JPH04308698A - Ｓｏｒ光装置の大気開放防止装置 - Google Patents
Ｓｏｒ光装置の大気開放防止装置Info
- Publication number
- JPH04308698A JPH04308698A JP9959791A JP9959791A JPH04308698A JP H04308698 A JPH04308698 A JP H04308698A JP 9959791 A JP9959791 A JP 9959791A JP 9959791 A JP9959791 A JP 9959791A JP H04308698 A JPH04308698 A JP H04308698A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＳＯＲ光装置におい
て、光取り出しラインに大気開放事故が起きた場合に、
蓄積リング内に大気が侵入するのを防止したものである
。
て、光取り出しラインに大気開放事故が起きた場合に、
蓄積リング内に大気が侵入するのを防止したものである
。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光
（シンクロトロン放射光）装置として、超々ＬＳＩ回路
の作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等
様々な分野への適用が期待されている。
（シンクロトロン放射光）装置として、超々ＬＳＩ回路
の作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等
様々な分野への適用が期待されている。
【０００３】ＳＯＲ光装置の概要を図２に示す。ＳＯＲ
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏
向電磁石２４で偏向されて蓄積リング２２内を周回し続
ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ
光２９は光取り出しライン２６に導かれ、ベリリウム窓
３１等を通って出射されて、例えば露光装置２８に送ら
れて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏
向電磁石２４で偏向されて蓄積リング２２内を周回し続
ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ
光２９は光取り出しライン２６に導かれ、ベリリウム窓
３１等を通って出射されて、例えば露光装置２８に送ら
れて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。
【０００４】光取り出しライン２６の途中には、その端
部のベリリウム窓３１が破損した場合に、そこから空気
が流入して蓄積リング２２内が大気開放されるのを防止
するために衝撃波遅延管（ＡＤＬ：Ａｃｏｕｓｔｉｃ
Ｄｅｌａｙ Ｌｉｎｅ ）３０が配設されている。そし
て、空気流入があった時にその流入を遅延して、上流側
にある高速遮断弁（ＦＣＶ：Ｆａｓｔ Ｃｌｏｓｉｎｇ
Ｖａｌｖｅ）３２を閉じることにより、蓄積リング２
２への流入を阻止している。
部のベリリウム窓３１が破損した場合に、そこから空気
が流入して蓄積リング２２内が大気開放されるのを防止
するために衝撃波遅延管（ＡＤＬ：Ａｃｏｕｓｔｉｃ
Ｄｅｌａｙ Ｌｉｎｅ ）３０が配設されている。そし
て、空気流入があった時にその流入を遅延して、上流側
にある高速遮断弁（ＦＣＶ：Ｆａｓｔ Ｃｌｏｓｉｎｇ
Ｖａｌｖｅ）３２を閉じることにより、蓄積リング２
２への流入を阻止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】高速遮断弁３２は非常
に高価であり、大気開放防止装置全体のコストが非常に
高くつく問題があった。この発明は、前記従来の技術に
おける問題点を解決して、安価に実現できる大気開放防
止装置を提供しようとするものである。
に高価であり、大気開放防止装置全体のコストが非常に
高くつく問題があった。この発明は、前記従来の技術に
おける問題点を解決して、安価に実現できる大気開放防
止装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、ＳＯＲ光装
置の蓄積リングに常閉弁を介して連結され、内部に不活
性ガスが収容されたタンクと、ＳＯＲ光装置の光取り出
しラインの端部近傍に配設されて、光取り出しライン内
の圧力を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段で
光取り出しラインの内部圧力の上昇が検出された時に、
前記常閉弁を開放制御する制御手段と、前記光取り出し
ラインに配設された非高速遮断弁とを具備してなるもの
である。
置の蓄積リングに常閉弁を介して連結され、内部に不活
性ガスが収容されたタンクと、ＳＯＲ光装置の光取り出
しラインの端部近傍に配設されて、光取り出しライン内
の圧力を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出手段で
光取り出しラインの内部圧力の上昇が検出された時に、
前記常閉弁を開放制御する制御手段と、前記光取り出し
ラインに配設された非高速遮断弁とを具備してなるもの
である。
【０００７】
【作用】この発明によれば、光取り出しラインがその端
部のベリリウム窓の破損等により大気開放されると、圧
力検出手段で圧力上昇が検出され、制御手段により常閉
弁が開放されて、タンクから不活性ガスが噴出して、一
瞬のうちに蓄積リング内に充満し、大気が蓄積リング内
に進入するのが防止される。その後、例えば非高速遮断
弁および常閉弁を閉じて、光取り出しラインの破損等を
生じた箇所を修理するとともに、蓄積リングおよび光取
り出しラインを真空引きしベーキングして、さらにタン
クに不活性ガスを再充填して、非高速遮断弁を開くこと
により復旧することができる。この場合、蓄積リングに
充満するのは不活性ガスであるため、大気が充満する場
合に比べて真空引きおよびベーキングに要する時間を短
縮することができる。そして、これによれば、従来用い
られていた非常に高価な高速遮断弁が不要なので、安価
に実現できる。
