JPH0541297A - Ｓｏｒ装置の真空排気装置 - Google Patents
Ｓｏｒ装置の真空排気装置Info
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- JPH0541297A JPH0541297A JP21481591A JP21481591A JPH0541297A JP H0541297 A JPH0541297 A JP H0541297A JP 21481591 A JP21481591 A JP 21481591A JP 21481591 A JP21481591 A JP 21481591A JP H0541297 A JPH0541297 A JP H0541297A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 4
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 18
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000007479 molecular analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 停電等の電源喪失時に蓄積リングの超高状態
を保持する。 【構成】 ビーム輸送部１４およびビームチャンネル２
６の蓄積リング２２近傍の位置にゲート弁３１，３３を
それぞれ配する。ビーム輸送部１４、蓄積リング２２、
ビームチャンネル２６はそれぞれ真空ポンプ５１，５
２，５３で排気する。通常時はゲート弁３１，３３を開
き、商用電源３６で真空ポンプ５１，５２，５３を駆動
して各部を排気し、ＳＯＲ光１３の出射を行なう。電源
喪失検出手段４２が商用電源３６の喪失を検出すると、
制御手段４４はゲート弁３１，３３を閉じ、スイッチ４
０を非常用電源３８側に接続し、蓄積リング２２の真空
ポンプ５２を非常電源３８で駆動し続けて蓄積リング２
２内の超高真空状態を保持する。
を保持する。 【構成】 ビーム輸送部１４およびビームチャンネル２
６の蓄積リング２２近傍の位置にゲート弁３１，３３を
それぞれ配する。ビーム輸送部１４、蓄積リング２２、
ビームチャンネル２６はそれぞれ真空ポンプ５１，５
２，５３で排気する。通常時はゲート弁３１，３３を開
き、商用電源３６で真空ポンプ５１，５２，５３を駆動
して各部を排気し、ＳＯＲ光１３の出射を行なう。電源
喪失検出手段４２が商用電源３６の喪失を検出すると、
制御手段４４はゲート弁３１，３３を閉じ、スイッチ４
０を非常用電源３８側に接続し、蓄積リング２２の真空
ポンプ５２を非常電源３８で駆動し続けて蓄積リング２
２内の超高真空状態を保持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＳＯＲ（シンクロト
ロン放射光）装置の真空排気装置に関し、主電源（商用
電源）が停電等により喪失した時の蓄積リングの真空度
の低下を防止したものである。
ロン放射光）装置の真空排気装置に関し、主電源（商用
電源）が停電等により喪失した時の蓄積リングの真空度
の低下を防止したものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロンは、シンクロトロ
ン放射光（ＳＯＲ）装置として、超々ＬＳＩ回路の作
成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々
な分野への適用が期待されている。ＳＯＲ装置の概要を
図２に示す。電子発生装置（電子銃等）１０で発生した
電子ビームは線型加速装置（ライナック）１２で光速近
くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏
向されて、インフレクタ１８を介して蓄積リング２２内
に入射される。蓄積リング２２に入射された電子ビーム
は高周波加速空洞２１でエネルギを与えられながら収束
電磁石２３（垂直方向用）、２５（水平方向用）で収束
され、偏向電磁石２４で偏向されて蓄積リング２２中を
回り続ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生する
ＳＯＲ光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装
置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として
利用される。
ン放射光（ＳＯＲ）装置として、超々ＬＳＩ回路の作
成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々
な分野への適用が期待されている。ＳＯＲ装置の概要を
図２に示す。電子発生装置（電子銃等）１０で発生した
電子ビームは線型加速装置（ライナック）１２で光速近
くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏
向されて、インフレクタ１８を介して蓄積リング２２内
に入射される。蓄積リング２２に入射された電子ビーム
は高周波加速空洞２１でエネルギを与えられながら収束
電磁石２３（垂直方向用）、２５（水平方向用）で収束
され、偏向電磁石２４で偏向されて蓄積リング２２中を
回り続ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生する
ＳＯＲ光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装
置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として
