JPH0555922B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0555922B2 JPH0555922B2 JP63018174A JP1817488A JPH0555922B2 JP H0555922 B2 JPH0555922 B2 JP H0555922B2 JP 63018174 A JP63018174 A JP 63018174A JP 1817488 A JP1817488 A JP 1817488A JP H0555922 B2 JPH0555922 B2 JP H0555922B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- adhesive
- magnetic pole
- magnetic
- gap length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は下部磁極上に導体コイルパターンやギ
ヤツプスペーサ薄膜等を形成し、さらに上部磁極
を接着させる薄膜磁気ヘツドに関するものであ
る。
ヤツプスペーサ薄膜等を形成し、さらに上部磁極
を接着させる薄膜磁気ヘツドに関するものであ
る。
従来の技術
従来、この種の磁気ヘツドにおいては、下部磁
極と上部磁極の接着においては接着剤にてなる接
着層の形成について、特に考慮された構造をもた
ず、ただ上下の磁極である二平面間にそのまま接
着剤をはさみこんだ構造であつた。
極と上部磁極の接着においては接着剤にてなる接
着層の形成について、特に考慮された構造をもた
ず、ただ上下の磁極である二平面間にそのまま接
着剤をはさみこんだ構造であつた。
その一例を公表されている論文、IBM J.RES.
DEVELOP.VOL.30 NO3 MAY 1986”Design
and performance of ａ magnetic for ａ
high−density tape drive”より引用し、第３図
ａ，ｂに示す。第３図ａ，ｂはストラツクの誘導
型薄膜ヘツドの例を示し、ａは記録媒体摺動面方
向から見た断面図であり、ｂは記録媒体摺動面に
垂直な方向より見た断面図である。第３図ａ，ｂ
において１は薄膜コイル、２は下部磁極、３は上
部磁極、４はアルミナ膜、５は今問題にしている
接着剤層、６は上部磁極の隣接トラツク間分離用
ガラスである。
DEVELOP.VOL.30 NO3 MAY 1986”Design
and performance of ａ magnetic for ａ
high−density tape drive”より引用し、第３図
ａ，ｂに示す。第３図ａ，ｂはストラツクの誘導
型薄膜ヘツドの例を示し、ａは記録媒体摺動面方
向から見た断面図であり、ｂは記録媒体摺動面に
垂直な方向より見た断面図である。第３図ａ，ｂ
において１は薄膜コイル、２は下部磁極、３は上
部磁極、４はアルミナ膜、５は今問題にしている
接着剤層、６は上部磁極の隣接トラツク間分離用
ガラスである。
この従来例においては第３図ａ，ｂから明らか
なように、接着剤層５は下部磁極２の上に形成さ
れたコイル１、アルミナ層４から成る平面と、上
部磁極３、ガラス６からなる平面との間に層状に
一様に形成されているにすぎない。
なように、接着剤層５は下部磁極２の上に形成さ
れたコイル１、アルミナ層４から成る平面と、上
部磁極３、ガラス６からなる平面との間に層状に
一様に形成されているにすぎない。
発明が解決しようとする課題
上述した第３図ａ，ｂの従来例においては、磁
気ギヤツプ長は下部磁極２と上部磁極３の間隔す
なわち、薄膜コイル１と接着剤層５の各々の膜厚
寸法の和となつている。このうち、薄膜コイル１
は通常スパツタリングないしは蒸着により形成さ
れるため、その厚さの精度は現状の技術によつて
も容易に±0.01μｍに達することができるが、他
方接着剤層５の厚さについては、単に塗布された
ままで使用されることから容易に想像されるよう
に±0.1μｍの精度ですら再現性良く形成すること
が困難である。このため、従来例においては薄膜
コイル１の厚さと接着剤層５の厚さの和で表され
る磁気ギヤツプ長の精度がいかにしても±0.1μｍ
より小さくすることができない。ところが、現在
のように高密度の短波長記録においては磁気ギヤ
ツプ長が0.3μｍ程度の必要がある。このように磁
気ギヤツプ長が0.3μｍ程度の磁気ヘツドにおいて
は、磁気ギヤツプ長の精度が±0.03μｍ以下であ
ることが要求される。しかるに、従来例として示
した磁気ヘツドにおいては、上述したように磁気
ギヤツプ長の精度が±0.1μｍより小さくはできな
いことから従来例の構造の磁気ヘツドは現在必要
とされる短波長記録には不適であることが分か
る。
気ギヤツプ長は下部磁極２と上部磁極３の間隔す
なわち、薄膜コイル１と接着剤層５の各々の膜厚
寸法の和となつている。このうち、薄膜コイル１
は通常スパツタリングないしは蒸着により形成さ
れるため、その厚さの精度は現状の技術によつて
も容易に±0.01μｍに達することができるが、他
方接着剤層５の厚さについては、単に塗布された
