JPH0555350A - オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置 - Google Patents
オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置Info
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- JPH0555350A JPH0555350A JP24468291A JP24468291A JPH0555350A JP H0555350 A JPH0555350 A JP H0555350A JP 24468291 A JP24468291 A JP 24468291A JP 24468291 A JP24468291 A JP 24468291A JP H0555350 A JPH0555350 A JP H0555350A
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 塵埃を嫌う物品、例えばウエハ等を搬送する
際において、走行車がクリーン度の低い塵埃の多い部分
を通過する際も、搬送物品を塵埃から保護することが出
来るようにする。 【構成】 上方に設けられたガイドレール３と、このガ
イドレール３に沿って走行する走行車４と、この走行車
４に昇降自在に設けられた昇降枠５と、この昇降枠５の
下方の物品吊持空間１１において物品を保持・吊持する
物品吊持かご１２とを有しているオーバーヘッド型物品
搬送装置において、前記昇降枠５に、物品吊持空間１１
を囲うようにして設けられた下面開放の囲い壁体２０
と、前記昇降枠５の上部に設けられた、物品吊持空間１
１に上からクリーンエアーを噴出するエアー噴出装置２
５とを有している。
際において、走行車がクリーン度の低い塵埃の多い部分
を通過する際も、搬送物品を塵埃から保護することが出
来るようにする。 【構成】 上方に設けられたガイドレール３と、このガ
イドレール３に沿って走行する走行車４と、この走行車
４に昇降自在に設けられた昇降枠５と、この昇降枠５の
下方の物品吊持空間１１において物品を保持・吊持する
物品吊持かご１２とを有しているオーバーヘッド型物品
搬送装置において、前記昇降枠５に、物品吊持空間１１
を囲うようにして設けられた下面開放の囲い壁体２０
と、前記昇降枠５の上部に設けられた、物品吊持空間１
１に上からクリーンエアーを噴出するエアー噴出装置２
５とを有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はオーバーヘッド型物品
搬送装置における物品をクリーンに保持する装置に関す
る。
搬送装置における物品をクリーンに保持する装置に関す
る。
【０００２】
【従来のオーバーヘッド型物品搬送装置】従来のオーバ
ーヘッド型物品搬送装置として以下の如きものは知られ
ている。即ち、上方に設けられたガイドレールと、この
ガイドレールに沿って走行する走行車と、この走行車に
昇降自在に設けられた昇降枠と、この昇降枠の下方の物
品吊持空間において物品を保持・吊持する物品保持装置
とを有しているものは知られている。
ーヘッド型物品搬送装置として以下の如きものは知られ
ている。即ち、上方に設けられたガイドレールと、この
ガイドレールに沿って走行する走行車と、この走行車に
昇降自在に設けられた昇降枠と、この昇降枠の下方の物
品吊持空間において物品を保持・吊持する物品保持装置
とを有しているものは知られている。
【０００３】
【発明の目的】この発明は、前記装置において、塵埃を
嫌う物品、例えばウエハ等を搬送する際において、走行
車がクリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければ
ならないことがあるが、そのような場合に、搬送物品を
塵埃から保護することが出来るようにすることを目的と
するものである。
嫌う物品、例えばウエハ等を搬送する際において、走行
車がクリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなければ
ならないことがあるが、そのような場合に、搬送物品を
塵埃から保護することが出来るようにすることを目的と
するものである。
【０００４】
【前記目的を達成するための手段】この発明は前記目的
を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、昇降枠に、物品吊持空間を囲うようにして設けられ
た下面開放の囲い壁体と、前記昇降枠の上部に設けられ
た、物品吊持空間に上からクリーンエアーを噴出するエ
アー噴出装置とを有するものである。
を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、昇降枠に、物品吊持空間を囲うようにして設けられ
た下面開放の囲い壁体と、前記昇降枠の上部に設けられ
た、物品吊持空間に上からクリーンエアーを噴出するエ
アー噴出装置とを有するものである。
【０００５】
