JPH0547878A - 半導体ウエーハ表面検査装置 - Google Patents
半導体ウエーハ表面検査装置Info
- Publication number
- JPH0547878A JPH0547878A JP19758391A JP19758391A JPH0547878A JP H0547878 A JPH0547878 A JP H0547878A JP 19758391 A JP19758391 A JP 19758391A JP 19758391 A JP19758391 A JP 19758391A JP H0547878 A JPH0547878 A JP H0547878A
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- JP
- Japan
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- converter
- light
- semiconductor wafer
- intensity
- wafer surface
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】従来の半導体ウェーハ表面異物検知装置に使用
されている受光システムでは、一度に受光できる光の強
度範囲が狭いという問題があった。 【構成】変換器１と変換器２は入力された光を電気信号
に変換するものであり、それぞれ電源３および電源４に
より異なる電圧で駆動される。すなわち、変換器１と変
換器２とでは、受光できる光の強度範囲が異なる。 【効果】入力された光を電気信号に変換する変換器とそ
の変換器を駆動する電源をそれぞれ複数個使用すること
により、一度に受光できる光の強度範囲が広がるという
効果がある。
されている受光システムでは、一度に受光できる光の強
度範囲が狭いという問題があった。 【構成】変換器１と変換器２は入力された光を電気信号
に変換するものであり、それぞれ電源３および電源４に
より異なる電圧で駆動される。すなわち、変換器１と変
換器２とでは、受光できる光の強度範囲が異なる。 【効果】入力された光を電気信号に変換する変換器とそ
の変換器を駆動する電源をそれぞれ複数個使用すること
により、一度に受光できる光の強度範囲が広がるという
効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハ表面検査
装置において、特に光強度を検知する半導体ウエーハ表
面検査装置に関する。
装置において、特に光強度を検知する半導体ウエーハ表
面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウェーハ表面検査装置は、
図４に示すように、光を電気信号に変換する変換器１
と、変換器１を駆動する電源３と、変換器１の出力を処
理するデータ処理部５を有している。
図４に示すように、光を電気信号に変換する変換器１
と、変換器１を駆動する電源３と、変換器１の出力を処
理するデータ処理部５を有している。
【０００３】次に動作について説明する。
【０００４】入射光９が変換器１に入力されると、変換
器１は入射光９の強度に応じた電気信号をデータ処理部
５に出力する。あらかじめ、データ処理部５に電気信号
と光強度との関係を入力しておけば、データ処理部５に
入力された電気信号の強度から、変換器１に入力された
入射光９の強度を検知することができる。また、変換器
１で電気信号に変換できる光強度の範囲は、電源３で変
換器１に供給される電圧によって決定される。
器１は入射光９の強度に応じた電気信号をデータ処理部
５に出力する。あらかじめ、データ処理部５に電気信号
と光強度との関係を入力しておけば、データ処理部５に
入力された電気信号の強度から、変換器１に入力された
入射光９の強度を検知することができる。また、変換器
１で電気信号に変換できる光強度の範囲は、電源３で変
換器１に供給される電圧によって決定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体ウェ
ーハ表面検査装置では、変換器に供給される電圧によっ
て変換器が変換できる光の強度範囲が決定されるため、
一度電圧を設定すると決定された光の強度範囲を超える
光は変換できないという問題があった。
ーハ表面検査装置では、変換器に供給される電圧によっ
て変換器が変換できる光の強度範囲が決定されるため、
一度電圧を設定すると決定された光の強度範囲を超える
光は変換できないという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体ウェーハ
表面検査装置は、光を入力し電気信号を出力する変換器
と、この変換器を駆動するための電源をそれぞれ複数個
と、前記変換器の出力を処理するデータ処理部とを備え
ている。
表面検査装置は、光を入力し電気信号を出力する変換器
と、この変換器を駆動するための電源をそれぞれ複数個
と、前記変換器の出力を処理するデータ処理部とを備え
ている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の実施例の半導体ウェーハ表
面検査装置の概要図である。変換器１と変換器２は入力
された光の強度に応じた電気信号を出力する変換器であ
り、それぞれ電源３と電源４により異なる電圧で駆動さ
れる。すなわち、変換器１と変換器２では受光できる光
の強度範囲が異なる。図２に変換器１と変換器２の受光
できる光強度範囲を示す。また、変換器１と変換器２の
出力は、データ処理部５に入力される。一方、レーザー
発振器６から出力されたレーザー光７は半導体ウェーハ
８の表面を走査する。半導体ウェーハ８の表面に異物が
存在すれば、レーザー光７が異物を照射した時に、レー
ザー光７は異物により散乱され、変換器１および変換器
２で受光され、その出力はデータ処理部５に入力され
る。データ処理部５にあらかじめ、入力される電気信号
と変換器１および変換器２で受光する光強度との関係を
入力しておくことにより、変換器２で受光した光の強度
を知ることができる。
面検査装置の概要図である。変換器１と変換器２は入力
された光の強度に応じた電気信号を出力する変換器であ
り、それぞれ電源３と電源４により異なる電圧で駆動さ
れる。すなわち、変換器１と変換器２では受光できる光
の強度範囲が異なる。図２に変換器１と変換器２の受光
できる光強度範囲を示す。また、変換器１と変換器２の
出力は、データ処理部５に入力される。一方、レーザー
発振器６から出力されたレーザー光７は半導体ウェーハ
８の表面を走査する。半導体ウェーハ８の表面に異物が
存在すれば、レーザー光７が異物を照射した時に、レー
ザー光７は異物により散乱され、変換器１および変換器
２で受光され、その出力はデータ処理部５に入力され
る。データ処理部５にあらかじめ、入力される電気信号
と変換器１および変換器２で受光する光強度との関係を
入力しておくことにより、変換器２で受光した光の強度
を知ることができる。
【０００９】図３は変換器１および変換器２に入力され
る光強度と出力される電気信号強度の関係である。変換
器１はＡからＢの範囲の光強度を検知することができ、
変換器２はＢからＣの範囲の光強度を検知することがで
きる。すなわち、変換器１と変換器２を両方使用するこ
