JPH0548573B2 - - Google Patents
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- JPH0548573B2 JPH0548573B2 JP60130902A JP13090285A JPH0548573B2 JP H0548573 B2 JPH0548573 B2 JP H0548573B2 JP 60130902 A JP60130902 A JP 60130902A JP 13090285 A JP13090285 A JP 13090285A JP H0548573 B2 JPH0548573 B2 JP H0548573B2
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- JP
- Japan
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- scale
- reference line
- length
- display
- sample image
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、走査型電子顕微鏡その他の電子線装
置（以下、SEM）の表示画面上における試料像
の倍率表示を行うための試料像の倍率表示装置に
関するものである。
置（以下、SEM）の表示画面上における試料像
の倍率表示を行うための試料像の倍率表示装置に
関するものである。
〔従来の背景〕
SEMは、試料を電子ビームにより照射、走査
し、照射時に発生する試料信号に基づいて試料像
の表示装置（例えばCRT）上に試料の拡大像を
表示するものである。従つて、SEMにおいては、
拡大表示された試料像が実際の試料上でどの程度
の長さに相当するのかを知る必要がある。このた
め、従来よりSEMに関し、表示装置上に試料像
とともに試料のスケールを表示する種々の装置が
提案されている。
し、照射時に発生する試料信号に基づいて試料像
の表示装置（例えばCRT）上に試料の拡大像を
表示するものである。従つて、SEMにおいては、
拡大表示された試料像が実際の試料上でどの程度
の長さに相当するのかを知る必要がある。このた
め、従来よりSEMに関し、表示装置上に試料像
とともに試料のスケールを表示する種々の装置が
提案されている。
従来、SEMにおいて、倍率に応じた試料上の
長さを試料像とともに表示する技術的手段として
は、例えば、第６図および第７図に示すようなも
のがある。
長さを試料像とともに表示する技術的手段として
は、例えば、第６図および第７図に示すようなも
のがある。
第６図に示す方法は、試料上の一定の長さ（例
えば1μｍ）が対応するスケール１を試料像２と
ともに表示したものであり、試料像２の拡大率に
応じてスケール１が表示装置の表示画面１０上で
伸縮するようになつている（特公昭47−21345
号）。
えば1μｍ）が対応するスケール１を試料像２と
ともに表示したものであり、試料像２の拡大率に
応じてスケール１が表示装置の表示画面１０上で
伸縮するようになつている（特公昭47−21345
号）。
ところが、このような手段によると、試料像２
の拡大率が大きくなるに従つてスケール１の長さ
が大きくなり、スケール１が表示画面１０からは
み出してしまつたり、低倍率の場合には、スケー
ル１の長さが小さくなつて、結局、試料の大きさ
を正確に判断できないという問題がある。
の拡大率が大きくなるに従つてスケール１の長さ
が大きくなり、スケール１が表示画面１０からは
み出してしまつたり、低倍率の場合には、スケー
ル１の長さが小さくなつて、結局、試料の大きさ
を正確に判断できないという問題がある。
第７図は、斯かる問題を解決するための手段を
示すものである。これは、表示画面１０上に、試
料像の拡大率と無関係な一定の長さをもつスケー
ル４を表示するとともに、このスケール４の試料
上の換算長さをキヤラクター表示するものである
（特公昭58−51664号）。このような手段によれば、
スケール４が表示画面１０からはむ出したり、ス
ケール４が小さすぎて視認性に欠けるという不具
合は解消される。
示すものである。これは、表示画面１０上に、試
料像の拡大率と無関係な一定の長さをもつスケー
