JPH0554407A - フオーカス制御装置 - Google Patents
フオーカス制御装置Info
- Publication number
- JPH0554407A JPH0554407A JP3216929A JP21692991A JPH0554407A JP H0554407 A JPH0554407 A JP H0554407A JP 3216929 A JP3216929 A JP 3216929A JP 21692991 A JP21692991 A JP 21692991A JP H0554407 A JPH0554407 A JP H0554407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- recording
- light flux
- control
- focus control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】レーザーなどにより記録媒体への記録を行う際
に、対物レンズで絞り込まれた光束が記録媒体上で焦点
を結ぶように制御するフォーカス制御装置において、焦
点調整を自動化することにより操作性を向上させること
を目的とする 【構成】 切り替え回路１６でフォーカス制御回路Ａ１
３を選択する事により、記録ビームＡ２を検出する四分
割ディテクター１２による、フォーカス制御回路Ａ１３
の第一のフォーカス制御系が動作する。このとき、フォ
ーカスビームを検出する二分割ディテクター１４の出力
からフォーカス制御回路Ｂ１５で得られたフォーカス誤
差信号がフォーカス誤差信号でパルスモーター１９を動
かしディテクター１４の位置が移動し、自動的に位置調
整がなされる。
に、対物レンズで絞り込まれた光束が記録媒体上で焦点
を結ぶように制御するフォーカス制御装置において、焦
点調整を自動化することにより操作性を向上させること
を目的とする 【構成】 切り替え回路１６でフォーカス制御回路Ａ１
３を選択する事により、記録ビームＡ２を検出する四分
割ディテクター１２による、フォーカス制御回路Ａ１３
の第一のフォーカス制御系が動作する。このとき、フォ
ーカスビームを検出する二分割ディテクター１４の出力
からフォーカス制御回路Ｂ１５で得られたフォーカス誤
差信号がフォーカス誤差信号でパルスモーター１９を動
かしディテクター１４の位置が移動し、自動的に位置調
整がなされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子ビーム、レーザーな
どの光束照射による記録媒体への記録時に、対物レンズ
などで絞り込まれた光束が記録媒体上で焦点を結ぶよう
に制御するフォーカス制御装置に関するものである。
どの光束照射による記録媒体への記録時に、対物レンズ
などで絞り込まれた光束が記録媒体上で焦点を結ぶよう
に制御するフォーカス制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子ビーム、レーザーなどによる
微細記録技術の進歩は著しく、レーザーを応用した物と
して光ディスクが実用化されている。光ディスクの原盤
を製造する工程で、記録媒体としてのガラス原盤にサブ
ミクロンオーダーの記録を行う光ディスク原盤記録装置
では、レーザーのビーム径を絞り込むために安定な、高
精度なフォーカス制御装置を必要としている。
微細記録技術の進歩は著しく、レーザーを応用した物と
して光ディスクが実用化されている。光ディスクの原盤
を製造する工程で、記録媒体としてのガラス原盤にサブ
ミクロンオーダーの記録を行う光ディスク原盤記録装置
では、レーザーのビーム径を絞り込むために安定な、高
精度なフォーカス制御装置を必要としている。
【０００３】以下に従来のフォーカス制御装置について
説明する。図４は従来のフォーカス制御装置のブロック
図を示すものである。図４において、１はレジストコー
ティングを施されたガラス原盤、２は記録用レーザー及
び光変調器を含む記録光源、７は記録光源１から出射さ
れた記録ビームＡ１をＯＮ−ＯＦＦするシャッター、８
はフォーカス用光源、９はビームスプリッター、１０は
ビームスプリッター、１１は対物レンズ、１４はフォー
カス用二分割ディテクター、１５はフォーカス制御回
路、１７はフォーカス駆動回路、１８はフォーカスアク
チュエーター、１９はフォーカス用２分割ディテクター
の位置を移動させるステッピングパルスモーター、３０
はステッピングパルスモーター１９を手動（ＳＷ入力な
ど）で駆動させるパルスモーター駆動回路、３１は記録
ビームＡ１の反射光Ａ２をモニターするモニター系であ
る。
説明する。図４は従来のフォーカス制御装置のブロック
図を示すものである。図４において、１はレジストコー
ティングを施されたガラス原盤、２は記録用レーザー及
び光変調器を含む記録光源、７は記録光源１から出射さ
れた記録ビームＡ１をＯＮ−ＯＦＦするシャッター、８
はフォーカス用光源、９はビームスプリッター、１０は
ビームスプリッター、１１は対物レンズ、１４はフォー
カス用二分割ディテクター、１５はフォーカス制御回
路、１７はフォーカス駆動回路、１８はフォーカスアク
チュエーター、１９はフォーカス用２分割ディテクター