利用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＳＯＲ装置の各部の真
空チャンバーはそれぞれ独自の真空ポンプにより真空排
気されており、これにより各部の真空度は、例えば蓄積
リング２２が１０-10 Torr、ビーム輸送部１４やビーム
チャンネル２６が１０-8Torrに保たれている。
空チャンバーはそれぞれ独自の真空ポンプにより真空排
気されており、これにより各部の真空度は、例えば蓄積
リング２２が１０-10 Torr、ビーム輸送部１４やビーム
チャンネル２６が１０-8Torrに保たれている。
【０００４】このような状態で停電等により電源喪失状
態になると、各部の真空ポンプが停止するため、ビーム
輸送部１４やビームチャンネル２６から超高真空の蓄積
リング２２に気体が流れ込み、蓄積リング２２の真空度
が低下してしまう。このため、電源が復旧した時に蓄積
リング２２内を超高真空に戻すのに時間を要する問題が
ある。そこで、電源喪失に備えて非常用電源を設けて電
源喪失時に各部の真空ポンプをこれで駆動することも考
えられるが、各部の真空ポンプを駆動するには非常に容
量の大きな非常用電源が必要となる。この発明は、上述
の点に鑑みてなされたもので、電源喪失時に比較的小容
量の非常用電源を用いて蓄積リングの超高真空状態を保
持することができるＳＯＲ装置の真空排気装置を提供し
ようとするものである。
態になると、各部の真空ポンプが停止するため、ビーム
輸送部１４やビームチャンネル２６から超高真空の蓄積
リング２２に気体が流れ込み、蓄積リング２２の真空度
が低下してしまう。このため、電源が復旧した時に蓄積
リング２２内を超高真空に戻すのに時間を要する問題が
ある。そこで、電源喪失に備えて非常用電源を設けて電
源喪失時に各部の真空ポンプをこれで駆動することも考
えられるが、各部の真空ポンプを駆動するには非常に容
量の大きな非常用電源が必要となる。この発明は、上述
の点に鑑みてなされたもので、電源喪失時に比較的小容
量の非常用電源を用いて蓄積リングの超高真空状態を保
持することができるＳＯＲ装置の真空排気装置を提供し
ようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、入射器から
出射された電子ビームをビーム輸送部を介して蓄積リン
グに入射して蓄積し、蓄積リングの偏向部で電子ビーム
から出射されるＳＯＲ光をビームチャンネルを介して出
射するＳＯＲ装置において、前記ビーム輸送部の蓄積リ
ング近傍位置に配設された第１のゲート弁と、前記ビー
ムチャンネルの蓄積リング近傍位置に配設された第２の
ゲート弁と、前記ビーム輸送部内を真空排気するビーム
輸送部真空排気手段と、前記蓄積リング内を真空排気す
る蓄積リング真空排気手段と、前記ビームチャンネルを
真空排気するビームチャンネル真空排気手段と、前記ビ
ーム輸送部真空排気手段、前記蓄積リング真空排気手段
および前記ビームチャンネル真空排気手段にそれぞれ駆
動用電力を供給する商用電源と、前記蓄積リング真空排
気手段に非常用の駆動用電力を供給する非常用電源と、
前記蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の供給源を前
記商用電源または非常用電源に切換える電源切換手段
と、前記商用電源の喪失状態を検出する電源喪失検出手
段と、この電源喪失検出手段で商用電源の喪失が検出さ
れていない時は前記第１、第２のゲート弁を開くととも
に前記蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の供給源を
前記商用電源側に切換え、前記電源喪失検出手段で商用
電源の喪失が検出された時は前記第１、第２のゲート弁
を閉じるとともに前記蓄積リング真空排気手段の駆動用
電力の供給源を前記非常用電源側に切換える制御手段と
を具備してなるものである。
出射された電子ビームをビーム輸送部を介して蓄積リン
グに入射して蓄積し、蓄積リングの偏向部で電子ビーム
から出射されるＳＯＲ光をビームチャンネルを介して出
射するＳＯＲ装置において、前記ビーム輸送部の蓄積リ
ング近傍位置に配設された第１のゲート弁と、前記ビー
ムチャンネルの蓄積リング近傍位置に配設された第２の
ゲート弁と、前記ビーム輸送部内を真空排気するビーム
輸送部真空排気手段と、前記蓄積リング内を真空排気す
る蓄積リング真空排気手段と、前記ビームチャンネルを
真空排気するビームチャンネル真空排気手段と、前記ビ
ーム輸送部真空排気手段、前記蓄積リング真空排気手段
および前記ビームチャンネル真空排気手段にそれぞれ駆
動用電力を供給する商用電源と、前記蓄積リング真空排
気手段に非常用の駆動用電力を供給する非常用電源と、
前記蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の供給源を前
記商用電源または非常用電源に切換える電源切換手段
と、前記商用電源の喪失状態を検出する電源喪失検出手
段と、この電源喪失検出手段で商用電源の喪失が検出さ
れていない時は前記第１、第２のゲート弁を開くととも
に前記蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の供給源を
前記商用電源側に切換え、前記電源喪失検出手段で商用
電源の喪失が検出された時は前記第１、第２のゲート弁
を閉じるとともに前記蓄積リング真空排気手段の駆動用
電力の供給源を前記非常用電源側に切換える制御手段と
を具備してなるものである。
【０００６】
【作用】この発明によれば、停電等による電源喪失時に
ビーム輸送部とビームチャンネルのゲート弁を閉じるよ
うにしたので、ビーム輸送部およびビームチャンネルか
ら蓄積リングへの気体の流入はなくなり、非常用電源は