ル４を表示するとともに、このスケール４の試料
上の換算長さをキヤラクター表示するものである
（特公昭58−51664号）。このような手段によれば、
スケール４が表示画面１０からはむ出したり、ス
ケール４が小さすぎて視認性に欠けるという不具
合は解消される。
しかしながら、このような方法の場合、スケー
ル４の設定長さより短い試料像長さを知ろうとす
るときには、まず、求めようとする試料像２上の
長さがスケール４の長さの何分の一に相当するか
を求めることによつて、試料像２上の長さを求め
なければならないが、常に全長が一定であるスケ
ール４の長さを基準として試料像２上の長さがそ
の何分の一に相当するかを計測するのは手間を要
するし、目分量では必ずしも正確な数値を求める
ことはできないという問題がある。
ル４の設定長さより短い試料像長さを知ろうとす
るときには、まず、求めようとする試料像２上の
長さがスケール４の長さの何分の一に相当するか
を求めることによつて、試料像２上の長さを求め
なければならないが、常に全長が一定であるスケ
ール４の長さを基準として試料像２上の長さがそ
の何分の一に相当するかを計測するのは手間を要
するし、目分量では必ずしも正確な数値を求める
ことはできないという問題がある。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなさ
れたものであつて、試料像を正確かつ容易に測定
することのできる試料像の倍率表示装置を提供す
ることを目的とし、この目的達成の手段は、試料
像を表示する表示画面上に表示スケールの基準線
を表示する基準線表示手段と、該基準線上に目盛
を表示する基準目盛表示手段と、該基準線及び基
準目盛のそれぞれの長さが相当する試料像の換算
長さをキヤラクタ表示するキヤラクタ表示手段と
を有する試料像のスケール目盛表示装置におい
て、試料像の所定倍率の下で、前記基準線の長さ
を調整する基準線長さ調整手段と、前記基準線上
または該基準線の延長線上に前記基準目盛表示手
段によつて表示される一目盛幅を前記基準線の長
さと独立に調整する基準目盛幅調整手段とからな
るようにしたものである。
れたものであつて、試料像を正確かつ容易に測定
することのできる試料像の倍率表示装置を提供す
ることを目的とし、この目的達成の手段は、試料
像を表示する表示画面上に表示スケールの基準線
を表示する基準線表示手段と、該基準線上に目盛
を表示する基準目盛表示手段と、該基準線及び基
準目盛のそれぞれの長さが相当する試料像の換算
長さをキヤラクタ表示するキヤラクタ表示手段と
を有する試料像のスケール目盛表示装置におい
て、試料像の所定倍率の下で、前記基準線の長さ
を調整する基準線長さ調整手段と、前記基準線上
または該基準線の延長線上に前記基準目盛表示手
段によつて表示される一目盛幅を前記基準線の長
さと独立に調整する基準目盛幅調整手段とからな
るようにしたものである。
以下、添付図面に基づいて本発明の実施例を説
明する。
明する。
第２図に示すように、本発明は、試料像１５を
表示する表示画面１０上に、その長さを変えるこ
とのできる基準線２０と、該基準線２０が相当す
る試料像１５上の換算長さ（50μ）をキヤラクタ
ー表示するものであり、更にこの実施例では、基
準線２０上に目盛線Ｍ０，Ｍ１，Ｍ２を表示する
とともに、試料像１５の拡大率（×2000）と、目
盛線Ｍ０〜Ｍ１間の目盛幅が相当する試料上の換
算長さ（20μ）をも表示するものである。
表示する表示画面１０上に、その長さを変えるこ
とのできる基準線２０と、該基準線２０が相当す
る試料像１５上の換算長さ（50μ）をキヤラクタ
ー表示するものであり、更にこの実施例では、基
準線２０上に目盛線Ｍ０，Ｍ１，Ｍ２を表示する
とともに、試料像１５の拡大率（×2000）と、目
盛線Ｍ０〜Ｍ１間の目盛幅が相当する試料上の換
算長さ（20μ）をも表示するものである。
ところで、本発明の倍率表示装置にあつては、
基準線２０および表示した目盛線Ｍ１〜Ｍ２間の
目盛幅を適宜変更することができる。これを、第
１図に基づいて説明する。第１図における各種表
示例は倍率が５倍であり、図中符号ｌは目盛線Ｍ
０〜Ｍ１の間の目盛幅を示している。
基準線２０および表示した目盛線Ｍ１〜Ｍ２間の
目盛幅を適宜変更することができる。これを、第