部のベリリウム窓の破損等により大気開放されると、圧
力検出手段で圧力上昇が検出され、制御手段により常閉
弁が開放されて、タンクから不活性ガスが噴出して、一
瞬のうちに蓄積リング内に充満し、大気が蓄積リング内
に進入するのが防止される。その後、例えば非高速遮断
弁および常閉弁を閉じて、光取り出しラインの破損等を
生じた箇所を修理するとともに、蓄積リングおよび光取
り出しラインを真空引きしベーキングして、さらにタン
クに不活性ガスを再充填して、非高速遮断弁を開くこと
により復旧することができる。この場合、蓄積リングに
充満するのは不活性ガスであるため、大気が充満する場
合に比べて真空引きおよびベーキングに要する時間を短
縮することができる。そして、これによれば、従来用い
られていた非常に高価な高速遮断弁が不要なので、安価
に実現できる。
【０００８】
【実施例】この発明の一実施例を図１に示す。ＳＯＲ光
装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発生
した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光速
近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で
偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロン
の蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に入
射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを
与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏向
電磁石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続け
る。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光
２９は光取り出しライン２６に導かれ、ベリリウム窓３
１等を通って出射されて、例えば露光装置２８に送られ
て超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。
装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発生
した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光速
近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で
偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロン
の蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に入
射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを
与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏向
電磁石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続け
る。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光
２９は光取り出しライン２６に導かれ、ベリリウム窓３
１等を通って出射されて、例えば露光装置２８に送られ
て超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。
【０００９】光取り出しライン２６の途中には、衝撃波
遅延管３０が挿入されている。また、その上流側には手
動操作弁または通常の非高速の電動操作弁等で構成され
る非高速遮断弁３４が配設されている。また、光取り出
しライン２６の端部付近には、圧力検出ポート３６が設
けられ、そこに圧力検出器３８が配設されて、光取り出
しライン２６内の圧力を常時監視している。
遅延管３０が挿入されている。また、その上流側には手
動操作弁または通常の非高速の電動操作弁等で構成され
る非高速遮断弁３４が配設されている。また、光取り出
しライン２６の端部付近には、圧力検出ポート３６が設
けられ、そこに圧力検出器３８が配設されて、光取り出
しライン２６内の圧力を常時監視している。
【００１０】一方、蓄積リング２２には不活性ガス供給
ポート４０が設けられ、これに常閉弁４２を介してタン
ク４４が連結されている。タンク４４内にはＮ２ ガス
、Ｈｅガス等の高純度の不活性ガスが高圧等の状態で充
填されている。不活性ガスの量は例えば蓄積リング２２
内を充満させるに十分な量とする。常閉弁４２は例えば
パンチングバリア等のように常時閉じていて、非常時に
電動等で衝撃を与えることにより破れて瞬間的に開放す
るようなものを用いることができる。
ポート４０が設けられ、これに常閉弁４２を介してタン
ク４４が連結されている。タンク４４内にはＮ２ ガス
、Ｈｅガス等の高純度の不活性ガスが高圧等の状態で充
填されている。不活性ガスの量は例えば蓄積リング２２
内を充満させるに十分な量とする。常閉弁４２は例えば
パンチングバリア等のように常時閉じていて、非常時に
電動等で衝撃を与えることにより破れて瞬間的に開放す
るようなものを用いることができる。
【００１１】制御装置４６は圧力検出器３８で圧力上昇
が検出された時に常閉弁４２に駆動力を与えてこれを開
放するものである。なお、蓄積リング２２および光取り
出しライン２６には、真空引きするためのポンプ４８，
５０およびベーキングのためのヒータ（図示せず）が配
設されている。
が検出された時に常閉弁４２に駆動力を与えてこれを開
放するものである。なお、蓄積リング２２および光取り
出しライン２６には、真空引きするためのポンプ４８，
５０およびベーキングのためのヒータ（図示せず）が配
設されている。
【００１２】図１の装置の動作を説明する。通常時は蓄
積リング２２および光取り出しライン２６は超高真空と
されている。また、非高速遮断弁３４は開、常閉弁４２
は閉とされており、蓄積リング２２から放射されるＳＯ
Ｒ光２９は光取り出しライン２６を介してベリリウム窓
