JPH0555166B2 - - Google Patents

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JPH0555166B2
JPH0555166B2 JP1209043A JP20904389A JPH0555166B2 JP H0555166 B2 JPH0555166 B2 JP H0555166B2 JP 1209043 A JP1209043 A JP 1209043A JP 20904389 A JP20904389 A JP 20904389A JP H0555166 B2 JPH0555166 B2 JP H0555166B2
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JP
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filter
swinging
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filter cloth
cylinder
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Atsushi Takashima
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Kurita Machinery Manufacturing Co Ltd
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Kurita Machinery Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明はフイルタプレスにおける濾滓除去装
置に関し、さらに詳細には、前後相隣る一対の濾
布に対して、上下方向および前後方向に振動力を
与える構造を備えたフイルタプレスにおける濾滓
除去装置に関するものである。
(従来の技術) フイルタプレスにおいては、濾過工程終了後に
濾板を1枚ずつ順次可動板側に開離させて、該濾
板に張られている濾布を洗浄するのであるが、こ
の洗浄に先立つて、濾布に付着した濾滓(ケー
キ)を除去する必要があり、この除去作業は、圧
搾濾板を一枚ずつ順次開離する際に、濾滓除去装
置により濾布に振動を与えることにより行われ
る。
従来のこの種の濾滓除去装置としては、濾布に
対して上下方向の振動を与える構造のもの(特公
昭47−20055号公報など)、濾布に対して前後方向
の振動を与える構造のもの(特公昭54−19622号
公報など)あるいは濾布に対して上下方向および
前後方向の振動を与える構造のもの(特公昭54−
24747号公報など)などがあり、濾滓除去効果と
しては、上下方向および前後方向に振動を与える
ものが最も大きい。
そして、この上下・前後方向に振動を与える構
造は、濾布吊り棒の上方に配置された移動レール
に、左右一対の移動枠体が移動可能に設けられ、
該移動枠体に、前後一対の回転円板が同期して同
方向に回転可能に取り付けられ、前後両回転円板
に偏心軸が取り付けられ、これらの前後両偏心軸
に、連接棒が水平状態で回転可能に枢支され、該
連接棒に濾布吊り棒と摩擦接触する棒状のハンマ
が水平状にかつ上下動可能に設けられてなる。
しかして、上記左右一対のハンマを濾布吊り棒
の左右両端部の上方近傍に位置させた状態で、上
記前後両回転円板が同一方向に同期回転すると、
上記左右一対のハンマは、濾布吊り棒に摩擦接触
しながら、水平状態を保持しつつ円運動し、これ
により、上記濾布吊り棒の吊持された濾布が、上
下方向および前後方向に振動されるようになされ
ている。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、このような構造では、以下に述
べるような問題があり、その改良が要望されてい
た。
(1) 濾滓除去装置の構成が複雑であるとともに、
各構成部品や装置が比較的大型で重量も大き
く、これがため、濾滓除去装置ひいてはフイル
タプレス自体の大型化を招いている。
(2) また、この大型化、複雑化にともなつてコス