１図に基づいて説明する。第１図における各種表
示例は倍率が５倍であり、図中符号ｌは目盛線Ｍ
０〜Ｍ１の間の目盛幅を示している。
まず、基準線２０と目盛幅ｌとを比例的に変化
させる場合を説明する。第１図ａに示すように、
基準線２０の換算長さが20mm、目盛幅ｌの換算長
さが10mmと表示されている場合に、基準線２０の
表示長さを1/2とした場合には、第１図ｂに示す
ように基準線２０の長さとともに目盛幅ｌも1/2
となり、基準線２０の換算長さが10mm、目盛幅ｌ
の換算長さが５mmというようにキヤラクター表示
もそれに伴つて1/2に変化する。
させる場合を説明する。第１図ａに示すように、
基準線２０の換算長さが20mm、目盛幅ｌの換算長
さが10mmと表示されている場合に、基準線２０の
表示長さを1/2とした場合には、第１図ｂに示す
ように基準線２０の長さとともに目盛幅ｌも1/2
となり、基準線２０の換算長さが10mm、目盛幅ｌ
の換算長さが５mmというようにキヤラクター表示
もそれに伴つて1/2に変化する。
次に、基準線２０を目盛幅ｌとの無関係に変化
させる場合を説明する。今、第１図ａのように表
示されている場合に基準線２０の長さを短くした
場合には、第１図ｃに示すように基準線２０およ
びその換算長さのキヤラクター表示が変更され
る。但し、目盛幅ｌおよびその換算長さのキヤラ
クター表示はそのままである。次に、第１図ｃの
表示状態から更に基準線２０の長さを短くさせた
場合は、第１図ｄに示すように、目盛線Ｍ１が基
準線２０の延長線上に表示され、基準線２０の換
算長さ及び目盛幅ｌの換算長さが夫々例えば５
mm、10mmという具合に表示される。他方、第１図
ａの表示状態から、目盛幅ｌだけを変化させた場
合には、第１図ｅに示すように基準線２０の長さ
がそのままで、目盛幅ｌとその換算長さのキヤラ
クター表示が変化することになる。
させる場合を説明する。今、第１図ａのように表
示されている場合に基準線２０の長さを短くした
場合には、第１図ｃに示すように基準線２０およ
びその換算長さのキヤラクター表示が変更され
る。但し、目盛幅ｌおよびその換算長さのキヤラ
クター表示はそのままである。次に、第１図ｃの
表示状態から更に基準線２０の長さを短くさせた
場合は、第１図ｄに示すように、目盛線Ｍ１が基
準線２０の延長線上に表示され、基準線２０の換
算長さ及び目盛幅ｌの換算長さが夫々例えば５
mm、10mmという具合に表示される。他方、第１図
ａの表示状態から、目盛幅ｌだけを変化させた場
合には、第１図ｅに示すように基準線２０の長さ
がそのままで、目盛幅ｌとその換算長さのキヤラ
クター表示が変化することになる。
次に、本発明の実施例に係る試料像の倍率表示
装置を説明する。
装置を説明する。
この装置は第３図に示すように、電子顕微鏡本
体（図示せず）に設けられた水平偏向コイル４０
および垂直偏向コイル４１に供給する電流を倍率
切換装置４２，４３によつて切り換えることによ
り、CRT４５の表示画面１０上に試料像１５を
拡大して表示するとともに、基準線表示手段５
０、目盛線表示手段６０、キヤラクター表示手段
７０の各手段によつて試料上の長さに関する必要
な情報の表示を行うものである。
体（図示せず）に設けられた水平偏向コイル４０
および垂直偏向コイル４１に供給する電流を倍率
切換装置４２，４３によつて切り換えることによ
り、CRT４５の表示画面１０上に試料像１５を
拡大して表示するとともに、基準線表示手段５
０、目盛線表示手段６０、キヤラクター表示手段
７０の各手段によつて試料上の長さに関する必要
な情報の表示を行うものである。
この図において、５１は鋸歯状波信号Exを出
力する水平走査回路、５３は基準線２０の始点と
終点を位置決めするための基準電圧Ｅ０，Ｅ２を
比較回路５２に印加する基準電圧源である。基準
電圧源５３は、基準電圧Ｅ０を基準として設定さ
れているが、基準電圧Ｅ２は、電圧調整器５９に
よつて電圧値を変えることができる。そして、比
較回路５２は、第４図ａ，ｂに示すように基準電
圧Ｅ０と電圧調整器５９によつて設定された基準
電圧Ｅ２とが鋸歯状波信号Exと一致するt1，t2，
…t12の時点で、信号を出力する。また、５５は
鋸歯状波信号Eyを供給する垂直走査回路、５７
は基準線２０の太さと表示画面１０上での表示の
