JPH0540002Y2

JPH0540002Y2 -

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Publication number: JPH0540002Y2
Application number: JP1986111866U
Authority: JP
Priority date: 1986-07-21
Filing date: 1986-07-21
Publication date: 1993-10-12
Anticipated expiration: 2001-07-21
Also published as: JPS6318427U

Description

【考案の詳細な説明】イ産業上の利用分野本考案は、板状体移換え装置に関し、例えばバ
スケツトに収容されている半導体ウエハをカート
リツジに移換えるのに又はこの逆の移換えを行う
のに好適な板状体移換え装置に関する。

ロ従来技術半導体ウエハ表面に酸化珪素膜等の堆積膜を形
成するためにCVD装置が汎用されているが、近
時、多数の半導体ウエハを上下に積み重ねる如く
に配した状態で処理する縦型炉と称される装置が
注目されてきている。この縦型炉は旧来の横型の
炉とは異なつて、半導体ウエハの挿入及び取出し
が容易であり、作業に必要な占有面積も少なくて
済むという利点がある。

こうしたCVD装置を含む種々の処理装置にお
いて、多数の半導体ウエハを円筒形のカートリツ
ジ内に収納し、カートリツジ毎に一括して処理す
ることは有利である。

半導体ウエハ（以下、単にウエハと呼ぶ。）は、
珪素又はゲルマニウム等の半導体結晶のインゴツ
トを薄く切つたもので、例えば厚さ0.6mm程度、
直径150mm程度の円板状を呈しており、通常、バ
スケツトと呼ばれる容器内に互いに間隔をおいて
多数枚が収容されている。

旧来の横型炉にあつては、ウエハは縦にして横
方向に並んでバスケツトに収容されていて、これ
らを一括して半径方向から２個のレバーで挟み込
んでバスケツトから抜き出し、向きを変えること
なくカートリツジに移換えていた。

縦型炉にあつては、カートリツジ中にウエハを
水平にして上下方向に互いに間隔をおいて多数枚
収容し、一括して炉に挿入するので、バスケツト
もカートリツジと同様の状態でウエハを収容する
ようにするのが好都合である。

炉内でウエハを処理するに当たり、カートリツ
ジとウエハとの接触面積は、雰囲気ガスの流通を
良好にするために、できるだけ小さいことが望ま
しい。その上、縦型炉用カートリツジでは、ウエ
ハをバスケツトとの間で移換えるために、横方向
の少なくとも一方にウエハが通過できる開口部
（空間部）を設ける必要があり、カートリツジは
この空間部を避けた位置でウエハを支持すること
になる。そのため、カートリツジ３は、第１９図
に示すように、図示しないウエハを水平に支持す
る２本の主柱３ａとこの水平支持を安定にする補
助柱３ｂとを有し、主柱３ａ及び補助柱３ｂには
夫々ウエハを支持するための溝３ｅを設けた構造
とするのが良い。同図中、３ｃは天蓋、３ｄは底
板、３ｆはウエハ出し入れのための空間部、３ｇ
は空間部、３ｈはつばである。また、カートリツ
ジは、炉内でウエハと共に加熱されるので、その
材料には石英ガラスが好ましく使用される。

第２０図は、カートリツジ３中にウエハ１６が
収容されている状態を示す正面図である。ウエハ
１６は主柱３ａ及び補助柱３ｂの溝３ｅに挿入さ
れ、２本の主柱３ａ及び２本の補助柱３ｂによつ
て支持される。

第２１図はバスケツトの斜視図である。バスケ
ツト４はプラスチツク製で、その側壁内側には、
図示しないウエハを水中に互いに隔離して収容す
るよう、つば４ｂが設けてあり、前、後面には開
口部４ｃ，４ｄが設けてある。

第２２図バスケツト中にウエハ１６が収容され
ている状態を示す第２１図の−線矢
視断面図である。

ウエハ１６は、バスケツトの側壁内側の凹部４
ａに挿入され、つば４ｂに支承されてバスケツト
中に収容される。

ハ考案に至る経過上記したようなカートリツジとバスケツトとの
間で、半導体ウエハを取出して移換えるためのウ
エハ取出し装置として、本出願人は先に第１８図
ａ〜ｃの部分断面図に示すようなものを提示して
いる（特願昭60−103250号）。