ト高である。
(3) 濾布吊り棒とこれに振動を与えるハンマとの
間の駆動力伝達が、摩擦に行われる構造である
ため、両者間にすべりなどが生じるおそれがあ
り、しかも、上記ハンマが濾布吊り棒に対して
間欠的に接触するなど、伝達効率があまり良く
なく、確実な濾布吊り棒の振動が得られにく
い。
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたも
のであつて、前後相隣る一対の濾布に対して上下
方向および前後方向に振動力を与えて、確実な濾
滓除去ができる、小型軽量でかつ安価なフイルタ
プレスにおける濾滓除去装置を提供することを目
的とする。
(課題を解決するための手段) 本発明は、 濾板の上方に架設された移動レールに、台車
が、駆動手段により前後方向へ移動可能に設けら
れ、 台車の左右両側に、支持本体が、昇降シリンダ
により昇降可能にそれぞれ設けられ、 支持本体の下端部に、揺動部材が揺動可能に枢
着され、 揺動部材が、支持本体に揺動可能に枢着される
揺動本体と、揺動本体の下側に取り付けられた係
合板体とから形成され、 揺動本体の前後方向中央部が、支持本体に枢支
されるとともに、揺動本体の上端面の前後両側が
打撃力を受ける受圧面とされ、 係合板体は、揺動部材に前後方向へ移動調節可
能に設けられた2枚の分割板体からなり、 各分割板体の下端部に、係合凹部が、相隣る濾
布吊り棒の端部に上方から係合するように下向き
開口状に設けられ、 揺動部材の前後の受圧面にそれぞれ打撃力を与
えて揺動力を与える2つの揺動シリンダが、支持
本体における揺動部材の周囲位置であつて前後両
側の受圧面にそれぞれ対応する位置に、設けられ
てなる ことを特徴とするフイルタプレスにおける濾滓除
去装置である。
ここに、前後方向とは濾板の配列方向をいい、
左右方向とは濾板の配列方向に垂直な方向をい
う。
また、前記昇降シリンダと揺動シリンダとして
は、エアシリンダが好適である。
(作用) 開離された濾板間において、台車の左右両側に
設けられた左右一対の支持本体が、昇降シリンダ
により下降されて、各揺動部材の係合凹部が、濾
布吊り棒の端部に上方から抱え込むように係合
し、この状態で、揺動シリンダが駆動されると、
該揺動シリンダのシリンダロツドによる打撃力に
よつて、上記揺動部材が揺動し、揺動部材の係合
凹部が係合した濾布吊り棒も揺動されることとな
る。この結果、濾布が上下方向および前後方向に
効果的に振動されて、濾布に付着した濾滓が剥落
される。
この場合、濾布吊り棒は揺動部材の係合凹部に
上から抱え込まれるように常時係合されているた
め、揺動部材から濾布吊り棒への駆動力伝達が確
実である。
また、各構成部品間の動力伝達方法が直接的で
単純であり、動作が確実である。
さらに、各構成部品の小型軽量化が可能である
ため、装置自体の可及的な小型軽量化とコストの
低減化を図れる。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基いて説明す
る。
本発明に係るフイルプレスの濾滓除去装置を第
1図ないし第3図に示し、該濾滓除去装置1は、
濾板2…の上方の架設された移動レール3に設け
られた台車4と、該台車4の左右両側に設けられ
た一対の振動装置5,5とから構成されている。
上記濾板2…は、フイルタプレスの前後の機枠
(図示省略)間において、側板6,6上を前後A、
B方向へ移動可能に多数枚配列され、その移動は
濾板移送装置(図示省略)によつて1枚ずつ順次
行われる。7は各濾板2の前後面に張設される濾
布であつて、その上端縁部が濾布吊り棒8に取り
付けられ、該濾布吊り棒8は、左右の吊持アーム
9,9に濾布吊りばね10,10を介して吊持さ
れている。また、上記吊持アーム9は、各濾板2
の左右側面の上部から上方へ突出して設けられて
いる。11は濾過処理すう原液(スラリー)を各
濾板2…間に形成される濾室内に供給するための
原液供給孔、12は上記濾室内の処理済みの濾液
を抜くための濾液孔である。
移動レール3は、具体的には左右一対のH型鋼
からなり、濾板2…の上方において、該濾板2…
の配列方向つまり前後A,B方向へ延びて設けら
れている。