高さ位置を決定するための基準電圧Ｖ１，Ｖ２を
比較回路５６に入力する基準電圧源である。この
比較回路５６は、第４図ｃ，ｄに示すように、基
準電圧Ｖ１，Ｖ２と鋸歯状波信号Eyが一致した
ときにta〜tb間でＨレベルとなるパルス信号を出
力する。ゲート回路５４は、比較回路５２，５６
の信号が一致した時点で第４図ｅのような信号を
合成器４４に対して出力する。これによつて
CRT４５の表示画面１０に、適宜の長さの基準
線２０が適宜の位置に表示される。電圧調整器５
９の操作によつて、基準電圧Ｅ２の電圧値が変わ
れば基準線２０の長さも変化するものである。６
１は、基準目盛Ｍ０，Ｍ１に対応してそれぞれ電
圧値の異なる基準電圧Ｅ０，Ｅ１を比較回路６２
に印加する目盛基準電圧源である。この基準電圧
源６１は、基準電圧Ｅ０を基準とするが、基準電
圧Ｅ１は電圧調整器６９によつて適宜の電圧値に
変化するようになつている。尚、２つの電圧調整
器５９，６９は、図示しない切換装置によつて、
独立に又は連動して作動するように切換えること
ができるものである。また電圧調整器５９，６９
はスイツチＱにより倍率切換装置と連動するよう
にしても良い。
力する水平走査回路、５３は基準線２０の始点と
終点を位置決めするための基準電圧Ｅ０，Ｅ２を
比較回路５２に印加する基準電圧源である。基準
電圧源５３は、基準電圧Ｅ０を基準として設定さ
れているが、基準電圧Ｅ２は、電圧調整器５９に
よつて電圧値を変えることができる。そして、比
較回路５２は、第４図ａ，ｂに示すように基準電
圧Ｅ０と電圧調整器５９によつて設定された基準
電圧Ｅ２とが鋸歯状波信号Exと一致するt1，t2，
…t12の時点で、信号を出力する。また、５５は
鋸歯状波信号Eyを供給する垂直走査回路、５７
は基準線２０の太さと表示画面１０上での表示の
高さ位置を決定するための基準電圧Ｖ１，Ｖ２を
比較回路５６に入力する基準電圧源である。この
比較回路５６は、第４図ｃ，ｄに示すように、基
準電圧Ｖ１，Ｖ２と鋸歯状波信号Eyが一致した
ときにta〜tb間でＨレベルとなるパルス信号を出
力する。ゲート回路５４は、比較回路５２，５６
の信号が一致した時点で第４図ｅのような信号を
合成器４４に対して出力する。これによつて
CRT４５の表示画面１０に、適宜の長さの基準
線２０が適宜の位置に表示される。電圧調整器５
９の操作によつて、基準電圧Ｅ２の電圧値が変わ
れば基準線２０の長さも変化するものである。６
１は、基準目盛Ｍ０，Ｍ１に対応してそれぞれ電
圧値の異なる基準電圧Ｅ０，Ｅ１を比較回路６２
に印加する目盛基準電圧源である。この基準電圧
源６１は、基準電圧Ｅ０を基準とするが、基準電
圧Ｅ１は電圧調整器６９によつて適宜の電圧値に
変化するようになつている。尚、２つの電圧調整
器５９，６９は、図示しない切換装置によつて、
独立に又は連動して作動するように切換えること
ができるものである。また電圧調整器５９，６９
はスイツチＱにより倍率切換装置と連動するよう
にしても良い。
そして、比較回路６２には、水平走査回路５１
からの鋸歯状波信号Exが入力されており、第５
図ａ，ｂに示すように、基準電圧Ｅ０，Ｅ１と鋸
歯状波信号Exが一致した時点でパルス発生回路
６５から基準目盛Ｍ０，Ｍ１の信号が出力され
る。また、基準線２０の右端に表示されるべき基
準目盛Ｍ２に対応する基準電圧Ｅ２は、独立した
基準電圧源６４から比較回路６２に入力される。
従つて、比較回路６２からは、第５図ｃ，ｄに示
すように基準電圧Ｅ２と鋸歯状波信号Exが一致
したときに基準目盛Ｍ２の信号が出力される。
からの鋸歯状波信号Exが入力されており、第５
図ａ，ｂに示すように、基準電圧Ｅ０，Ｅ１と鋸
歯状波信号Exが一致した時点でパルス発生回路
６５から基準目盛Ｍ０，Ｍ１の信号が出力され
る。また、基準線２０の右端に表示されるべき基
準目盛Ｍ２に対応する基準電圧Ｅ２は、独立した
基準電圧源６４から比較回路６２に入力される。
従つて、比較回路６２からは、第５図ｃ，ｄに示
すように基準電圧Ｅ２と鋸歯状波信号Exが一致
したときに基準目盛Ｍ２の信号が出力される。
一方、６７は、基準目盛Ｍの目盛高さを決定す
る基準電圧Ｖ１，Ｖ３を比較回路６６に印加する
基準電圧源である。比較回路６６には、垂直走査
回路５５からの鋸歯状波信号Eyが入力されてお
り、第５図ｅ，ｆに示すように、鋸歯状波信号
Eyと基準電圧Ｖ１，Ｖ３が一致したときにta〜
tc間で信号を発生する。従つて、ゲート回路６３
は、比較回路６２，６６からの信号が一致したと
きに第５図ｇのような信号を発生する。これによ
つて、基準線２０上には電圧調整器６９の操作に
よつて基準線２０上を左方から右方へ適宜移動す
る基準目盛Ｍ１と、基準線の始点と終点としてＭ
０，Ｍ２が表示される。７１は倍率表示回路、７
２は基準線長さ表示回路、７３は目盛幅表示回路
である。これらの回路７２，７３は、マイクロコ
ンピユータ等の演算回路７５，７６によつて、情
報として表示すべき数字を算出するとともに、該
算出結果を情報信号として合成器４４に入力す
る。尚、各表示回路７１，７２，７３は、キヤラ
クター表示位置を決めるために、垂直走査回路５
５から鋸歯状波信号Eyをとり、予め設定された
基準電圧と一致する位置にキヤラクター表示する
ものである。
る基準電圧Ｖ１，Ｖ３を比較回路６６に印加する
基準電圧源である。比較回路６６には、垂直走査
回路５５からの鋸歯状波信号Eyが入力されてお
り、第５図ｅ，ｆに示すように、鋸歯状波信号
Eyと基準電圧Ｖ１，Ｖ３が一致したときにta〜
tc間で信号を発生する。従つて、ゲート回路６３
は、比較回路６２，６６からの信号が一致したと
きに第５図ｇのような信号を発生する。これによ
つて、基準線２０上には電圧調整器６９の操作に
よつて基準線２０上を左方から右方へ適宜移動す
る基準目盛Ｍ１と、基準線の始点と終点としてＭ
０，Ｍ２が表示される。７１は倍率表示回路、７
２は基準線長さ表示回路、７３は目盛幅表示回路
である。これらの回路７２，７３は、マイクロコ
ンピユータ等の演算回路７５，７６によつて、情
報として表示すべき数字を算出するとともに、該
算出結果を情報信号として合成器４４に入力す
る。尚、各表示回路７１，７２，７３は、キヤラ
クター表示位置を決めるために、垂直走査回路５
５から鋸歯状波信号Eyをとり、予め設定された
基準電圧と一致する位置にキヤラクター表示する
ものである。
以上のようにして、ゲート回路５４，６３およ
び各表示回路７１，７２，７３から合成器４４に
入力された各信号は、輝度変調信号としてCRT
４５のグリツド電極に出力され、表示画面１０上
に、基準線２０、目盛線Ｍ、キヤラクターを表示
するものである。尚、SEM本体の水平偏向コイ
ル４０および垂直偏向コイル４１とCRT４５の
水平偏向コイル４７および垂直偏向コイル４８が
走査回路５１，５５の信号によつて同期されてい
ることは勿論である。
び各表示回路７１，７２，７３から合成器４４に
入力された各信号は、輝度変調信号としてCRT
４５のグリツド電極に出力され、表示画面１０上
に、基準線２０、目盛線Ｍ、キヤラクターを表示
するものである。尚、SEM本体の水平偏向コイ
ル４０および垂直偏向コイル４１とCRT４５の
水平偏向コイル４７および垂直偏向コイル４８が
走査回路５１，５５の信号によつて同期されてい
ることは勿論である。
また、基準線表示手段５０、目盛線表示手段６
０をマイクロコンプユータを用いて構成し、デジ
タル処理を行なうこともできる。
０をマイクロコンプユータを用いて構成し、デジ
タル処理を行なうこともできる。
以上説明したように本発明は、試料像の所定倍
率の下で、基準線の長さを調整する基準線長さ調
整手段と、前記基準線上または該基準線の延長線
上に基準目盛手段によつて表示される一目盛幅を
前記基準線の長さと独立に調整する基準目盛幅調
整手段とからなるようにした。従つて本発明によ
れば、基準線の長さを適宜変更することができ、
またこれと独立して基準目盛の一目盛幅も適宜変
更することができ、変更された基準線及び基準目
盛の長さを、キヤラクタ表示された換算長さを用
いて知ることができるから、試料像の正確な測定
を行うことができる。これによつて、表示画面上
に試料像が複数個あるような場合も、他の試料に
比べてどの程度の大きさであるかを知ることがで
きるという効果が得られる。
率の下で、基準線の長さを調整する基準線長さ調
整手段と、前記基準線上または該基準線の延長線
上に基準目盛手段によつて表示される一目盛幅を
前記基準線の長さと独立に調整する基準目盛幅調
整手段とからなるようにした。従つて本発明によ
れば、基準線の長さを適宜変更することができ、
またこれと独立して基準目盛の一目盛幅も適宜変
更することができ、変更された基準線及び基準目
盛の長さを、キヤラクタ表示された換算長さを用
いて知ることができるから、試料像の正確な測定
を行うことができる。これによつて、表示画面上
に試料像が複数個あるような場合も、他の試料に
比べてどの程度の大きさであるかを知ることがで
きるという効果が得られる。
第１図は表示画面上の倍率表示を示す第２図の
部分拡大図、第２図は本発明の実施例に係る試料
像の倍率表示方法を示す図、第３図は本発明の実
施例に係る倍率表示装置を示すブロツク図、第４
図および第５図は本発明の実施例に係る倍率表示
装置の作動を示すタイムチヤート、第６図および
第７図は従来の倍率表示方法を示す図である。 １０……表示画面、２０……基準線、５０……
基準線表示手段、６０……目盛線表示手段、７０
……キヤラクター表示手段。
部分拡大図、第２図は本発明の実施例に係る試料
像の倍率表示方法を示す図、第３図は本発明の実
施例に係る倍率表示装置を示すブロツク図、第４
図および第５図は本発明の実施例に係る倍率表示
装置の作動を示すタイムチヤート、第６図および
第７図は従来の倍率表示方法を示す図である。 １０……表示画面、２０……基準線、５０……
基準線表示手段、６０……目盛線表示手段、７０
……キヤラクター表示手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料像を表示する表示画面上に表示スケール
の基準線を表示する基準線表示手段と、該基準線
上に目盛を表示する基準目盛表示手段と、該基準
線及び基準目盛のそれぞれの長さが相当する試料
像の換算長さをキヤラクタ表示するキヤラクタ表
示手段とを有する試料像のスケール目盛表示装置
において、 試料像の所定倍率の下で、前記基準線の長さを
調整する基準線長さ調整手段と、前記基準線上ま
たは該基準線の延長線上に前記基準目盛表示手段
によつて表示される一目盛幅を前記基準線の長さ
と独立に調整する基準目盛幅調整手段とからなる
ことを特徴とする試料像のスケール目盛表示装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60130902A JPS61290641A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | 試料像のスケール目盛表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60130902A JPS61290641A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | 試料像のスケール目盛表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61290641A JPS61290641A (ja) | 1986-12-20 |
| JPH0548573B2 true JPH0548573B2 (ja) | 1993-07-21 |
Family
ID=15045392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60130902A Granted JPS61290641A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | 試料像のスケール目盛表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61290641A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (4)
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-
1985
- 1985-06-18 JP JP60130902A patent/JPS61290641A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61290641A (ja) | 1986-12-20 |
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