JPH0548185A - ガスレーザー装置用予備電離装置 - Google Patents
ガスレーザー装置用予備電離装置Info
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- JPH0548185A JPH0548185A JP20942191A JP20942191A JPH0548185A JP H0548185 A JPH0548185 A JP H0548185A JP 20942191 A JP20942191 A JP 20942191A JP 20942191 A JP20942191 A JP 20942191A JP H0548185 A JPH0548185 A JP H0548185A
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- peaking
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 54
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 適度の予備電離強度とし、予備電離ピンの寿
命の延長を可能とする。 【構成】 充電部１ａと放電部１２に並列接続された予
備電離ピン１０と他方のピーキングコンデンサ８の直列
回路１０ａに一方のピーキングコンデンサ７を並列接続
することによって、予備電離ピン１０に流れる電流は一
方のピーキングコンデンサ７により低減され調節される
ため、予備電離ピン１０における予備電離の強度を適度
のものとし、予備電離ピン１０の消耗を低減し、その寿
命を延長することが可能となる。
命の延長を可能とする。 【構成】 充電部１ａと放電部１２に並列接続された予
備電離ピン１０と他方のピーキングコンデンサ８の直列
回路１０ａに一方のピーキングコンデンサ７を並列接続
することによって、予備電離ピン１０に流れる電流は一
方のピーキングコンデンサ７により低減され調節される
ため、予備電離ピン１０における予備電離の強度を適度
のものとし、予備電離ピン１０の消耗を低減し、その寿
命を延長することが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光化学反応や材料加工
に利用するエキシマレーザーやＣＯ2 レーザー等のガス
レーザー装置に適用されるガスレーザー装置用予備電離
装置に関する。
に利用するエキシマレーザーやＣＯ2 レーザー等のガス
レーザー装置に適用されるガスレーザー装置用予備電離
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザー装置を図３及び図５
に示す。図３及び図５においては、電源から充電用高電
圧端子１とアース端子２に供給された電気エネルギーが
インダクタンス４，６を通り、ストレージコンデンサ５
に蓄積される。
に示す。図３及び図５においては、電源から充電用高電
圧端子１とアース端子２に供給された電気エネルギーが
インダクタンス４，６を通り、ストレージコンデンサ５
に蓄積される。
【０００３】この状態で高電圧スイッチ３を閉じると、
ストレージコンデンサに蓄積された電気エネルギーは、
インダクタンス４、スイッチ３、平滑インダクタンス
９、予備電離ピン１０を通ってピーキングコンデンサ１
３又は１４に移行する。このとき、予備電離ピン１０で
予備的な放電が起こり、放電部１２へ電子を供給する。
ストレージコンデンサに蓄積された電気エネルギーは、
インダクタンス４、スイッチ３、平滑インダクタンス
９、予備電離ピン１０を通ってピーキングコンデンサ１
３又は１４に移行する。このとき、予備電離ピン１０で
予備的な放電が起こり、放電部１２へ電子を供給する。
【０００４】その後、放電部１２が容易に均一放電する
条件が成立すると、ピーキングコンデンサ１３又は１４
から放電電極１１を通って放電部１２へ電気エネルギー
が注入され、レーザー用放電を発生する。
条件が成立すると、ピーキングコンデンサ１３又は１４
から放電電極１１を通って放電部１２へ電気エネルギー
が注入され、レーザー用放電を発生する。
【０００５】従来のガスレーザー装置においては、図３
に示すように電気エネルギーがピーキングコンデンサ１
３に移行するとき、予備電離ピン１０で電子を発生して
予備電離を行なうか、図５に示すようにピーキングコン
デンサ１４への移行時、及び放電部１２への電気エネル