台車4は、その頂部の前後部位に左右一対の移
動車輪13,13を備え、該移動車輪13,13
…が上記移動レール3上に転動走行可能に載架さ
れている。また、前側の移動車輪13,13の回
転軸13aにはスプロケツトホイール14が固設
され、これが駆動チエーン15により駆動モータ
16に連結されている。そして、該駆動モータ1
6の駆動により、上記台車4は、濾過工程終了後
に、濾滓(ケーキ)排出のために1枚ずつ行われ
る濾板2の開離動作に対応して、前後A、B方向
へ移動される。35は案内ローラである。
振動装置5は、下方の濾布7に上下、前後方向
に振動を与えるためのもので、上記台車4の左右
両側に一対設けられており、各振動装置5は、支
持本体17と、揺動部材18と、揺動シリンダ1
9とを主要部として備えている。
上記支持本体17は、具体的には縦長の板材か
らなり、その前後両側縁部17a,17aが上記
台車4の側面に回転可能に並設された6つの案内
ローラ20…に案内されて、上下方向へ昇降可能
とされている。また、該支持板17の内側におい
て、昇降シリンダ21が上記台車4の側面に上向
きに固設されている。該昇降シリダン21は具体
的にはエアシリンダからなり、そのシリンダロツ
ド21aの先端が、連結ブラケツト22を介し
て、上記支持本体17の上端に連結されており、
上記シリンダロツド21aの突出退入動作に対応
して、上記支持本体17が昇降位置Uと下降位置
Dの間で昇降動作される。
上記揺動部材18は、上記支持本体17の下端
部に揺動可能に枢着されており、揺動本体23と
係合板体24とから構成されている。
上記揺動本体23は、その前後方向中央部が枢
支軸25により上記支持本体17の下端部に揺動
可能に枢着されている。また、上記揺動本体23
の中央部の前後両側の上端面23a,23bは、
揺動シリンダ20の打撃力を受ける受圧面とされ
ている。該受圧面23a,23bは、後述するよ
うに、上記揺動シリンダ20の配設角度に対応し
た形状に形成されている。
上記係合板体24は、上記揺動本体23の下側
に一体的に取り付けられ、その下端部に、前後一
対の係合凹部24a,24aが下向き開口状に設
けられている。該係合凹部24aは、濾布吊り棒
8の端部に上側から抱え込むように係合するもの
で、その係合動作が円滑に行なえるように、下端
開口部分が下方へ末広りの形状とされている。ま
た、前後一対の係合凹部24a,24aの配設位
置は、第1図に示すように、濾板2,2の開離状
態において、前後相隣る濾布吊り棒8,8の前後
方向間隔寸法に対応して設定されている。
上記揺動シリンダ19は、上記揺動部材18に
揺動力を与えるもので、該揺動部材18の上方に
おいて、上記支持本体17に下向きに設けられて
いる。該揺動シリンダ19は、具体的にはエアシ
リンダからなり、揺動部材18の受圧面23a,
23bにそれぞれ対応して二つ設けられている。
揺動シリンダ19のシリンダロツド19aの先端
には打撃ブロツク26が固設され、これが上記シ
リンダロツド19aの突出動作により揺動部材1
8の受圧面23aまたは23bを打撃するように
されている。なお、該受圧面23a,23bは、
この打撃力を効率よく受けるべく、上記打撃ブロ
ツク26に直面するように、つまり揺動シリンダ
19の軸線に対して垂直面となるように形成され
ている。すなわち、前側の受圧面23aは、水平
面とされる一方、後ろ側の受圧面23bは、揺動
シリンダ19の傾斜角度に対応した傾斜面とされ
ている。
しかして、以上のように構成された濾滓除去装
置1は、フイルタプレスによる濾過工程が終了し
て、濾板2…の挾圧固定状態が解除され、濾板移
送装置によつて濾板2が1枚ずつ開離される毎
に、以下の順序で作動される。
台車4の駆動モータ16が起動して、台車2
が移動レール3上を移動し、濾滓除去装置1
は、開離された濾板2,2間の中央部上方に位
置される。このとき、支持本体17は上昇位置
Uにあり、各揺動部材18の係合凹部24a,
24aが、前後相隣る濾布吊り棒8,8の端部
の上方に位置している。
次に、台車4の左右両側に設けられた一対の
昇降シリンダ21,21が起動して、左右一対
の支持本体17,17が、下降位置Dまで下降
