JPH0543520Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、基板加工手段に対する基板の位置を
決定する基板位置決め装置と、この基板位置決め
装置に基板を送り込み、又はそこから基板を受け
取る基板搬送装置との組合わせからなる基板搬
送・位置決め装置に関する。

(ロ) 従来の技術 上記装置の一例を特公昭55−44472号公報に見
ることができる。この装置では基板搬送装置が基
板位置決め装置に対して上下し、双方の高さが揃
つたところで基板の受け渡しを行なう。ところで
基板位置決め装置に基板を送り込むのは良いが、
基板位置決め装置に対する基板の位置が正確に決
定されないことには話しにならない。特公昭55−
44472号公報の装置では位置決めピンを基板の穴
に突き通してこの問題に対処している。別の手法
もある。特開昭61−125200号公報記載の装置で
は、基板縁部に形設したＶ字型ノツチに先端の尖
つた位置決め爪を係合させて同じ目的を達成して
いる。

(ハ) 考案が解決しようとする課題 本考案は、基板縁部のＶ字型ノツチに位置決め
爪を係合させて基板位置決め装置に対する基板の
位置決めを行なうものにおいて、位置決め爪駆動
機構の構成を簡略化することを目的とする。

(ニ) 課題を解決するための手段 基板位置決め装置は、基板受け渡し時以外は基
板搬送装置よりも相対的に沈下するものとする。
基板位置決め装置内には、位置決め爪を基板縁部
のＶ字型ノツチに係合あるいは退避させる進退制
御杆と、この進退制御杆を回動させて位置決め爪
進退作用を行わせる動作部材と、動作部材を位置
決め爪進出方向に付勢するばねを設ける。基板搬
送装置内には、基板受け渡し時、上昇してくる動
作部材に当つてこれを押し、前記ばねに抗して、
位置決め爪をＶ字型ノツチから退避させる押圧部
材を設ける。

(ホ) 作用 基板位置決め装置と基板搬送装置の高さが揃う
と、押圧部材が動作部材を押し、これにより進退
制御杆が位置決め爪を退避させて、基板の出入を
可能にする。基板位置決め装置が相対的に沈下す
ると、押圧部材から動作部材が離れ、位置決め爪
が進出し、基板を位置決めする。

(ヘ) 実施例 第１図において、１は加工すべき基板、３は基
板１を加工位置に移動させる基板位置決め装置、
５は基板位置決め装置３に未加工の基板１を送り
込む第１の基板搬送装置、７は基板位置決め装置
３から加工済基板を受け取る第２の基板搬送装置
である。基板位置決め装置３の図示しないベース
部分はいわゆるXYテーブルになつている。基板
位置決め装置３の図示部分はXYテーブルの上に
昇降可能に支持されており、基板受け渡し時には
エアシリンダ等により押し上げられて基板搬送装
置５，７の水準に並ぶ。基板授受終了後、基板位
置決め装置３は沈下し、基板搬送装置５，７に衝
突しない高さのところで水平移動を行なうもので
ある。

第１及び第２の基板搬送装置５，７は各々１対
の並行する桁構造１０，１１及び１２，１３によ
り構成される。桁構造１０，１１の内側にはそれ
ぞれ基板搬送ベルト１４を設ける。桁構造７の内
側にも同様に基板搬送ベルト１５を配置する。１
６は基板搬送ベルト１４によつて運ばれて来た基
板１を一時的に待機させておくためのストツパ
で、図示しない駆動機構により基板搬送平面に出
没せしめられる。１７は基板位置決め装置３上の
加工済基板を基板搬送装置７へ押し出し、同時に
基板搬送装置５から未加工基板を基板位置決め装
置へ送り込むウオーキングビームである。

基板位置決め装置３は１対のガイドレール２
０，２１を有する。一方のガイドレール２１から
は先端が三角形に尖つた位置決め爪２２が出没す
る。位置決め爪２２は２個設けられ、基板縁部の
Ｖ字型ノツチ２に係合する方向、すなわち進出方
向にばね２３で引き寄せられている。２４は位置
決め爪２２及びこれが嵌合する溝２５を覆うカバ
ーである。位置決め爪２２の根元には、鉤状に立
ち上がつた係合部２７を有する係合ブロツク２６
を固定する。