とにより、変換器１または変換器２だけを使用した場合
に比べ、より広範囲の強度の光を検知することが可能と
なる。また、変換器および変換器を駆動する電源を増す
ことにより、更に広範囲の強度の光を検知することが可
能となる。
る光強度と出力される電気信号強度の関係である。変換
器１はＡからＢの範囲の光強度を検知することができ、
変換器２はＢからＣの範囲の光強度を検知することがで
きる。すなわち、変換器１と変換器２を両方使用するこ
とにより、変換器１または変換器２だけを使用した場合
に比べ、より広範囲の強度の光を検知することが可能と
なる。また、変換器および変換器を駆動する電源を増す
ことにより、更に広範囲の強度の光を検知することが可
能となる。
【００１０】尚、実施に当っては、変換器毎の異物マッ
プを重ね合わせ、１つの異物からの散乱光を複数の変換
器で検知している場合は、１つの異物としてカウントす
る処理を行なう必要がある。
プを重ね合わせ、１つの異物からの散乱光を複数の変換
器で検知している場合は、１つの異物としてカウントす
る処理を行なう必要がある。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、入力され
た光を電気信号に変換する変換器とその変換器を駆動す
る電源とをそれぞれ複数個使用したので、それぞれの変
換器に供給する電圧を一度設定するだけで、変換器が変
換できる光の強度範囲が広がるという効果を有する。
た光を電気信号に変換する変換器とその変換器を駆動す
る電源とをそれぞれ複数個使用したので、それぞれの変
換器に供給する電圧を一度設定するだけで、変換器が変
換できる光の強度範囲が広がるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の概要図。
【図２】図１に示した変換器の受光できる光強度の範囲
を示した図。
を示した図。
【図３】図１に示した変換器に入力される光強度とその
変換器から出力される電気信号との関係を示した図。
変換器から出力される電気信号との関係を示した図。
【図４】従来の技術を示す概要図。
１ 変換器 ２ 電源 ３ 変換器 ４ 電源 ５ データ処理部 ６ レーザー発振器 ７ レーザー光 ８ 半導体ウェーハ ９ 入射光
Claims (1)
- 【請求項１】 光を電気信号に変換する変換器と、この
変換器を駆動する電源と、前記変換器の出力を処理する
データ処理部を有する半導体ウェーハ表面検査装置にお
いて、前記変換器と電源をそれぞれ複数個備え、かつそ
れぞれの変換器が異なる範囲の光強度を変換することを
特徴とする半導体ウェーハ表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19758391A JPH0547878A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 半導体ウエーハ表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19758391A JPH0547878A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 半導体ウエーハ表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547878A true JPH0547878A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16376905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19758391A Pending JPH0547878A (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 半導体ウエーハ表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547878A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011099788A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Toshiba Corp | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739673A (en) * | 1980-08-21 | 1982-03-04 | Minolta Camera Co Ltd | Image sensor |
| JPH02110355A (ja) * | 1988-10-19 | 1990-04-23 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 異物検査方法および異物検査装置 |
| JPH02227642A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Sony Corp | 表面検査装置 |
| JPH032546A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-08 | Canon Inc | 異物検査装置 |
| JPH03104386A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-05-01 | Nec Corp | 高品質ビデオカメラ |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP19758391A patent/JPH0547878A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739673A (en) * | 1980-08-21 | 1982-03-04 | Minolta Camera Co Ltd | Image sensor |
| JPH02110355A (ja) * | 1988-10-19 | 1990-04-23 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 異物検査方法および異物検査装置 |
| JPH02227642A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Sony Corp | 表面検査装置 |
| JPH032546A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-08 | Canon Inc | 異物検査装置 |
| JPH03104386A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-05-01 | Nec Corp | 高品質ビデオカメラ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011099788A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Toshiba Corp | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980728 |