される。このとき、各揺動部材18の係合凹部
24a,24aは、前後相隣る濾布吊り棒8,
8の端部に上方から抱え込むように同時に係合
する。
この状態で、揺動シリンダ19,19が起動
して、その打撃ブロツク26,26による交互
の打撃力によつて、上記揺動部材18が枢支軸
25を中心として揺動される。
すると、上記揺動部材18の係合凹部24
a,24aが係合した濾布吊り棒8,8も揺動
されて、濾布7,7が上下方向および前後方向
に振動されることとなる。これにより、濾布吊
りばね10,10による弾発力とも相まつて、
濾布7,7には複雑かつ効果的な振動が加えら
れ、この結果、濾布7に付着している濾滓は、
迅速かつ確実に振り落とされる(剥落される)。
この場合、濾布吊り棒8,8は、揺動部材1
8の係合凹部24a,24aに上から抱え込ま
れるように常時係合されているため、揺動部材
18から濾布吊り棒8,8への駆動力伝達は確
実である。
上記濾布7,7からの濾滓の除去作業が完了
すると、上記揺動シリンダ19,19が停止
し、この後、昇降シリンダ21,21が再び起
動して、上記左右一対の支持本体17,17は
上昇位置Uまで上昇復帰される。このとき、各
揺動部材18の係合凹部24a,24aと、前
後相隣る濾布吊り棒8,8との係合状態も同時
に解除される。
以上のようにして、一つの濾滓除去動作が終了
すると、以後、上記からの動作が順次繰り返
されて、フイルタプレスのすべての濾布7,7か
ら、濾滓が除去される。
なお、上記における動作において、揺動シリ
ンダ19,19の突出退入動作は前後交互に行わ
れるのであるが、さらに、この動作順序および動
作速度を、左右両側の振動装置5,5において適
宜組合せれば、フイルタプレスの各濾布7,7に
最適な種々の振動形態が得られる。例えば、左右
の振動装置5,5の動作を完全に同期させるほ
か、左右の振動装置5,5の動作を逆にして、左
側の振動装置5の前側揺動シリンダ9と右側の振
動装置5の後側揺動シリンダ9との突出退入動作
を同期させたり、あるいは、左右で揺動シリンダ
9,9の突出退入動作の速度を変えたりすること
が可能である。
また、第4図は、上記揺動部材18の改変例を
示しており、揺動部材18の係合凹部24a,2
4aの前後方向間隔が調整できる構造とされて、
各種のフイルタプレスに適用することができるよ
うにされている。すなわち、フイルタプレスの種
類・寸法等により、前後相隣る濾布吊り棒8,8
間の前後間隔は種々異なるのであるが、上記係合
凹部24a,24aの前後方向間隔を調整可能と
すれば、各種のフイルタプレスに濾滓除去装置1
をそのまま適用することができる。
上記揺動部材18の係合板体24は、2枚の分
割板体27,28からなり、これらはそれぞれ、
その下部に係合凹部24a,24aを備えてい
る。また、両分割板体27,28は、相互に係合
する係合段部29,30を有するとともに、前後
方向に細長い長孔31,31および32,32が
設けられている。一方の長孔31,31は、分割
板体27,28の上部に設けられるとともに、他
方の長孔32,32は、上記係合断部29,30
の中央部と下部にそれぞれ設けられている。
そして、上記各長孔31,31に挿通された締
付ボルト33…を介して、各分割板体27,28
が揺動本体23に前後方向へ移動可能に取り付け
られ、一方、両分割板体27,28の32,32
…に締付ボルト34…が挿通されて、両分割板体
27,28が相互に前後方向へ移動可能に係合さ
れている。しかして、分割板板27,28の前後
方向位置を変更することにより、上記両係合凹部
24a,24aの前後A、B方向間隔が適宜調整
される。
その他の構造および作用は、第1図および第2
図に示す揺動部材18と同様である。
なお、図示例は、同一構造の濾板2…が複数配
列された単式のフイルタプレスに適用された場合
であるが、本発明は、濾板と濾枠とが交互に複数
配列されてなる複式のフイルタプレスにも適用可
能である。
また、図示例においては、前後相隣る濾布7,
7がそれぞれ別個の濾布吊り棒8,8に取り付け
られる構造であるため、これら2本の濾布吊り棒
8,8に対応して、上記揺動部材18にも、前後
一対の係合凹部24a,24aが設けられている
