JPH0541549A - 圧電磁器材料 - Google Patents
圧電磁器材料Info
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- JPH0541549A JPH0541549A JP3196850A JP19685091A JPH0541549A JP H0541549 A JPH0541549 A JP H0541549A JP 3196850 A JP3196850 A JP 3196850A JP 19685091 A JP19685091 A JP 19685091A JP H0541549 A JPH0541549 A JP H0541549A
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- piezoelectric ceramic
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 一般式がXPb(Sn0.5Sb0.5)O3−YPbTiO3−
(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+Y<1)で示され、
0.01≦X≦O.20、0.30≦Y≦0.70を満
足する基本組成物100gに対し、副成分としてMnを
0.8〜1.5gの割合で含有している圧電磁器材料。 【効果】 電気的結合係数が大きく、発振周波数の温度
変化率が小さな共振子を作製することができる。
(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+Y<1)で示され、
0.01≦X≦O.20、0.30≦Y≦0.70を満
足する基本組成物100gに対し、副成分としてMnを
0.8〜1.5gの割合で含有している圧電磁器材料。 【効果】 電気的結合係数が大きく、発振周波数の温度
変化率が小さな共振子を作製することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電磁器材料、より詳細
には圧電振動子あるいはフィルタ用等として使用される
圧電磁器材料に関する。
には圧電振動子あるいはフィルタ用等として使用される
圧電磁器材料に関する。
【0002】
【従来の技術】ジルコン酸チタン酸鉛(Pb(Ti,Zr)O3 )
は従来より圧電磁器材料として広く知られている磁器組
成物である。圧電共振子に利用される材料としては電気
機械結合係数(kt)、機械的品質係数(Qmt)等の圧電特
性が大きいことが要求され、さらに共振子の使用温度範
囲の拡大(−40℃〜80℃)に伴い、温度変化に対し
てこれらの圧電特性の劣化が小さいことが必要とされて
いる。一般に圧電磁器材料として、PbTiO3-PbZrO3 (P
ZT)系磁器が優れた圧電特性を示すことが知られてお
り、圧電ブザー、周波数フィルタ、着火素子等の材料に
利用されてきた。
は従来より圧電磁器材料として広く知られている磁器組
成物である。圧電共振子に利用される材料としては電気
機械結合係数(kt)、機械的品質係数(Qmt)等の圧電特
性が大きいことが要求され、さらに共振子の使用温度範
囲の拡大(−40℃〜80℃)に伴い、温度変化に対し
てこれらの圧電特性の劣化が小さいことが必要とされて
いる。一般に圧電磁器材料として、PbTiO3-PbZrO3 (P
ZT)系磁器が優れた圧電特性を示すことが知られてお
り、圧電ブザー、周波数フィルタ、着火素子等の材料に
利用されてきた。
【0003】従来より、PZT系磁器に第3成分として
Pb(Sn0.5Sb0.5)O3を加えた材料は150℃で強制的に熱
エージングをしても電気機械結合係数(kt)の変化率が5
%以内とかなり小さく、温度安定性に優れた材料として
知られている(特公昭55−18059号公報)。
Pb(Sn0.5Sb0.5)O3を加えた材料は150℃で強制的に熱
エージングをしても電気機械結合係数(kt)の変化率が5
%以内とかなり小さく、温度安定性に優れた材料として
知られている(特公昭55−18059号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで圧電共振子用
としては発振周波数のずれの小さい信頼性の高い圧電磁
器材料が要求される。その信頼性試験の中でももっとも
条件が厳しいのが、−40℃から80℃の熱衝撃を与え
る熱衝撃試験であり、熱衝撃により圧電特性が劣化して
発振周波数が大きくずれ、信頼性が問題となることが多
い。
としては発振周波数のずれの小さい信頼性の高い圧電磁
器材料が要求される。その信頼性試験の中でももっとも
条件が厳しいのが、−40℃から80℃の熱衝撃を与え
る熱衝撃試験であり、熱衝撃により圧電特性が劣化して
発振周波数が大きくずれ、信頼性が問題となることが多
い。
【0005】従来の材料のうち、例えば特公昭55−1
8059号公報に示されたPb(SnaSb1-a)O3-PbTiO3-PbZr
O3系にあっても熱衝撃により圧電特性が劣化し、発振周
波数のずれが起るという課題があった。
8059号公報に示されたPb(SnaSb1-a)O3-PbTiO3-PbZr
O3系にあっても熱衝撃により圧電特性が劣化し、発振周
波数のずれが起るという課題があった。
【0006】本発明はこのような課題に鑑み発明された
ものであって、熱衝撃を加えても圧電特性の劣化が小さ
く、しかも電気機械結合係数の高い、すなわち圧電特性
の大きい圧電磁器材料を提供することを目的としてい
る。
ものであって、熱衝撃を加えても圧電特性の劣化が小さ
く、しかも電気機械結合係数の高い、すなわち圧電特性
の大きい圧電磁器材料を提供することを目的としてい
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る圧電磁器材料は、一般式がXPb(Sn0.5Sb
0.5)O3−YPbTiO3−(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+
Y<1)で示され、0.01≦X≦O.20、0.30
≦Y≦0.70を満足する基本組成物100gに対し、
副成分としてMnを0.8〜1.5gの割合で含有して
いることを特徴としている。
に本発明に係る圧電磁器材料は、一般式がXPb(Sn0.5Sb
0.5)O3−YPbTiO3−(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+
Y<1)で示され、0.01≦X≦O.20、0.30
≦Y≦0.70を満足する基本組成物100gに対し、
副成分としてMnを0.8〜1.5gの割合で含有して
いることを特徴としている。
【0008】
【作用】熱衝撃試験は−40℃から80℃に温度を上げ
る昇温過程と、80℃から−40℃に温度を下げる降温
過程に分けることができる。図1に示したように、特に
降温過程においては、圧電体の自発分極の増大にともな
い、圧電体の表面付近に電荷が溜り、この電荷が分極方
向と逆に電圧を印加するために減極を引き起こす。この
ため圧電特性が劣化して発振周波数にずれが生じる。そ
こで劣化防止のため、溜った電荷をいち早く緩和させる
ためには圧電体の抵抗を下げる必要がある。
る昇温過程と、80℃から−40℃に温度を下げる降温
過程に分けることができる。図1に示したように、特に
降温過程においては、圧電体の自発分極の増大にともな
い、圧電体の表面付近に電荷が溜り、この電荷が分極方
向と逆に電圧を印加するために減極を引き起こす。この
ため圧電特性が劣化して発振周波数にずれが生じる。そ
こで劣化防止のため、溜った電荷をいち早く緩和させる
ためには圧電体の抵抗を下げる必要がある。
【0009】図2に示した如く、本発明に係る材料であ
るPb(Sn0.5Sb0.5)O3、PbTiO3、PbZrO3系において、抵抗
率を調べたところ、PT/PZ比よりもPb(Sn0.5Sb0.5)
O3の量の低減により抵抗率は下がることを知見した。
るPb(Sn0.5Sb0.5)O3、PbTiO3、PbZrO3系において、抵抗
率を調べたところ、PT/PZ比よりもPb(Sn0.5Sb0.5)
O3の量の低減により抵抗率は下がることを知見した。
【0010】さらには、図3に示したように、抵抗率の
低減により熱衝撃後の発振周波数のずれは小さくなっ
た。
低減により熱衝撃後の発振周波数のずれは小さくなっ
た。
【0011】以上上記した構成によれば、一般式がXPb
(Sn0.5Sb0.5)O3−YPbTiO3−(1−X−Y)PbZrO3(た
だしX+Y<1)で示され、0.01≦X≦O.20、
0.30≦Y≦0.70を満足する基本組成物100g
に対し、副成分としてMnを0.8〜1.5gの割合で
含有していることにより、熱衝撃を加えても圧電特性の
劣化が小さく、しかも電気結合係数(kt)の高い、換言す
れば圧電特性の大きい圧電共振子が得られる。
(Sn0.5Sb0.5)O3−YPbTiO3−(1−X−Y)PbZrO3(た
だしX+Y<1)で示され、0.01≦X≦O.20、
0.30≦Y≦0.70を満足する基本組成物100g
に対し、副成分としてMnを0.8〜1.5gの割合で
含有していることにより、熱衝撃を加えても圧電特性の
劣化が小さく、しかも電気結合係数(kt)の高い、換言す
れば圧電特性の大きい圧電共振子が得られる。
【0012】なお、Pb(Sn0.5Sb0.5)O3の置換量の範囲を
1〜20mol%に限定したのは、20mol%を越え
ると抵抗率が著しく大きくなり、信頼性に劣る。逆に1
mol%未満だとPbO の蒸発が激しく緻密な焼結体が得
られないためである。また、PbTiO3は30mol%未満
あるいは70mol%を超えると電気機械結合数(kt)が
30%以下となり圧電特性が著しく低下する。同様にM
n量を0.8〜1.5gに限定したのは、0.7g以
下、1.6g以上においても圧電特性の低下が見られた
ためである。
1〜20mol%に限定したのは、20mol%を越え
ると抵抗率が著しく大きくなり、信頼性に劣る。逆に1
mol%未満だとPbO の蒸発が激しく緻密な焼結体が得
られないためである。また、PbTiO3は30mol%未満
あるいは70mol%を超えると電気機械結合数(kt)が
30%以下となり圧電特性が著しく低下する。同様にM
n量を0.8〜1.5gに限定したのは、0.7g以
下、1.6g以上においても圧電特性の低下が見られた
ためである。
【0013】
【実施例及び比較例】以下本発明に係る圧電磁器材料の
実施例及び比較例を説明する。原料としてPb3O4 、Sn
O2、Sb2O3、 Nb2O5、ZrO2、TiO2、MnCO3 、の各種酸化物
を用いた。なお原料はこれらに限られず最終的に上記の
酸化物になるものであれば他の化合物を使用することが
できる。これら原料を表1に示した組成となるように秤
量配合し、ボールミルで24時間湿式混合した。混合し
た原料を乾燥した後700〜950℃の温度範囲で仮焼
した。次に適量の有機バインダを加えて乾式混合し、メ
ッシュの容器に通して整粒した。このようにして得られ
た粉体を1000〜1500kg/cm2の圧力で20×30
×1mmの板状に成形し、これを1200〜1300℃の
温度範囲で本焼して圧電磁器を得た。この圧電磁器焼結
体を3.5×6×0.2mmに加工し、表裏面に直径1
mmの電極を銀蒸着により作製した後分極処理を施し、
厚み縦振動モードの共振子を作製した。
実施例及び比較例を説明する。原料としてPb3O4 、Sn
O2、Sb2O3、 Nb2O5、ZrO2、TiO2、MnCO3 、の各種酸化物
を用いた。なお原料はこれらに限られず最終的に上記の
酸化物になるものであれば他の化合物を使用することが
できる。これら原料を表1に示した組成となるように秤
量配合し、ボールミルで24時間湿式混合した。混合し
た原料を乾燥した後700〜950℃の温度範囲で仮焼
した。次に適量の有機バインダを加えて乾式混合し、メ
ッシュの容器に通して整粒した。このようにして得られ
た粉体を1000〜1500kg/cm2の圧力で20×30
×1mmの板状に成形し、これを1200〜1300℃の
温度範囲で本焼して圧電磁器を得た。この圧電磁器焼結
体を3.5×6×0.2mmに加工し、表裏面に直径1
mmの電極を銀蒸着により作製した後分極処理を施し、
厚み縦振動モードの共振子を作製した。
【0014】共振子の特性はインピ−ダンスアナライザ
により測定し、比誘電率(ε33 T /ε0 )、機械的品質
係数(Qmt)、電気機械結合係数(kt)を以下の式により
算出した。
により測定し、比誘電率(ε33 T /ε0 )、機械的品質
係数(Qmt)、電気機械結合係数(kt)を以下の式により
算出した。
【0015】
【数1】
【0016】
【数2】
【0017】
【数3】
【0018】また、耐熱衝撃性を評価するために熱衝撃
(−40℃で30分→室温で5分→85℃で30分→室
温で5分)を100サイクル繰り返した後の発振周波数
の変化率(Δfosc )を求めた。このようにして得られ
た圧電特性を表1に示す。
(−40℃で30分→室温で5分→85℃で30分→室
温で5分)を100サイクル繰り返した後の発振周波数
の変化率(Δfosc )を求めた。このようにして得られ
た圧電特性を表1に示す。
【0019】
【表1】
【0020】
【表1の2】
【0021】
【表1の3】
【0022】
【表2】
【0023】
【表2の2】
【0024】
【表2の3】
【0025】なお、表1中*印のものは本発明の範囲外
のものを示し、それ以外はすべて本発明の範囲内のもの
を示している。表1及び表2より明らかなように、本発
明の範囲内のものは高い電気機械結合係数(kt)が得られ
ると共に熱衝撃を100サイクル繰り返した後の発振周
波数の変化率(Δfosc)は小さく温度安定性に優れて
いることが分る。
のものを示し、それ以外はすべて本発明の範囲内のもの
を示している。表1及び表2より明らかなように、本発
明の範囲内のものは高い電気機械結合係数(kt)が得られ
ると共に熱衝撃を100サイクル繰り返した後の発振周
波数の変化率(Δfosc)は小さく温度安定性に優れて
いることが分る。
【0026】一方比較例において、試料番号29及び3
0のものは不発振となり、また試料番号47及び48の
ものは分極が困難となり、また試料番号1のものは焼結
が困難となった。
0のものは不発振となり、また試料番号47及び48の
ものは分極が困難となり、また試料番号1のものは焼結
が困難となった。
【0027】また他の比較例においては、電気機械結合
係数(kt)の値が30%以下であり、圧電特性が小さいこ
とが分かる。
係数(kt)の値が30%以下であり、圧電特性が小さいこ
とが分かる。
【0028】このように、上記実施例に係る圧電磁器材
料においては、圧電特性である電気機械結合係数(kt)が
大きく、しかも熱衝撃を加えても圧電特性の劣化が小さ
い共振子を作製することができ、−40℃から80℃と
いう広範囲で、安定した特性を有する発振素子として使
用することができる。
料においては、圧電特性である電気機械結合係数(kt)が
大きく、しかも熱衝撃を加えても圧電特性の劣化が小さ
い共振子を作製することができ、−40℃から80℃と
いう広範囲で、安定した特性を有する発振素子として使
用することができる。
【0029】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る圧電磁
器材料にあっては、一般式がXPb(Sn0.5Sb0.5)O3−YPb
TiO3−(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+Y<1)で示
され、0.01≦X≦O.20、0.30≦Y≦0.7
0を満足する基本組成物100gに対し、副成分として
Mnを0.8〜1.5gの割合で含有していることによ
り、熱衝撃を加えても圧電特性の劣化が小さく、しかも
電気結合係数(kt)の高い、すなわち圧電特性の大きい圧
電共振子を製作することができる。
器材料にあっては、一般式がXPb(Sn0.5Sb0.5)O3−YPb
TiO3−(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+Y<1)で示
され、0.01≦X≦O.20、0.30≦Y≦0.7
0を満足する基本組成物100gに対し、副成分として
Mnを0.8〜1.5gの割合で含有していることによ
り、熱衝撃を加えても圧電特性の劣化が小さく、しかも
電気結合係数(kt)の高い、すなわち圧電特性の大きい圧
電共振子を製作することができる。
【図1】熱衝撃時の圧電性変動メカニズムを示した図で
ある。
ある。
【図2】Pb(Sn0.5Sb0.5)O3量の低減による低抵抗化を示
したグラフである。
したグラフである。
【図3】低抵抗化による耐熱衝撃性の改善を示したグラ
フである。
フである。
Claims (1)
- 【請求項1】 一般式がXPb(Sn0.5Sb0.5)O3−YPbTiO3
−(1−X−Y)PbZrO3(ただしX+Y<1)で示さ
れ、0.01≦X≦O.20、0.30≦Y≦0.70
を満足する基本組成物100gに対し、副成分としてM
nを0.8〜1.5gの割合で含有していることを特徴
とする圧電磁器材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3196850A JPH0541549A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 圧電磁器材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3196850A JPH0541549A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 圧電磁器材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541549A true JPH0541549A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16364700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3196850A Pending JPH0541549A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 圧電磁器材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541549A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8545439B2 (en) | 2009-03-10 | 2013-10-01 | Dongguan Kidsme Industrial Limited | Feeding apparatus |
| US8597235B2 (en) | 2009-03-10 | 2013-12-03 | Dongguan Kidsme Trading Company Limited | Feeding apparatus |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP3196850A patent/JPH0541549A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8545439B2 (en) | 2009-03-10 | 2013-10-01 | Dongguan Kidsme Industrial Limited | Feeding apparatus |
| US8597235B2 (en) | 2009-03-10 | 2013-12-03 | Dongguan Kidsme Trading Company Limited | Feeding apparatus |
| US9717656B2 (en) | 2009-03-10 | 2017-08-01 | Dongguan Kidsme Industrial Limited | Feeding apparatus |
| US9730861B2 (en) | 2009-03-10 | 2017-08-15 | Dongguan Kidsme Industrial Limited | Feeding apparatus |
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