の位置を移動させるステッピングパルスモーター、３０
はステッピングパルスモーター１９を手動（ＳＷ入力な
ど）で駆動させるパルスモーター駆動回路、３１は記録
ビームＡ１の反射光Ａ２をモニターするモニター系であ
る。
【０００４】以上のように構成されたフォーカス制御装
置について、以下その動作について説明する。まず、ガ
ラス原盤に記録するときは、シャッター７がオープンと
なり記録光源から出射された記録ビームＡ１は対物レン
ズ１１通りガラス原盤１に集光される。このとき、フォ
ーカス光源８から出射されたフォーカスビームＢ１もビ
ームスプリッター９、１０と対物レンズ１１を通りガラ
ス原盤１に集光される。また、未記録時にはシャッター
７がクローズとなり、フォーカスビームＢ１のみがガラ
ス原盤１に集光される。フォーカスビームＢ１の波長は
記録ビームの波長よりも長くレジストは露光されない。
フォーカスビームＢ１は、ガラス原盤１に対し斜めに入
射し反射される。対物レンズ１１の上下方向の動きに合
わせ、フォーカスビームＢ１の反射光Ｂ２の光路が変わ
り、ディテクター１４上の位置が変わる。対物レンズ１
１はフォーカスアクチュエーター１８に取り付けられ、
フォーカス駆動回路１７で駆動される。したがって二分
割ディテクター１４の差を取ることによりフォーカス誤
差信号が得られ、フォーカス制御回路１５、フォーカス
駆動回路１７及びアクチュエーター１８でフォーカス制
御系が構成され、フォーカスビームＢ２が２分割ディテ
クター１４のセンター位置に常に来るようにフォーカス
アクチュエーター１８が制御される。二分割ディテクタ
ー１４はステッピングパルスモーター１９によりフォー
カスビームＢ２の移動方向に動かすことができる。フォ
ーカスビームＢ２によりフォーカス制御されていると
き、記録ビームＡ１の集光状態をモニター系３１でモニ
タできる。もし、記録ビームＡ１がガラス原盤１で合焦
でない場合は、二分割ディテクター１４の位置が記録ビ
ームＡ１の焦点に対して合ってないことになる。この様
なとき、記録ビームＡ２をモニターしながらマニュアル
操作で二分割ディテクター１４の位置調整をすることに
より記録ビームＡ１の焦点を合わせる事によって良好な
記録状態を得ることができる。
置について、以下その動作について説明する。まず、ガ
ラス原盤に記録するときは、シャッター７がオープンと
なり記録光源から出射された記録ビームＡ１は対物レン
ズ１１通りガラス原盤１に集光される。このとき、フォ
ーカス光源８から出射されたフォーカスビームＢ１もビ
ームスプリッター９、１０と対物レンズ１１を通りガラ
ス原盤１に集光される。また、未記録時にはシャッター
７がクローズとなり、フォーカスビームＢ１のみがガラ
ス原盤１に集光される。フォーカスビームＢ１の波長は
記録ビームの波長よりも長くレジストは露光されない。
フォーカスビームＢ１は、ガラス原盤１に対し斜めに入
射し反射される。対物レンズ１１の上下方向の動きに合
わせ、フォーカスビームＢ１の反射光Ｂ２の光路が変わ
り、ディテクター１４上の位置が変わる。対物レンズ１
１はフォーカスアクチュエーター１８に取り付けられ、
フォーカス駆動回路１７で駆動される。したがって二分
割ディテクター１４の差を取ることによりフォーカス誤
差信号が得られ、フォーカス制御回路１５、フォーカス
駆動回路１７及びアクチュエーター１８でフォーカス制
御系が構成され、フォーカスビームＢ２が２分割ディテ
クター１４のセンター位置に常に来るようにフォーカス
アクチュエーター１８が制御される。二分割ディテクタ
ー１４はステッピングパルスモーター１９によりフォー
カスビームＢ２の移動方向に動かすことができる。フォ
ーカスビームＢ２によりフォーカス制御されていると
き、記録ビームＡ１の集光状態をモニター系３１でモニ
タできる。もし、記録ビームＡ１がガラス原盤１で合焦
でない場合は、二分割ディテクター１４の位置が記録ビ
ームＡ１の焦点に対して合ってないことになる。この様
なとき、記録ビームＡ２をモニターしながらマニュアル
操作で二分割ディテクター１４の位置調整をすることに
より記録ビームＡ１の焦点を合わせる事によって良好な
記録状態を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では以下のような問題点がある。フォーカス
ビームＢ２により間接的にフォーカス制御しているため
に、始めに、記録ビームＡ１の集光状態をモニターしな
がらマニュアル操作で二分割ディテクターの位置調整を
しなければならない。そのため、ガラス原盤に記録する
一連の作業を自動化できないという問題がある。また、
記録ビームＡ２により直接フォーカス制御する（非点収
差法など）場合は、上記した調整の必要はないが、次の
ような問題がある。ガラス原盤の未記録領域はガラス原
盤に記録ビームＡ１を照射することにより露光してしま
うので照射できないため反射光Ａ２を検出できずフォー
カス制御できない。このため記録開始位置で始めてフォ
ーカス制御を行うことになり、フォーカスの引き込み動
作に伴う記録開始の遅れ及び焦点が完全にとれないデフ
ォーカス状態での記録が発生するという問題がある。
従来の構成では以下のような問題点がある。フォーカス