が、上記両濾布7,7が一本の共通した濾布吊り
棒8に取り付けられる構造の場合は、揺動部材1
8に設けられる係合凹部4aは一つでよい。
(発明の効果) 以上詳述したように、本発明によれば、以下に
列挙するような種々のすぐれた効果が得られる。
濾板の上方に架設された移動レールに、台車
が、駆動手段により前後方向へ移動可能に設け
られ、台車の左右両側に、支持本体が、昇降シ
リンダにより昇降可能にそれぞれ設けられ、支
持本体の下端部に、揺動部材が揺動可能に枢着
され、揺動部材に、濾布吊り棒に係合する係合
凹部が設けられると共に、揺動部材に揺動力を
与える揺動シリンダを備えてなるので、揺動シ
リンダのシリンダロツドによる打撃力によつ
て、揺動部材が揺動され、さらに濾布吊り棒が
揺動され、濾布吊り棒に取り付けられた濾布に
対して、上下方向および前後方向の振動が与え
られ、濾布に付着した濾滓が剥落される。
揺動部材を形成する係合板体に、相隣る濾布
吊り棒の端部に上方から係合するように下向き
開口状に設けられた係合凹部が形成されてなる
ので、係合凹部が濾布吊り棒の端部を上方から
抱え込むように係合し、揺動部材の揺動動作が
濾布吊り棒に確実に伝えられ、駆動力の伝達効
率が非常によい。
各構成部品間の動力伝達方法が直接的で単純
であり、動作が確実であるとともに、揺動部材
が常時濾布吊り棒に係合した状態で、揺動シリ
ンダによる振動力が与えられるので、上記高い
伝達効率とも相まつて、きわめて効率のよい濾
布の振動動作が得られる。
濾滓除去装置の構成が簡単であるとともに、
各構成部品や装置を比較的小型軽量とすること
ができるため、濾滓除去装置ひいてはフイルタ
プレス全体の小型化を図ることができる。
支持本体の下端部に、揺動部材が揺動可能に
枢着され、この揺動部材が、支持本体に揺動可
能に枢着される揺動本体と、揺動本体の下側に
取り付けられた係合板体とから形成されてい
て、揺動本体の前後方向中央部が、支持本体に
枢支されるとともに、揺動本体の上端面の前後
両側が打撃力を受ける受圧面とされ、この係合
板体の下端部に、相隣る濾布吊り棒の端部に上
方から係合するように下向き開口状に係合凹部
が設けられてなり、揺動部材の前後の受圧面に
それぞれ打撃力を与えて揺動力を与える2つの
揺動シリンダが、支持本体における揺動部材の
周囲位置であつて前後両側の受圧面にそれぞれ
対応する位置に、設けられてなるので、揺動シ
リンダの打撃力が受圧面に与えられ、この打撃
力が回動力に変換され、この回動力によつて、
吊り棒が前後に揺動されるので、吊り棒には打
撃力は直接加わらず、吊り棒及び濾布の損傷が
少ない。
しかも、打撃力の方向にかかわらず吊り棒に
は、揺動本体の前後方向中央部を中心とした揺
動運動が生じるので、吊り棒及び濾布に安定し
た振動を与え、濾滓を確実に除去することがで
きる。
さらに、係合板体は、揺動部材に前後方向へ
移動調節可能に設けられた2枚の分割板体から
なり、各分割板体の下端部に、係合凹部が、相
隣る濾布吊り棒の端部に上方から係合するよう
に下向き開口状に設けられているので、分割板
体を前後方向に移動調節することにより、濾布
吊り棒の前後方向間隔に最適の間隔に設定する
ことができ、濾布に対する安定かつ最適の振動
を選択することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る一実施例である濾滓除去
装置を示す正面図、第2図は同濾滓除去装置の側
面図、第3図は同濾滓除去装置の平面図、第4図
は同濾滓除去装置の揺動部材の変形例を示す斜視
図である。 1……濾滓除去装置、2……濾板、3……移動
レール、4……台車、5……振動装置、7……濾
布、8……濾布吊り棒、17……支持本体、17
a……支持本体の側縁部、18……揺動部材、1
9……揺動シリンダ、19a……シリンダロツ
ド、20…案内ローラ、21……昇降シリンダ、
21a……シリンダロツド、23……揺動本体、
23a,23b……上端面(受圧面)、24……
係合板体、24a……係合凹部、25……枢支
軸、27,28……分割板体。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 濾板の上方に架設された移動レールに、台車