ギー注入時に予備電離を行うもので、これらの回路中の
ピーキングコンデンサ１３又は１４に流れるすべての電
流が予備電離に関与していた。
に示すように電気エネルギーがピーキングコンデンサ１
３に移行するとき、予備電離ピン１０で電子を発生して
予備電離を行なうか、図５に示すようにピーキングコン
デンサ１４への移行時、及び放電部１２への電気エネル
ギー注入時に予備電離を行うもので、これらの回路中の
ピーキングコンデンサ１３又は１４に流れるすべての電
流が予備電離に関与していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置における予
備的な放電による電離では、予備電離ピンに流れる電流
により、発光する紫外光の強度が決まり、この光により
放電部に電子を発生していた。紫外光強度は、図４及び
図６の斜線部の電流量のｎ乗（ｎ＞１）に比例するた
め、図３に示す方式より図５に示す方式の方が紫外光強
度が大きい。
備的な放電による電離では、予備電離ピンに流れる電流
により、発光する紫外光の強度が決まり、この光により
放電部に電子を発生していた。紫外光強度は、図４及び
図６の斜線部の電流量のｎ乗（ｎ＞１）に比例するた
め、図３に示す方式より図５に示す方式の方が紫外光強
度が大きい。
【０００７】一方、予備電離ピンの寿命は、図４及び図
６の斜線部の電流値の時間積分（図４及び図６の斜線部
の面積）に反比例する。従って、図５に示す方式ではこ
の積分値が大きいため、予備電離ピン１０の寿命は図３
に示す方式より短かかった。以上の状況から、紫外光強
度が大きいという条件の場合には、予備電離ピンの寿命
が短かいという課題があった。
６の斜線部の電流値の時間積分（図４及び図６の斜線部
の面積）に反比例する。従って、図５に示す方式ではこ
の積分値が大きいため、予備電離ピン１０の寿命は図３
に示す方式より短かかった。以上の状況から、紫外光強
度が大きいという条件の場合には、予備電離ピンの寿命
が短かいという課題があった。
【０００８】本発明は上記の課題を解決しようとするも
のである。
のである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のガスレーザー装
置用予備電離装置は、ループを形成するように接続され
た充電部と放電部を備えたガスレーザー装置において、
上記充電部と放電部に並列接続された一方のピーキング
コンデンサ、および同一方のピーキングコンデンサに並
列接続され予備電離ピンと他方のピーキングコンデンサ
が直列接続されて形成された直列回路を備えたことを特
徴としている。
置用予備電離装置は、ループを形成するように接続され
た充電部と放電部を備えたガスレーザー装置において、
上記充電部と放電部に並列接続された一方のピーキング
コンデンサ、および同一方のピーキングコンデンサに並
列接続され予備電離ピンと他方のピーキングコンデンサ
が直列接続されて形成された直列回路を備えたことを特
徴としている。
【００１０】
【作用】上記において、充電部に蓄積さた電気エネルギ
ーは、充電部より放出されると、一方のピーキングコン
デンサに蓄積されるとともに、予備電離ピンを介して他
方のピーキングコンデンサに流れ蓄積される。それぞれ
のピーキングコンデンサに蓄積された電気エネルギーは
放電部における均一放電のための条件が整うと放電部に
注入され、放電部はレーザー用放電を発生する。
ーは、充電部より放出されると、一方のピーキングコン
デンサに蓄積されるとともに、予備電離ピンを介して他
方のピーキングコンデンサに流れ蓄積される。それぞれ
のピーキングコンデンサに蓄積された電気エネルギーは
放電部における均一放電のための条件が整うと放電部に
注入され、放電部はレーザー用放電を発生する。
【００１１】上記他方のピーキングコンデンサで充放電
が行われる際には、予備電離ピンで予備的な放電が行わ
れ放電部へ電子が供給され、放電部における放電のため
の条件形成に寄与する。
が行われる際には、予備電離ピンで予備的な放電が行わ
れ放電部へ電子が供給され、放電部における放電のため
の条件形成に寄与する。
【００１２】本発明においては、予備電離ピンと他方の
ピーキングコンデンサにより形成される直列回路には一
方のピーキングコンデンサが並列接続されているため、
放電のために放電部に供給される電気エネルギーは全て
他方のピーキングコンデンサからのみ供給されるのでは
なく、一方のピーキングコンデンサからも供給される。