蓄積リング真空排気手段だけ駆動すればよいので、容量
が小さなものですむようになる。これにより、電源喪失
時に蓄積リング内を超高真空に保持できる。電源が復旧
したら各部の真空排気手段を商用電源で駆動して各ゲー
ト弁を開くことにより元の状態に復帰することができ
る。
ビーム輸送部とビームチャンネルのゲート弁を閉じるよ
うにしたので、ビーム輸送部およびビームチャンネルか
ら蓄積リングへの気体の流入はなくなり、非常用電源は
蓄積リング真空排気手段だけ駆動すればよいので、容量
が小さなものですむようになる。これにより、電源喪失
時に蓄積リング内を超高真空に保持できる。電源が復旧
したら各部の真空排気手段を商用電源で駆動して各ゲー
ト弁を開くことにより元の状態に復帰することができ
る。
【０００７】
【実施例】この発明の一実施例を図１に示す。図１のＳ
ＯＲ装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で
発生した電子ビーム１１は入射器である線型加速装置
（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム輸送
部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１
８を介して蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング
２２に入射された電子ビーム１１は高周波加速空洞２１
でエネルギを与えられながら収束電磁石２３（垂直方向
用）、２５（水平方向用）で収束され、偏向電磁石２４
で偏向されて蓄積リング２２中を回り続ける。偏向電磁
石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光１３はビーム
チャンネル２６を通して例えば露光装置２８に送られて
超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。
ＯＲ装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で
発生した電子ビーム１１は入射器である線型加速装置
（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム輸送
部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１
８を介して蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング
２２に入射された電子ビーム１１は高周波加速空洞２１
でエネルギを与えられながら収束電磁石２３（垂直方向
用）、２５（水平方向用）で収束され、偏向電磁石２４
で偏向されて蓄積リング２２中を回り続ける。偏向電磁
石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光１３はビーム
チャンネル２６を通して例えば露光装置２８に送られて
超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。
【０００８】ビーム輸送部１４における蓄積リング２２
の近傍位置には、ゲート弁３１（第１のゲート弁）が配
設されている。ビームチャンネル２６における蓄積リン
グ２２の近傍位置にはゲート弁３３（第２のゲート弁）
が配設されている。ビーム輸送部１４、蓄積リング２２
およびビームチャンネル２６はそれぞれ独自の真空ポン
プ５１〜５３で排気される。
の近傍位置には、ゲート弁３１（第１のゲート弁）が配
設されている。ビームチャンネル２６における蓄積リン
グ２２の近傍位置にはゲート弁３３（第２のゲート弁）
が配設されている。ビーム輸送部１４、蓄積リング２２
およびビームチャンネル２６はそれぞれ独自の真空ポン
プ５１〜５３で排気される。
【０００９】商用電源３６はＳＯＲ装置１の各部に駆動
用電源を供給する。非常用電源３８は電源喪失時に蓄積
リング２２の真空ポンプ５２に非常用電力を供給するも
ので、例えば蓄電池、発電機、燃料電池等で構成され
る。スイッチ４０（電源切換手段）は蓄積リング２２の
真空ポンプ５２への電力供給源を商用電源３６または非
常用電源３８に切り換えるものである。
用電源を供給する。非常用電源３８は電源喪失時に蓄積
リング２２の真空ポンプ５２に非常用電力を供給するも
ので、例えば蓄電池、発電機、燃料電池等で構成され
る。スイッチ４０（電源切換手段）は蓄積リング２２の
真空ポンプ５２への電力供給源を商用電源３６または非
常用電源３８に切り換えるものである。
【００１０】電源喪失検出手段４２は商用電源３６が停
電等により喪失したことを検出するものである。制御手
段４４は、電源喪失の有無に応じて非常用電源３８、各
ゲート弁３１，３３およびスイッチ４０を制御するもの
である。
電等により喪失したことを検出するものである。制御手
段４４は、電源喪失の有無に応じて非常用電源３８、各
ゲート弁３１，３３およびスイッチ４０を制御するもの
である。
【００１１】制御手段４４による制御動作を図３を参照
して説明する。電源喪失が検出されていない時は、ゲー
ト弁３１、３３を開き、スイッチ４０を商用電源３６に
接続する。これにより、各部の真空ポンプ５１〜５３は
商用電源３６により駆動されて、例えば蓄積リング２２
内を１０-10 Torr、ビーム輸送部１４内およびビームチ
ャンネル２６内をそれぞれ１０-8に保ち、電子ビーム１
１の周回によるＳＯＲ光１３の出射が行なわれる。
して説明する。電源喪失が検出されていない時は、ゲー
ト弁３１、３３を開き、スイッチ４０を商用電源３６に
接続する。これにより、各部の真空ポンプ５１〜５３は