    が、駆動手段により前後方向へ移動可能に設けら
    れ、 台車の左右両側に、支持本体が、昇降シリンダ
    により昇降可能にそれぞれ設けられ、 支持本体の下端部に、揺動部材が揺動可能に枢
    着され、 揺動部材が、支持本体に揺動可能に枢着される
    揺動本体と、揺動本体の下側に取り付けられた係
    合板体とから形成され、 揺動本体の前後方向中央部が、支持本体に枢支
    されるとともに、揺動本体の上端面の前後両側が
    打撃力を受ける受圧面とされ、 係合板体は、揺動部材に前後方向へ移動調節可
    能に設けられた2枚の分割板体からなり、 各分割板体の下端部に、係合凹部が、相隣る濾
    布吊り棒の端部に上方から係合するように下向き
    開口状に設けられ、 揺動部材の前後の受圧面にそれぞれ打撃力を与
    えて揺動力を与える2つの揺動シリンダが、支持
    本体における揺動部材の周囲位置であつて前後両
    側の受圧面にそれぞれ対応する位置に、設けられ
    てなる ことを特徴とするフイルタプレスにおける濾滓除
    去装置。 2 支持本体が板材からなるとともに、支持本体
    の前後両側部を上下方向に案内する案内ローラ
    が、台車の側部に上下方向に複数並設され、 昇降シリンダが、台車の側部に上向きに固定さ
    れるとともに、昇降シリンダのシリンダロツド
    が、支持本体の上端部に連結されている請求項第
    1項記載のフイルタプレスにおける濾滓除去装
    置。 3 昇降シリンダと揺動シリンダがエアシリンダ
    からなる請求項第1項記載のフイルタプレスにお
    ける濾滓除去装置。
JP1209043A 1989-08-11 1989-08-11 フィルタプレスにおける濾滓除去装置 Granted JPH0372904A (ja)

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JPH0372904A JPH0372904A (ja) 1991-03-28
JPH0555166B2 true JPH0555166B2 (ja) 1993-08-16

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6987283B2 (en) 1993-03-12 2006-01-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device structure

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218012A (ja) * 2006-02-20 2007-08-30 Prime Sangyo Kk 路面用カッター

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62106813A (ja) * 1985-07-09 1987-05-18 Sumitomo Chem Co Ltd フイルタ−プレスにおける濾布振動装置
JPS6262811U (ja) * 1985-10-03 1987-04-18

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6987283B2 (en) 1993-03-12 2006-01-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device structure
US7391051B2 (en) 1993-03-12 2008-06-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device forming method

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JPH0372904A (ja) 1991-03-28

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