ピーキングコンデンサにより形成される直列回路には一
方のピーキングコンデンサが並列接続されているため、
放電のために放電部に供給される電気エネルギーは全て
他方のピーキングコンデンサからのみ供給されるのでは
なく、一方のピーキングコンデンサからも供給される。
【００１３】そのため、放電部へ供給する電気エネルギ
ーを従来の装置と同一とした場合、予備電離ピンに流れ
る充放電電流は従来の装置に比べて少なくすることがで
き、一方のピーキングコンデンサの容量の選択によりそ
の電流値を適当な値とすることができる。
ーを従来の装置と同一とした場合、予備電離ピンに流れ
る充放電電流は従来の装置に比べて少なくすることがで
き、一方のピーキングコンデンサの容量の選択によりそ
の電流値を適当な値とすることができる。
【００１４】上記により、予備電流ピンに流れる電流は
調節されるため、予備電離ピンにおける予備電離の強度
を適度のものとし、予備電離ピンの消耗を低減し、その
寿命を延長することが可能となる。
調節されるため、予備電離ピンにおける予備電離の強度
を適度のものとし、予備電離ピンの消耗を低減し、その
寿命を延長することが可能となる。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例の予備電離装置を図１に示
す。図１に示す本実施例の予備電離装置は、両端にそれ
ぞれ充電用高電圧端子１とアース端子２が接続された高
電圧スイッチ３に高電圧インダクタンス４とストレージ
コンデンサ５と充電用インダクタンス６が順次接続され
てループを形成する充電部１ａ、および同充電部１ａの
充電用インダクタンス６に接続されてループを形成し両
端に放電電極１１が設けられた放電部１２を備えたガス
レーザー装置において、上記充電用インダクタンス６と
放電部１２に並列接続されたピーキングコンデンサ７、
および同コンデンサ７に並列接続され平滑インダクタン
ス９と予備電離ピン１０とピーキングコンデンサ８が順
次接続されて形成された直列回路１０ａを備えている。
す。図１に示す本実施例の予備電離装置は、両端にそれ
ぞれ充電用高電圧端子１とアース端子２が接続された高
電圧スイッチ３に高電圧インダクタンス４とストレージ
コンデンサ５と充電用インダクタンス６が順次接続され
てループを形成する充電部１ａ、および同充電部１ａの
充電用インダクタンス６に接続されてループを形成し両
端に放電電極１１が設けられた放電部１２を備えたガス
レーザー装置において、上記充電用インダクタンス６と
放電部１２に並列接続されたピーキングコンデンサ７、
および同コンデンサ７に並列接続され平滑インダクタン
ス９と予備電離ピン１０とピーキングコンデンサ８が順
次接続されて形成された直列回路１０ａを備えている。
【００１６】上記において、充電用高電圧端子１とアー
ス端子２間に電源を接続すると、従来の装置と同様、端
子１，２間に供給された電気エネルギーがインダクタン
ス４，６を通り、ストレージコンデンサ５に蓄積され
る。
ス端子２間に電源を接続すると、従来の装置と同様、端
子１，２間に供給された電気エネルギーがインダクタン
ス４，６を通り、ストレージコンデンサ５に蓄積され
る。
【００１７】この状態で高電圧スイッチ３を閉じると、
ストレージコンデンサ５に蓄積された電気エネルギーは
インダクタンス４及びスイッチ３を通ってピーキングコ
ンデンサ７に蓄積されるとともに、インダクタンス４、
スイッチ３、平滑インダクタンス９及び予備電離ピン１
０を通ってピーキングコンデンサ８に蓄積される。
ストレージコンデンサ５に蓄積された電気エネルギーは
インダクタンス４及びスイッチ３を通ってピーキングコ
ンデンサ７に蓄積されるとともに、インダクタンス４、
スイッチ３、平滑インダクタンス９及び予備電離ピン１
０を通ってピーキングコンデンサ８に蓄積される。
【００１８】このピーキングコンデンサ７，８に蓄積さ
れた電気エネルギーは、放電部１２に均一放電を発生す
る条件が整うと、放電電極１１を通って放電部１２に注
入され、レーザー用放電を発生するが、上記ピーキング
コンデンサ８に電気エネルギーが蓄積される際、および
ピーキングコンデンサ８より放電電極１１を通って電気
エネルギーが放電部１２に注入される際に予備電離ピン
１０で予備的な放電が起こり、放電部１２へ電子が供給
されることが、上記放電部１２の放電条件の形成に寄与
する。
れた電気エネルギーは、放電部１２に均一放電を発生す
