析手段、 とから成るマルチ流体変調方式による流体分析装
置において、 前記両流体変調手段を、夫々、サンプル流体の
流入口、比較流体の流入口、前記分析部への流出
口、排出口を備えたハウジング内に所定周期で回
転駆動可能な流路切り換え用ローターを設けて成
るロータリーバルブで構成すると共に、 それら両ロータリーバルブの両ローターを、1
つのモーターおよび所要の変速機構を介して互い
に連繋された状態で回転駆動するように構成し、
かつ、 前記両ロータリーバルブのうちの一方のものに
のみ、その実際の流体変調動作を表す信号を検出
するための実変調動作信号検出器を付設し、 更に、 前記信号分析手段においては、前記実変調動作
信号検出器から出力された一方のロータリーバル
ブの実流体変調動作信号を、それに対応する一方
の系における同期検波整流器に直接供給すると共
に、前記一方の実流体変調動作信号に基いて他方
のロータリーバルブの流体変調動作に対応する流
体変調動作信号を生成するための周波数変換回路
を設けて、その周波数変換回路から出力される他
方の変調動作に対応する流体変調動作信号を、そ
れに対応する他方の系における同期検波整流器に
供給するように構成してある、 という点に特徴がある。
〔作用〕
上記特徴構成により発揮される作用は下記の通
りである。
即ち、上記本考案によるマルチ流体変調方式に
よる流体分析装置においては、 () 両流体変調手段を夫々ロータリーバルブ
で構成すると共に、それら両ロータリーバルブ
の両ローターを、1つのモーターおよび所要の
変速機構を介して互いに連繋された状態で回転
駆動するように構成したから、例えば、両流体
変調手段を各別の駆動機構により駆動する場合
に比べて、モーターおよびその制御機構の数を
減らすことができ、 () その上、一方のロータリーバルブの流体
変調動作信号については、そのロータリーバル
ブに実変調動作信号検出器を付設することによ
り得るようにしているが、他方のロータリーバ
ルブの流体変調動作信号については、実変調動
作信号検出器を設けること無く、周波数変換回
路により得られるようにしてあるから、つま
り、前記のように両ロータリーバルブのロータ
ー同士が互いに連繋されていてその相対関係が
一定していることを利用して、周波数変換回路
を用いて、前記一方のロータリーバルブに設け
られた実変調動作信号検出器から出力された前
記一方のロータリーバルブの実流体変調動作信
号に基いて他方のロータリーバルブの流体変調
動作に対応する流体変調動作信号を生成するよ
うに構成してあるから、変調動作信号検出器の
数も減らすことができ、 全体として、先に説明したような種々の基本的
利点を有するマルチ流体変調方式による流体分析
装置を、非常に簡素かつ安価に構成できるように
なつた。
〔実施例〕
以下、本考案に係るマルチ流体変調方式による
流体分析装置の具体的実施例を図面(第1図ない
し第3図)に基いて説明する。
なお、本考案装置の全体的な基本構成は、前述
した第4図および第5図の組み合わせたから成る
ものと同様であり、その詳細については、既に説
明済みであるので、ここでは省略する。
さて、本実施例においては、上記基本的構成を
有するマルチ流体変調方式による流体分析装置に
おいて、第1図に示す両流体変調手段V1,V2
の模式的構成図おび第2図に示す信号処理手段B
の概略構成図から明らかなように、前記各流体変
調手段V1,V2を、夫々、サンプル流体S1,
S2の流入口3、比較流体R1,R2の流入口
5、分析部Aへの流出口6、排出流路への排出口
4を備えたハウジングH内に、後述する駆動機構
により所定周期で回転駆動可能な流路切り換え用
ローターRを設けて成るロータリーバルブで構成
してある。そして、それら両流体変調手段V1,
V2を構成する両ロータリーバルブは、それらに
よる流体変調周波数F1,F2の比が偶数または
偶数分の1になるように、つまり、F1=lHz、
F2=2hlHz(hは整数)またはその逆となるよ
うに設定されている(この例では、F1=1Hz、
F2=2Hz)。
前記両ロータリーバルブのローターR,Rに対
する駆動機構は下記の通りである。
即ち、この例においては、高い方の流体変調周
波数(2Hz)を持つ流体変調手段V2を構成する
ロータリーバルブのローターRを、回転数が2Hz
に制御されたモーター7で直接回転駆動する一
方、低い方の流体変調周波数(1Hz)を持つ流体
変調手段V1を構成するロータリーバルブのロー
