JPH0548097Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0548097Y2 JPH0548097Y2 JP15248588U JP15248588U JPH0548097Y2 JP H0548097 Y2 JPH0548097 Y2 JP H0548097Y2 JP 15248588 U JP15248588 U JP 15248588U JP 15248588 U JP15248588 U JP 15248588U JP H0548097 Y2 JPH0548097 Y2 JP H0548097Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- window plate
- emitted
- aperture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 13
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は赤外線検出器の検査装置に関する。
第2図に示すように、赤外線検出器としての照
度計4の検査装置1は光源本体2の前方に設けら
れアパーチヤaを持つ窓板3を有する。その光源
本体2から発せられる光(赤外線)が、光源パタ
ン形状を設定するアパーチヤaを通過し、検査用
の光源となる。図中5は照度計4の検出器を示
す。
度計4の検査装置1は光源本体2の前方に設けら
れアパーチヤaを持つ窓板3を有する。その光源
本体2から発せられる光(赤外線)が、光源パタ
ン形状を設定するアパーチヤaを通過し、検査用
の光源となる。図中5は照度計4の検出器を示
す。
上記従来の装置では、光源本体から発せられた
光が窓板3に到達する際、アパーチヤaを通過す
る光と、アパーチヤa以外の部分にて通過を妨げ
られる遮断光とに分けられる。遮断光は窓板3を
加熱しその温度が上昇する。従つて、窓板3が雑
音光源となり不要な光を発していた。
光が窓板3に到達する際、アパーチヤaを通過す
る光と、アパーチヤa以外の部分にて通過を妨げ
られる遮断光とに分けられる。遮断光は窓板3を
加熱しその温度が上昇する。従つて、窓板3が雑
音光源となり不要な光を発していた。
この検査装置1を使うと、照度計の検出器5は
光源本体2からの検査用の光c以外に、熱せられ
た窓板3から発せられる光dを受光していた。
光源本体2からの検査用の光c以外に、熱せられ
た窓板3から発せられる光dを受光していた。
すなわち、従来の検査装置1は本来の検査用の
光以外に雑音を出していた。
光以外に雑音を出していた。
本考案は上記課題を解決するため次の手段を講
ずる。
ずる。
すなわち、赤外線計測器の検査装置として、光
源と、光源の前方に同軸に設けられ、かつ冷却用
の流体通路を有するアパーチヤ付の窓板と、同流
体通路に冷却用の流体を供給する冷却装置とを設
ける。
源と、光源の前方に同軸に設けられ、かつ冷却用
の流体通路を有するアパーチヤ付の窓板と、同流
体通路に冷却用の流体を供給する冷却装置とを設
ける。
上記手段により窓板が、冷却用の流体で冷却さ
れるので、窓板で遮断される光によつて、窓板は
高温にならない。従つて窓板から雑音となる不要
な光を発することもなくなる。
れるので、窓板で遮断される光によつて、窓板は
高温にならない。従つて窓板から雑音となる不要
な光を発することもなくなる。
このようにして、本来の検査用の精度のよい光
を発するようになる。
を発するようになる。
本考案の一実施例を第1図により説明する。な
お、従来例で説明した部分は、冗長さをさけるた
め説明を省略し、この考案に関する部分を主体に
説明する。
お、従来例で説明した部分は、冗長さをさけるた
め説明を省略し、この考案に関する部分を主体に
説明する。
検査装置1a内には光源本体2が設けられる。
光源本体2の前方にアパーチヤa付の窓板3aが
光源本体2の軸と同軸に設けられる。また窓板3
a内にはアパーチヤaの周りに花弁形の流体通路
6が設けられ、冷却装置7から冷却用の流体が供
給される。
光源本体2の前方にアパーチヤa付の窓板3aが
光源本体2の軸と同軸に設けられる。また窓板3
a内にはアパーチヤaの周りに花弁形の流体通路
6が設けられ、冷却装置7から冷却用の流体が供
給される。
以上の構成において、検査用の光cを出すと
き、冷却装置7より冷却水を流体通路6に流す
と、窓板3aは冷却される。従つて高温になら
ず、不要な雑音となる光を発しなくなる。このよ
うにして精度のよい光を出すようになる。
き、冷却装置7より冷却水を流体通路6に流す
と、窓板3aは冷却される。従つて高温になら
ず、不要な雑音となる光を発しなくなる。このよ
うにして精度のよい光を出すようになる。
以上に説明したように、本考案にれば、アパー
チヤの周辺より不要な光が出なくなるので、検査
用の光(赤外線)として精度のよい光を発するよ
うになる。
チヤの周辺より不要な光が出なくなるので、検査
用の光(赤外線)として精度のよい光を発するよ
うになる。
第1図は本考案の一例の構成斜視図、第2図は
従来の一例の構成斜視図、 1……検査装置、2……光源本体、3a……窓
板、6……流体通路、7……冷却装置、a……ア
パーチヤ。
従来の一例の構成斜視図、 1……検査装置、2……光源本体、3a……窓
板、6……流体通路、7……冷却装置、a……ア
パーチヤ。
Claims (1)
- 光源と、光源の前方に同軸に設けられ、かつ冷
却用の流体通路を有するアパーチヤ付の窓板と、
同流体通路に冷却用の流体を供給する冷却装置と
を備えてなることを特徴とする赤外線計測器の検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15248588U JPH0548097Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15248588U JPH0548097Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272939U JPH0272939U (ja) | 1990-06-04 |
| JPH0548097Y2 true JPH0548097Y2 (ja) | 1993-12-20 |
Family
ID=31427456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15248588U Expired - Lifetime JPH0548097Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0548097Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15248588U patent/JPH0548097Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0272939U (ja) | 1990-06-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0415024U (ja) | ||
| JPH0548097Y2 (ja) | ||
| JPS6342313Y2 (ja) | ||
| JPS58154436U (ja) | 加熱炉における炉内鋼材下面温度測定装置 | |
| JPS5858730A (ja) | 投影露光装置 | |
| JPH0117005Y2 (ja) | ||
| JP3898833B2 (ja) | 光学的測定装置 | |
| JPH071683Y2 (ja) | パターン照明用光源装置 | |
| JPH0416866U (ja) | ||
| JPS5950439U (ja) | 半導体露光装置 | |
| JPS63122341U (ja) | ||
| JPH03202147A (ja) | 光学ユニット及びこの光学ユニットが接合される光照射装置 | |
| JPS5921783U (ja) | 放射線強度測定装置 | |
| JPS63243826A (ja) | 測温光学装置 | |
| JPS62184625U (ja) | ||
| JPS5864306U (ja) | X線束交り装置の光学照射野表示装置 | |
| JPH01109369U (ja) | ||
| JPH02144124U (ja) | ||
| JPS62179673U (ja) | ||
| JPS5817716U (ja) | 照明装置 | |
| JPS61150U (ja) | フオトレジスト露光用紫外線照射装置 | |
| JPS61104338U (ja) | ||
| JPS61195484U (ja) | ||
| JPH0292590U (ja) | ||
| JPS58144242U (ja) | 焦点補正用チヨツパ |