ビームＢ２により間接的にフォーカス制御しているため
に、始めに、記録ビームＡ１の集光状態をモニターしな
がらマニュアル操作で二分割ディテクターの位置調整を
しなければならない。そのため、ガラス原盤に記録する
一連の作業を自動化できないという問題がある。また、
記録ビームＡ２により直接フォーカス制御する（非点収
差法など）場合は、上記した調整の必要はないが、次の
ような問題がある。ガラス原盤の未記録領域はガラス原
盤に記録ビームＡ１を照射することにより露光してしま
うので照射できないため反射光Ａ２を検出できずフォー
カス制御できない。このため記録開始位置で始めてフォ
ーカス制御を行うことになり、フォーカスの引き込み動
作に伴う記録開始の遅れ及び焦点が完全にとれないデフ
ォーカス状態での記録が発生するという問題がある。
【０００６】本発明は上記従来の課題を解決するための
物であり、フォーカス調整を自動化して操作性を向上さ
せるフォーカス制御装置を提供するものである。
物であり、フォーカス調整を自動化して操作性を向上さ
せるフォーカス制御装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のフォーカス制御装置では次の手段で構成され
ている。第一の発明では、第一の光束の焦点位置を一定
に保つ第一の制御手段と、第二の光束の焦点位置を一定
に保つ第二の制御手段と、第二の検出手段の位置を移動
させる移動手段と、前記第一の制御手段の動作時に前記
第二の検出手段の出力と前記移動手段により前記第二の
検出手段の位置を第二の光束の検出方向に移動させる移
動制御手段とを有している。また第二発明においては、
第一の制御手段の動作時に、第二の検出手段の位置を移
動させる代わりに、第二の検出手段の誤差信号をサンプ
ルホールドする保持回路と、保持回路のホールド時に保
持回路の出力を第二の制御手段に加算する加算手段を有
している。
に本発明のフォーカス制御装置では次の手段で構成され
ている。第一の発明では、第一の光束の焦点位置を一定
に保つ第一の制御手段と、第二の光束の焦点位置を一定
に保つ第二の制御手段と、第二の検出手段の位置を移動
させる移動手段と、前記第一の制御手段の動作時に前記
第二の検出手段の出力と前記移動手段により前記第二の
検出手段の位置を第二の光束の検出方向に移動させる移
動制御手段とを有している。また第二発明においては、
第一の制御手段の動作時に、第二の検出手段の位置を移
動させる代わりに、第二の検出手段の誤差信号をサンプ
ルホールドする保持回路と、保持回路のホールド時に保
持回路の出力を第二の制御手段に加算する加算手段を有
している。
【０００８】
【作用】この構成により、第一の発明では、第一の制御
手段の動作時に、移動制御手段と移動手段により第二の
検出手段の位置調整をし、その位置を固定することによ
り、第二の制御手段の動作時にも第一の光束の焦点位置
が一定に保たれる。第二の発明では第二の制御手段に、
第一の制御手段の動作時に検出した第二の検出手段の誤
差信号を加算することで、第二の制御手段の動作時にも
第一の光束の焦点位置が一定に保たれる
手段の動作時に、移動制御手段と移動手段により第二の
検出手段の位置調整をし、その位置を固定することによ
り、第二の制御手段の動作時にも第一の光束の焦点位置
が一定に保たれる。第二の発明では第二の制御手段に、
第一の制御手段の動作時に検出した第二の検出手段の誤
差信号を加算することで、第二の制御手段の動作時にも
第一の光束の焦点位置が一定に保たれる
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１０】図１において、１はガラス原盤、２は記録
光Ａ１を出射する記録用レーザー及び光変調器を含む記
録光源、３は偏光ビームスプリッター、４は四分の一波
長板、５はレンズ、６はシリンドリカルレンズ、７は記
録光源１から出射された記録ビームＡ１をＯＮ−ＯＦＦ
するシャッター、８はフォーカスビームＢ１を出射する
フォーカス用光源、９はビームスプリッター、１０はビ
ームスプリッター、１１対物レンズ、１２は四分割ディ
テクター、１３は記録光Ａ２によるフォーカス制御回路
Ａ、１４はフォーカス用二分割ディテクター、１５はフ
ォーカスビームＢ２によるフォーカス制御回路Ｂ、１６
はフォーカス制御回路Ａとフォーカス制御回路Ｂを切り
換える切り替え回路、１７はフォーカス駆動回路、１８
はフォーカスアクチュエーター、１９はフォーカス用二
分割ディテクターの位置を移動させるステッピングパル
スモーター、２０はフォーカス制御回路１５の出力によ
りステッピングパルスモーター１９を駆動させるパルス
モーター駆動回路、２１はパルスモーター駆動回路２０
の出力をＯＮ−ＯＦＦするＯＮ−ＯＦＦ回路である。
光Ａ１を出射する記録用レーザー及び光変調器を含む記
録光源、３は偏光ビームスプリッター、４は四分の一波
長板、５はレンズ、６はシリンドリカルレンズ、７は記
録光源１から出射された記録ビームＡ１をＯＮ−ＯＦＦ
するシャッター、８はフォーカスビームＢ１を出射する
フォーカス用光源、９はビームスプリッター、１０はビ
ームスプリッター、１１対物レンズ、１２は四分割ディ
テクター、１３は記録光Ａ２によるフォーカス制御回路
