JPS5994498A - チツプトレ−供給回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、電子固体素子や半導体等の製造におけるチッ
プのマウントエａＫ用いられるチップトレー供給回収装
置に関する。

〔発明の技術的背景〕

一般Ｋ、電子固体素子や半導体等の製造においては、チ
ップ（ペレット）のステムまたはリードフレームへのマ
ウントは次のようにして行っていた。すなわち、普通２
ｕ角以下のｌ（＼さなチップについては、チップをシー
トに貼り付けたウェハーから直接チップをピックアップ
してマウントしていζが、２鶴角を越える比較的大きな
チップに対しては、チップをシートから剥ぎ取り、これ
を一旦チツブトレー（チップの大きさに合わせて仕切り
を設げた容器）に並べ直した後、チップをチップトレー
からピックアップしてマウントしている。

〔背景技術の問題点〕

このようなチップトレーを用いてマウントを行う場合、
チップ供給用のテーブル上には、スペースの関係上、チ
ップトレーを１個か２個までしか設けることができない
。このため、チップトレーの中に納められたチップの数
だけマウントが行われるとマウント装置を一旦停止し、
人手によりテーブル上のチップトレーを交換しなげれば
ならない。従って、長時間に亘って装置を無人運転する
ことは不可能であり、自動化、省力化の点で問題があっ
た。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、テーブルに対するチップトレーの供給
および回収を行い、装置全体の無人稼動化を可能とし、
稼動率を向上させたチップトレー供給回収装置を提供す
ることＫある。

〔発明の概要〕

本発明によるチップトレー供給回収装置は、チップトレ
ーを複数個段積収納しかつこれらチップトレーを所定の
Ｘ方向に沿って出入可能に保持するマガジンを有し、こ
のマガジンの上記Ｘ方向の出入口と対向する如くその両
側にチップトレー用の＋ｉおよび米２の受皿を配置しか
つこれら受皿を上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って往
復動可能に構成し、これら牙１および米２の受皿の前記
マガジン出入口との対向位置からＹ方向１１ＣＧって一
定距離移動した移載位置にてこれら米１および牙２の受
皿間に位置する如くチップ供給用のテーブルを設け、ま
た前記Ｘ方向に沿ってそれぞれ駆動され前記牙１の受皿
からテーブル上にチップトレーを送り出す米１の送りレ
バーおよ、び牙２の受皿から前記マガジン内にチップト
レーを送り出す牙２の送りレバーから成る移載機構を構
成し、前記マガジンを２方向送り機構にてそこに収納さ
れたチップトレーの下面を前記矛１および牙２の受皿の
上面より僅かに高く位置させた後、前記牙２の送りレバ
ーをＸ方向送り機構により動作させ、前記牙２の受皿上
の空のチップトレーをマガジン内圧送り出し、これをマ
ガジン内に回収させるとともにこの空のチップトレー忙
よりマガジン内のチップトレーを＋１の受皿上に送り出
し、この後＋１および牙２の受皿なＹ方向送り機構によ
り前記移載位置まで移動させ、この移載位置にて米１の
送りレバーをＸ方向駆動装置により動作させ、牙１の受
皿上のチップトレーをテーブル上に送り出してこれをテ
ーブル上に供給するとともに、このチップトレーにより
テーブル上にあった空のチップトレーを牙２の受皿上に
押し出して移載させ、この後生１および牙２の受皿をＹ
方向送り機構によりマガジンとの対向位置まで移動させ
、前述の回収動作を繰返すように構成したものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して詳細忙説
明する。

米１図において（１１）は長方形状のベースで、その四
隅には柱状のブラケット（１２）をそれぞれ一体に立設
しており、また前記ベース（１１）の３辺に沿う各ブラ
ケット０２１間にはそれぞれガイドレールα（Ｉを設け
る。ここで、ガイドレール（１４）に沿う方向をＸ方向
とし、またこれと直交するガイドレール（１３１Ｋ　？
８う方向なＹ方向とする。

αηはマガジンで、チップトレーＱＳを複数個段積収納
し、かつこれらチップトレーａ８１をそれぞれＸ方向に
沿って出入可能に保持する。このマガジンａηは、前記
ベース（１１１のほぼ中央部に位置するように、このベ
ース（１１）を貫通するロンドａ錫の上端と一体のマガ
ジン受（至）上忙支持される。

（２２１は米１の受皿、ρ３は米２の受皿で、前記マガ
ジン（ｌ？）のＸ方向の出入口と対向するようＫその両
＠に配置される。これら各受皿（２２１ｉ２３１は、そ
れぞれ前記ガイドレール關によりＸ方酊ゞＶｃ沿って往
復動可能に支持されたスライダー勿と一体に結合する。

またこれら各受皿ｒ２ｚ困上の反マガジン側の端部近く
Ｋはトレーストッパ（ハ）をそれぞれ設ける。

（５）は図示しないマウント装置に対するチップ供給用
のテーブルで、前記５Ｆ１および矛２の受皿ののがＹ方
向に一定距離移動して所定の移載位置に達したとき、牙
３図で示す如く、これら両受皿（２２１の間に位置する
如く設けられる。なお、このテーブル（資）の位置は、
チップトレー叫を後述する如く供給、回収するための原
点位置であり、前記マウント装置へのチップ供給時は、
図示しない移動機構により、別位置のボンディング部処
移動する。

器は移載機構で、前記ガイドレール（１４１によりＸ方
向に沿って往復動可能に支持されたスライダー（至）と
、このスライダー（至）Ｋそれぞれ一体に取付げられた
矛１および牙２の送りレバー６１）（至）とから成る。

上記矛１の送りレバーＣｌ１ｌは移載機構四がＸ方向の
一方の移動端、すなわち図示左方にあるとき、牙３図で
示すように、移載位置忙移動した米１の受皿（２２上に
位置するチップトレーＱ８）の反テーブル側の端辺、す
なわち図示左端辺と対向するように配置される。また、
矛２の送りレバーＧｚは、移載機構四がＸ方向の他方の
移動端、すなわち、図示右方にあるとき、米５図で示す
ように、マガジンａ７）の出入口との対向位置に移動し
た牙２の受皿の上に位置するチップトレー顛の反マガジ
ン側の端辺、すなわち図示右端辺と対向するように配置
される。

（財）は２方向送り機構で、前記マガジンαηを、そこ
に収納された各チップトレー（ＩｇＩの下面が、それぞ
れ前記＋ｉおよび第２の受皿（２Ｚａの上面より僅かに
高く位置するように１ピツチずつ２方向、すなわち前記
Ｘ方向とＹ方向とが成す平面と直交すせ る図示たて方向に変位さる。この２方向送り機構（財）
は、前記ベース（１１）の下面に一体結合された逆Ｔ字
形の支持部材３５）を持つ。この支持部材（ト）の一方
の底面部と前記ベース（１１１の下面との間には、前記
２方向に沿うリードスクリュー（至）を回転自在に設け
る。また、支持部材（至）の他方の底面部には駆動用の
モータＳηを設け、ベルト側を介して前記り一ドスクリ
ュー弼を回転させる。（至）は移動体で、上記リードス
クリュー（支））と螺合するメねじ孔を持つ。

また、この移動体Ｃｌ１ｌは、前記マガジン受■と一体
のロッド（１９の下端と結合しており、前記モータ０７
）によるリードスクリュー（至）の回転により、前記マ
ガジン受圓上に載置されたマガジンαηを前述した１ピ
ツチずつ変位させる。

ＧυはＹ方向送り機構で、前記スライダー１２４１を介
して米１および矛２の受皿Ｑｚ酩を前記マガジンαりと
の対向位置と、テーブル（５）と対向する前記移載位置
との双方に位置させるべくＹ方向に往復動作させる。こ
のＹ方向送り機構（４１）は、前記スライダー関とジヨ
イントロッド（４２１を介して連結するレバー　（４３
１を持つ。このレバー１３の基端部は、ベース（１１）
側に回動可能に枢支されており、またその長さ方向に沿
う長孔Ｇｉ４］を設ける。（４５１は力Ａで、その外周
近くに上記長孔■と係合するピン■を一体に持っており
、ベースａυ上に設けられたモータ幀ηと傘歯車機構（
機を介して連結するシャフト（４９の両端に一体に取付
けられる。そして上記モータ０ｎＫより、シャフト囮を
介して回転駆動され、前記ビン叩およびこれと係合する
長孔（４４を介。してレバー（４２を回動させ、さらに
ジョイントロンド（４２を介してスライダー（２）をＹ
方向に移動させる。

６υはＸ方向送り機構で、前記スライダー（至）を介し
て移載機構（ハ）をＸ方向に’ｆｆ３つて進退動作させ
る。

このＸ方向送り機構１５１）は、ジョイントロンド（５
２を介してスライダー（至）と連結するレバー帖を持つ
。

このレバー（５３）の基端部はベースαυ側に回動可能
に枢支してあり、またその長さ方向中間部はリンク６４
を介して力Ａ６５）と連結する。このカム６９はベース
αυ上に設けたモータ６６１により回転駆動されるもの
であり、その外周近くにピン６７）を介して連結する上
記リンク（財）によりレバー（５３を回動させる。従っ
て、前記スライダー（至）はこのレバー（５３０回動に
伴いジヨイントロッド６ｚを介してＸ方向に駆動される
。

上記構成において、テーブル（２）が前述したボンディ
ング部から図示原点位置に復帰したものとする。このと
き、テーブル（５）上には空になったチップトレーａ８
が位置する。また牙２図で示す如く、牙１の受皿ｎ上に
は、前回の後述するチップトレー回収動作忙伴い、マガ
ジン鰭からチップを装着した新たなチップトレーα梯が
載置されている。次に、Ｙ方向送り機構（４υを動作さ
せ、牙ｌおよび牙２の受皿ツノをＹ方向に一定距離移動
させ、第３図で示すよう釦、テーブル端と対向する移載
位置に位置させる。この状態でＸ方向送り機構６υを動
作させ、移載機構■をＸ方向に沿い図示右方忙移動させ
る。この動作により、矛１の送りレバーＣｌυは、牙１
の受皿（ハ）上にあるチップトレー（１８の図示左端辺
と係合し、これを図示右方に送り出す。このため牙１の
受皿（２ｚ上のチップトレー（１〜は、テーブル（ハ）
上忙移動する。この際、テーブル咥土にあった空のチッ
プトレー（Ｌａを、その図示左端辺がマガジンαηに収
納されているチップトレーα８）の図示右端辺と、間隔
（へ）を形成するまで米２の受皿器上に押し出す。その
後、移載機構■）を寸法（−分戻し、テーブル同上のチ
ップトレーα槌の図示左端辺と米１の送りレバー１３１
）との間に隙間（鴫を形成する。

上記動作により、テーブル□□□上には多数のチップが
装着された新しいチップトレーα秒が供給されたので、
テーブルＣ！力は図示しない移動機構により再び別位置
のボンディング部に移動され、マウンティング装置にチ
ップを供給する。

次にＹ方向送り機構卿を再び動作させ、牙１および米２
の受皿器Ｃ３をＹ方向に沿って前回とは反対に移動させ
、米５図で示す如く、マガジンａηとの対向位置に位置
させる。このとき、マガジンａ７）は２方向送り機構（
３４）により１ピッチ分送られており、米１および第２
の受皿Ｃ１２１２３１とは、チップが装着された新しい
チップトレーａ槌が対向する。この状態で、Ｘ方向送り
機構（５１）を再び動作させ、移載機構ｃ！９をＸ方向
に沿って前回と反対忙移動させる。

このため、第２の送りレバーｃ１２は第２の受皿の）上
に位置する空のチップトレーｔｔｅの図示右端辺と係合
し、これを図示左方に送り出す。この動作により、牙２
の受皿□□□上の空のチップトレーａυは、マガジン（
１７）内に回収される。また、この際、前述の如く、マ
ガジン鰭内忙て対向して位置している新しいチップトレ
ーＱ１らその図示左端面が、牙２図で示すように、テー
ブル□□□上に位置するチップトレーαＱの図示左端面
と、間隙（６）を成すまで牙１の受皿ｎ上に押し出す。

なお、このとき、実際にはテーブル翰は牙２の位置には
なく、前述の如くボンディング部に位置している。その
後、移載機構のを寸法（φ戻し、マガジンαｎ内のチッ
プトレー０秒の図示右端辺と牙２の送りレバーＣ２との
開に間隔（ｃ４を形成する。この状態でしばらく停止し
、前記テーブルＣ！ηが空のチップトレーａ槌と共に牙
２図で示す原点位置に復帰したならば、再び前述の供給
動作を繰返す。

このようＫして、供給および回収動作を繰返すことによ
り、マガジン０η内に収納された複数のチップトレーＱ
８）は順次テーブル（３）上に供給されるととも忙、使
用済の空のチップトレーａＱはテーブル（資）カラマガ
ジンαｎ内に順次回収される。このため、空のチップト
レーを回収するために別のスペースを用意する必要はな
く、装置全体を小形化できる。

また、使用済のチップトレーａ槌をマガジンαｎ内に回
収するので、ピックアップミス忙より使用済トレーａ８
内に残留するチップの回収も可能となる。

なお、牙２図から米５図中において示した各間隔（φ（
／ｌ■■の大小関係はβ〉α）Ｒ＞８となるように設定
すればよい。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、マガジン内に収納された
複数のチップトレーをテーブル上に順次供給するととも
に、使用済のチップトレーをテーブル上からマガジン内
忙順次回収するようにしたので、従来のようにテーブル
上の使用済チップトレーを交換するため、その都度チッ
プマウント装置を停止する必要はなく、長時間に亘る無
人運転が可能となり、大幅な省力化および稼動率の向上
を達成できる。

【図面の簡単な説明】

牙１図は本発明によるチップトレー供給回収装置の一実
施例を示す斜視図、第２図、米３図、第４図、矛５図は
第２図で示したチップトレー供給回収装置の動作を説明
するための簡略平面図である。 （Ｌη・中マガジン、ａａ−・チップトレー、ＣＺ−−
第１の受皿、ム・＠第２の受皿、固・・テーブル、Ｃ２
９）・・移載機構、ｃ＋１１＠−＋ｉの送りレバー、（
３２・・牙２の送りレバー、（２）・・２方向送り機構
、（４１１・−Ｙ方向送り機構、５υ・・χ方向送り機
構。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ＋ｔｉ　　チップトレーを複数個段積収納しかつこれら
   チップトレーを所定のＸ方向に？Ｅ？つて出入可能に保
   持するマガジンと、このマガジンの上記Ｘ方向の出入口
   と対向する如くその両側に配置されかつ上記Ｘ方向と直
   交するＹ方向ＫＧつて往復動可能に構成された第１およ
   び第２の受皿と、これら＋１および第２の受皿の前記マ
   ガジン出入口との対向位置からＹ方向に沿って一定距離
   移動した移載位置にてこれら米１および矛２の受皿間に
   位置するテーブルと、前記Ｘ方向に油って往復動可能に
   設けられこのＸ方向の一方の移動端にて前記移載位置に
   ある＋１の受皿上に位置するチップトレーの反テーブル
   側の端辺と対向する如く配置された牙ｌの送りレバーお
   よびこのＸ方向の他方の移動端にて前記マガジンとの対
   向位置にある矛２の受皿上に位置するチップトレーの反
   マガジン側の端辺と対向する如く配置された第２の送り
   レバーから成る移載機構と、前記マガジンをそこに収納
   された各チップトレーの底面が前記牙１および牙２の受
   皿の上面より僅かに高く位置するように１ピツチずつ変
   位させる２方向送り機構と、前記矛１および牙２の受皿
   を前記マガジンとの対向位置と前記移載位置との双方に
   位置させるべく往復動作させるＹ方向送り機構と、前記
   移載機構を前記一方の移動端から他方の移動端までの間
   で往復動作させるＸ方向送り機構とを備えたことを特徴
   とするチップトレー供給回収装置。