ターRを、前記モーター7の回転数を1/2に減速
する減速ギア機構から成る変速機構8により回転
駆動すりょうにしてある。つまり、前記両ロータ
リーバルブの両ローターR,Rは、1つのモータ
ー7および所定の変速比(1/2)を有する変速
機構8を介して、互いに一定の相対関係を保持す
る状態で連繋して回転駆動されるように構成され
ている。
また、前記減速ギア機構8からそれに対応する
一方の流体変調手段V1のローターRに至る回転
軸系の方にのみ、その流体変調手段V1による実
際の変調動作を表す(つまり同期した)周波数信
号(1Hz)を生成するための、例えばフオトイン
ターラプターなどで構成される実変調動作信号検
出器9が設けられている。
そして、前記信号分析手段Bにおいては、第2
図から明らかなように、前記実変調動作信号検出
器9から出力された一方の流体変調手段(ロータ
リーバルブ)V1の実流体変調動作信号(1Hz)
を、それに対応する一方の系における同期検波整
流器b1に直接供給するように構成すると共に、
他方の系における同期検波整流器b2には、前記
一方の実流体変調動作信号(1Hz)に基いて他方
の流体変調手段(ロータリーバルブ)V2の流体
変調動作に対応する流体変調動作信号(2Hz)を
生成するための周波数変換回路10を設けて、そ
の周波数変換回路10から出力される他方の変調
動作に対応する流体変調動作信号(2Hz)を、供
給するように構成してある。
なお、前記周波数変換回路10としては、例え
ば、第3図イに示すように、位相比較器11、ロ
ーパスフイルター12、電圧制御型発振器13、
1/2分周器14で構成される公知のPLL(フエー
ズロツクループ)回路とか、あるいは、第3図ロ
に示すような、入力信号の立ち上がりおよび立ち
下がりの両方でトリガ信号を発生するトリガ信号
発生器15、そのトリガ信号により入力信号の倍
の周波数の信号を発生するワンシヨツトマルチバ
イブレーター16、その信号のデユーテイー比を
50%に調整するデユーテイー比調整回路17で構
成される回路など、任意の構成のものを用いるこ
とができる。
なお、上記の実施例においては、低い方の流体
変調周波数(1Hz)を持つ流体変調手段(ロータ
リーバルブ)V1にのみ、実変調動作信号検出器
9を設けた構成のものを示したが、逆に、高い方
の流体変調周波数(2Hz)を持つ流体変調手段
(ロータリーバルブ)V2にのみ、実変調動作信
号検出器を設けるようにすることもできる。その
場合には、前記周波数変換回路10として、例え
ば、第3図ハに示すような、入力信号の立ち上が
りおよび立ち下がりをカウントして4個毎にトリ
ガ信号を発生するトリガ信号発生器18、そのト
リガ信号により入力信号の半分の周波数の信号を
発生するワンシヨツトマルチバイブレーター1
9、その信号のデユーテイー比を50%に調整する
デユーテイー比調整回路20で構成される回路な
どを用いればよい。
〔考案の効果〕
以上詳述したところから明らかなように、本考
案に係るマルチ流体変調方式による流体分析装置
におれば、両流体変調手段を、夫々、サンプル流
体の流入口、比較流体の流入口、前記分析部への
流出口、排出口を備えたハウジング内に所定周期
で回転駆動可能な流路切り換え用ローターを設け
て成るロータリーバルブで構成すると共に、それ
ら両ロータリーバルブの両ローターを、1つのモ
ーターおよび所要の変速機構を介して互いに連繋
された状態で回転駆動するように構成し、かつ、
前記両ロータリーバルブのうちの一方のものにの
み、その実際の流体変調動作を表す信号を検出す
るための実変調動作信号検出器を付設し、更に、
信号分析手段においては、前記実変調動作信号検
出器から出力された一方のロータリーバルブの実
流体変調動作信号を、それに対応する一方の系に
おける同期検波整流器に直接供給すると共に、前
記一方の実流体変調動作信号に基いて他方のロー
タリーバルブの流体変調動作に対応する流体変調
動作信号を生成するための周波数変換回路を設け
て、その周波数変換回路から出力される他方の変
調動作に対応する流体変調動作信号を、それに対
応する他方の系における同期検波整流器に供給す
るように構成したことによつて、両流体変調手段
を各別の駆動機構により駆動すると共に各流体変
調手段に夫々1個づず実変調動作信号検出器を付
設する場合に比べて、モーターおよびその制御機
構の数、ならびに、変調動作信号検出器の数を共
に減らす(ただ1個で済むようにする)ことがで