ままで使用されることから容易に想像されるよう
に±0.1μｍの精度ですら再現性良く形成すること
が困難である。このため、従来例においては薄膜
コイル１の厚さと接着剤層５の厚さの和で表され
る磁気ギヤツプ長の精度がいかにしても±0.1μｍ
より小さくすることができない。ところが、現在
のように高密度の短波長記録においては磁気ギヤ
ツプ長が0.3μｍ程度の必要がある。このように磁
気ギヤツプ長が0.3μｍ程度の磁気ヘツドにおいて
は、磁気ギヤツプ長の精度が±0.03μｍ以下であ
ることが要求される。しかるに、従来例として示
した磁気ヘツドにおいては、上述したように磁気
ギヤツプ長の精度が±0.1μｍより小さくはできな
いことから従来例の構造の磁気ヘツドは現在必要
とされる短波長記録には不適であることが分か
る。
課題を解決するための手段
本発明の薄膜磁気ヘツドは、上述した従来の薄
膜磁気ヘツドの磁気ギヤツプ長の精度が悪いとい
う欠点にかんがみ、磁気ギヤツプ長を規定する上
に、精度の悪い接着剤層の厚さが磁気ギヤツプ長
の中に含まれないように、すなわち、磁気ギヤツ
プ長が薄膜コイルの厚さに等しくなるように構成
したものである。勿論、接着剤層を上下磁極の間
から全く無くすことは不可能であるから、本発明
においては、隣接するコイルとコイルの間にスペ
ースがあることを利用し、隣接コイル間スペース
のみに溝を形成することにより接着剤層を形成
し、上下の磁極は接着剤層を介さずに、直接薄膜
コイルと接するように形成されるようにする。
膜磁気ヘツドの磁気ギヤツプ長の精度が悪いとい
う欠点にかんがみ、磁気ギヤツプ長を規定する上
に、精度の悪い接着剤層の厚さが磁気ギヤツプ長
の中に含まれないように、すなわち、磁気ギヤツ
プ長が薄膜コイルの厚さに等しくなるように構成
したものである。勿論、接着剤層を上下磁極の間
から全く無くすことは不可能であるから、本発明
においては、隣接するコイルとコイルの間にスペ
ースがあることを利用し、隣接コイル間スペース
のみに溝を形成することにより接着剤層を形成
し、上下の磁極は接着剤層を介さずに、直接薄膜
コイルと接するように形成されるようにする。
作 用
上述の様な構成をとることにより、上下の磁極
は薄膜コイルをはさんで対峙し、磁気ギヤツプ長
に薄膜コイルの厚さに等しくなる。前述したよう
に、薄膜コイルの厚さはスパツタ法などにより±
0.01μｍの精度で実現されるから、したがつて、
本発明の磁気ヘツドの磁気ギヤツプ長も±0.01μ
ｍの精度で実現でき、従来例では不可能であつた
短波長記録に必要な0.3μｍ程度の磁気ギヤツプ長
をもつ磁気ヘツドが実現できる。
は薄膜コイルをはさんで対峙し、磁気ギヤツプ長
に薄膜コイルの厚さに等しくなる。前述したよう
に、薄膜コイルの厚さはスパツタ法などにより±
0.01μｍの精度で実現されるから、したがつて、
本発明の磁気ヘツドの磁気ギヤツプ長も±0.01μ
ｍの精度で実現でき、従来例では不可能であつた
短波長記録に必要な0.3μｍ程度の磁気ギヤツプ長
をもつ磁気ヘツドが実現できる。
実施例
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。第１図ａは
記録媒体摺動面方向から見た断面図であり、ｂは
記録媒体摺動面に垂直な方向からみた断面図であ
る。第１図ａ，ｂにおいて１は薄膜コイル、２は
下部磁極、３は上部磁極、４はアルミナ膜、５は
接着剤層、６は上部磁極間のトラツク間分離用ガ
ラスである。第１図ａにおいて、接着剤層５が隣
りあう薄膜コイル１の間のスペースにのみ形成さ
れるようにしたことが本発明と第３図ａ，ｂの従
来例差である。このことにより、本発明において
は、接着剤層５の厚さと無関係に、薄膜コイル１
の厚さだけにより磁気ギヤツプ長の大きさが決定
されるようになつている。
記録媒体摺動面方向から見た断面図であり、ｂは
記録媒体摺動面に垂直な方向からみた断面図であ
る。第１図ａ，ｂにおいて１は薄膜コイル、２は
下部磁極、３は上部磁極、４はアルミナ膜、５は
接着剤層、６は上部磁極間のトラツク間分離用ガ
ラスである。第１図ａにおいて、接着剤層５が隣
りあう薄膜コイル１の間のスペースにのみ形成さ
れるようにしたことが本発明と第３図ａ，ｂの従
来例差である。このことにより、本発明において
は、接着剤層５の厚さと無関係に、薄膜コイル１
の厚さだけにより磁気ギヤツプ長の大きさが決定
されるようになつている。
次に第２図は本発明の別の実施例を示す。第２
図ａは記録媒体摺動面方向から見た断面図であ
り、第２図ｂは記録媒体摺動面に垂直な方向から
みた断面図である。第２図ａ，ｂにおいて、番号
１〜６の示すものは、第１図ａ，ｂに同じである
が、この実施例においては接着剤層５が、上部磁
極３、ガラス６と接するだけではなく、下部磁極
２にも食い込んで接しており、このため第１図の
例にくらべてより接着強度が強いという利点があ
る。
図ａは記録媒体摺動面方向から見た断面図であ
り、第２図ｂは記録媒体摺動面に垂直な方向から
みた断面図である。第２図ａ，ｂにおいて、番号
１〜６の示すものは、第１図ａ，ｂに同じである