Ａ、１４はフォーカス用二分割ディテクター、１５はフ
ォーカスビームＢ２によるフォーカス制御回路Ｂ、１６
はフォーカス制御回路Ａとフォーカス制御回路Ｂを切り
換える切り替え回路、１７はフォーカス駆動回路、１８
はフォーカスアクチュエーター、１９はフォーカス用二
分割ディテクターの位置を移動させるステッピングパル
スモーター、２０はフォーカス制御回路１５の出力によ
りステッピングパルスモーター１９を駆動させるパルス
モーター駆動回路、２１はパルスモーター駆動回路２０
の出力をＯＮ−ＯＦＦするＯＮ−ＯＦＦ回路である。
【００１１】以上のように構成されたフォーカス制御装
置について、その動作を説明する。まず、シャッター７
がオープンの時、記録光源２から出射された記録ビーム
Ａ１は対物レンズ１１を通りガラス原盤１で反射され
る。反射光Ａ２は四分の一波長板４、偏光ビームスプリ
ッター３によりレンズ５、シリンドリカルレンズ６に導
かれ、四分割ディテクター１２で検出される。四分割デ
ィテクター１２の対角和の差を取ることによりフォーカ
ス誤差信号が得られる。対物レンズ１１はフォーカスア
クチュエーター１８に取り付けられ、フォーカス駆動回
路１７で駆動される。切り替え回路１６でフォーカス制
御回路Ａ１３が選択されると、フォーカス駆動回路１
７、フォーカスアクチュエーター１８で記録ビームＡ１
がガラス原盤１上で常に合焦となるように制御される。
また、シャッター７がクローズの時はフォーカスビーム
Ｂ２によりフォーカス制御される。フォーカス光源８か
ら出射されたフォーカスビームＢ１はビームスプリッタ
ー９、１０、対物レンズ１１を通りガラス原盤１に集光
される。フォーカスビームＢ１は、ガラス原盤１に対し
斜め入射し、ビームスプリッター９により反射光の一部
Ｂ２が二分割ディテクター１４に導かれる。切り替え回
路１６でフォーカス制御回路Ｂが選択され、二分割ディ
テクター１４、フォーカス制御回路Ｂ１５、フォーカス
駆動回路１７及びアクチュエーター１８でフォーカス制
御系が構成され、フォーカスビームＢ２が二分割ディテ
クター１４のセンター位置に常に来るようにフォーカス
アクチュエーター１８が制御される。二分割ディテクタ
ー１４の位置はステッピングパルスモーター１９により
可動であり、対物レンズ１１の上下方向の動きに対しフ
ォーカスビームＢ２が移動する方向に、二分割ディテク
ター１４は移動可能である。切り替え回路１６でフォー
カス制御回路Ａ１３が選択されると、ＯＮ−ＯＦＦ回路
２１は切り替え回路１６と連動し、ＯＮとなる。この時
ディテクター１４は、フォーカス制御回路Ｂ１５の出力
によりパルスモーター駆動回路２０とステッピングパル
スモーター１９で位置制御される。ＯＮ−ＯＦＦ回路２
１をＯＦＦにし、ディテクター１４の位置をこの位置で
固定すれば、フォーカスビームＢ２の制御で記録ビーム
Ａ１がガラス盤上で合焦となる。
置について、その動作を説明する。まず、シャッター７
がオープンの時、記録光源２から出射された記録ビーム
Ａ１は対物レンズ１１を通りガラス原盤１で反射され
る。反射光Ａ２は四分の一波長板４、偏光ビームスプリ
ッター３によりレンズ５、シリンドリカルレンズ６に導
かれ、四分割ディテクター１２で検出される。四分割デ
ィテクター１２の対角和の差を取ることによりフォーカ
ス誤差信号が得られる。対物レンズ１１はフォーカスア
クチュエーター１８に取り付けられ、フォーカス駆動回
路１７で駆動される。切り替え回路１６でフォーカス制
御回路Ａ１３が選択されると、フォーカス駆動回路１
７、フォーカスアクチュエーター１８で記録ビームＡ１
がガラス原盤１上で常に合焦となるように制御される。
また、シャッター７がクローズの時はフォーカスビーム
Ｂ２によりフォーカス制御される。フォーカス光源８か
ら出射されたフォーカスビームＢ１はビームスプリッタ
ー９、１０、対物レンズ１１を通りガラス原盤１に集光
される。フォーカスビームＢ１は、ガラス原盤１に対し
斜め入射し、ビームスプリッター９により反射光の一部
Ｂ２が二分割ディテクター１４に導かれる。切り替え回
路１６でフォーカス制御回路Ｂが選択され、二分割ディ
テクター１４、フォーカス制御回路Ｂ１５、フォーカス
駆動回路１７及びアクチュエーター１８でフォーカス制
御系が構成され、フォーカスビームＢ２が二分割ディテ
クター１４のセンター位置に常に来るようにフォーカス
アクチュエーター１８が制御される。二分割ディテクタ
ー１４の位置はステッピングパルスモーター１９により
可動であり、対物レンズ１１の上下方向の動きに対しフ
ォーカスビームＢ２が移動する方向に、二分割ディテク
ター１４は移動可能である。切り替え回路１６でフォー
カス制御回路Ａ１３が選択されると、ＯＮ−ＯＦＦ回路
２１は切り替え回路１６と連動し、ＯＮとなる。この時
ディテクター１４は、フォーカス制御回路Ｂ１５の出力
によりパルスモーター駆動回路２０とステッピングパル
スモーター１９で位置制御される。ＯＮ−ＯＦＦ回路２
１をＯＦＦにし、ディテクター１４の位置をこの位置で
固定すれば、フォーカスビームＢ２の制御で記録ビーム
Ａ１がガラス盤上で合焦となる。
【００１２】以上のように本実施例によれば、記録ビー
ムを使用したフォーカス制御時に、フォーカスビームを