き、全体として、先に説明したような種々の基本
的利点を有するマルチ流体変調方式による流体分
析装置を、非常に簡素かつ安価に構成できる、と
いう実用上優れた効果が発揮される。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は本考案に係るマルチ流体
変調方式による流体分析装置の一具体的実施例を
示し、第1図は要部の模式的構成図、第2図は要
部の概略回路構成図であり、また、第3図イ,
ロ,ハは夫々周波数変換回路の具体的な回路例で
ある。そして、第4図ないし第6図は本考案の技
術的背景ならびに先行技術における問題点を説明
するためのものであつて、第4図は先行技術に係
るマルチ流体変調方式による流体分析装置の基本
的概念図、第5図はその要部の概略回路構成図、
第6図は比較例に係る要部の概略回路構成図を、
夫々示している。 S1,S2……サンプル流体、R1,R2……
比較流体、F1,F2……流体変調周波数、V
1,V2……流体変調手段(ロータリーバルブ)、
9……実変調動作信号検出器、H……ハウジン
グ、R……ローター、3……サンプル流体S1,
S2の流入口、4……排出口、5……比較流体R
1,R2の流入口、6……検出部Aへの流出口、
A……分析部、D……検出器、B……信号処理手
段、O……検出器Dからの出力信号、O1,O2
……各サンプル流体S1,S2に対する各変調周
波数F1,F2の信号成分、a1,a2……バン
ドパスフイルター、b1,b2……同期検波整流
器、c1,c2……ローパスフイルター、10…
…周波数変換回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 2つの(また2つの系に分流された)サンプル
    流体を、夫々、比較流体により互いに異なる周波
    数で流体変調するめの流体変調手段と、 ただ一個の検出器を有すると共に、前記流体変
    調された各サンプル流体が同時にかつ連続的に供
    給される分析部と、 前記分析部における前記検出器からの出力信号
    を、前記各サンプル流体に対する各変調周波数の
    信号成分に分離して夫々整流および平滑化処理す
    ることにより、前記各サンプル流体に関する分析
    値を得るために、前記検出器からの出力信号か
    ら、前記各変調周波数付近の帯域の信号のみを
    夫々通過させる2つのバンドパスフイルターを互
    いに並列的に設けると共に、前記各バンドパスフ
    イルターの後段に、その通過帯域周波数に対応す
    る流体変調手段による実際の流体変調動作に同期
    して、そのバンドパスフイルターからの出力信号
    を検波整流する同期検波整流器を設け、かつ、前
    記各同期検波整流器の後段に、それからの出力信
    号を平滑化するための平滑素子を設けて成る信号
    分析手段、 とから成るマルチ流体変調方式による流体分析装
    置において、 前記両流体変調手段を、夫々、サンプル流体の
    流入口、比較流体の流入口、前記分析部への流出
    口、排出口を備えたハウジング内に所定周期で回
    転駆動可能な流路切り換え用ローターを設けて成
    るロータリーバルブで構成すると共に、 それら両ロータリーバルブの両ローターを、1
    つのモーターおよび所要の変速機構を介して互い
    に連繋された状態で回転駆動するように構成し、
    かつ、 前記両ロータリーバルブのうちの一方のものに
    のみ、その実際の流体変調動作を表す信号を検出
    するための実変調動作信号検出器を付設し、更
    に、 前記信号分析手段においては、前記実変調動作
    信号検出器から出力された一方のロータリーバル
    ブの実流体変調動作信号を、それに対応する一方
    の系における同期検波整流器に直接供給すると共
    に、前記一方の実流体変調動作信号に基いて他方
    のロータリーバルブの流体変調動作に対応する流
    体変調動作信号を生成するための周波数変換回路
    を設けて、その周波数変換回路から出力される他
    方の変調動作に対応する流体変調動作信号を、そ
    れに対応する他方の系における同期検波整流器に
    供給するように構成してある、 ことを特徴とするマルチ流体変調方式による流体
    分析装置。
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