３１から出射され、露光装置２８内で露光に用いられる
。
積リング２２および光取り出しライン２６は超高真空と
されている。また、非高速遮断弁３４は開、常閉弁４２
は閉とされており、蓄積リング２２から放射されるＳＯ
Ｒ光２９は光取り出しライン２６を介してベリリウム窓
３１から出射され、露光装置２８内で露光に用いられる
。
【００１３】ベリリウム窓３１が破損するなどして、こ
こから大気が浸入すると、大気は光取り出しライン２６
を逆流していくが、途中に衝撃波遅延管３０があるので
、蓄積リング２２内に至るまでには多少の時間がある。 その間に、圧力検出器３８は圧力上昇を検出し、制御装
置４６はこれに基づき常閉弁４２に駆動力を与え、一瞬
のうちに開放する。これにより、タンク４４内に充填さ
れている高純度不活性ガスはポート４０を通って蓄積リ
ング２２内に浸入し、大気が蓄積リング２２に到達する
前に一瞬のうちに蓄積リング２２内に充満し、蓄積リン
グ２２内が大気開放されるのが防止される。その後、非
高速遮断弁３４を閉じることにより、蓄積リング２２へ
の大気の浸入は完全に防止される。
こから大気が浸入すると、大気は光取り出しライン２６
を逆流していくが、途中に衝撃波遅延管３０があるので
、蓄積リング２２内に至るまでには多少の時間がある。 その間に、圧力検出器３８は圧力上昇を検出し、制御装
置４６はこれに基づき常閉弁４２に駆動力を与え、一瞬
のうちに開放する。これにより、タンク４４内に充填さ
れている高純度不活性ガスはポート４０を通って蓄積リ
ング２２内に浸入し、大気が蓄積リング２２に到達する
前に一瞬のうちに蓄積リング２２内に充満し、蓄積リン
グ２２内が大気開放されるのが防止される。その後、非
高速遮断弁３４を閉じることにより、蓄積リング２２へ
の大気の浸入は完全に防止される。
【００１４】復旧させる場合は、まずベリリウム窓３１
等の破損箇所を修理あるいは交換するとともに常閉弁４
２を交換するかあるいは再使用可能なものであればこれ
を閉じる。そして、弁５２を開いてガス供給口５４から
高純度不活性ガスをタンク４４内に供給して充填し、弁
５２を閉じる。その後、ポンプ４８，５０を駆動して蓄
積リング２２および光取り出しライン２６を個々に真空
引きし、さらにヒータ等で個々にベーキングして超高真
空する。蓄積リング２２内に充満されたのは大気でなく
不活性ガスであるため、真空引きおよびベーキングを短
時間に行なうことができる。そして、非高速遮断弁３４
を開くことにより当初の状態に復旧し、運転を再開する
ことができる。
等の破損箇所を修理あるいは交換するとともに常閉弁４
２を交換するかあるいは再使用可能なものであればこれ
を閉じる。そして、弁５２を開いてガス供給口５４から
高純度不活性ガスをタンク４４内に供給して充填し、弁
５２を閉じる。その後、ポンプ４８，５０を駆動して蓄
積リング２２および光取り出しライン２６を個々に真空
引きし、さらにヒータ等で個々にベーキングして超高真
空する。蓄積リング２２内に充満されたのは大気でなく
不活性ガスであるため、真空引きおよびベーキングを短
時間に行なうことができる。そして、非高速遮断弁３４
を開くことにより当初の状態に復旧し、運転を再開する
ことができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、従来用いられていた高速遮断弁が不要なので、大気開
放防止装置を安価に実現することができる。
、従来用いられていた高速遮断弁が不要なので、大気開
放防止装置を安価に実現することができる。
【図１】 この発明の一実施例を示す図で、ＳＯＲ光
装置の概要を示す平面図および制御ブロック図である。
装置の概要を示す平面図および制御ブロック図である。
【図２】 ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。
１ ＳＯＲ光装置
２２ 蓄積リング
２６ 光取り出しライン
３４ 非高速遮断弁
３８ 圧力検出器（圧力検出手段）
４２ 常閉弁
４４ タンク
４６ 制御装置（制御手段）
Claims (1)
- 【請求項１】ＳＯＲ光装置の蓄積リングに常閉弁を介し
て連結され、内部に不活性ガスが収容されたタンクと、
ＳＯＲ光装置の光取り出しラインの端部近傍に配設され
て、光取り出しライン内の圧力を検出する圧力検出手段
と、前記圧力検出手段で光取り出しラインの内部圧力の
上昇が検出された時に、前記常閉弁を開放制御する制御
手段と、前記光取り出しラインに配設された非高速遮断
弁とを具備してなるＳＯＲ光装置の大気開放防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9959791A JPH04308698A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | Ｓｏｒ光装置の大気開放防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9959791A JPH04308698A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | Ｓｏｒ光装置の大気開放防止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04308698A true JPH04308698A (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=14251509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9959791A Pending JPH04308698A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | Ｓｏｒ光装置の大気開放防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04308698A (ja) |
-
1991
- 1991-04-04 JP JP9959791A patent/JPH04308698A/ja active Pending
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