第１８図ａは、バスケツト４中にウエハ１６が
収容されている状態を示す。

この状態から、第１８図ｂに示すように、水平
な支持面４０ｂ及び１４０ｂを有する支持部４０
ａ，１４０ａを夫々多数設けたウエハ取出し具４
０及び１４０をバスケツト４内に移動させ、ウエ
ハ取出し具４０及び１４０（以後、取出し具と呼
ぶことがある。）の支持部４０ａ及び１４０ａが
ウエハ１６の縁部間隙に位置するようにする。

次に、第１８図ｃに示すように、ウエハ取出し
具４０及び１４０を図示しない例えばカム機構に
よつて上昇させ、ウエハ１６を取出し具４０及び
１４０の支持部４０ａ，１４０ａに載置する。こ
のとき、バスケツト４のつば４ｂはウエハ１６か
ら離れる。その後は取出し具４０及び１４０によ
りウエハ１６を支持した状態で、カートリツジま
で移送すれば良い。（ウエハをカートリツジに収
容する手順については省略する。）本考案者は、検討を加えた結果、上述したよう
な取出し具には、なお次のような問題が残されて
いることを見出した。

即ち、上述のウエハ取出し具を用いた場合、取
出し具をバスケツト又はカートリツジに挿入する
ため或いはウエハを移送するための往復動機構だ
けでなく、例えば第１８図ｃにおいて示したよう
に取出し具の上下動機構を別個に設ける必要があ
る。そうすると装置全体が寸法的にみて必然的に
大型化し、機構が複雑となり、制御手続が煩雑と
なり、また装置の寸法的な狂いや誤動作のおそれ
が増大する。

本考案者は研究の結果上記のような問題を解決
したウエハ取出し具を開発し、本考案を完成する
に至つた。

ニ考案の目的本考案は、上記の事情に鑑みてなされたもので
あつて、板状体を所定の支持位置に導くための機
構を別個に設けることなく、往復動機構のみによ
り自動的に板状体を所定の支持位置へ導くことが
できるような板状体移換え装置を提供することを
目的としている。

ホ考案の構成本考案は、複数の板状体を挿入又は取出すための空間部を
夫々有する第一及び第二の板状体支持装置の間
で、前記複数の板状体を移換えるに際し、前記第
一の板状体支持装置に上下方向に所定間隔を以て
略水平に周辺部で支持された前記複数の板状体を
板状体取出し具によつて取出した後に、前記複数
の板状体を略水平移動させて前記第二の板状体支
持装置に前記複数の板状体を上下方向に前記所定
間隔を以て略水平に周辺部で支持させる板状体移
換え装置であつて、前記板状体取出し具が、前記板状体支持装置に
対して略水平に往復動可能な互に対向した第一及
び第二の取出し具からなり、前記第一の取出し具
と前記第二の取出し具とを前記複数の板状体に対
してこれら板状体の周辺部を対向位置で同時に支
持する位置迄夫々略水平に往動させる駆動手段を
有し、前記第一及び第二の取出し具の板状体支持部に
傾斜面を設け、前記往動時に前記複数の板状体
が、前記周辺部において前記傾斜面に接しながら
この傾斜面を下方から上方へ乗上げ、これによつ
て前記第一の板状体支持装置から離れ、前記第一
及び第二の取出し具間に支持されるようになさ
れ、この支持状態の儘前記第一及び第二の取出し具
を同時に略水平移動させ、前記第一の板状体支持
装置から前記第二の板状体支持装置へ前記複数の
板状体を略水平移動させる駆動手段を有する板状
体移換え装置に係る。

ヘ実施例以下、本考案の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。

第１図〜第１７図は本考案の実施例を表わすも
の、第１８図は比較例を示すもの、第１９図〜第
２２図は縦型CVD装置用カートリツジ及びバス
ケツトを示すものである。

実施例１第１図〜第６図は、本実施例を示すものであ
る。

先ず、バスケツトとカートリツジとの間でウエ
ハを移換える動作について説明する。

第４図は、バスケツト４中のウエハ１６を、互
いに対向するウエハ取出し具１，１０１を使用し
てカートリツジ３に移換える手順を示すフローチ
ヤートである。

第４図ａに示すように、支持部１３，１１３と
夫々一体となつた一対のウエハ取出し具１，１０
１を対向させ、それらと軸を一致させてウエハ１
６を収容したバスケツト４と空のカートリツジ３
とを位置させる。次に、同図ｂに示すように、取
出し具１，１０１を前進させてこれらの先端縁部
でウエハ１６を支持するようにし、同図ｃに示す
ように、その儘取出し具１，１０１を図に於いて
右方に移動させてウエハ１６をカートリツジ３中
に収容し、最後に同図ｄに示すように、取出し具
１，１０１を後退させる。