る条件が整うと、放電電極１１を通って放電部１２に注
入され、レーザー用放電を発生するが、上記ピーキング
コンデンサ８に電気エネルギーが蓄積される際、および
ピーキングコンデンサ８より放電電極１１を通って電気
エネルギーが放電部１２に注入される際に予備電離ピン
１０で予備的な放電が起こり、放電部１２へ電子が供給
されることが、上記放電部１２の放電条件の形成に寄与
する。
【００１９】上記ピーキングコンデンサ７，８のそれぞ
れの静電容量をＣP1，ＣP2とし、図３及び図５に示す従
来の装置のピーキングコンデンサ１３，１４の静電容量
をそれぞれＣP3，ＣP4とし、ＣP1＋ＣP2＝ＣP3＝ＣP4と
して、それぞれのピーキングコンデンサ７，８，１３，
１４に流れる電流の関係を図２，図４及び図６により以
下に説明する。
れの静電容量をＣP1，ＣP2とし、図３及び図５に示す従
来の装置のピーキングコンデンサ１３，１４の静電容量
をそれぞれＣP3，ＣP4とし、ＣP1＋ＣP2＝ＣP3＝ＣP4と
して、それぞれのピーキングコンデンサ７，８，１３，
１４に流れる電流の関係を図２，図４及び図６により以
下に説明する。
【００２０】図２に示すピーキングコンデンサ７，８に
流れる電流１５，１６は図４に示すピーキングコンデン
サ１３に流れる電流１８，１９と等しく、また、図６に
示すピーキングコンデンサ１４に流れる電流２０，２１
とも等しい。図６に示す予備電離に寄与する電流２１の
場合は、電流値が大きく紫外は強いが、予備電流ピン１
０の寿命が短い。図４に示す予備電離に寄与する電流１
８は、電流値が小さいためピン１０の寿命は長いが、紫
外光が弱い。そこで、両者の中間で適切な電流値となる
ようにＣP2を選定することにより、図２に示すピーキン
グコンデンサ８に流れ予備電離に寄与する電流１７を適
当な値として、紫外光強度を適切にし、かつ予備電離ピ
ン１０の寿命を長くすることができる。
流れる電流１５，１６は図４に示すピーキングコンデン
サ１３に流れる電流１８，１９と等しく、また、図６に
示すピーキングコンデンサ１４に流れる電流２０，２１
とも等しい。図６に示す予備電離に寄与する電流２１の
場合は、電流値が大きく紫外は強いが、予備電流ピン１
０の寿命が短い。図４に示す予備電離に寄与する電流１
８は、電流値が小さいためピン１０の寿命は長いが、紫
外光が弱い。そこで、両者の中間で適切な電流値となる
ようにＣP2を選定することにより、図２に示すピーキン
グコンデンサ８に流れ予備電離に寄与する電流１７を適
当な値として、紫外光強度を適切にし、かつ予備電離ピ
ン１０の寿命を長くすることができる。
【００２１】上記により、予備電離ピンに流れる電流は
調節されるため、予備電離ピンにおける予備電離の強度
を適度のものとし、予備電離ピンの消耗を低減しその長
寿命化が可能となった。
調節されるため、予備電離ピンにおける予備電離の強度
を適度のものとし、予備電離ピンの消耗を低減しその長
寿命化が可能となった。
【００２２】ピーキングコンデンサ７，８の配置につい
ては、図１に示すように放電部１２と電極１１の片側に
配置する他、ピーキングコンデンサ７，８をそれぞれ２
分割として、放電部１２と電極１１に対して左右対称に
配置したり、ピーキングコンデンサ７を放電部１２と電
極１１に対して一方の側とし、ピーキングコンデンサ８
を他の側に配置するものとしてもよい。
ては、図１に示すように放電部１２と電極１１の片側に
配置する他、ピーキングコンデンサ７，８をそれぞれ２
分割として、放電部１２と電極１１に対して左右対称に
配置したり、ピーキングコンデンサ７を放電部１２と電
極１１に対して一方の側とし、ピーキングコンデンサ８
を他の側に配置するものとしてもよい。
【００２３】また、予備電離ピン１０の本数を少なくと
も２本以上配置し、これらを２系統にまとめて、２分割
したピーキングコンデンサ８にそれぞれ接続したり、１
系統にまとめて、１つのピーキングコンデンサ８に接続
することもでき、いずれの場合も図１に示す一実施例と
同様の効果が得られる。
も２本以上配置し、これらを２系統にまとめて、２分割
したピーキングコンデンサ８にそれぞれ接続したり、１
系統にまとめて、１つのピーキングコンデンサ８に接続
することもでき、いずれの場合も図１に示す一実施例と
同様の効果が得られる。
【００２４】
【発明の効果】本発明のガスレーザー装置用予備電離装
置は、充電部と放電部に並列接続された予備電離ピンと
他方のピーキングコンデンサの直列回路に一方のピーキ