検出する二分割ディテクターの位置を、二分割ディテク
ターの差出力で位置制御することにより、自動的に二分
割ディテクターの位置調整ができる。
ムを使用したフォーカス制御時に、フォーカスビームを
検出する二分割ディテクターの位置を、二分割ディテク
ターの差出力で位置制御することにより、自動的に二分
割ディテクターの位置調整ができる。
【００１３】以下本発明の第二の実施例について図面を
参照しながら説明する。図２において、１はガラス原
盤、２は記録光Ａ１を出射する記録用レーザー及び光変
調器を含む記録光源、３は偏光ビームスプリッター、４
は四分の一波長板、５はレンズ、６はシリンドリカルレ
ンズ、７は記録光源１から出射された記録ビームＡ１を
ＯＮ−ＯＦＦするシャッター、８はフォーカスビームＢ
１を出射するフォーカス用光源、９はビームスプリッタ
ー、１０はビームスプリッター、１１対物レンズ、１２
は四分割ディテクター、１３は記録光Ａ２によるフォー
カス制御回路Ａ、１４はフォーカス用二分割ディテクタ
ー、１５はフォーカスビームＢ２によるフォーカス制御
回路Ｂ、１６はフォーカス制御回路Ａ１３とフォーカス
制御回路Ｂ１５を切り替える切り替え回路、１７はフォ
ーカス駆動回路、１８はフォーカスアクチュエーター
で、以上は図１と同様な構成である。図１の構成と異な
るのは、ディテクターの位置制御系を構成するステッピ
ングパルスモーター１９、パルスモーター駆動回路２
０、ＯＮ−ＯＦＦ回路２１の代わりに、フォーカス制御
回路Ｂ１３の出力を保持するサンプルホールド回路２２
と、サンプルホールド回路２２の反転出力をフォーカス
制御回路Ｂ１３に加算するアナログスイッチ２３で構成
されていることである。
参照しながら説明する。図２において、１はガラス原
盤、２は記録光Ａ１を出射する記録用レーザー及び光変
調器を含む記録光源、３は偏光ビームスプリッター、４
は四分の一波長板、５はレンズ、６はシリンドリカルレ
ンズ、７は記録光源１から出射された記録ビームＡ１を
ＯＮ−ＯＦＦするシャッター、８はフォーカスビームＢ
１を出射するフォーカス用光源、９はビームスプリッタ
ー、１０はビームスプリッター、１１対物レンズ、１２
は四分割ディテクター、１３は記録光Ａ２によるフォー
カス制御回路Ａ、１４はフォーカス用二分割ディテクタ
ー、１５はフォーカスビームＢ２によるフォーカス制御
回路Ｂ、１６はフォーカス制御回路Ａ１３とフォーカス
制御回路Ｂ１５を切り替える切り替え回路、１７はフォ
ーカス駆動回路、１８はフォーカスアクチュエーター
で、以上は図１と同様な構成である。図１の構成と異な
るのは、ディテクターの位置制御系を構成するステッピ
ングパルスモーター１９、パルスモーター駆動回路２
０、ＯＮ−ＯＦＦ回路２１の代わりに、フォーカス制御
回路Ｂ１３の出力を保持するサンプルホールド回路２２
と、サンプルホールド回路２２の反転出力をフォーカス
制御回路Ｂ１３に加算するアナログスイッチ２３で構成
されていることである。
【００１４】上記のように構成されたフォーカス制御装
置についてその動作を説明する。まず、記録ビームＡ２
によるフォーカス制御がなされているとき、制御回路Ｂ
１３により検出したディテクター位置のずれ量をサンプ
ルホールド回路２２でサンプリングし、ホールドした値
の反転出力をアナログスイッチ２３で制御回路Ｂ１３に
加算する。サンプルホールド回路２２のサンプリング時
にはアナログスイッチ２３がオープンであり、ホールド
時にはアナログスイッチ２３がクローズとなり、ホール
ド時にサンプルホールド回路２２の反転出力が制御回路
Ｂ１３に加算される。また、フォーカスビームＢ２によ
る制御時にはアナログスイッチ２３がクローズでサンプ
ルホールド回路２２は常にホールド状態になる。
置についてその動作を説明する。まず、記録ビームＡ２
によるフォーカス制御がなされているとき、制御回路Ｂ
１３により検出したディテクター位置のずれ量をサンプ
ルホールド回路２２でサンプリングし、ホールドした値
の反転出力をアナログスイッチ２３で制御回路Ｂ１３に
加算する。サンプルホールド回路２２のサンプリング時
にはアナログスイッチ２３がオープンであり、ホールド
時にはアナログスイッチ２３がクローズとなり、ホール
ド時にサンプルホールド回路２２の反転出力が制御回路
Ｂ１３に加算される。また、フォーカスビームＢ２によ
る制御時にはアナログスイッチ２３がクローズでサンプ
ルホールド回路２２は常にホールド状態になる。
【００１５】以上のように、サンプルホールド回路２２
とアナログスイッチ２３により制御回路Ｂ１３にオフセ
ットを与えることにより、記録ビームによるフォーカス
制御時にディテクター１２の位置ずれ量を自動的に補正
できる。
とアナログスイッチ２３により制御回路Ｂ１３にオフセ
ットを与えることにより、記録ビームによるフォーカス
制御時にディテクター１２の位置ずれ量を自動的に補正
できる。
【００１６】以下本発明の第三の実施例について図面を
参照しながら説明する。図３において、１はガラス原
盤、２は記録用光源、３は偏光ビームスプリッター、４
は四分の一波長板、５はレンズ、６はシリンドリカルレ
ンズ、７は記録光源１から出射された記録ビームＡ１を
ＯＮ−ＯＦＦするシャッター、８はフォーカスビームＢ
１を出射するフォーカス用光源、９はビームスプリッタ
ー、１０はビームスプリッター、１１対物レンズ、１２
は四分割ディテクター、１３は記録光Ａ２によるフォー
カス制御回路Ａ、１４はフォーカス用二分割ディテクタ
ー、１５はフォーカスビームＢ２によるフォーカス制御
回路Ｂ、１６はフォーカス制御回路Ａ１３とフォーカス
制御回路Ｂ１５を切り替える切り替え回路、１７はフォ
ーカス駆動回路、１８はフォーカスアクチュエーター
で、以上は図１、２と同様な構成である。図２の構成と
異なるのは、四分割ディテクター１２の出力を加算する
加算器２４と、加算器２４の出力が一定値以上あるか判
別するコンパレーター２５の出力により切り替え回路１
６を切り替える構成になっていることである。
参照しながら説明する。図３において、１はガラス原
盤、２は記録用光源、３は偏光ビームスプリッター、４
は四分の一波長板、５はレンズ、６はシリンドリカルレ
ンズ、７は記録光源１から出射された記録ビームＡ１を
ＯＮ−ＯＦＦするシャッター、８はフォーカスビームＢ
１を出射するフォーカス用光源、９はビームスプリッタ
ー、１０はビームスプリッター、１１対物レンズ、１２
は四分割ディテクター、１３は記録光Ａ２によるフォー
カス制御回路Ａ、１４はフォーカス用二分割ディテクタ
ー、１５はフォーカスビームＢ２によるフォーカス制御
回路Ｂ、１６はフォーカス制御回路Ａ１３とフォーカス
制御回路Ｂ１５を切り替える切り替え回路、１７はフォ
ーカス駆動回路、１８はフォーカスアクチュエーター
で、以上は図１、２と同様な構成である。図２の構成と
異なるのは、四分割ディテクター１２の出力を加算する
加算器２４と、加算器２４の出力が一定値以上あるか判
別するコンパレーター２５の出力により切り替え回路１
６を切り替える構成になっていることである。
【００１７】上記のように構成されたフォーカス制御装
置についてその動作を説明する。まず、シャッター７が
オープンの時、記録ビームＡ１のガラス原盤からの反射
光Ａ２が四分割ディテクター１２で検出され、加算器２
４で反射光Ａ２の総和が得られる。コンパレーター２５
でＡ２の大小判別を行い、切り替え回路１６により、Ａ
２が一定光量以上ある時は記録ビームＡ２によるフォー
カス制御に、Ａ２が一定光量以下の時はフォーカスビー
ムＢ２によるフォーカス制御に自動的に切り替わる。
置についてその動作を説明する。まず、シャッター７が
オープンの時、記録ビームＡ１のガラス原盤からの反射
光Ａ２が四分割ディテクター１２で検出され、加算器２
４で反射光Ａ２の総和が得られる。コンパレーター２５
でＡ２の大小判別を行い、切り替え回路１６により、Ａ
２が一定光量以上ある時は記録ビームＡ２によるフォー
カス制御に、Ａ２が一定光量以下の時はフォーカスビー
ムＢ２によるフォーカス制御に自動的に切り替わる。
【００１８】以上のように、記録ビームＡ２の光量の大
小を判別するコンパレーターを設けることにより、外部
指令がなくても記録の開始と終了時に自動的にフォーカ
ス制御系を切り替えることができる。
小を判別するコンパレーターを設けることにより、外部
指令がなくても記録の開始と終了時に自動的にフォーカ
ス制御系を切り替えることができる。
【００１９】なお、第一の実施例に於て二分割ディテク
ター１４をステッピングパルスモーター１９で可動とし
たが他のモーターアクチュエーターでもよい。
ター１４をステッピングパルスモーター１９で可動とし
たが他のモーターアクチュエーターでもよい。
【００２０】第一、第二、第三の実施例において、２を
記録光Ａ１を出射する記録用レーザー、８をフォーカス
ビームＢ１を出射するフォーカス用光源としたが、フォ
ーカス用光源から出射するフォーカスビームＢ１を二次
高調波発生素子に入射することによりフォーカスビーム
の半波長のビームを作り出し、これを記録光２としても
よい。
記録光Ａ１を出射する記録用レーザー、８をフォーカス
ビームＢ１を出射するフォーカス用光源としたが、フォ
ーカス用光源から出射するフォーカスビームＢ１を二次
高調波発生素子に入射することによりフォーカスビーム
の半波長のビームを作り出し、これを記録光２としても
よい。
【００２１】またサンプルホールド回路２３はＤ／Ａコ
ンバータとメモリー、Ａ／Ｄコンバータを使ったもので
も、長時間アナログ信号を保持するアナログ的なホール
ド回路でも実現可能である。
ンバータとメモリー、Ａ／Ｄコンバータを使ったもので
も、長時間アナログ信号を保持するアナログ的なホール
ド回路でも実現可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明は、第一の光束の焦
点位置を一定に保つ制御手段と、第二の検出手段の位置
を移動させる移動手段と、前記第一の制御手段の動作時
に前記第二の検出手段の出力と前記移動手段により前記
第二の検出手段の位置を第二の光束の検出方向に移動さ
せる移動制御手段か第一の制御手段で制御している状態
の第二の検出手段のオフセット量をホールドし、打ち消
す極性で加算する手段とを設けることにより、フォーカ
スビームを検出する二分割ディテクターの記録ビームに
対する位置のずれ量を自動的に補正することが出来る優
れたフォーカス制御装置を実現できるものである。