が、この実施例においては接着剤層５が、上部磁
極３、ガラス６と接するだけではなく、下部磁極
２にも食い込んで接しており、このため第１図の
例にくらべてより接着強度が強いという利点があ
る。
発明の効果
以上説明したように、本発明は上下磁極の接着
剤を隣接するコイルとコイルの間のスペースにの
み形成することにより、従来は磁気ギヤツプ長が
薄膜コイルの厚さと接着剤の厚さの和であり、そ
のため磁気ギヤツプ長の精度が低かつたのに対
し、磁気ギヤツプ長が薄膜コイルの厚さだけで決
まるようにしたため、磁気ギヤツプ長の精度を著
しく高め信頼性向上が図れる効果をもたらした。
剤を隣接するコイルとコイルの間のスペースにの
み形成することにより、従来は磁気ギヤツプ長が
薄膜コイルの厚さと接着剤の厚さの和であり、そ
のため磁気ギヤツプ長の精度が低かつたのに対
し、磁気ギヤツプ長が薄膜コイルの厚さだけで決
まるようにしたため、磁気ギヤツプ長の精度を著
しく高め信頼性向上が図れる効果をもたらした。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘツドの第１の例を
示す断面図であり、第２図は本発明の第２の実施
例を示す断面図である。第３図は従来例を示す断
面図である。いずれの図においても、ａは記録媒
体摺動面方向から見た断面図であり、ｂは記録媒
体摺動面に垂直な方向からみた断面図である。 番号１〜６は、第１図〜第３図に共通であり、
１……薄膜コイル、２……下部磁極、３……上部
磁極、４……アルミナ膜、５……接着剤、６……
ガラスである。
示す断面図であり、第２図は本発明の第２の実施
例を示す断面図である。第３図は従来例を示す断
面図である。いずれの図においても、ａは記録媒
体摺動面方向から見た断面図であり、ｂは記録媒
体摺動面に垂直な方向からみた断面図である。 番号１〜６は、第１図〜第３図に共通であり、
１……薄膜コイル、２……下部磁極、３……上部
磁極、４……アルミナ膜、５……接着剤、６……
ガラスである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 強磁性体基板を下部磁極とし、その上面に導
体薄膜又は磁気抵抗素子を形成し、更にその上部
に強磁性体基板によつて形成した上部磁極を接着
剤により接着した構造の薄膜磁気ヘツドにおい
て、 摺動面を含む上下基板の接合部の上記導体薄膜
又は磁気抵抗素子と上部磁極との間には接着剤が
なく、隣接した導体薄膜同士の間又は、磁気抵抗
素子と磁気抵抗素子の間に接着剤用溝を形成し、
そこに接着剤を充填したことを特徴とする薄膜磁
気ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1817488A JPH01192005A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1817488A JPH01192005A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01192005A JPH01192005A (ja) | 1989-08-02 |
| JPH0555922B2 true JPH0555922B2 (ja) | 1993-08-18 |
Family
ID=11964249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1817488A Granted JPH01192005A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01192005A (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220106A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Tokyo Electric Co Ltd | 垂直磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS626419A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-13 | Toshiba Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62285211A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-11 | Olympus Optical Co Ltd | 垂直磁化型薄膜ヘツド |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP1817488A patent/JPH01192005A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01192005A (ja) | 1989-08-02 |
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