商用電源３６により駆動されて、例えば蓄積リング２２
内を１０-10 Torr、ビーム輸送部１４内およびビームチ
ャンネル２６内をそれぞれ１０-8に保ち、電子ビーム１
１の周回によるＳＯＲ光１３の出射が行なわれる。
【００１２】停電等により電源喪失すると、ゲート弁３
１，３３が閉じて蓄積リング２２がビーム輸送路１４お
よびビームチャンネル２６と遮断される。そして、スイ
ッチ４０が非常用電源３８側に接続されて、非常用電源
３８が起動する。これにより蓄積リング２２の真空ポン
プ５２だけが駆動され続け、蓄積リング内２２の超高真
空が保たれる。
１，３３が閉じて蓄積リング２２がビーム輸送路１４お
よびビームチャンネル２６と遮断される。そして、スイ
ッチ４０が非常用電源３８側に接続されて、非常用電源
３８が起動する。これにより蓄積リング２２の真空ポン
プ５２だけが駆動され続け、蓄積リング内２２の超高真
空が保たれる。
【００１３】電源が復旧すると、スイッチ４０が商用電
源３６側に接続され各部への電源供給が再開される。各
部の真空ポンプ５１〜５３も商用電源３６により駆動さ
れる。蓄積リング２２の真空ポンプ５２は電源喪失して
いる間も非常用電源３８で駆動され続けていたため、蓄
積リング２２は１０-10 Torr等の超高真空に保持されて
いる。ビーム輸送部１４やビームチャンネル２６は電源
喪失中真空引きされていなかったため、多少真空度が低
下するが、もともと蓄積リング２２より真空度は低くて
よい（例えば１０-8Torr）ので、電源復旧後短時間で真
空引きは終了する。各部が所定の真空度に達したらゲー
ト弁３１，３２を開いてＳＯＲ装置１の運転を再開す
る。
源３６側に接続され各部への電源供給が再開される。各
部の真空ポンプ５１〜５３も商用電源３６により駆動さ
れる。蓄積リング２２の真空ポンプ５２は電源喪失して
いる間も非常用電源３８で駆動され続けていたため、蓄
積リング２２は１０-10 Torr等の超高真空に保持されて
いる。ビーム輸送部１４やビームチャンネル２６は電源
喪失中真空引きされていなかったため、多少真空度が低
下するが、もともと蓄積リング２２より真空度は低くて
よい（例えば１０-8Torr）ので、電源復旧後短時間で真
空引きは終了する。各部が所定の真空度に達したらゲー
ト弁３１，３２を開いてＳＯＲ装置１の運転を再開す
る。
【００１４】なお、ゲート弁３１，３３は例えば商用電
源３６で駆動するようにして、商用電源３６が喪失状態
となって通電されなくなるとばね等の作用により自動的
に閉となるものを用いることができる。またスイッチ４
０も例えば商用電源３６で駆動するようにして、商用電
源３６が喪失状態となって通電されなくなるとばね等の
作用により自動的に非常用電源３８側に接続されるもの
を用いることができる。
源３６で駆動するようにして、商用電源３６が喪失状態
となって通電されなくなるとばね等の作用により自動的
に閉となるものを用いることができる。またスイッチ４
０も例えば商用電源３６で駆動するようにして、商用電
源３６が喪失状態となって通電されなくなるとばね等の
作用により自動的に非常用電源３８側に接続されるもの
を用いることができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、停電等による電源喪失時にビーム輸送部とビームチ
ャンネルのゲート弁を閉じるようにしたので、ビーム輸
送部およびビームチャンネルから蓄積リングへの気体の
流入はなくなり、非常用電源は蓄積リング真空排気手段
だけ駆動すればよいので、容量が小さなものですむよう
になる。これにより、電源喪失時に蓄積リング内を超高
真空に保持できる。電源が復旧したら各部の真空排気手
段を商用電源で駆動して各ゲート弁を開くことにより元
の状態に復帰することができる。
ば、停電等による電源喪失時にビーム輸送部とビームチ
ャンネルのゲート弁を閉じるようにしたので、ビーム輸
送部およびビームチャンネルから蓄積リングへの気体の
流入はなくなり、非常用電源は蓄積リング真空排気手段
だけ駆動すればよいので、容量が小さなものですむよう
になる。これにより、電源喪失時に蓄積リング内を超高
真空に保持できる。電源が復旧したら各部の真空排気手
段を商用電源で駆動して各ゲート弁を開くことにより元
の状態に復帰することができる。
【図１】この発明の一実施例を示すＳＯＲ装置の平面図
および電源供給系統図である。
および電源供給系統図である。
【図２】ＳＯＲ装置の概要を示す平面図である。
【図３】図１の制御手段４４による制御動作を示すタイ
ムチャートである。
ムチャートである。
１ ＳＯＲ装置 １１ 電子ビーム １２ 線型加速装置（入射器） １３ ＳＯＲ光 １４ ビーム輸送部 ２２ 蓄積リング ２４ 偏向電磁石（偏向部） ２６ ビームチャンネル ３１ ゲート弁（第１のゲート弁） ３３ ゲート弁（第２のゲート弁） ３６ 商用電源 ３８ 非常用電源 ４０ スイッチ（電源切換手段） ４２ 電源喪失検出手段 ４４ 制御手段 ５１ 真空ポンプ（ビーム輸送部真空排気手段） ５２ 真空ポンプ（蓄積リング真空排気手段） ５３ 真空ポンプ（ビームチャンネル真空排気手段）
Claims (1)
- 【請求項１】入射器から出射された電子ビームをビーム
輸送部を介して蓄積リングに入射して蓄積し、蓄積リン
グの偏向部で電子ビームから出射されるＳＯＲ光をビー
ムチャンネルを介して出射するＳＯＲ装置において、 前記ビーム輸送部の蓄積リング近傍位置に配設された第
１のゲート弁と、 前記ビームチャンネルの蓄積リング近傍位置に配設され
た第２のゲート弁と、 前記ビーム輸送部内を真空排気するビーム輸送部真空排
気手段と、 前記蓄積リング内を真空排気する蓄積リング真空排気手
段と、 前記ビームチャンネルを真空排気するビームチャンネル
真空排気手段と、 前記ビーム輸送部真空排気手段、前記蓄積リング真空排
気手段および前記ビームチャンネル真空排気手段にそれ
ぞれ駆動用電力を供給する商用電源と、 前記蓄積リング真空排気手段に非常用の駆動用電力を供
給する非常用電源と、 前記蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の供給源を前
記商用電源または非常用電源に切換える電源切換手段
と、 前記商用電源の喪失状態を検出する電源喪失検出手段
と、 この電源喪失検出手段で商用電源の喪失が検出されてい
ない時は前記第１、第２のゲート弁を開くとともに前記
蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の供給源を前記商
用電源側に切換え、前記電源喪失検出手段で商用電源の
喪失が検出された時は前記第１、第２のゲート弁を閉じ
るとともに前記蓄積リング真空排気手段の駆動用電力の
供給源を前記非常用電源側に切換える制御手段とを具備
してなるＳＯＲ装置の真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21481591A JPH0541297A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | Ｓｏｒ装置の真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21481591A JPH0541297A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | Ｓｏｒ装置の真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541297A true JPH0541297A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16661984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21481591A Pending JPH0541297A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | Ｓｏｒ装置の真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541297A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8644527B2 (en) | 2007-12-19 | 2014-02-04 | Panasonic Corporation | Piezoelectric acoustic transducer |
| US9980024B2 (en) | 2011-02-25 | 2018-05-22 | Rohm Co., Ltd. | Hearing system and finger ring for the hearing system |
| US10013862B2 (en) | 2014-08-20 | 2018-07-03 | Rohm Co., Ltd. | Watching system, watching detection device, and watching notification device |
| US10075574B2 (en) | 2013-08-23 | 2018-09-11 | Rohm Co., Ltd. | Mobile telephone |
| US10079925B2 (en) | 2012-01-20 | 2018-09-18 | Rohm Co., Ltd. | Mobile telephone |
| US10103766B2 (en) | 2013-10-24 | 2018-10-16 | Rohm Co., Ltd. | Wristband-type handset and wristband-type alerting device |
| US10356231B2 (en) | 2014-12-18 | 2019-07-16 | Finewell Co., Ltd. | Cartilage conduction hearing device using an electromagnetic vibration unit, and electromagnetic vibration unit |
| US10506343B2 (en) | 2012-06-29 | 2019-12-10 | Finewell Co., Ltd. | Earphone having vibration conductor which conducts vibration, and stereo earphone including the same |
| US10779075B2 (en) | 2010-12-27 | 2020-09-15 | Finewell Co., Ltd. | Incoming/outgoing-talk unit and incoming-talk unit |
| US10778824B2 (en) | 2016-01-19 | 2020-09-15 | Finewell Co., Ltd. | Pen-type handset |
| US10795321B2 (en) | 2015-09-16 | 2020-10-06 | Finewell Co., Ltd. | Wrist watch with hearing function |
| US10967521B2 (en) | 2015-07-15 | 2021-04-06 | Finewell Co., Ltd. | Robot and robot system |