ングコンデンサを並列接続することによって、予備電離
ピンに流れる電流は一方のピーキングコンデンサにより
低減され調節されるため、予備電離ピンにおける予備電
離の強度を適度のものとし、予備電離ピンの消耗を低減
し、その寿命を延長することが可能となる。
置は、充電部と放電部に並列接続された予備電離ピンと
他方のピーキングコンデンサの直列回路に一方のピーキ
ングコンデンサを並列接続することによって、予備電離
ピンに流れる電流は一方のピーキングコンデンサにより
低減され調節されるため、予備電離ピンにおける予備電
離の強度を適度のものとし、予備電離ピンの消耗を低減
し、その寿命を延長することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る電気回路の説明図であ
る。
る。
【図２】上記一実施例に係る電気回路に流れる電流の説
明図である。
明図である。
【図３】従来の装置の一例に係る電気回路の説明図であ
る。
る。
【図４】上記従来の装置の一例に係る電気回路に流れる
電流の説明図である。
電流の説明図である。
【図５】従来の装置の他の例に係る電気回路の説明図で
ある。
ある。
【図６】上記従来の装置の他の例に係る電気回路に流れ
る電流の説明図である。
る電流の説明図である。
１ 充電用高電圧端子 １ａ 充電部 ２ アース端子 ３ 高電圧スイッチ ４ 高電圧インダクタンス ５ ストレージコンデンサ ６ 充電用インダクタンス ７，８ ピーキングコンデンサ ９ 平滑インダクタンス １０ 予備電離ピン １０ａ 直列回路 １１ 放電電極 １２ 放電部 １５，１６，１７ 電流
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 益本 雅典 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱 重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 柳 謙一 広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱 重工業株式会社広島研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 ループを形成するように接続された充電
部と放電部を備えたガスレーザー装置において、上記充
電部と放電部に並列接続された一方のピーキングコンデ
ンサ、および同一方のピーキングコンデンサに並列接続
され予備電離ピンと他方のピーキングコンデンサが直列
接続されて形成された直列回路を備えたことを特徴とす
るガスレーザー装置用予備電離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20942191A JPH0548185A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ガスレーザー装置用予備電離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20942191A JPH0548185A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ガスレーザー装置用予備電離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0548185A true JPH0548185A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16572595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20942191A Withdrawn JPH0548185A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ガスレーザー装置用予備電離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0548185A (ja) |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP20942191A patent/JPH0548185A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |