JPH0554208B2 - - Google Patents

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JPH0554208B2
JPH0554208B2 JP59065748A JP6574884A JPH0554208B2 JP H0554208 B2 JPH0554208 B2 JP H0554208B2 JP 59065748 A JP59065748 A JP 59065748A JP 6574884 A JP6574884 A JP 6574884A JP H0554208 B2 JPH0554208 B2 JP H0554208B2
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Description

【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕 本発明は新規な真空しや断器用電極の製造法に
係り、特に大容量しや断に好適な真空しや断器用
電極の製造法に関する。 〔発明の背景〕 従来から真空しや断器用電極としては、導電性
が良く、製造方法が簡単で比較的安価な材料とし
てCuをベースとした合金、例えばCu−Pb系、Cu
−Bi系、あるいは高耐電圧性をもたせたCu−Co
−Bi、Pb系の溶製合金などが用いられている。 上記材料において、Bi、Pb等の低融点金属の
添加の目的は、一般的には電接面の溶着を防ぐこ
とにある。従来の多くの電極材にはこうした添加
元素が加えられたCuベース合金が多く用いられ
ている。しかし、Bi、Pbなどを添加しない電極
材料もいくつかある。例えば、特開昭54−73284
に示されている電極設置Wc−Ag、あるいは特公
昭45−35101に示されているCr−Cu系の火花ギヤ
ツプ用の電極などは、低融点金属を含有せずとも
かなりの耐溶着特性を有し、最近になつて真空し
や断器用として用いられつつある。Wc−Ag系
は、マトリツクスとなるWcが高い融点を有する
ため比較的溶着しにくいと言われる。一方、Cr
−Cu系はCrが高い融点を有することの他に、マ
トリツクスとしてCr焼結体自体が非常に脆弱で
あるため、しや断面が容易に引き剥がれるという
特徴を持つている。しかしながら、上記材料にお
いてはそれぞれに欠点もある。例えば、Wc−Ag
系においては、アークしや断時に電極面の一部が
高温にさらされると、非常に多くの熱電子を放射
しやすく、このため、絶縁回復特性ならびにしや
断能力が良くない。したがつて、あまり大容量用
には適用できないという欠点がある。一方、Cr
−Cu系においては、Cr自体が酸素との親和力が
非常に大きく、このため、Crの圧粉体は通常、
還元性雰囲気中の高い温度で焼結、溶浸などが行
なわれる。それでも、Cr粉末を焼結した場合に
は酸化物残渣が存在しやすい。この結果、電極と
して、さらに高温のアークにさらされる、上記酸
化物が分解され、酸素を放出し、このためにしや
断不能する場合がある。これらの酸化物残渣をで
きるだけなくすために種々の方策がとられる。例
えば特開昭50−55870に示されているように、Cr
焼結体の粒子間に残りやすいCr酸化物を、あら
かじめCu粉末を混合、圧粉しておき、それをCu
の融点以上、その融点を100℃より高く超えない
温度で液相焼結し、その後熱間鍛造により緻密化
する方法、あるいは酸化物がしや断時に分解した
場合にその分解ガスを吸着するためのゲツター用
の第3元素(Ti、Zrなど)を添加する方法など
が挙げられている。前者の液相焼結による方法で
酸化物を除去する方法としては、更に別にドイツ
連邦共和国特許出願公開第1640039号公報にも開
示されているように、Cr焼結マトリツクスをCu
の溶透を浸透させる溶浸工程によつて酸化物を分
解、除去する方法が述べられている。以上のよう
な従来技術において、とりわけCuを溶浸する方
法は酸化物を分解、除去することに効果がある。
しかしながら、完全に除去することは困難で、部
分的には酸化物スラグが焼結マトリツクスの空孔
をふさぐことがあり、Cuの浸透さえもさまたげ
ることとなり、未溶浸の欠陥空孔が形成されるこ
とがある。この欠陥空孔にはガスが吸蔵されやす
く、電極とした場合、しや断操作のくり返しによ
り著しいガスの放出源となり、しや断能力を下げ
てしまうことが多い。なお、放出ガスを、上記し
たようなゲツタ作用を有するZrやTiを添加する
ことで吸着する方法はある程度の効果は得られる
ものの、Cr−Cu溶浸合金においてCu中にそれら
の元素がある程度固溶されることによつて導電性
の低下はまぬがれない。この導電性の低下は通電
容量やしや断能力を下げてしまうという点では好
ましくない傾向にある。そこで、上記したように
Cr焼結マトリツクスをいかに清浄化し、Cuを高
密度に溶浸してやるかが非常に重要な課題であ
り、Cr−Cu溶浸合金電極による真空しや断器の
大容量化を左右するものであると考えられる。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、欠陥及び酸化物量の少ない合
金からなる真空しや断器用電極の製造法を提供す
るにある。 〔発明の概要〕 本発明は、金属マトリツクス中に該金属マトリ
ツクスの融点より低い融点を有する金属又は合金
を溶浸させる真空しや断器用電極の製造法であつ
て、前記金属マトリツクスを構成する粉末と、前
記金属又は合金の粉末とを加圧して圧粉体を形成
し、該圧粉体を還元性雰囲気中で加熱して仮焼結
体を形成し、該仮焼結体を真空中で、前記金属又
は合金の融点以上で前記金属マトリツクスの融点
より低い温度で加熱し、前記仮焼結体中の金属又
は合金の少なくとも一部を蒸発除去して多孔質体
を形成し、該多孔質体中に清浄な前記金属マトリ
ツクスの融点より低い融点を有する金属又は合金
を溶浸することを含む真空しや断器用電極の製造
法にある。 金属マトリツクスは融点が1490℃以上を有する
Fe、Co、Cr、W、Mo、Ta、又はこれらの炭化
物から選ばれた1種以上が好ましい。特に、Cr
が好ましい。 金属マトリツクスの融点より低い融点を有する
金属又は合金(以下溶浸物質と称する)は、Cu、
Ag、Bi、Pb、Te及びSeを含むCu合金、Ag合金
又はCu−Ag合金から選ばれた1種が好ましい。
Cu−Ag合金では5〜30重量%Agを含む合金又は
これに銅に対して固溶量以上で3重量%以下の
Bi、Pb、Te及びSeの1種以上の低融点高蒸気圧
元素を含む合金が好ましい。これらの低融点高蒸
気圧元素はCu又はAgにも同様に含むCu合金又は
Ag合金が好ましい。Cuに対しAgの添加は溶湯の
流動性を増し、更に融点を低めるので溶浸物質と
して溶浸性を向上させる。低融点高蒸気圧元素の
添加は耐溶着性を向上するもので、溶浸物質とし
てそのマトリツクスの固溶量以上が好ましい。
Cuの場合には耐圧特性及びしや断性能の点から
3重量%以下が好ましい。 金属マトリツクスを構成する粉末と溶浸物質を
構成する粉末とからなる成形体は、加圧成形など
によつて所定の圧粉体としたままのもの又はこれ
を非酸化性雰囲気中で仮焼結したもののいずれで
もよい。特に、還元性雰囲気中で加熱する仮焼結
体が好ましい。この成形体の溶浸物質は10〜20重
量%が好ましい。 成形体はこの後、真空中で、溶浸物質の融点以
上で金属マトリツクスの融点より低い温度で加熱
し多孔質体を形成し、多孔質体中の溶浸物質を除
去する。(以下脱銅処理という)。脱銅処理は溶浸
物質の一部を除去することによつて脱ガス及び金
属マトリツクス中の酸化物を除去することができ
る。脱銅処理は溶浸物質として銅の場合には真空
中で、Cuの蒸気圧平衡温度より高く、1470℃以
下が好ましい。真空度は10-5mm以上の高真空下で
行なうのが好ましい。 溶浸は真空中で行なうのが好ましい。この場合
の真空度は10-5mmHg以上の高真空下で行なうの
が好ましい。 本発明者らは、Cr焼結マトリツクスの酸化物
残渣をいかにして除去してやるかについて次のよ
うな方法を試みた。まず、第1図に示すように
Cr粉末とCu粉末を均一に混合し、それらをプレ
ス成形で圧粉体とする。この後、露点を−60度以
下におさえた高純度水素中で仮焼結する。仮焼結
は、溶浸物質の融点より低い温度が好ましい。溶
浸物質としてCuの場合には800〜1050℃が好まし
い。この仮焼結では、Cu粉末あるいはCr粉末の
酸化物を完全に除去することは不可能であり、い
わぶ前処理としての1工程にすぎない。しかし、
この後で行なう酸化物除去工程に入る前には必要
である。すなわち、上記仮焼結後、本発明で述べ
る“脱銅処理”という酸化物除去工程に入るが、
この工程の前に大ざつぱに還元・脱ガス処理して
おくということは、最終的にガスフリーな電極材
料とする上での前処理として必要である。この
“脱銅処理”とは、上記の(Cr+Cu)焼結体を更
に、高い温度で真空加熱することによりCuのみ
を大量に蒸発させる加熱処理を言う。すなわち、
Cuの融点(1083℃)以上の高温にし、(Cr+Cu)
仮焼結体中のCuを完全に液相状態にし、長時間
にわたつて真空排気してやることによりCuを蒸
発させることである。実質的にはCuの融点より
も高い温度(1200〜1300℃が好ましい)であるこ
とが望ましい。この脱Cu処理の結果、仮焼結体
中のCu量が減少し、内部の気孔は増し、この際
にCr焼結粒子間に残留している酸化物も同時に
除去されてしまう。はじめ、(Cr+Cu)焼結体中
のCuが溶け出し、Cr粒子の周囲をわずかに浸食
していく。この浸食作用によつてもある程度酸化
物が除去されるが、更に高温で真空排気を続けて
いくと、この溶けたCuは次第に蒸発しはじめる。
この際、酸化物、不純物、吸着ガス等も大量に押
し出され、真空排気される。この脱銅処理は、単
に前に述べた水素中の還元処理よりもはるかに脱
ガス効果及び不純物除去効果があることが判明し
た。又、第2図のAに示すように、仮焼結のまま
では、Cr、Cuのそれぞれの粒子は互いに隣接し、
粒形状もはじめの成形時とあまり変らない。とこ
ろが、第2図のBに示すように、本発明の脱銅処
理を施すと、Cu成分が溶けて多量蒸発するが、
その他に残留するCuは図の如くCr粒子のまわり
に附着する。この結果、Cr粒子はCuの保護膜に
おおわれたような形となる。また、粒子の形状も
脱銅処理により侵食され、丸みをおびる。この脱
銅処理による保護膜はCrの再酸化を防止すると
いう別の効果もある。なぜなら、Cr粒子は、一
般に還元性雰囲気にて高温にさらされると、酸化
被膜自体は容易に分解される。しかし、反面、冷
却していく段階にて非常に再酸化しすいという性
質があるからである。この点で脱銅処理したもの
は、Cu保護膜付きのCr焼結体ということもでき
る。以上のように、脱銅処理した(Cr+Cu)焼
結体は、第2図のBに示すように非常に気孔が増
えたものとなるが、この気孔は連続している。し
たがつてこの気孔部にCuを溶浸させてやると、
従来の脱Cu処理なしの場合に比べて非常に溶浸
性が良い。その結果、ガス吸蔵が少なく、高密度
で欠陥の少ないCr−Cu溶浸合金が得られる。な
お、第2図のCは、このようにして得られたCr
−Cu溶浸合金であり、仮焼結、脱Cu処理、溶浸
の各種処理工程を経ることによつて、Cr粒子相
互の結びつきが解かれ、その周囲はCuが高密度
に充てんされていることを示す。 以上のような方法で得られたCr−Cu溶浸合金
は、十分ガスフリー化され、他の欠陥も少ないの
で、真空しや断器用電極に適用した場合、従来法
によつて製造されたものよりも大容量しや断が可
能となる。 〔発明の実施例〕 実施例 1 100メツシユ以下のCr粉末と、200メツシユ以
下のCu粉末を用い、Cu量が15重量%となるよう
に混合し、この混合粉末を3トン/cm2の加圧力で
プレス成形し、直径50mm、厚さ10mmの成形体とし
た。この成形体の気孔率は約25体積%である。こ
の成形体を露点が−60度以下にコントロールされ
た高純度水素中にて1000℃で1時間の仮焼結を行
なつた。更にこの仮焼結体を真空炉にて10-6mm
Hgの真空度で、1200℃で1時間の加熱すなわち、
脱銅処理を施した。この後、最終工程として、こ
の脱銅処理焼結体を用い、第3図に示すような方
法によりCuを10-6mmHgの真空中で溶浸した。上
記焼結体21を底に穴を設けたアルミナ製の円筒
状ホルダ23の中に入れ、アルミナ製円板スペー
サ24を介しモリブデン製のウエート25をの
せ、これを吊具26で吊下げ、昇降できるように
した。溶浸用のCuはアムミナ製るつぼ27中に
加熱炉28によつて溶かされている。溶浸は、こ
のCu溶湯22の中に上記ホルダ23を下降させ、
約5分間浸漬させた後、引き上げることにより行
なつた。このようにして得た本発明の電極材は
Cu量が40重量%であつた。なお、比較の電極材
は前述のCr粉末だけを用いて同様に仮焼結され、
次いで本発明の電極材と同様にCuを真空溶浸さ
せたもの(真空中溶浸材)及びCr粉末とCu粉末
との混合粉末を5トン/cm2で圧粉成形体とし、
1000℃×1hの露点−60℃の水素中で焼結したも
の(H2中焼結材)で、いずれも40重量%のCuを
含む合金である。 これらの電極材について顕微鏡観察を行なつ
た。この中で、欠陥の空孔や酸化物残渣等はCu
の地よりも更に黒く観察されるので、それぞれの
材料の組織を光学的画像解析装置を用い、白黒の
コントラストの差によつて欠陥量を測定した。第
1表はこれらの欠陥量を比較したものである。表
に示すように、還元性雰囲気中での仮焼結後真空
中で脱銅処理を加えた本発明は欠陥が非常に少な
い材料であることが分る。
【表】 実施例 2 本発明になる電極を内蔵する真空しや断器用真
空バルブの一例として第4図にその断面構造を示
す。真空バルブはセラミツクスもしくは結晶性ガ
ラスなどの絶縁筒11を有し、その両端を金属製
の端子板12,12′によつて封じ、その内部は
高真空に保たれている。その中に、一対の電極、
すなわち、固定電極13と、ベローズ16及びベ
ローズ支持板16aを介し開閉できるようにした
可動側電極14とから成つている。端子板の一方
には排気管15を設け真空ポンプによつて排気
し、後にこれはチツプオフされるものである。電
極部をとり囲むように配置された円筒状のシール
ド17は電極構成物質がしや断時に蒸発し、それ
らが絶縁を劣化させないように設けられたしやへ
い等である。 電極13,14は補助電極板18,18′上に
ろう付され、さらにそれらは銅製のホルダ19,
19′にろう付されている。電極13,14は以
下のようにして製造したものである。 実施例1と同様に、Cr粉末とCu粉末とを用い、
実施例1と同様に圧粉成形、仮焼結、脱銅処理及
びCuの真空含浸を行ない、Cu溶浸量を種種に変
えた各種Cr−Cu電極を機械加工によつて所望の
形状に製造した。Cu量の変化はNo.1及び2が圧
粉成形時に10重量%とし、加圧力を変えることに
より行ない、No.3が実施例1と同じであり、No.4
及び5が圧粉成形時のCu量を各々25重量%及び
35重量%とし、加圧力を一定として行なつた。こ
れらの電極は第4図に示すように真空バルブにろ
う付され組立てられる。このようにして製造した
真空バルブを用いて各種電極のしや断試験を実施
した。なお、比較材は本発明における脱銅処理を
実施しないものであり、他の製造工程は本発明の
製造工程と全く同じである。 第2表は、比較材のしや断性能及び耐電圧特性
を100%とした場合の本発明材のそれぞれの性能
比較値である。Cu溶浸量が20〜60重量%のいず
れの材料とも従来の溶浸のみCr−40重量%Cuよ
りも優れた特性を示す。なお、電流しや断試験は
周波数約50Hzで高電圧(6000〜7000V)をかけ、
しや断電流を約500Aステツプで増加させながら
しや断し、このしや断途上においてしや断不能と
なる電流の限界値を求め、比較材のそれらの値と
比較したものである。表に示すように、本発明の
製造法によるものは、しや断性能及び耐電圧特性
ともに優れていることが明らかである。
〔発明の効果〕
還元性雰囲気中仮焼結後に真空中脱銅処理を特
徴とする本発明によれば、仮焼結によつて金属マ
トリツクス表面の酸化物残渣の除去が行なわれ、
さらに脱銅処理により再度金属マトリツクス表面
の酸化物残渣の除去が行なわれ、ガス吸蔵が少な
く、高密度で欠陥の少ない合金が得られる。した
がつてガス量及び欠陥の少ない電極が得られるの
で、優れたしや断性能及び耐電圧特性が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る真空しや断器用電極の製
造工程を示すブロツク図、第2図は電極製造過程
における組織のモデル図、第3図は真空溶浸させ
る装置の断面図、第4図は本発明に係る真空パル
ブの一例を示す断面構成図、第5図は耐電圧特性
及びしや断性能とCu量との関係を示す線図、第
6図は脱銅処理を加えた本発明のCr−Cu溶浸合
金の金属組織を示す顕微鏡写真である。 13,14……電極。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 金属マトリツクス中に該金属マトリツクスの
    融点より低い融点を有する金属又は合金を溶浸さ
    せる真空しや断器用電極の製造法において、 前記金属マトリツクスを構成する粉末と、前記
    金属又は合金の粉末とを加圧して圧粉体を形成
    し、 該圧粉体を還元性雰囲気中で加熱して仮焼結体
    を形成し、 該仮焼結体を真空中で、前記金属又は合金の融
    点以上で前記金属マトリツクスの融点より低い温
    度で加熱し、前記仮焼結体中の金属又は合金の少
    なくとも一部を蒸発除去して多孔質体を形成し、 該多孔質体中に清浄な前記金属マトリツクスの
    融点より低い融点を有する金属又は合金を溶浸す
    ることを含む真空しや断器用電極の製造法。 2 前記金属マトリツクスの融点が1490℃以上で
    あつて、前記金属マトリツクスの融点より低い融
    点を有する金属又は合金が銅、銀、銅合金、銀合
    金及び銅と銀との合金のいずれかである特許請求
    の範囲第1項記載の真空しや断器用電極の製造
    法。
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