第４図ａの状態におけるバスケツト４、カート
リツジ３並びに取出し具１及び１０１の位置関係
は、第３図に斜視図で示す通りである。

バスケツト４の前面及び背面には、前述したよ
うに壁が設けられておらず、取出し具１，１０１
が貫通できるように開口部４ｃ，４ｄが形成され
ている。また、カートリツジ３の前後共に主柱３
ａ及び補助柱３ｂは取出し具１，１０１が通過で
きるに十分な間隔をおいて設けられ、開口部３
ｆ，３ｇが形成されている。従つて、取出し具
１，１０１は、バスケツト４及びカートリツジ３
に対して、開口部４ｃ，４ｄ，３ｆ，３ｇを経由
して挿入、離脱が可能になつていて、第４図ａの
状態から同図ｂ，ｃ，ｄの状態へと往復動が可能
である。

第１図ａはウエハ取出し具１，１０１を示す斜
視図、同図ｂはそのｂ−ｂ線断面図である。
取出し具１，１０１は、支持部１３，１１３の端
部に固定されて一体化されており、後述する機構
によつて往復動可能となつている。

取出し具はウエハの形状に合わせた円弧柱状を
しており、その前面にはウエハを支持し移送する
ための傾斜面１ｂを有するつば１ａが、縦方向に
多数設けられている。

次に、第４図ｂの状態におけるウエハ移換え装
置を、第５図に平面図で、第６図で正面図（一部
は断面）で示す。

雌ねじが螺設されたスライダ５には取出し具１
を支持する支持部１３が、雌ねじが螺設されたス
ライダ６には取出し具１０１を支持する支持部１
１３がそれぞれ水平に固着され、取出し具１，１
０１は互いに向い合つて位置している。

フレーム１１，１１１には送りねじ９，１０が
平行に貫通していて、送りねじ９にはスライダ５
が、送りねじ１０にはスライダ６が夫々螺合し、
送りねじ９はスライダ６に、送りねじ１０はスラ
イダ５に夫々接触することなく貫通していて、送
りねじ９，１０の回動によつてスライダ５，６が
別個に送りねじ９，１０に沿つて往復動できるよ
うにしてある。７及び８はスライダ５，６の案内
軸である。

第５図及び第６図は、第４図ａの状態から送り
ねじ９，１０を回転させてスライダ５，６をウエ
ハ１６に向かつて前進させ、第４図ｂの状態とし
た時点を示している。

バスケツト中に収容されているウエハをカート
リツジに移換えるに至るウエハ取出し具の運動
は、部分断面図で第２図に示す通りである。

第２図ａはバスケツト４中にウエハ１６が収容
されている状態を示し、ウエハ１６はバスケツト
４のつば４ｂ上に載置され、図示しない搬送手段
によつて対向する一対の取出し具１，１０１の間
に搬送される（第４図ａの状態）。

この状態から、第２図ｂに示すように、取出し
具１０１をバスケツト４内に移動させ、取出し具
１０１の端縁の支持部１０１ａがウエハ１６の縁
部間隙に位置するようにする。他方、取出し具１
はバスケツト４から突出しているウエハ１６の縁
部間隙に端縁の支持部１ａが位置するように移動
する（第４図ｂの状態）。取出し具１，１０１の
移動は第６図の送りねじ９，１０の回動によつて
なされる。

取出し具１，１０１の支持部１ａ，１０１ａに
は、前述したように前方に向かつて下降する傾斜
面１ｂ，１０１ｂが設けてあり、この傾斜支持面
１ｂ，１０１ｂがウエハ１６に当接してから後
は、取出し具１，１０１の移動に伴い、ウエハ１
６は支持部１ａ，１０１ａに支承されながらこの
傾斜支持面１ｂ，１０１ｂ上を上昇し、バスケツ
ト４のつば４ｂから離れる。このとき、第２図ｃ
に示すように取出し具１，１０１を所定位置で停
止させれば、ウエハ１６は自動的に所定の支持位
置へ導かれて静止する。

次に、取出し具１，１０１をウエハ１６を支承
した儘カートリツジ３へ向かつて移動させ、第２
図ｄに示すように、主柱３ａ及び補助柱３ｂの溝
３ｅ中にウエハ１６の縁部を侵入させる（第４図
ｃの状態）。

次に、取出し具１，１０１を僅か後退させる
と、それに伴い、第２図ｅに示すように、ウエハ
１６は、傾斜支持面１ｂ，１０１ｂ上を下降し、
主柱３ａ及び補助柱３ｂの溝３ｅ上の所定位置に
自動的に導かれて載置され、取出し具１，１０１
の支持部１ａ，１０１ａはウエハ１６から離れ
る。

引続き、取出し具１，１０１を後退させ、第２
図ｆに示すように、これらをカートリツジ３及び
バスケツト４から外す（第４図ｄの状態）。

かくして、ウエハ１６はバスケツト４からカー
トリツジ３へ一括して移換えられ、カートリツジ
３に収容されたウエハ１６は、カートリツジ３と
共に図示しない移送装置によつて図示しない処理
装置へ移送され、処理が施される。

処理が終了したウエハは、カートリツジと共に
移換え装置に移送され、第２図ａ〜ｆの手順の逆
の手順に従つてバスケツトに移換えられ、図示し
ない搬送手段によつて搬送される。

実施例２第７図及び第８図は、本実施例を示すものであ
る。

第７図ａはウエハ取出し具の斜視図、同図ｂは
同図ａのｂ−ｂ−線断面図である。

取出し具２，１０２は、前記実施例１の取出し
具１と同様の形状であるが、その前面に下側傾斜
面２ｂ及びそれと溝２ｅを挟んで対向する上側傾
斜面２ｃを有するつば２ａが、縦方向に多数設け
られており、つば２ａの傾斜面２ｂ上にウエハを
載置して移送する。

取出し具２，１０２は、実施例１の取出し具１
と同様に、前に第２図〜第６図に基づいて説明し
た方法で使用できる。そのとき、ウエハの取出
し、移送、移換え手順等は前述したものと同じで
よい。傾斜面２ｂが取出し具１の傾斜面１ｂと同
様の働きをすることは言うまでもない。

本実施例のウエハ取出し具２，１０２には更に
別の効果がある。以下、第８図ａ〜ｃの部分断面
図を用いてそれを説明する。

第８図ａは、カートリツジにウエハ１６が収容
されている状態を示すが、一部のウエハ１６ａが
補助柱３ｂの溝３ｅから外れて傾斜している。

このとき、取出し具２，１０２をカートリツジ
内に移動させると、第８図ｂに示すように、取出
し具１０２の支持部１０２ａに設けられた上側傾
斜面１０２ｃが、傾いて他のウエハより上方に向
けて少し突出しているウエハ１６ａの縁部周面に
当接する。この状態から、取出し具２，１０２が
移動すると、それに伴いウエハ１６ａの縁部周面
が上側傾斜面１０２ｃと摺動しながら溝２ｅの奥
の方へ移動するので、それにつれてウエハ１６ａ
の傾きは小さくなる。

更に取出し具２，１０２が移動すると、第８図
ｃに示すように、ウエハ１６ａは取出し具２，１
０２のつば２ａ，１０２ａの傾斜面２ｂ，１０２
ｂに支持され、主柱３ａの支持は解除される。

この様に、本実施例のウエハ取出し具を用いれ
ば、上側傾斜面を設けてあるので、例えばカート
リツジ中で一部のウエハが溝から外れて傾斜して
いても、それを破損することなく取り出すことが
可能である。

実施例３第９図〜第１４図は、本実施例を示すものであ
る。

第９図ａは本実施例のウエハ取出し具を示す斜
視図、同図ｂは同図ａのｂ−ｂ断面図であ
る。

取出し具２０，１２０も前記の取出し具１，
２，１０１，１０２と同様の形状を有するが、そ
の前面には前記実施例２に於けると同様の傾斜面
２０ｂ，２０ｃ，１２０ｂ，１２０ｃが縦方向に
多数設けてあつて、これらにより断面楔形の溝２
０ｅ，１２０ｅ及びつば２０ａ，１２０ａが形成
されている。更に、楔形溝２０ｅ，１２０ｅの最
奥部からは、上下面を水平にしたウエハ支持溝２
０ｆが延設されている。

このウエハ取出し具を用いて、バスケツト中に
収容されているウエハをカートリツジに移換える
に至るアームの運動は、部分断面図で第１０図に
示す通りである。

第１０図ａはバスケツト４中にウエハ１６が収
容されている状態を示し、ウエハ１６はバスケツ
ト４のつば４ｂ上に載置され、図示しない搬送手
段によつて対向する一対の取出し具２０，１２０
の間に搬送される（第４図ａの状態）。

この状態から、第１０図ｂに示すように、取出
し具１２０をバスケツト４内に移動させ、取出し
具１２０のつば１２０ａがウエハ１６の縁部間隙
に位置するようにする。他方、取出し具２０はバ
スケツト４から突出しているウエハ１６の縁部間
隙につば２０ａが位置するように移動する（第４
図ｂの状態）。ウエハ取出し具の移動については
既に詳述した通りである。

取出し具２０，１２０のつば２０ａ，１２０ａ
には前方に向かつて下降する傾斜面２０ｂ，１２
０ｂが設けてあり、この傾斜２０ｂ，１２０ｂが
ウエハ１６に当接してから後は、ウエハ１６は、
つば２０ａ，１２０ａに支承されながらこの傾斜
面２０ｂ，１２０ｂ上を上昇し、バスケツト４の
つば４ｂから離れ、最終的には第１０図ｃに示す
ように、ウエハ支持溝２０ｆ，１２０ｆへ導びか
れ、水平なウエハ支持面２０ｄ，１２０ｄ上にそ
の周縁部が載置される。

次に、取出し具２０，１２０をウエハ１６を支
承した儘カートリツジ３へ向かつて移動させ、第
１０図ｄに示すように、主柱３ａ及び補助柱３ｂ
の溝３ｅ中にウエハ１６の縁部を侵入させる。
（第２図ｃの状態）。

次に、取出し具２０，１２０を僅かに後退させ
ると、第１０図ｅに示すように、ウエハ１６はウ
エハ支持面２０ｄ，１２０ｄを離れ、さらに傾斜
面２０ｂ，１２０ｂを下降し、主柱３ａ及び補助
柱３ｂの溝３ｅ上に載置され、取出し具２０，１
２０のつば２０ａ，１２０ａはウエハ１６から離
れる。

引続き、取出し具２０，１２０を後退させ、第
１０図ｆに示すように、これらをカートリツジ３
及びバスケツト４から外す（第４図ｄの状態）。

処理が終了したウエハは、カートリツジと共に
移換え装置に移送され、第１０図ａ〜ｆの手順の
逆の手順に従つてバスケツトに移換えられ、図示
しない搬送手段によつて搬送される。

本実施例のウエハ取出し具２０，１２０の利点
は、ウエハ収容部２０ｆ，１２０ｆ及びウエハ支
持面２０ｄ，１２０ｄを設けることにより、バス
ケツト又はカートリツジ内で位置ずれしたウエハ
をも傾くことなく確実に水平に支持できることで
ある。

以下、上記の利点について、第１０図〜第１４
図を用いて説明する。

ここで第１１図ａ〜ｃ及び第１３図ａ〜ｃは位
置ずれした半導体ウエハを取出す手順を示す概略
平面図、第１２図ａは第１１図ｂのａ−ａ線
矢視断面図、第１２図ｂは第１１図ｃのｂ−
ｂ線矢視断面図、第１４図ａは第１３図ａの
ａ−ａ線矢視断面図、第１４図ｂは第１３図
ｂのｂ−ｂ線矢視断面図である。第１１
図〜第１４図においては、ウエハ及びウエハ取出
し具のみを示し、カートリツジ又はバスケツトは
図示省略してある。

例えば、第１１図に示すように、図示省略した
バスケツト又はカートリツジ内で、一部のウエハ
１６ｂが取出し具の往復動する一点鎖線で示す中
心線から横方向に位置ずれしていることがある。
図中Ｏはウエハ６ｂの中心点である。

この場合、第１０図ｂに示したように取出し具
２０，１２０をウエハ１６ｂの方へと移動させる
と、第１２図ａに示すように、位置ずれしている
ウエハ１６ｂは、取出し具の傾斜面２０ｂには図
に於いて左側が先に接触し、この接触部が傾斜面
２０ｂに沿つて上昇する。その結果、ウエハ１６
ｂは、Ａで示す側の周縁が高く、Ｂで示す側の周
縁が低く傾斜する。この侭の状態でウエハ１６を
バスケツト又はカートリツジから取出して移送
し、カートリツジ又はバスケツト内に挿入する
と、ウエハが主柱や補助柱のつば或いはバスケツ
トのつばに衝突したりして破損するおそれがあ
る。

しかし、本実施例のウエハ取出し具を用いた場
合は、ウエハ１６ｂを傾斜した状態で支持した儘
移送する必要はなく、第１０図ｃに示したように
ウエハ取出し具を更に進めてウエハ１６ｂをウエ
ハ支持溝２０ｆ内へ送り込み、第１１図ｃ及び第
１２図ｂに示す状態とすればよい。この状態で
は、ウエハ１６ｂはウエハ支持溝２０ｆのウエハ
支持面２０ｄにより水平に支持されているので、
前述したような問題が回避される。

なお、取出し具２０，１２０でウエハを支持す
る際、対向する取出し具がウエハ支持のため進行
する過程において、取出し具２０，１２０の傾斜
面２０ｂ，１２０ｂが、ウエハ１６ｂのＡ側周面
に対しＢ側周面より先に当接して摺動しながら押
しやる効果があるので、それだけウエハ１６ｂの
位置ずれも矯正される。

また、第１３図ａに示すように、図示省略した
例えばバスケツト内で、一部のウエハ１６ｃが中
心点Ｏを一点鎖線で示す中心線から、一方の取出
し具１２０の方にずらして位置ずれしていること
がある。

この場合、第１０図ｂに示したように取出し具
２０，１２０をウエハ１６ｃの方へと移動させる
と、第１３図ｂ及び第１４図ａに示すように、位
置ずれしたウエハ１６ｃは傾斜面２０ｂよりも先
に傾斜面１２０ｂに接触する。その結果、前記と
同様にしてウエハ１６ｃのＣ側周縁が高く、Ｄ側
周縁が低くなる。この儘の状態でウエハ１６ｃを
バスケツトから取出し、移送し、カートリツジ内
に挿入すると、前述した場合と同様にウエハが主
柱や補助柱のつばに衝突したりして破損するおそ
れがある。

しかし、この場合もウエハ１６ｃを傾斜した状
態で支持した儘移送する必要はなく、第１０図ｃ
に示したようにウエハ取出し具を更に進めてウエ
ハ１６ｃをウエハ収容部２０ｆ内へ送り込み、第
１３図ｃ及び第１４図ｂ示す状態とすればよい。
この状態では、ウエハ１６ｃはウエハ支持溝２０
ｆのウエハ支持面２０ｄにより水平に支持されて
いるので、前述したような問題は回避できる。

なお、取出し具２０，１２０でウエハを支持す
る際、取出し具２０，１２０の移動の過程におい
て、取出し具１２０の傾斜面１２０ｂがウエハ１
６ｃのＣ側周縁に当接するのが、取出し具２０の
傾斜面２ｂがウエハ１６ｃのＤ側周縁に当接する
よりも先であり、その間傾斜面１２０ｂがウエハ
１６ｃのＣ側周縁と摺動しながらウエハ１６ｃを
押しやる効果があるので、それだけウエハ１６ｃ
の位置ずれも矯正される。

なお、本実施例のウエハ取出し具においては、
上側傾斜面２０ｃを設けてあり、これが前記実施
例２のウエハ取出し具２の上側傾斜面２ｃと同様
の働きをするので、前記実施例２と同様に、例え
ばカートリツジ中で一部のウエハが溝から外れて
傾斜していても、それを破損することなく取出す
ことができる。

第１５図〜第１７図は、夫々本実施例の他の実
施例を示す断面図である。

第１５図のウエハ取出し具２１は、楔形溝２１
ｅを挟んで互いに対向する傾斜面２１ｂ，２１ｃ
を有するつば２１ａが縦方向に多数設けられた形
状であり、楔形溝２１ｅの奥にウエハ周縁収容溝
２１ｆが設けられており、楔形溝２１ｅとウエハ
周縁収容溝２１ｆの境界には、傾斜面２１ｂの延
長上にウエハ支持突起２１ｇが設けられている。
ウエハを取出す際には、ウエハはまず傾斜面２１
ｂに当接し、取出し具２１の移動につれて傾斜面
２１ｂ上を上昇してウエハ支持突起２１ｇへ導か
れ、最後にウエハ支持突起２１ｄ上に載置され、
ウエハの周縁部がウエハ周縁収容溝２１ｆ内に収
容される。