３０はガイドレール２１と平行に支持された進
退制御杆である。進退制御杆３０は軸線まわりに
回転自在であり、外面には係合ブロツク２６の係
合部２７に係合する爪部３１を有する。爪部３１
は進退制御杆３０の全長近くに亘つて延びてお
り、位置決め爪２２を通す溝２５もそれに見合う
長さ範囲に所定間隔で形設されている。これによ
り、Ｖ字型ノツチ２の位置に合わせて位置決め爪
２２の位置を変えることが可能である。

進退制御杆３０は歯車部３５を有しており、軸
３６で基板位置決め装置３に枢支されたセクター
ギヤ３７がこれにかみ合う。セクターギヤ３７の
他端はばね３８により押し上げられ、これにより
進退制御杆３０は爪部３１が係合部２７から離れ
る方向に附勢されている。３９はセクターギヤ３
７の回動範囲を制限するストツパボルトである。
軸３６の他端にはレバー状の動作部材４０を固定
する。基板搬送装置５には、動作部材４０と対を
なす押圧部材４１を固定する。

本考案装置は次のように動作する。基板位置決
め装置３上の基板１を加工している間に、ローデ
イングブリツジ５においては基板搬送ベルト１４
により未加工の基板１が運ばれて来て、ストツパ
１６に当たり待機している。基板加工終了後、基
板位置決め装置３は原点に復帰し、基板搬送装置
５，７に向かつて上昇する。基板位置決め装置３
が基板搬送装置５，７に並んだ時点で、押圧部材
４１は動作部材４０を押し、セクターギヤ３７は
ばね３８に抗して回動し、これにより進退制御杆
３０も回動せしめられ、位置決め爪２２は進出位
置から退避する。第３図から第４図への変化、ま
た第５図から第６図への変化をもつて、この時の
動作を示す。基板位置決め装置３上の加工済基板
１が自由になつた時点で、ストツパ１６は退避
し、ウオーキングビーム１７が動いて加工済基板
１を基板搬送装置７へ押し出し、また未加工の基
板１を基板搬送装置５から基板位置決め装置３へ
送り込む。基板１の入れ替えが終了した後、基板
位置決め装置３が降下すると、動作部材４０が押
圧部材４１から離れ、セクターギヤ３７、進退制
御杆３０はそれぞれ第３図（又は第５図）の状態
に復帰し、位置決め爪２２は進出して基板１のＶ
字型ノツチ２に係合する。基板搬送装置７におい
ては基板搬送ベルト１５が加工済基板１を運び去
り、基板搬送装置５においては基板搬送ベルト１
４が新たな基板１を運んで来て、次の入れ替え動
作に備えるものである。

(ト) 考案の効果 本考案によれば、基板位置決め装置と基板搬送
装置との相対的な高さ変化をもつて位置決め爪の
進退を生ぜしめることとしたから、基板位置決め
装置にエアシリンダ等の位置決め爪用アクチユエ
ータを設置する必要がなく、構成が簡単な上、動
作も確実である。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の一実施例を示し、第１図は装置の
概略構成を示す斜視図、第２図は基板位置決め装
置の要部拡大斜視図、第３図及び第４図は部分断
面図にして異なる動作状態を示すもの、第５図及
び第６図は第３図及び第４図に対応する部分上面
図である。 １……基板、２……Ｖ字型ノツチ、３……基板
位置決め装置、５……第１の基板搬送装置、７…
…第２の基板搬送装置、２２……位置決め爪、３
０……進退制御杆、４０……動作部材、４１……
押圧部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板加工手段に対する基板の位置を決定する基
   板位置決め装置と、この基板位置決め装置に基板
   を送り込み、又はそこから基板を受け取る基板搬
   送装置とを備え、前記基板位置決め装置には、基
   板縁部のＶ字型ノツチに係合する位置決め爪を設
   けたものにおいて、 前記基板位置決め装置は、基板受け渡し時以外
   は前記基板搬送装置よりも相対的に沈下するもの
   とし、 前記基板位置決め装置内には、前記位置決め爪
   を基板縁部のＶ字型ノツチに係合あるいは退避さ
   せる進退制御杆と、この進退制御杆を回動させて
   位置決め爪進退作用を行わせる動作部材と、この
   動作部材を位置決め爪進出方向に付勢するばねを
   設け、 前記基板搬送装置内には、基板受け渡し時、上
   昇してくる前記動作部材に当つてこれを押し、前
   記ばねに抗して、位置決め爪を前記Ｖ字型ノツチ
   から退避させる押圧部材を設けてなる基板搬送・
   位置決め装置。