| US11526033B2 (en) | 2018-09-28 | 2022-12-13 | Finewell Co., Ltd. | Hearing device |
-
1991
- 1991-07-31 JP JP21481591A patent/JPH0541297A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8644527B2 (en) | 2007-12-19 | 2014-02-04 | Panasonic Corporation | Piezoelectric acoustic transducer |
| US10779075B2 (en) | 2010-12-27 | 2020-09-15 | Finewell Co., Ltd. | Incoming/outgoing-talk unit and incoming-talk unit |
| US9980024B2 (en) | 2011-02-25 | 2018-05-22 | Rohm Co., Ltd. | Hearing system and finger ring for the hearing system |
| US10778823B2 (en) | 2012-01-20 | 2020-09-15 | Finewell Co., Ltd. | Mobile telephone and cartilage-conduction vibration source device |
| US10079925B2 (en) | 2012-01-20 | 2018-09-18 | Rohm Co., Ltd. | Mobile telephone |
| US10506343B2 (en) | 2012-06-29 | 2019-12-10 | Finewell Co., Ltd. | Earphone having vibration conductor which conducts vibration, and stereo earphone including the same |
| US10834506B2 (en) | 2012-06-29 | 2020-11-10 | Finewell Co., Ltd. | Stereo earphone |
| US10237382B2 (en) | 2013-08-23 | 2019-03-19 | Finewell Co., Ltd. | Mobile telephone |
| US10075574B2 (en) | 2013-08-23 | 2018-09-11 | Rohm Co., Ltd. | Mobile telephone |
| US10103766B2 (en) | 2013-10-24 | 2018-10-16 | Rohm Co., Ltd. | Wristband-type handset and wristband-type alerting device |
| US10013862B2 (en) | 2014-08-20 | 2018-07-03 | Rohm Co., Ltd. | Watching system, watching detection device, and watching notification device |
| US10380864B2 (en) | 2014-08-20 | 2019-08-13 | Finewell Co., Ltd. | Watching system, watching detection device, and watching notification device |
| US10356231B2 (en) | 2014-12-18 | 2019-07-16 | Finewell Co., Ltd. | Cartilage conduction hearing device using an electromagnetic vibration unit, and electromagnetic vibration unit |
| US10848607B2 (en) | 2014-12-18 | 2020-11-24 | Finewell Co., Ltd. | Cycling hearing device and bicycle system |
| US11601538B2 (en) | 2014-12-18 | 2023-03-07 | Finewell Co., Ltd. | Headset having right- and left-ear sound output units with through-holes formed therein |
| US10967521B2 (en) | 2015-07-15 | 2021-04-06 | Finewell Co., Ltd. | Robot and robot system |
| US10795321B2 (en) | 2015-09-16 | 2020-10-06 | Finewell Co., Ltd. | Wrist watch with hearing function |
| US10778824B2 (en) | 2016-01-19 | 2020-09-15 | Finewell Co., Ltd. | Pen-type handset |
| US11526033B2 (en) | 2018-09-28 | 2022-12-13 | Finewell Co., Ltd. | Hearing device |
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