このウエハ取出し具２１においては、実施例１
〜３で既述した効果があり、また、ウエハ支持突
起２１ｇとウエハが面接触しないので摺動による
摩擦等が少なくなる。

第１６図に示すウエハ取出し具２２は、傾斜面
２２ｂ及びウエハ支持面２２ｃを有するつば２２
ａを、縦方向に多数設けた形状である。これは、
前記実施例３のウエハ取出し具と同様に使用すれ
ばよく、前記実施例１，３で既述した効果を有す
る。

第１７図に示すウエハ取出し具２３は、傾斜面
２２ｂ，２２ｃ及びウエハ支持面２２ｄを有する
つば２３ａを、縦方向に多数設けた形状であり、
前記実施例３のウエハ取出し具と同様に使用すれ
ばよく、前記実施例１〜３で既述した効果を奏す
る。

本考案に基づくウエハ取出し具においては、ウ
エハをカートリツジ又はバスケツトに載置されて
いる位置から取出し具の支持位置へ導くための斜
面に、テフロンコート等を施して鏡面仕上げをす
ることができる。この場合は、ウエハの周面と取
出し具の前記傾斜面との摺動時に摩擦を少なくす
ることができる。しかも、ウエハ外周と傾斜面が
線接触するので、鏡面同士が面接触をしたときに
起るような大気圧による滑り阻止が起らず、ウエ
ハは滑らかに傾斜面と摺動する。従つてウエハの
破損等のおそれがない。

以上、本考案を例示したが、本考案の実施例は
上述のものに限られるわけではない。

例えば、本考案に基づくウエハ取出し具のつば
の形状、傾斜面の角度等は種々変更が可能であ
る。

また、本考案に基づく板状体取出し具は、半導
体ウエハのほか、他の板状体、例えば板状ガラス
製品其他の板状物品の取出しにも同様に適用可能
である。

また、板状体取出し具による板状体の支持方法
としては、上記の例のように板状体を傾斜面又は
水平な支持面により支承してこれを支承する以外
に、板状体を斜面によつてその支持位置まで導い
た後に、吸着其他の方法でこれを支持するように
しても良い。

また、板状体が鉄、コバルト、ニツケル等の強
磁性体である場合は、永久磁石、電磁石等を用い
て板状体をある特定の方向（例えば上方）に引き
つけて支持することもできる。この場合、板状体
を所定の支持位置に導く斜面は、板状体が引きつ
けられている上記した特定の方向に板状体を導け
るように設ければ良い。また、上記の例によりも
比較的弱い磁石を用い、板状体が最も円滑に取出
されるようにその荷重を増減することもできる。

ト考案の効果以上説明したように、本考案に基づく板状体移
換え装置は、板状体に対する支持面に、前記板状
体の挿入初期位置から支持位置へ前記板状体を導
くための斜面が連設されているので、板状体を前
記支持位置へ導くための機構を別個に設けること
なく、往復動機構のみにより、自動的に板状体を
所定の支持位置へ導くことができる。そのため、
装置が小さくて済み、機構か単純で、制御が容易
であり、また、装置各部分の運動の寸法的な狂い
や誤動作のおそれがない。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１７図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図は板状体（半導体ウエハ）取出
し具を示し、同図ａは斜視図、同図ｂは同図ａの
ｂ−ｂ線矢視断面図、第２図ａ，ｂ，ｃ，
ｄ，ｅ及びｆは半導体ウエハ移換えの手順を示す
部分断面図、第３図は半導体ウエハ取出し具、バ
スケツト及びカートリツジの関係を示す斜視図、
第４図ａ，ｂ，ｃ及びｄは半導体ウエハ移換えの
手順を示す概略平面図、第５図は半導体ウエハ移
換え装置の要部平面図、第６図は半導体ウエハ移
換え装置の要部正面図、第７図は他の半導体ウエ
ハ取出し具を示し、同図ａは斜視図、同図ｂは同
図ａのｂ−ｂ線矢視断面図、第８図ａ，ｂ及
びｃはカートリツジ中の半導体ウエハを第７図の
半導体ウエハ取出し具で支持する手順を示す部分
断面図、第９図は更に他の半導体ウエハ取出し具
を示し、同図ａは斜視図、同図ｂは同図ａのｂ
−ｂ線矢視断面図、第１０図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，
ｅ及びｆは第９図の半導体取出し具を用いて半導
体を移換える手順を示す部分断面図、第１１図
ａ，ｂ及びｃは第９図の半導体ウエハ取出し具を
用いて位置ずれした半導体ウエハを支持する手順
を示す概略平面図、第１２図は第１１図の断面図
で、第１２図ａは第１１図ｂのａ−ａ線矢視
断面図、第１２図ｂは第１１図ｃのｂ−ｂ線
矢視断面図、第１３図ａ，ｂ及びｃは第９図の半
導体ウエハ取出し具を用いて位置ずれした半導体
ウエハを支持する他の手順を示す概略平面図、第
１４図は第１３図の断面図で、第１４図ａは第１
３図ｂのａ−ａ線矢視断面図、第１４図
ｂは第１３図ｃのｂ−ｂ線矢視断面図、
第１５図、第１６図及び第１７図は夫々更に他の
半導体ウエハ取出し具の断面図である。第１８図
ａ，ｂ及びｃは比較の半導体ウエハ取出し具を用
いてバスケツト中の半導体ウエハ支持する手順を
示す部分断面図である。第１９図はカートリツジ
の斜視図、第２０図は半導体ウエハを収容したカ
ートリツジの断面図、第２１図はバスケツトの部
分斜視図、第２２図は半導体ウエハを収容したバ
スケツトの第２１図の−線矢視断面
図である。なお、図面に示された符号に於いて、１，１０
１，２，１０２，２０，１２０，２１，２２，２
３……板状体（半導体ウエハ）取出し具、１ａ，
１０１ａ，２ａ，１０２ａ，２０ａ，１２０ａ，
２１ａ，２２ａ，２３ａ……つば、１ｂ，１０１
ｂ，２ｂ，１０２ｂ，２０ｂ，１２０ｂ，２１
ｂ，２２ｂ，２３ｂ……下側傾斜面、２ｃ，１０
２ｃ，２０ｃ，１２０ｃ，２１ｃ，２３ｃ……上
側傾斜面、３……カートリツジ、４……バスケツ
ト、５，６……スライダ、７，８……案内軸、
９，１０……送りねじ、１１，１１１……フレー
ム、１３，１１３……板状体（半導体ウエハ）取
出し具支持部、１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ…
…半導体ウエハ、２０ｄ，１２０ｄ，２２ｄ，２
３ｄ……板状体（半導体ウエハ）支持面、２０
ｅ，１２０ｅ……楔形溝、２０ｆ，１２０ｆ……
板状体（半導体ウエハ）周縁部収容溝、２１ｇ…
…板状体（半導体ウエハ）支持突起である。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】１複数の板状体を挿入又は取出すための空間部
を夫々有する第一及び第二の板状体支持装置の
間で、前記複数の板状体を移換えるのに際し、
前記第一の板状体支持装置に上下方向に所定間
隔を以て略水平に周辺部で支持された前記複数
の板状体を板状体取出し具によつて取出した後
に、前記複数の板状体を略水平移動させて前記
第二の板状体支持装置に前記複数の板状体を上
下方向に前記所定間隔を以て略水平に周辺部で
支持させる板状体移換え装置であつて、前記板状体取出し具が、前記板状体支持装置
に対して略水平に往復動可能な互に対向した第
一及び第二の取出し具からなり、前記第一の取
出し具と前記第二の取出し具とを前記複数の板
状体に対してこれら板状体の周辺部を対向位置
で同時に支持する位置迄夫々略水平に往動させ
る駆動手段を有し、前記第一及び第二の取出し具の板状体支持部
に傾斜面を設け、前記往動時に前記複数の板状
体が、前記周辺部において前記傾斜面に接しな
がらこの傾斜面を下方から上方へ乗上げ、これ
によつて前記第一の板状体支持装置から離れ、
前記第一及び第二の取出し具間に支持されるよ
うになされ、この支持状態の侭儘前記第一及び第二の取出
し具を同時に略水平移動させ、前記第一の板状
体支持装置から前記第二の板状体支持装置へ前
記複数の板状体を略水平移動させる駆動手段を
有する板状体移換え装置。２板状体が傾斜面の下方から上方へ乗上げるよ
うに構成し、この上昇位置から略水平に支持面
が形成されている、実用新案登録請求の範囲第
１項記載の板状体移換え装置。