【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。下面開放の囲い壁体によって囲まれた物品吊持空
間に、上から下に向かうクリーンエアーの流れを作り、
物品吊持空間をクリーンに保持することが出来るので、
走行車がクリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなけ
ればならない場合でも、搬送物品を塵埃から保護するこ
とが出来る。
ある。下面開放の囲い壁体によって囲まれた物品吊持空
間に、上から下に向かうクリーンエアーの流れを作り、
物品吊持空間をクリーンに保持することが出来るので、
走行車がクリーン度の低い塵埃の多い部分を通過しなけ
ればならない場合でも、搬送物品を塵埃から保護するこ
とが出来る。
【０００６】
【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１右
側を、後とは同図左側をいい、左とは図１紙面裏側を、
右とは同表側をいう。天井１に吊持具２を介してガイド
レール３が設けられ、このガイドレール３に沿って走行
車４が走行自在に吊持され、この走行車４に昇降枠５が
昇降機６によって昇降自在に設けられ、この昇降機６
は、吊持ベルト７、その巻き取りドラム８等を有してい
る。
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１右
側を、後とは同図左側をいい、左とは図１紙面裏側を、
右とは同表側をいう。天井１に吊持具２を介してガイド
レール３が設けられ、このガイドレール３に沿って走行
車４が走行自在に吊持され、この走行車４に昇降枠５が
昇降機６によって昇降自在に設けられ、この昇降機６
は、吊持ベルト７、その巻き取りドラム８等を有してい
る。
【０００７】前記昇降枠５に、その下方に物品吊持空間
１１を形成するようにして、物品吊持かご１２が設けら
れている。この物品吊持かご１２は、左右方向に所定間
隔で配された側面から見て略Ｕ字状の複数のかご構成体
１３によって構成されている。
１１を形成するようにして、物品吊持かご１２が設けら
れている。この物品吊持かご１２は、左右方向に所定間
隔で配された側面から見て略Ｕ字状の複数のかご構成体
１３によって構成されている。
【０００８】前記ガイドレール３の真下に位置するよう
にして物品搬入ステーション１６が設けられている。こ
の物品搬入ステーション１６には、搬送方向を左右方向
に向けた駆動ローラーコンベア１７の先端部が位置する
ようになされている。そして、物品搬入ステーション１
６上方に走行車４が停止した際、駆動ローラーコンベア
１７のローラー１８間の上方にかご構成体１３が位置す
るようになされ、また、昇降枠５が下降するとかご構成
体１３の、水平部１３ａを含む下部がローラー１８間に
沈み込み得るようになされている。
にして物品搬入ステーション１６が設けられている。こ
の物品搬入ステーション１６には、搬送方向を左右方向
に向けた駆動ローラーコンベア１７の先端部が位置する
ようになされている。そして、物品搬入ステーション１
６上方に走行車４が停止した際、駆動ローラーコンベア
１７のローラー１８間の上方にかご構成体１３が位置す
るようになされ、また、昇降枠５が下降するとかご構成
体１３の、水平部１３ａを含む下部がローラー１８間に
沈み込み得るようになされている。
【０００９】前記昇降枠５に、下面開放の囲い壁体２０
が、前記物品吊持空間１１を囲うようにして設けられて
いる。なお、囲い壁体２０は透明であっても、そうでな
くても良い。また、昇降枠５の下降に伴ってかご構成体
１３の水平部１３ａがローラー１８間に沈み込み得るよ
うに、囲い壁体２０の下端縁は、かご構成体１３の水平
部１３ａの上縁より上になるようになされている。前記
囲い壁体２０には右方に向かって開口した物品出し入れ
口２１が形成され、この物品出し入れ口２１が昇降自在
な閉塞板２２によって開閉自在となされている。この閉
塞板２２は流体圧シリンダ２３等によって昇降させられ
るようになされている。
が、前記物品吊持空間１１を囲うようにして設けられて
いる。なお、囲い壁体２０は透明であっても、そうでな
くても良い。また、昇降枠５の下降に伴ってかご構成体
１３の水平部１３ａがローラー１８間に沈み込み得るよ
うに、囲い壁体２０の下端縁は、かご構成体１３の水平
部１３ａの上縁より上になるようになされている。前記
囲い壁体２０には右方に向かって開口した物品出し入れ
口２１が形成され、この物品出し入れ口２１が昇降自在
な閉塞板２２によって開閉自在となされている。この閉
塞板２２は流体圧シリンダ２３等によって昇降させられ
るようになされている。
【００１０】前記昇降枠５の上部に、物品吊持空間１１
に上からエアーを噴出するエアー噴出装置２５が設けら
れている。エアー噴出装置２５から噴出されるエアー
は、ＨＥＰＡフィルター等のフィルター２６及びパンチ
ングメタル等の多孔板からなる整流板２７を経て、昇降
枠５に形成された噴出口２８より物品吊持空間１１に向
かって上から下に向けて噴出する。このような構成によ
って、下面開放の囲い壁体２０によって囲まれた物品吊
持空間１１に、上から下に向かうクリーンエアーの流れ
を作り、物品吊持空間１１をクリーンに保持することが
出来る。
に上からエアーを噴出するエアー噴出装置２５が設けら
れている。エアー噴出装置２５から噴出されるエアー
は、ＨＥＰＡフィルター等のフィルター２６及びパンチ
ングメタル等の多孔板からなる整流板２７を経て、昇降
枠５に形成された噴出口２８より物品吊持空間１１に向
かって上から下に向けて噴出する。このような構成によ
って、下面開放の囲い壁体２０によって囲まれた物品吊
持空間１１に、上から下に向かうクリーンエアーの流れ
を作り、物品吊持空間１１をクリーンに保持することが
出来る。
【００１１】
【実施例の作用】次に実施例装置の作用を説明する。物
品吊持かご１２が空である走行車４が、ローラー１８間
の上方にかご構成体１３を位置させるようにして、物品
搬入ステーション１６で停止すると、今まで上昇してい
た昇降枠５が下降して、かご構成体１３の水平部１３ａ
をローラー１８間に沈み込ませて、停止する。然る後、
今まで下降していた閉塞板２２が上昇して物品出し入れ
口２１が開かれる。その後、駆動ローラーコンベア１７
の駆動によって多数のウエハが収納されたキャリア３０
が２個、駆動ローラーコンベア１７の先端部（かご構成
体１３の水平部１３ａの上方）まで、搬送される。その
後、駆動ローラーコンベア１７は停止する。然る後、閉
塞板２２が下降すると、昇降枠５は最上位置まで上昇し
て停止する。その後、走行車４は走行を開始して物品搬
出ステーション（図示略）に至ると停止し、前記と逆の
作動によって、キャリア３０を物品搬出ステーションの
駆動ローラーコンベア上に降ろすことが出来る。そし
て、エアー噴出装置２５は常時作動状態にあって、物品
吊持空間１１内をクリーンに保持している。
品吊持かご１２が空である走行車４が、ローラー１８間
の上方にかご構成体１３を位置させるようにして、物品
搬入ステーション１６で停止すると、今まで上昇してい
た昇降枠５が下降して、かご構成体１３の水平部１３ａ
をローラー１８間に沈み込ませて、停止する。然る後、
今まで下降していた閉塞板２２が上昇して物品出し入れ
口２１が開かれる。その後、駆動ローラーコンベア１７
の駆動によって多数のウエハが収納されたキャリア３０
が２個、駆動ローラーコンベア１７の先端部（かご構成
体１３の水平部１３ａの上方）まで、搬送される。その
後、駆動ローラーコンベア１７は停止する。然る後、閉
塞板２２が下降すると、昇降枠５は最上位置まで上昇し
て停止する。その後、走行車４は走行を開始して物品搬
出ステーション（図示略）に至ると停止し、前記と逆の
作動によって、キャリア３０を物品搬出ステーションの
駆動ローラーコンベア上に降ろすことが出来る。そし
て、エアー噴出装置２５は常時作動状態にあって、物品
吊持空間１１内をクリーンに保持している。
【００１２】なお、物品吊持かご１２に代えて、物品保
持装置として公知の物品保持ハンドを使用するようにし
ても良いことは、云うまでもない。
持装置として公知の物品保持ハンドを使用するようにし
ても良いことは、云うまでもない。
【００１３】
【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。下面開放の囲
い壁体によって囲まれた物品吊持空間に、上から下に向
かうクリーンエアーの流れを作り、物品吊持空間をクリ
ーンに保持することが出来るので、走行車がクリーン度
の低い塵埃の多い部分を通過しなければならない場合で
も、搬送物品を塵埃から保護することが出来る。
て、以下の如き効果を奏するものである。下面開放の囲
い壁体によって囲まれた物品吊持空間に、上から下に向
かうクリーンエアーの流れを作り、物品吊持空間をクリ
ーンに保持することが出来るので、走行車がクリーン度
の低い塵埃の多い部分を通過しなければならない場合で
も、搬送物品を塵埃から保護することが出来る。
【図１】この発明の実施例を示す側面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線拡大断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
３ ガイドレール ４ 走行車 ５ 昇降枠 １１ 物品吊持空間 １２ 物品吊持かご ２０ 囲い壁体 ２５ エアー噴出装置 ３０ キャリア
Claims (2)
- 【請求項１】 上方に設けられたガイドレールと、この
ガイドレールに沿って走行する走行車と、この走行車に
昇降自在に設けられた昇降枠と、この昇降枠の下方の物
品吊持空間において物品を保持・吊持する物品保持装置
とを有しているオーバーヘッド型物品搬送装置におい
て、前記昇降枠に、物品吊持空間を囲うようにして設け
られた下面開放の囲い壁体と、前記昇降枠の上部に設け
られた、物品吊持空間に上からクリーンエアーを噴出す
るエアー噴出装置とを有するオーバーヘッド型物品搬送
装置における物品をクリーンに保持する装置。 - 【請求項２】 前記下面開放の囲い壁体に物品出し入れ
口が形成され、この物品出し入れ口が閉塞板によって開
閉自在となされている請求項１記載のオーバーヘッド型
物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24468291A JPH0555350A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24468291A JPH0555350A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555350A true JPH0555350A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=17122380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24468291A Pending JPH0555350A (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555350A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001013408A1 (en) * | 1999-08-12 | 2001-02-22 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Overhead transport system for open cassette transport |
| WO2001031690A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logistic System | Transportvorrichtung |
| AT412373B (de) * | 2001-06-13 | 2005-01-25 | Thallner Erich | Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann |
| CN102602819A (zh) * | 2012-03-24 | 2012-07-25 | 无锡久一重工机械有限公司 | 方框轻型补料吊篮 |
| CN115010004A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-09-06 | 广东韶钢松山股份有限公司 | 一种天车系统及喷淋方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59186337A (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-23 | Toshiba Corp | 半導体基板用搬送車 |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP24468291A patent/JPH0555350A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59186337A (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-23 | Toshiba Corp | 半導体基板用搬送車 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001013408A1 (en) * | 1999-08-12 | 2001-02-22 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Overhead transport system for open cassette transport |
| EP1079421A1 (en) * | 1999-08-12 | 2001-02-28 | Semiconductor 300 GmbH & Co. KG | Overhead transport system for open cassette transport |
| WO2001031690A1 (de) * | 1999-10-22 | 2001-05-03 | Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logistic System | Transportvorrichtung |
| AT412373B (de) * | 2001-06-13 | 2005-01-25 | Thallner Erich | Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann |
| CN102602819A (zh) * | 2012-03-24 | 2012-07-25 | 无锡久一重工机械有限公司 | 方框轻型补料吊篮 |
| CN115010004A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-09-06 | 广东韶钢松山股份有限公司 | 一种天车系统及喷淋方法 |
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