JPH0550130B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、電子固体素子や半導体等の製造にお
けるチツプのマウント工程に用いられるチツプト
レー供給回収装置に関する。

〔発明の技術的背景〕

一般に、電子固体素子や半導体等の製造におい
ては、チツプ（ペレツト）のステムまたはリード
フレームへのマウントは次のようにして行つてい
た。すなわち、普通２mm角以下の小さなチツプに
ついては、チツプをシートを貼り付けたウエハー
から直接チツプをピツクアツプしてマウントして
いるが、２mm角を越える比較的大きなチツプに対
しては、チツプをシートから剥ぎ取り、これを一
且つチツプトレー（チツプの大きさに合わせて仕
切りを設けた容器）に並べ直した後、チツプをチ
ツプトレーからビツクアツプしてマウントしてい
る。

〔背景技術の問題点〕

このようなチツプトレーを用いてマウントを行
う場合、チツプ供給用のテーブル上には、スペー
スの関係上、チツプトレーを１個か２個までしか
設けることができない。このため、チツプトレー
の中に納められたチツプの数だけマウントが行わ
れるとマウント装置を一旦停止し、人手によりテ
ーブル上のチツプトレーを交換しなければならな
い。従つて、長時間に亘つて装置を無人運転する
ことは不可能であり、自動化、省力化の点で問題
があつた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、テーブルに対するチツプトレ
ーの供給および回収を行い、装置全体の無人稼動
化を可能とし、稼動率を向上させたチツプトレー
供給回収装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明によるチツプトレー供給回収装置は、チ
ツプトレーを複数個段積収納しかつこれらチツプ
トレーを所定のＸ方向に沿つて一側の出口および
他側の入口から出入可能に保持するマガジンを有
し、このマガジンの上記Ｘ方向の出口および入口
それぞれに対向してマガジンの両側にチツプトレ
ー用の第１および第２の受皿を配置しかつこれら
受皿を上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿つて往復
動可能に構成し、これら第１および第２の受皿の
前記マガジンとの対向位置からＹ方向に沿つて一
定距離移動した移載位置にてこれら第１および第
２の受皿間に位置する如くチツプ供給用のテーブ
ルを設け、また前記Ｘ方向に沿つてそれぞれ往復
動可能に設けられＹ方向では前記移載位置のある
側でかつＸ方向では前記第１の受皿上のチツプト
レーより反テーブル側に待機して前記第１の受皿
からテーブル上にチツプトレーを送り出す第１の
送りレバーおよびＹ方向では前記マガジンのある
側でかつＸ方向では前記第２の受皿上のチツプト
レーより反マガジン側に待機して第２の受皿から
前記マガジン内にチツプトレーを送り出す第２の
送りレバーから成る移載機構を構成し、前記マガ
ジンをＺ方向送り機構にてそこに収納されたチツ
プトレーの下面を前記第１および第２の受皿の上
面より僅かに高く位置させた後、前記第２の送り
レバーをＸ方向送り機構により動作させ、前記第
２の受皿上の空のチツプトレーをマガジン内に送
り出し、これをマガジン内に回収させるとともに
この空のチツプトレーによりマガジン内のチツプ
トレーを第１の受皿上に送り出し、この後第１お
よび第２の受皿をＹ方向送り機構により前記移載
位置まで移動させ、この移載位置にて第１の送り
レバーをＸ方向送り機構により動作させ、第１の
受皿上のチツプトレーをテーブル上に送り出しこ
れをテーブル上に供給するとともに、このチツプ
トレーによりテーブル上にあつた空のチツプトレ
ーを第２の受皿上に押し出して移載させ、この後
第１および第２の受皿をＹ方向送り機構によりマ
ガジンとの対向位置まで移動させ、前述の回収動
作を繰返すように構成したものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して
詳細に説明する。

第１図において１１は長方形状のベースで、そ
の四隅には柱状のブラケツト１２をそれぞれ一体
に立設しており、また前記ベース１１の３辺に沿
う各ブラケツト１２間にはそれぞれガイドレール
１３，１４を設ける。ここで、ガイドレール１４
に沿う方向をＸ方向とし、またこれと直交するガ
イドレール１３に沿う方向をＹ方向とする。

１７はマガジンで、チツプトレー１８を複数個
段積収納し、かつこれらチツプトレー１８をそれ
ぞれＸ方向に沿つて左側の出口および右側の入口
から出入可能に保持する。このマガジン１７は、
前記ベース１１のほぼ中央部に位置するように、
このベース１１を貫通するロツド１９の上端と一
体のマガジン受２０上に支持される。

２２は第１の受皿、２３は第２の受皿、前記マ
ガジン１７のＸ方向の出口および入口それぞれに
対向してマガジンの両側に配置される。これら各
受皿２２，２３は、それぞれ前記ガイドレール１
３によりＹ方向に沿つて往復動可能に支持された
スライダー２４と一体に結合する。またこれら各
受皿２２，２３上の反マガジン側の端部近くには
トレーストツパ２５をそれぞれ設ける。

２７は図示しないマウント装置に対するチツプ
供給用のテーブルで、前記第１および第２の受皿
２２，２３がＹ方向に一定距離移動して所定の移
載位置に達したとき、第３図で示す如く、これら
両受皿２２，２３間に位置する如く設けられる。
なお、このテーブル２７の位置は、チツプトレー
１８を後述する如く供給、回収するための原点位
置であり、前記マウント装置へのチツプ供給時
は、図示しない移動機構により、別位置のボンデ
イング部に移動する。

２９は移載機構で、前記ガイドレール１４によ
りＸ方向に沿つて往復動可能に支持されたスライ
ダー３０と、このスライダー３０にそれぞれ一体
に取付けられた第１および第２の送りレバー３
１，３２とから成る。上記第１の送りレバー３１
は、Ｙ方向位置では常に前記移載位置のある側に
位置し、かつＸ方向位置では移載機構２９がマガ
ジン出口側のＸ方向移動端、すなわち図示左方に
あるとき、第３図で示すように、移載位置に移動
した第１の受皿２２上に位置するチツプトレー１
８の反テーブル側の端辺、すなわち図示左端辺と
対向するように配置される。また、第２の送りレ
バー３２は、Ｙ方向位置では常に前記マガジン１
７のある側に位置し、かつＸ方向位置では移載機
構２９がマガジン入口側のＸ方向移動端、すなわ
ち、図示右方にあるとき、第５図で示すように、
マガジン１７の入口との対向位置に移動した第２
の受皿２３上に位置するチツプトレー１８の反マ
ガジン側の端辺、すなわち図示右端辺と対向する
ように配置される。

３４はＺ方向送り機構で、前記マガジン１７
を、そこに収納された各チツプトレー１８の下面
が、それぞれ前記第１および第２の受皿２２，２
３の上面より僅かに高く位置するように１ピツチ
ずつＺ方向、すなわち前記Ｘ方向とＹ方向とが成
す平面と直交する図示たて方向変位させる。この
Ｚ方向送り機構３４は、前記ベース１１の下面に
一体結合された逆Ｔ字形の支持部材３５を持つ。
この支持部材３５の一方の底面部と前記ベース１
１の下面との間には、前記Ｚ方向に沿うリードス
クリユー３６を回転自在に設ける。また、支持部
材３５の他方の底面部には駆動用のモータ３７を
設け、ベルト３８を介して前記リードスクリユー
３６を回転させる。３９は移動体で、上記リード
スクリユー３６と螺合するメねじ孔を持つ。ま
た、この移動体３９は、前記マガジン受２０と一
体のロツド１９の下端と結合しており、前記モー
タ３７によるリードスクリユー３６の回転によ
り、前記マガジン受２０上に配置されたマガジン
１７を前述した１ピツチずつ変位させる。