点位置を一定に保つ制御手段と、第二の検出手段の位置
を移動させる移動手段と、前記第一の制御手段の動作時
に前記第二の検出手段の出力と前記移動手段により前記
第二の検出手段の位置を第二の光束の検出方向に移動さ
せる移動制御手段か第一の制御手段で制御している状態
の第二の検出手段のオフセット量をホールドし、打ち消
す極性で加算する手段とを設けることにより、フォーカ
スビームを検出する二分割ディテクターの記録ビームに
対する位置のずれ量を自動的に補正することが出来る優
れたフォーカス制御装置を実現できるものである。
【図１】本発明の第一の実施例におけるフォーカス制御
装置のブロック図
装置のブロック図
【図２】本発明の第二の実施例におけるフォーカス制御
装置のブロック図
装置のブロック図
【図３】本発明の第三の実施例におけるフォーカス制御
装置のブロック図
装置のブロック図
【図４】従来のフォーカス制御装置のブロック図
１ ガラス原盤 ２ 記録用レーザー ３ 偏光ビームスプリッター ４ 四分の一波長板 ５ レンズ ６ シリンドリカルレンズ ７ シャッター ８ フォーカス用光源 ９ ビームスプリッター １０ ビームスプリッター １１ 対物レンズ １２ 四分割ディテクター １３ フォーカス制御回路Ａ １４ 二分割ディテクター １５ フォーカス制御回路Ａ １６ 切り替え回路 １７ フォーカス駆動回路 １８ フォーカスアクチュエーター １９ ステッピングパルスモーター ２０ パルスモーター駆動回路 ２１ ＯＮ−ＯＦＦ回路 ２２ サンプルホールド回路 ２３ アナログスィッチ ２４ 加算器 ２５ コンパレーター ２６ 手動入力のパルスモーター駆動回路 ２７ 記録ビームのモニター
Claims (5)
- 【請求項１】同一の対物レンズを通過する第一の光束と
第二の光束を記録媒体に照射し、記録媒体からの第一の
光束の反射を検出する第一の検出手段と、第二の光束の
反射を検出する第二の検出手段と、記録媒体上に結ぶ第
一及び第二の光束の焦点位置を移動させる焦点位置駆動
手段と、前記第一の検出手段の出力と、前記焦点位置駆
動手段により、第一の光束の焦点位置を一定に保つため
の第一の制御手段と、前記第二の検出手段の出力と前記
焦点位置駆動手段の出力により第二の光束の焦点位置を
一定に保つための第二の制御手段と、前記第一及び第二
の制御手段の切り換え手段と、前記第二の検出手段を移
動させる移動手段と、前記切り換え手段により前記第一
の制御手段が選択されている時に、前記第二の検出手段
の出力と前記移動手段により前記第二の検出手段の位置
を、前記第二の光束の反射の検出方向に移動させる移動
制御手段とを有することを特徴とするフォーカス制御装
置。 - 【請求項２】移動手段と前記移動制御手段の間に第二の
切り換え手段を有し、前記第二の制御手段の動作時に前
記第二の切り換え手段により、前記移動手段と前記移動
制御手段とを切り放し、第二の検出手段の位置を固定に
したことを特徴とする請求項１記載のフォーカス制御装
置。 - 【請求項３】移動手段及び移動制御手段が、前記第一の
制御手段での動作時に前記第二の検出手段の誤差信号を
サンプルホールドし、前記第二の制御手段での動作時に
ホールドする保持回路と、前記保持回路のホールド時に
前記保持回路の出力を前記第二の制御手段に加算する加
算手段とで構成された請求項１記載のフォーカス制御装
置。 - 【請求項４】第一の光束の反射光量を検出する第三の検
出手段と、前記第三の検出手段の出力が一定値以上であ
れば、前記第一の制御手段に切り換える制御信号を前記
切り換え手段に出力する判別回路とを有する請求項１又
は３記載のフォーカス制御装置。 - 【請求項５】第一の光束と第二の光束の波長が異なる請
求項１、３又は４記載のフォーカス制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3216929A JP2743647B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | フォーカス制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3216929A JP2743647B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | フォーカス制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554407A true JPH0554407A (ja) | 1993-03-05 |