４１はＹ方向送り機構で、前記スライダー２４
を介して第１および第２の受皿２２，２３を前記
マガジン１７との対向位置と、テーブル２７と対
向する前記移載位置との双方に位置させるべくＹ
方向に往復動作させる。このＹ方向送り機構４１
は、前記スライダー２４とジヨイントロツド４２
を介して連結するレバー４３を持つ。このレバー
４３の基端部は、ベース１１側に回動可能に枢支
されており、またその長さ方向に沿う長孔４４を
設ける。４５はカムで、その外周近くに上記長孔
４４と係合するピン４６を一体に持つており、ベ
ース１１上に設けられたモータ４７と傘歯車機構
４８を介して連結するシヤフト４９の両端に一体
に取付けられる。そして上記モータ４７により、
シヤフト４９を介して回転駆動され、前記ピン４
６およびこれと係合する長孔４４を介してレバー
４３を回動させ、さらにジヨイトロツド４２を介
してスライダー２４をＹ方向に移動させる。

５１はＸ方向送り機構で、前記スライダー３０
を介して移載機構２９をＸ方向に沿つて進退動作
させる。このＸ方向送り機構５１は、ジヨイント
ロツド５２を介してスライダー３０と連結するレ
バー５３を持つ。このレバー５３の基端部はベー
ス１１側に回動可能に枢支してあり、またその長
さ方向中間部はリンク５４を介してカム５５と連
結する。このカム５５はベース１１上に設けたモ
ータ５６により回転駆動されるものであり、その
外周近くピン５７を介して連結する上記リンク５
４によりレバー５３を回動させる。従つて、前記
スライダー３０はこのレバー５３の回動に伴いジ
ヨイントロツド５２を介してＸ方向に駆動され
る。

上記構成において、テーブル２７が前述したボ
ンデイング部から図示原点位置に復帰したものと
する。このとき、テーブル２７上には空になつた
チツプトレー１８が位置する。また第２図で示す
如く、第１の受皿２２上には、前回の後述するチ
ツプトレー回収動作に伴い、マガジン１７からチ
ツプを装着した新たなチツプトレー１８が載置さ
れている。次に、Ｙ方向送り機構４１を動作さ
せ、第１および第２の受皿２２，２３をＹ方向に
一定距離移動させ、第３図で示すように、テーブ
ル２７と対向する移載位置に位置させる。この状
態でＸ方向送り機構５１を動作させ、移載機構２
９をＸ方向に沿い図示右方に移動させる。この動
作により、第１の送りレバー３１は、第１の受皿
２２上にあるチツプトレー１８の図示左端辺と係
合し、これを図示右方に送り出す。このため第１
の受皿２２上のチツプトレー１８は、テーブル２
７上に移動する。この際、テーブル２７上にあつ
た空のチツプトレー１８を、その図示左端辺がマ
ガジン１７に収納されているチツプトレー１８の
図示右端辺と、間隔Ｓを形成するまで第２の受皿
２３上に押し出す。その後、移載機構２９を寸法
ｏ分戻し、テーブル２７上のチツプトレー１８の
図示左端辺と第１の送りレバー３１との間に隙間
αを形成する。

上記動作により、テーブル２７上には多数のチ
ツプが装着された新しいチツプトレー１８が供給
されたので、テーブル２７は図示しない移動機構
により再び別位置のボンデイング部に移動され、
マウンテイング装置にチツプを供給する。

次にＹ方向送り機構４１を再び動作させ、第１
および第２の受皿２２，２３をＹ方向に沿つて前
回とは反対に移動させ、第５図で示す如く、マガ
ジン１７との対向位置に位置させる。このとき、
マガジン１７はＺ方向送り機構３４により１ピツ
チ分送られており、第１および第２の受皿２２，
２３とは、チツプが装着された新しいチツプトレ
ー１８が対向する。この状態で、Ｘ方向送り機構
５１を再び動作させ、移載機構２９をＸ方向に沿
つて前回と反対に移動させる。このため、第２の
送りレバー３２は第２の受皿２３上に位置する空
のチツプトレー１８の図示右端辺と係合し、これ
を図示左方に送り出す。この動作により、第２の
右皿２３上の空のチツプトレー１８は、マガジン
１７内に回収される。また、この際、前述の如
く、マガジン１７内にて対向して位置している新
しいチツプトレー１８を、その図示右端面が、第
２図で示すように、テーブル２７上に位置するチ
ツプトレー１８の図示左端面と、間隙Ｒを成すま
で第１の受皿２２上に押し出す。なお、このと
き、実際にはテーブル２７は第２の位置にはな
く、前述の如くボンデイング部に位置している。
その後、移載機構２９を寸法α戻し、マガジン１
７内のチツプトレー１８の図示右端辺と第２の送
りレバー３２との間に間隔αを形成する。この状
態でしばらく停止し、前記テーブル２７が空のチ
ツプトレー１８と共に第２図で示す原点位置に復
帰したならば、再び前述の供給動作を繰返す。

このようにして、供給および回収動作を繰返す
ことにより、マガジン１７内に収納された複数の
チツプトレー１８は順次テーブル２７上に供給さ
れるとともに、使用済の空のチツプトレー１８は
テーブル２７からマガジン１７内に順次回収され
る。このため、空のチツプトレーを回収するため
に別のスペースを用意する必要はなく、装置全体
を小形化できる。また、使用済のチツプトレー１
８をマガジン１７内に回収するので、ピツクアツ
プミスにより使用済トレー１８に残留するチツプ
の回収も可能となる。

なお、第２図から第５図中において示した各間
隔α，β，Ｒ，Ｓの大小関係はβ＞α＞Ｒ＞Ｓと
なるように設定すればよい。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、マガジン内に収
納された複数のチツプトレーをテーブル上に順次
供給するとともに、使用済のチツプトレーをテー
ブル上からマガジン内に順次回収するようにした
ので、従来のようにテーブル上の使用済チツプト
レーを交換するため、その都度チツプマウント装
置を停止する必要はなく、長時間に亘る無人運転
が可能となり、大幅に省力化および稼動率の向上
を達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるチツプトレー供給回収装
置の一実施例を示す斜視図、第２図、第３図、第
４図、第５図は第２図で示したチツプトレー供給
回収装置の動作を説明するための簡略平面図であ
る。 １７……マガジン、１８……チツプトレー、２
２……第１の受皿、２３……第２の受皿、２７…
…テーブル、２９……移載機構、３１……第１の
送りレバー、３２……第２の送りレバー、３４…
…Ｚ方向送り機構、４１……Ｙ方向送り機構、５
１……Ｘ方向送り機構。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ チツプトレーを複数個段積収納しかつこれら
   チツプトレーを所定のＸ方向に沿つて一側の出口
   および他側の入口から出入可能に保持するマガジ
   ンと、このマガジンの上記Ｘ方向の出口および入
   口それぞれに対向してマガジンの両側に配置され
   かつ上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿つて往復動
   可能に構成された第１および第２の受皿と、これ
   ら第１および第２の受皿の前記マガジンとの対向
   位置からＹ方向に沿つて一定距離移動した移載位
   置にてこれら第１および第２の受皿間に位置する
   テーブルと、前記Ｘ方向に沿つて往復動可能に設
   けられＹ方向位置では常に前記移載位置のある側
   であつてかつＸ方向位置ではマガジン出口側のＸ
   方向移動端まで移動した状態で前記移載位置にあ
   る第１の受皿上に位置するチツプトレーより反テ
   ーブル側に配置された第１の送りレバーおよびＹ
   方向位置では常に前記マガジンのある側であつて
   かつＸ方向位置ではマガジン入口側のＸ方向移動
   端まで移動した状態で前記マガジンとの対向位置
   にある第２の受皿上に位置するチツプトレーより
   反マガジン側に配置された第２の送りレバーから
   成る移載機構と、前記マガジンをこのマガジン内
   に収納された各チツプトレーの底面が前記第１お
   よび第２の受皿の上面より僅かに高く位置するよ
   うに１ピツチずつ変位させるＺ方向送り機構と、
   前記第１および第２の受皿を前記マガジンとの対
   向位置と前記移載位置との双方に位置させるべく
   往復動作させるＹ方向送り機構と、前記移載機構
   を前記両側の移動端の間で往復動作させるＸ方向
   送り機構とを備えたことを特徴とするチツプトレ
   ー供給回収装置。