| JP2743647B2 JP2743647B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=16696145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3216929A Expired - Fee Related JP2743647B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | フォーカス制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2743647B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004027771A1 (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-01 | Tdk Corporation | 電子線照射装置、電子線照射方法、ディスク状体の製造装置及びディスク状体の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02149929A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-08 | Nec Home Electron Ltd | 光ヘッドの光検出器位置調整方法 |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP3216929A patent/JP2743647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02149929A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-08 | Nec Home Electron Ltd | 光ヘッドの光検出器位置調整方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004027771A1 (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-01 | Tdk Corporation | 電子線照射装置、電子線照射方法、ディスク状体の製造装置及びディスク状体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2743647B2 (ja) | 1998-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2565485B2 (ja) | 光学的記録再生装置 | |
| JP4076249B2 (ja) | 自動焦点顕微鏡 | |
| JP3906958B2 (ja) | 光ディスク装置及び光ディスク装置のフォーカス制御方法 | |
| US5086420A (en) | Focus control apparatus for use with an optical disk for determining whether a focused state has been obtained | |
| US20120069723A1 (en) | Optical recording medium drive device and recording method | |
| JP2743647B2 (ja) | フォーカス制御装置 | |
| US4989194A (en) | Optical information processing method of driving auto-focusing and/or auto-tracking means in accordance with a stored servo signal when irradiation of a record medium with light beam is stopped, and apparatus therefor | |
| KR980004710A (ko) | 광 디스크 장치와 그 트래킹 제어 방법 | |
| JPS61182640A (ja) | 光学式ピツクアツプ | |
| JPH0765382A (ja) | 光ディスク制御装置 | |
| JPH06215438A (ja) | レーザ記録装置 | |
| JPH01290127A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JP2858772B2 (ja) | 光学的再生装置 | |
| JP2005148243A (ja) | 露光装置 | |
| JPH07302427A (ja) | フォーカスサーボ装置 | |
| JPH0528525A (ja) | 光デイスク装置のトラツク位置ずれ信号生成装置およびトラツキング制御装置 | |
| JP3041121B2 (ja) | フォーカスサーボ装置 | |
| JP3504879B2 (ja) | 光学式記録再生装置 | |
| JPH0773490A (ja) | 焦点制御装置及び焦点制御装置の安定化方法 | |
| JPH0253226A (ja) | 光学的再生装置 | |
| JPH02294938A (ja) | 光学式情報記録再生装置 | |
| JPH01235034A (ja) | 自動焦点制御方式 | |
| JPH10162374A (ja) | 光ディスク装置およびフォーカスサーボ引き込み方法 | |
| JP2002183988A (ja) | 光ディスク再生装置及びその自動調整方法 | |
| JPH02216623A (ja) | 光学情報再生装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |